CN117054005A - 一种快速对接的真空箱式氦检装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种快速对接的真空箱式氦检装置，涉及真空箱式氦检漏技术领域，包括托盘、设置在托盘下方的氦质谱检漏仪、封筒以及灌装有氦气的罐体，封筒的开口结构内壁与橡胶凸台外壁贴合且封筒坐落在托盘上端面，两个支撑横杆端部之间固定有上大下小的圆台型对接块，圆台型对接块与托盘的橡胶凸块之间为待检测工件放置空间，两个调节板相对侧壁为圆弧形结构，且圆弧形块与调节板圆弧形结构侧壁螺纹连接。本发明利用圆台型对接块上大下小，能确保圆台型对接块利用其外壁完全抵在不同开口大小的被检测工件进气口侧壁上，从而实现快速矫正被检测工件检测时进气口对接时的位置，无需每次检测操作时改变氦气存放罐对接的位置，提高对接效率。
Description
技术领域
本发明涉及真空箱式氦检漏技术领域，具体为一种快速对接的真空箱式氦检装置。
背景技术
真空箱氦检漏，根据氦检漏的基本检漏原理，用氦气作为示踪气体，操作者把工件放在真空箱内，将工件接口与真空箱内的接头进行连接，在真空箱门关闭后，系统能全自动的完成大漏检测、工件强度检测、抽空、充氦、检漏、回收整个过程，生产节拍快，检漏精度高，但由于氦气存放罐的连接接头相对固定，不同的被检测工件体积大小不一，其进气口内径大小可能也大小不同，其放置在真空箱内与氦气存放罐的连接接头的对接位置所处水平位置以及高度位置就不同，每次检测操作时就需要工作人员改变氦气存放罐的连接接头对接的位置，大大降低了工作效率，所以这里设计了一种快速对接的真空箱式氦检装置，以便于解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种快速对接的真空箱式氦检装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种快速对接的真空箱式氦检装置，包括托盘、设置在托盘下方的氦质谱检漏仪、封筒以及灌装有氦气的罐体，所述托盘径向侧壁对称固定有两个L型架，所述封筒上端为封闭结构且下端为开口结构，所述托盘上端面设有橡胶凸台，所述封筒的开口结构内壁与橡胶凸台外壁贴合且封筒坐落在托盘上端面，所述封筒上端面固定有真空泵，所述真空泵的抽气口连接有导气管，所述导气管上端为封闭结构且底端为开口结构，所述导气管底端穿过封筒顶壁后进入封筒内部。
托盘开设有多个贯穿托盘上下侧壁的检测孔，托盘底端面固定有多根与检测孔连接的导管，所述氦质谱检漏仪的检测端口连接有多根分别与每根导管连接的分管。
所述托盘上设置有贯穿橡胶凸台的两个调节板，两个调节板相对侧壁均开设有升降槽，两个升降槽内均滑动设有支撑横杆，两个支撑横杆端部之间固定有上大下小的圆台型对接块，所述圆台型对接块与托盘的橡胶凸块之间空间为待检测工件放置空间，所述圆台型对接块开设有对接通孔，所述罐体固定在两个支撑横杆上端之间，且罐体的出气口与对接通孔连接。
两个支撑横杆上端面相互靠近的一端均转动设有滚轴，且两个滚轴径向侧壁均开设有环形槽，两个滚轴的外壁之间转动套接有环形传动盘，所述环形传动盘的径向内壁与两个滚轴的环形槽转动卡接，所述环形传动盘的径向外壁固定有延伸杆，所述延伸杆的端部固定有圆弧形块，两个调节板相对侧壁为圆弧形结构，且圆弧形块与调节板圆弧形结构侧壁螺纹连接。
圆台型对接块外壁抵在被检测工件进气口侧壁上以后，此时罐体、支撑横杆的位置都不再下滑，此时顺时针或者逆时针转动环形传动盘，环形传动盘在两个滚轴的环形槽转动，能够带动两个延伸杆同步转动，使得两个圆弧形块转动旋转至两个调节板相对侧壁。
