CN117038568A - 机械手定位装置及半导体设备 - Google Patents

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CN117038568A
CN117038568A CN202311025362.1A CN202311025362A CN117038568A CN 117038568 A CN117038568 A CN 117038568A CN 202311025362 A CN202311025362 A CN 202311025362A CN 117038568 A CN117038568 A CN 117038568A
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manipulator
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elastic
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于朋扬
杨树文
丁鹏刚
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Abstract

本申请涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种机械手定位装置及半导体设备，所述定位组件包括均安装于所述支板的第一弹性件和限位件，在第一方向上所述第一弹性件的两端分别为第一连接端和第二连接端，所述第一连接端与所述支板连接，所述第二连接板与所述限位件连接，所述定位卡块用于安装在工位处，在所述定位卡块上形成有第一卡槽，所述第一卡槽用于与所述限位件卡合以使所述第一弹性件在所述第一方向上弹性变形。本申请的目的在于针对现有技术中所涉及的至少一个技术问题，提供一种机械手定位装置及半导体设备。

Description

机械手定位装置及半导体设备
技术领域
本申请涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种机械手定位装置及半导体设备。
背景技术
随着半导体设备自动化程度的日益提升，机械手传输系统越来越多的应用到设备中。因半导体设备各工位对物料定位精度要求较高，为了实现较高的定位精度往往需要在机械手系统的零部件结构、电气元件和运动控制等方面花费较高的成本。
发明内容
本申请的目的在于针对背景技术中所涉及的至少一个技术问题，提供一种机械手定位装置及半导体设备。
为了实现上述目的，本申请采用以下技术方案：
本申请的一个方面提供一种机械手定位装置，包括定位卡块、定位组件和用于安装机械手的支板，所述定位组件包括均安装于所述支板的第一弹性件和限位件，在第一方向上所述第一弹性件的两端分别为第一连接端和第二连接端，所述第一连接端与所述支板连接，所述第二连接板与所述限位件连接，
所述定位卡块用于安装在工位处，在所述定位卡块上形成有第一卡槽，所述第一卡槽用于与所述限位件卡合以使所述第一弹性件在所述第一方向上弹性变形。
可选地，所述限位件为轴承，所述定位组件包括轴和两个所述第一弹性件，所述轴承套装于所述轴，所述轴的两端一一对应的与两个所述第一弹性件连接，所述轴垂直于所述支板的板面设置，所述第一弹性件为簧片。
该技术方案的有益效果在于：将限位件涉及成轴承，使限位件在进入第一卡槽之前，限位件能够在定位卡块上顺利移动，减小阻力；使第一弹性件为弹片，则减小了第一弹性件占据的空间，使定位组件在移动时不易与外界产生碰撞，并且为设备上其他部件提供了布置空间。
可选地，所述定位组件还包括压块和第二弹性件，在所述第一方向上所述第二弹性件的一端为与所述压块连接的压块连接端，所述第二弹性件的另一端为安装端，所述安装端与所述支板固定连接，所述第一连接端与所述压块连接，所述安装端靠近所述第二连接端设置。