将两个调节板相对侧壁为圆弧形结构，圆弧形块与调节板圆弧形结构侧壁螺纹连接，即可快速限定住此位置的圆台型对接块，不再发生变化，确保氦气冲入被检测工件时的密封性，以免冲入氦气时有泄漏导致封筒内有氦气渗入，影响氦质谱检漏仪的检测精度。
改变传统采用螺栓紧固被检测工件进气口对接位置的方式，提高对接效率的同时，无需额外借助工具，大大提高对接效率。
在进一步的实施例中，其中一个L型架的上端垂直固定有导向板，所述导向板开设有升降缺口，且升降缺口内两侧侧壁均设有滑槽，所述封筒径向外壁底端固定有连接板，所述连接板端部伸入升降缺口内，且连接板端部两侧侧壁均转动设有与滑槽内部滚动卡接的滚轮。
在进一步的实施例中，所述导向板远离托盘的一侧侧壁顶部设有U型托架。
在进一步的实施例中，所述封筒开设有多个贯穿封筒上下边缘侧壁的转动孔，所述转动孔内转动插接有对接杆，所述对接杆轴向两端分别穿出转动孔轴向两端，所述托盘上端面边缘位置开设有与对接杆底端螺纹连接的螺纹槽；
所述封筒上端转动设有环形盘，所述对接杆上端转动设有限位盘，多个限位盘的底端与封筒上端之间形成转动卡接环形传动盘的空间，所述环形盘的径向外壁与对接杆径向外壁转动贴合。
在进一步的实施例中，所述转动孔靠近托盘的一端内壁开设有限位环形槽，所述对接杆外壁固定套接有与限位环形槽转动卡接的环形凸块。
在进一步的实施例中，所述对接杆径向外壁顶部开设有绕对接杆外壁分布的齿槽，所述环形盘径向外壁设有与齿槽啮合的齿块。
在进一步的实施例中，所述导气管内滑动设有与导气管内壁贴合的橡胶推块，所述橡胶推块上端转动设有滑动伸出导气管上端面的T型操作杆。
在进一步的实施例中，所述T型操作杆底端开设有T型槽，所述橡胶推块开设有与T型槽底端开口大小相同的匹配孔，所述T型槽内滑动插接有提拉杆，所述提拉杆上端固定有与T型槽滑动卡接的矩形块，所述提拉杆底端伸出导气管底端开口后固定有密封块，所述密封块外壁上部与导气管开口内壁螺纹连接，所述密封块外壁下部沿着密封块径向延伸为凸缘抵在导气管底端开口边缘侧壁。
在进一步的实施例中，所述导气管的底端固定有倒立门型架，所述密封块位于倒立门型架内侧空间。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明为一种快速对接的真空箱式氦检装置，将不同体积大小的被检测工件坐落在托盘上，确保被检测工件的进气口与圆台型对接块上下对正，随后下放圆台型对接块，直至将圆台型对接块坐落在被检测工件进气口处，由于圆台型对接块上大下小，使得圆台型对接块外壁能够抵在被检测工件不同开口大小的进气口侧壁上，从而实现快速矫正被检测工件检测时进气口对接时的位置，无需每次检测操作改变氦气存放罐的连接接头对接的位置，提高对接效率。
附图说明
图1为本发明主体结构示意图；
图2为本发明的封筒与导向板局部结构示意图；
图3为本发明的环形盘与对接杆局部爆炸图；
图4为本发明的对接杆结果示意图；
图5为本发明的氦质谱检漏仪结构示意图；
图6为本发明的封筒半剖图；
图7为本发明的托盘、调节板、支撑横杆以及圆台型对接块结构示意图；
图8为本发明的圆台型对接块半剖图；
图9为本发明的环形传动盘、两个滚轴以及延伸杆俯视图；
图10为本发明的导气管剖视图；
图11为本发明的T型操作杆以及导气管结构示意图；
图12为本发明的密封块以及提拉杆结构示意图。
图中：1、托盘；2、导管；3、氦质谱检漏仪；4、导向板；41、U型托架；5、封筒；51、连接板；52、环形盘；53、导气管；54、T型操作杆；55、对接杆；56、环形凸块；57、转动孔；58、提拉杆；59、橡胶推块；510、倒立门型架；511、密封块；6、真空泵；7、调节板；71、支撑横杆；72、环形传动盘；73、延伸杆；74、圆弧形块；75、滚轴；8、罐体；9、圆台型对接块。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例，本实施例提供了一种快速对接的真空箱式氦检装置，包括托盘1、设置在托盘1下方的氦质谱检漏仪3、封筒5以及灌装有氦气的罐体8，托盘1径向侧壁对称固定有两个L型架，封筒5上端为封闭结构且下端为开口结构，托盘1上端面设有橡胶凸台，如图1所示，封筒5的开口结构内壁与橡胶凸台外壁贴合且封筒5坐落在托盘1上端面，封筒5内部空间与橡胶凸台上端之间形成相对密闭的空间。
封筒5上端面固定有真空泵6，真空泵6的抽气口连接有导气管53，导气管53上端为封闭结构且底端为开口结构，导气管53底端穿过封筒5顶壁后进入封筒5内部。如图1和图6所示，封筒5坐落在托盘1上以后，利用真空泵6将密闭空间内的空气抽离，密闭空间内的空气从导气管53底端开口途径导气管53内部，最终被真空泵6抽离，确保密封空间内处于相对真空状态。
现有技术中，被检测工件一般置于封筒5内以后，需要与灌装有氦气的罐体8出气口对接，但由于氦气存放的罐体8的连接接头位置相对固定，不同的被检测工件体积大小不一，其进气口内径大小可能也大小不同，其放置在真空箱内与氦气存放的罐体8连接接头的对接位置所处水平位置以及高度位置就不同，每次检测操作时就需要工作人员改变氦气存放的罐体8的连接接头对接的位置，大大降低了工作效。并且对接后，大多采用紧固螺栓对接紧固，紧固还需要借助工件，工序繁琐。
因此在托盘1上设置有贯穿橡胶凸台的两个调节板7，两个调节板7相对侧壁均开设有升降槽，两个升降槽内均滑动设有支撑横杆71，两个支撑横杆71端部之间固定有上大下小的圆台型对接块9，圆台型对接块9与托盘1的橡胶凸块之间空间为待检测工件放置空间，圆台型对接块9开设有对接通孔，罐体8固定在两个支撑横杆71上端之间，且罐体8的出气口与对接通孔连接，如图1和图7所示，将不同体积大小的被检测工件坐落在托盘1上，确保被检测工件的进气口与圆台型对接块9上下对正，随后沿着升降槽下滑支撑横杆71，使得圆台型对接块9同步下调高度，直至将圆台型对接块9坐落在被检测工件进气口处。
由于圆台型对接块9上大下小，如图8所示，能够适用于不同大小的进气口的对接需求，即利用圆台型对接块9外壁抵在被检测工件不同开口大小的进气口侧壁上，并且在圆台型对接块9外壁设置密封圈，确保对接时的密封性，打开罐体8的出气开关，通过圆台型对接块9的对接通孔将氦气导出进入被检测工件内，实现快速矫正被检测工件检测时进气口对接时的位置，无需每次检测操作改变氦气存放的罐体8的连接接头对接的位置，提高对接效率。
为了增强圆台型对接块9的对接通孔与被检测工件进气口对接密封性，在两个支撑横杆71上端面相互靠近的一端均转动设有滚轴75，且两个滚轴75径向侧壁均开设有环形槽，两个滚轴75的外壁之间转动套接有环形传动盘72，环形传动盘72的径向内壁与两个滚轴75的环形槽转动卡接，环形传动盘72的径向外壁固定有延伸杆73，延伸杆73的端部固定有圆弧形块74，如图1、图7和图9所示，圆台型对接块9外壁抵在被检测工件进气口侧壁上以后，此时罐体8、支撑横杆71的位置都不再下滑，此时顺时针或者逆时针转动环形传动盘72，环形传动盘72在两个滚轴75的环形槽转动，能够带动两个延伸杆73同步转动，使得两个圆弧形块74转动旋转至两个调节板7相对侧壁。
将两个调节板7相对侧壁为圆弧形结构，圆弧形块74与调节板7圆弧形结构侧壁螺纹连接，即可快速限定住此位置的圆台型对接块9，不再发生变化，确保氦气冲入被检测工件时的密封性，以免冲入氦气时有泄漏导致封筒5内有氦气渗入，影响氦质谱检漏仪3的检测精度。