该技术方案的有益效果在于：当限位件与定位卡块接触是，第一弹性件表现为被压缩，第二弹性件表现为被拉伸，同一个作用力由第一弹性件和第二弹性件共同，增加了定位组件承受压力的能力，进而提高了机械手定位装置的可靠性。
可选地，所述第二弹性件为弹片，所述定位组件包括两个弹片组，每个所述弹片组包括两个所述第二弹性件，在所述第一方向上两个所述弹片组设置在所述第一弹性件两侧，每个所述弹片组中两个所述第二弹片在平行于所述轴的方向上排列。
该技术方案的有益效果在于：这样，增加了第二弹性件的数量，进一步提高了机械手定位装置的可靠性，而由于第二弹性件为弹片，所以占据空间相对较小。
可选地，本申请所提供的机械手定位装置，包括两个所述定位组件，所述机械手定位装置还包括连接块，所述连接块与所述支板固定连接，在所述第一方向上两个所述定位组件设置在所述连接块的两侧，所述安装端与所述连接块固定连接。
该技术方案的有益效果在于：连接块固定到支板上，两个定位组件均安装在连接块上，支板及定位组件作为整体移动至物料获取工位时，两个定位组件的限位件同时与定位卡块压力接触，两个压力使支板及其上的定位组件达到一个平衡状态，这样机械手在获取物料时，支板及定位组件不易产生晃动，进而提高对机械手的定位精度。
可选地，在所述定位卡块上还形成有用于与所述限位件压力接触的导向面，所述第一卡槽和所述导向面在第二方向上排列，所述导向面的一端为与所述第一卡槽的槽口边沿连接的第一端，在所述第一方向上所述导向面的另一端为靠近所述第一卡槽的槽底设置的第二端，从所述第一端到所述第二端所述导向面的延伸方向相对于所述第一方向和所述第二方向均倾斜，所述第二方向垂直于所述第一方向，且所述第一方向和所述第二方向均平行于所述支板的板面，所述支板用于在所述第二方向上移动。
该技术方案的有益效果在于：在半导体设备控制机械手向获取工位移动时，支板及支板上的定位组件在第二方向上移动，限位件首先与导向面接触，限位件沿着导向面逐渐向第一卡槽的槽口移动，随着限位件逐渐靠近第一卡槽的槽口，第一弹性件的弹性变形逐渐增大，当限位件移动至第一卡槽的槽口内，限位件在弹力的作用下进入卡槽，并与卡槽的内壁压力接触。通过设置导向面，使限位件能够在导向面的导向下比较顺利的进入卡槽，完成限位件与第一卡槽之间的自动卡合。
可选地，在所述定位卡块上还形成有第二卡槽，在所述第二方向上所述第一卡槽位于所述第二卡槽和所述导向面之间，所述第一卡槽的边沿和所述第二卡槽的边沿之间通过过渡面连接，所述过渡面用于与所述限位件压力接触，且所述过渡面平行于第二方向。
该技术方案的有益效果在于：通过设置第一卡槽和第二卡槽可实现机械手在工位处的不同位置获取物料；过渡面一方面起到导向作用，另一方面使支板及定位组件作为整体的移动总是处在第一弹性件的弹力作用下，使支板及定位组件的移动更加稳定，提高机械手移动的稳定性。
可选地，所述限位件为轴承，所述第一卡槽和所述第二卡槽中至少一个为V形槽，所述V形槽的内壁用于与所述轴承的外壁压力接触。
该技术方案的有益效果在于：限位件在V形槽中时，V形槽的两侧侧壁同时形成对轴承较稳定的支撑，使得在V形槽中轴承不易产生滚动。
可选地，在所述定位卡块上还形成有支撑平面，所述第一卡槽的槽口边沿、所述导向面和所述支撑平面依次连接，所述机械手定位装置包括两个所述定位组件，所述支撑平面用于在一个所述定位组件的限位件与第一卡槽或第二卡槽配合时与另一个所述定位组件的限位件压力接触，进而使两个所述限位件的底端的连线平行于第一方向。
该技术方案的有益效果在于：两个所述限位件的底端的连线平行于第一方向，说明两个定位组件中的第一弹性件所受压缩量相同，支板承受的两个第一弹性件的压力达到一个平衡状态，支板及两个定位组件形成一个相对稳定的整体，进而提高对机械手的定位精度；当定位组件包括第二弹性件的时，一个定位组件中的第一弹性件和第二弹性件作为整体的弹性变形，与另一个定位组件中的第一弹性件和第二弹性件作为整体的弹性变形相同。
本申请的另一个方面提供一种半导体设备，包括机械手和本申请所提供的机械手定位装置，所述机械手安装于所述支板。