改变传统采用螺栓紧固被检测工件进气口对接位置的方式，提高对接效率的同时，无需额外借助工具，大大提高对接效率。
托盘1开设有多个贯穿托盘1上下侧壁的检测孔，托盘1底端面固定有多根与检测孔连接的导管2，氦质谱检漏仪3的检测端口连接有多根分别与每根导管2连接的分管，如图1和图5所示，被检测的工件内冲入氦气以后，将封筒5盖合在托盘1上，即可进行真空式氦检操作，一旦有被检测工件有泄漏，封筒5内有氦气存在，通过检测孔以及导管2作为连通介质，以便于氦质谱检漏仪3检测。
高压的氦气检测在相对密闭的空间内进行，保护操作者安全，并且氦质谱检漏仪3具有自动校准功能以及自动校准程序，可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度，一旦检测有泄漏，通过灯光和液晶操作屏显示出来。
检测方法是，对被检工件充注高压氮气进行耐压强度和大漏气密性检验；然后由封筒5和托盘1组成的真空箱作为检测尝试，为真空箱法氦质谱检测，自动判断工件漏率合格与不合格，自动检测。
检测过程中，若工件检测不通过，则氦质谱检漏仪3系统报警，大漏工件序号显示，氦质谱检漏仪3检测程序中止。
若工件检测通过，氦质谱检漏仪3系统不报警。
最终保证了检漏的准确性、高精度，打开封筒5，取下检测后的工件，检测完成。
其中一个L型架的上端垂直固定有导向板4，导向板4开设有升降缺口，且升降缺口内两侧侧壁均设有滑槽，封筒5径向外壁底端固定有连接板51，连接板51端部伸入升降缺口内，且连接板51端部两侧侧壁均转动设有与滑槽内部滚动卡接的滚轮，为了方便将封筒5盖合在托盘1上，封筒5利用连接板51沿着导向板4的升降缺口向下滑动，同时滚轮沿着滑槽内同步滑动，以确保封筒5快速坐落在托盘1上。
如图2所示，将封筒5脱离托盘1向上拎起时，封筒5利用连接板51沿着导向板4的升降缺口向下滑动，同时滚轮沿着滑槽内同步滑动，当滚轮滑动至滑槽最上端位置后，以滚轮为轴向，逆时针翻转封筒5，即可将封筒5翻转至导向板4另一侧，实现快速分离。
导向板4远离托盘1的一侧侧壁顶部设有U型托架41，利用U型托架41托起翻转后的封筒5。
封筒5坐落在托盘1上以后，需要进一步密封来确保真空箱内的密闭性，在封筒5开设有多个贯穿封筒5上下边缘侧壁的转动孔57，转动孔57内转动插接有对接杆55，对接杆55轴向两端分别穿出转动孔57轴向两端，托盘1上端面边缘位置开设有与对接杆55底端螺纹连接的螺纹槽，转动多根对接杆55，对接杆55底部与托盘1的螺纹槽对接，确保对接杆55与托盘1稳定连接。
转动孔57靠近托盘1的一端内壁开设有限位环形槽，对接杆55外壁固定套接有与限位环形槽转动卡接的环形凸块56，如图4和图6所示，转动对接杆55时，受限于环形凸块56在限位环形槽内转动，对接杆55只能在转动孔57内转动，但不会沿着转动孔57轴向方向滑动，这样设计的话，对接杆55端部旋进螺纹槽内的同时，能够将封筒5向托盘1抵进，实现快速将封筒5端部与托盘1端部无缝对接。
在封筒5上端转动设有环形盘52，对接杆55上端转动设有限位盘，多个限位盘的底端与封筒5上端之间形成转动卡接环形盘52的空间，环形传动盘72的径向外壁与对接杆55径向外壁转动贴合，如图1所示的环形盘52内壁设置有L型把手，手持L型把手即可转动环形盘52，能够同步带动多根对接杆55转动，以此将多根对接杆55端部同步旋入螺纹槽内，提高封筒5无缝对接效率。
在对接杆55径向外壁顶部开设有绕对接杆55外壁分布的齿槽，环形盘52径向外壁设有与齿槽啮合的齿块，转动对接杆55时，利用齿块与齿槽啮合，能够确保动力有效传动，使得转动环形盘52转动时带动对接杆55有效转动。
真空泵6抽离封筒5内空气以后，为了确保封筒5内有效保持真空状态，在导气管53内滑动设有与导气管53内壁贴合的橡胶推块59，橡胶推块59上端转动设有滑动伸出导气管53上端面的T型操作杆54，如图10所示，向上抽拉T型操作杆54，带动橡胶推块59沿着导气管53内壁滑动，滑动的同时，再次将封筒5内空气抽至导气管53内，确保封筒5内处于相对真空状态。
并且，在T型操作杆54底端开设有T型槽，橡胶推块59开设有与T型槽底端开口大小相同的匹配孔，T型槽内滑动插接有提拉杆58，提拉杆58上端固定有与T型槽滑动卡接的矩形块，提拉杆58底端伸出导气管53底端开口后固定有密封块511，密封块511外壁上部与导气管53开口内壁螺纹连接，密封块511外壁下部沿着密封块511径向延伸为凸缘抵在导气管53底端开口边缘侧壁，如图11和图12所示，橡胶推块59抽至导气管53内壁顶部的过程中，能够通过矩形块沿着T型槽内相对滑动，当矩形块位于T型槽内部底壁以后，随着橡胶推块59继续滑动，能够通过矩形块和提拉杆58将密封块511向导气管53底端开口提起，当橡胶推块59滑动至导气管53内部顶壁的同时，能够将密封块511恰好拎起至导气管53底端开口，随后转动T型操作杆54，通过矩形块和提拉杆58传动带动密封块511旋入导气管53底端开口，直至密封块511底端的凸缘抵在导气管53底端开口边缘侧壁，确保封筒5内部处于相对密闭状态。
导气管53的底端固定有倒立门型架510，密封块511位于倒立门型架510内侧空间，利用倒立门型架510作为密封块511的底部限位，避免密封块511带动提拉杆58下滑触碰到罐体8。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (10)
1.一种快速对接的真空箱式氦检装置，包括托盘(1)、设置在托盘(1)下方的氦质谱检漏仪(3)、封筒(5)以及灌装有氦气的罐体(8)，所述托盘(1)径向侧壁对称固定有两个L型架，其特征在于：所述封筒(5)上端为封闭结构且下端为开口结构，所述托盘(1)上端面设有橡胶凸台，所述封筒(5)的开口结构内壁与橡胶凸台外壁贴合且封筒(5)坐落在托盘(1)上端面，所述封筒(5)上端面固定有真空泵(6)，所述真空泵(6)的抽气口连接有导气管(53)，所述导气管(53)上端为封闭结构且底端为开口结构，所述导气管(53)底端穿过封筒(5)顶壁后进入封筒(5)内部；
托盘(1)开设有多个贯穿托盘(1)上下侧壁的检测孔，托盘(1)底端面固定有多根与检测孔连接的导管(2)，所述氦质谱检漏仪(3)的检测端口连接有多根分别与每根导管(2)连接的分管；
所述托盘(1)上设置有贯穿橡胶凸台的两个调节板(7)，两个调节板(7)相对侧壁均开设有升降槽，两个升降槽内均滑动设有支撑横杆(71)，两个支撑横杆(71)端部之间固定有上大下小的圆台型对接块(9)，所述圆台型对接块(9)与托盘(1)的橡胶凸块之间空间为待检测工件放置空间，所述圆台型对接块(9)开设有对接通孔，所述罐体(8)固定在两个支撑横杆(71)上端之间，且罐体(8)的出气口与对接通孔连接；
两个支撑横杆(71)上端面相互靠近的一端均转动设有滚轴(75)，且两个滚轴(75)径向侧壁均开设有环形槽，两个滚轴(75)的外壁之间转动套接有环形传动盘(72)，所述环形传动盘(72)的径向内壁与两个滚轴(75)的环形槽转动卡接，所述环形传动盘(72)的径向外壁固定有延伸杆(73)，所述延伸杆(73)的端部固定有圆弧形块(74)，两个调节板(7)相对侧壁为圆弧形结构，且圆弧形块(74)与调节板(7)圆弧形结构侧壁螺纹连接。