本申请提供的技术方案可以达到以下有益效果：
本申请所提供的机械手定位装置，在使用时，支板上安装机械手，机械手、支板及定位组件随机械臂移动至物料获取工位，限位件与第一卡槽卡合，且第一弹性件弹性变形使限位件与第一卡槽的内壁之间产生压力，进而产生摩擦力，使限位件与第一卡槽之间的卡合不易失效，达到对支板和定位组件的位置进行限定，并最终对机械手进行定位的目的；本申请所提供的机械手定位装置，仅通过传统的机械结构在物料获取工位对机械手进行定位，相对于采用机械手系统的零部件结构、电气元件和运动控制等需克服一些复杂苛刻的要求实现机械手的定位，结构相对简单，制作相对容易，且相对于采用电气元件和运动控制等对机械手进行定位，成本相对较低，且可靠性更高。
本申请的附加技术特征及其优点将在下面的描述内容中阐述地更加明显，或通过本申请的具体实践可以了解到。
附图说明
为了更清楚地说明本申请具体实施方式的技术方案，下面将对具体实施方式描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请实施例提供的半导体设备的一种实施方式的部分结构示意图；
图2为本申请实施例提供的半导体设备的一种实施方式的部分结构示意图；
图3为本申请实施例提供的机械手定位装置的一种实施方式的部分结构示意图；。
附图标记：
01-定位卡块； 02-第二弹性件；
03-第一弹性件； 04-压块；
05-支板； 06-连接块；
07-连接螺钉； 08-轴；
09-限位件； 10-螺母；
11-第一卡槽； 12-第二卡槽；
13-支撑平面； 100-机械手定位装置；
200-机械手； 300-硅片。
具体实施方式
下面将结合附图对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
如图1至图3所示，本申请的一个方面提供一种机械手定位装置100，包括定位卡块01、定位组件和用于安装机械手200的支板05，所述定位组件包括均安装于所述支板05的第一弹性件03和限位件09，在第一方向上所述第一弹性件03的两端分别为第一连接端和第二连接端，所述第一连接端与所述支板05连接，所述第二连接板与所述限位件09连接，
所述定位卡块01用于安装在工位处，在所述定位卡块01上形成有第一卡槽11，所述第一卡槽11用于与所述限位件09卡合以使所述第一弹性件03在所述第一方向上弹性变形。
本申请实施例中，支板05可以为半导体设备中机械臂上的部件，支板05也可以为原半导体设备之外的部件，支板05安装在机械臂上；半导体设备中机械臂带着支板05及定位组件整体移动；支板05上安装的机械手200用于获取物料，物料可以为硅片300等材料，所述获取至少包括吸取、抓取和夹取等。
本申请所提供的机械手定位装置100，在使用时，支板05上安装机械手200，机械手200、支板05及定位组件随机械臂移动至物料获取工位，限位件09与第一卡槽11卡合，且第一弹性件03弹性变形使限位件09与第一卡槽11的内壁之间产生压力，进而产生摩擦力，使限位件09与第一卡槽11之间的卡合不易失效，达到对支板05和定位组件的位置进行限定，并最终对机械手200进行定位的目的；本申请所提供的机械手定位装置100，仅通过传统的机械结构在物料获取工位对机械手200进行定位，相对于采用机械手200系统的零部件结构、电气元件和运动控制等需克服一些复杂苛刻的要求实现机械手200的定位，结构相对简单，制作相对容易，且相对于采用电气元件和运动控制等对机械手200进行定位，成本相对较低，且可靠性更高。
可选地，所述限位件09为轴承，所述定位组件包括轴08和两个所述第一弹性件03，所述轴承套装于所述轴08，所述轴08的两端一一对应的与两个所述第一弹性件03连接，所述轴08垂直于所述支板05的板面设置，所述第一弹性件03为弹片。将限位件09涉及成轴承，使限位件09在进入第一卡槽11之前(以及在第一卡槽11与下文中的第二卡槽12之间切换配合时)，限位件09能够在定位卡块01上顺利移动，减小阻力；使第一弹性件03为弹片，则减小了第一弹性件03占据的空间，使定位组件在移动时不易与外界产生碰撞，并且为设备上其他部件提供了布置空间。本申请实施例中，限位件09也可以采用球形端替代，弹片也可以采用弹簧替代，轴08的端部与螺母10螺纹连接。