2.根据权利要求1所述的快速对接的真空箱式氦检装置，其特征在于：其中一个L型架的上端垂直固定有导向板(4)，所述导向板(4)开设有升降缺口，且升降缺口内两侧侧壁均设有滑槽，所述封筒(5)径向外壁底端固定有连接板(51)，所述连接板(51)端部伸入升降缺口内，且连接板(51)端部两侧侧壁均转动设有与滑槽内部滚动卡接的滚轮。
3.根据权利要求2所述的快速对接的真空箱式氦检装置，其特征在于：所述导向板(4)远离托盘(1)的一侧侧壁顶部设有U型托架(41)。
4.根据权利要求1所述的快速对接的真空箱式氦检装置，其特征在于：所述封筒(5)开设有多个贯穿封筒(5)上下边缘侧壁的转动孔(57)，所述转动孔(57)内转动插接有对接杆(55)，所述对接杆(55)轴向两端分别穿出转动孔(57)轴向两端，所述托盘(1)上端面边缘位置开设有与对接杆(55)底端螺纹连接的螺纹槽；
所述封筒(5)上端转动设有环形盘(52)，所述对接杆(55)上端转动设有限位盘，多个限位盘的底端与封筒(5)上端之间形成转动卡接环形传动盘(72)的空间，所述环形盘(52)的径向外壁与对接杆(55)径向外壁转动贴合。
5.根据权利要求4所述的快速对接的真空箱式氦检装置，其特征在于：所述转动孔(57)靠近托盘(1)的一端内壁开设有限位环形槽，所述对接杆(55)外壁固定套接有与限位环形槽转动卡接的环形凸块(56)。
6.根据权利要求4所述的快速对接的真空箱式氦检装置，其特征在于：所述对接杆(55)径向外壁顶部开设有绕对接杆(55)外壁分布的齿槽，所述环形盘(52)径向外壁设有与齿槽啮合的齿块。
7.根据权利要求1所述的快速对接的真空箱式氦检装置，其特征在于：所述导气管(53)内滑动设有与导气管(53)内壁贴合的橡胶推块(59)，所述橡胶推块(59)上端转动设有滑动伸出导气管(53)上端面的T型操作杆(54)。
8.根据权利要求7所述的快速对接的真空箱式氦检装置，其特征在于：所述T型操作杆(54)底端开设有T型槽，所述橡胶推块(59)开设有与T型槽底端开口大小相同的匹配孔，所述T型槽内滑动插接有提拉杆(58)，所述提拉杆(58)上端固定有与T型槽滑动卡接的矩形块，所述提拉杆(58)底端伸出导气管(53)底端开口后固定有密封块(511)，所述密封块(511)外壁上部与导气管(53)开口内壁螺纹连接，所述密封块(511)外壁下部沿着密封块(511)径向延伸为凸缘抵在导气管(53)底端开口边缘侧壁。
9.根据权利要求8所述的快速对接的真空箱式氦检装置，其特征在于：所述导气管(53)的底端固定有倒立门型架(510)，所述密封块(511)位于倒立门型架(510)内侧空间。
10.一种快速对接的真空箱式氦检装置的检测方法，根据权利要求1-9任一所述的快速对接的真空箱式氦检装置，其特征在于：
首先，安放工件，将封筒(5)坐落在托盘(1)上形成密闭空间，密闭空间抽真空，同时工件内充高压氦气，利用氦质谱检漏仪(3)大漏检测；
检测过程中，若工件检测不通过，则氦质谱检漏仪(3)系统报警，大漏工件序号显示，氦质谱检漏仪(3)检测程序中止；
若工件检测通过，氦质谱检漏仪(3)系统不报警；
最终保证了检漏的准确性、高精度，打开封筒(5)，检测完成。
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| CN202311158407.2A CN117054005A (zh) | 2023-09-08 | 2023-09-08 | 一种快速对接的真空箱式氦检装置 |
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