可选地，所述定位组件还包括压块04和第二弹性件02，在所述第一方向上所述第二弹性件02的一端为与所述压块04连接的压块连接端，所述第二弹性件02的另一端为安装端，所述安装端与所述支板05固定连接，所述第一连接端与所述压块04连接，所述安装端靠近所述第二连接端设置。也就是说，第一弹性件03、压块04和第二弹性件02依次连接，第一弹性件03通过压块04和第二弹性件02与支板05间接连接，由于所述安装端靠近所述第二连接端设置，在下文所述的第二方向上第一弹性件03和第二弹性件02相邻设置。当限位件09与定位卡块01接触是，第一弹性件03表现为被压缩，第二弹性件02表现为被拉伸，同一个作用力由第一弹性件03和第二弹性件02共同，增加了定位组件承受压力的能力，进而提高了机械手定位装置100的可靠性。
可选地，所述第二弹性件02为弹片，所述定位组件包括两个弹片组，每个所述弹片组包括两个所述第二弹性件02，在所述第一方向上两个所述弹片组设置在所述第一弹性件03两侧，每个所述弹片组中两个所述第二弹片在平行于所述轴08的方向上排列。这样，增加了第二弹性件02的数量，进一步提高了机械手定位装置100的可靠性，而由于第二弹性件02为弹片，所以占据空间相对较小。优选的，两个弹片组在第一方向上对称的设置在第一弹性件03的两侧。当然，第二弹性件02也可以为弹性。
可选地，本申请所提供的机械手定位装置100，包括两个所述定位组件，所述机械手定位装置100还包括连接块06，所述连接块06与所述支板05固定连接，在所述第一方向上两个所述定位组件设置在所述连接块06的两侧，所述安装端与所述连接块06固定连接。也就是说，连接块06固定到支板05上，两个定位组件均安装在连接块06上，支板05及定位组件作为整体移动至物料获取工位时，两个定位组件的限位件09同时与定位卡块01压力接触，两个压力使支板05及其上的定位组件达到一个平衡状态，这样机械手200在获取物料时，支板05及定位组件不易产生晃动，进而提高对机械手200的定位精度。本申请实施例中，第一弹性件03、第二弹性件02和压块04所构成的整体可以成为簧片，连接块06通过连接螺钉07与支板05连接。
可选地，在所述定位卡块01上还形成有用于与所述限位件09压力接触的导向面，所述第一卡槽11和所述导向面在第二方向上排列，所述导向面的一端为与所述第一卡槽11的槽口边沿连接的第一端，在所述第一方向上所述导向面的另一端为靠近所述第一卡槽11的槽底设置的第二端，从所述第一端到所述第二端所述导向面的延伸方向相对于所述第一方向和所述第二方向均倾斜，所述第二方向垂直于所述第一方向，且所述第一方向和所述第二方向均平行于所述支板05的板面，所述支板05用于在所述第二方向上移动。在半导体设备控制机械手200向获取工位移动时，支板05及支板05上的定位组件在第二方向上移动，限位件09首先与导向面接触，限位件09沿着导向面逐渐向第一卡槽11的槽口移动，随着限位件09逐渐靠近第一卡槽11的槽口，第一弹性件03的弹性变形逐渐增大，当限位件09移动至第一卡槽11的槽口内，限位件09在弹力的作用下进入卡槽，并与卡槽的内壁压力接触。通过设置导向面，使限位件09能够在导向面的导向下比较顺利的进入卡槽，完成限位件09与第一卡槽11之间的自动卡合。
可选地，在所述定位卡块01上还形成有第二卡槽12，在所述第二方向上所述第一卡槽11位于所述第二卡槽12和所述导向面之间，所述第一卡槽11的边沿和所述第二卡槽12的边沿之间通过过渡面连接，所述过渡面用于与所述限位件09压力接触，且所述过渡面平行于第二方向。通过设置第一卡槽11和第二卡槽12可实现机械手200在工位处的不同位置获取物料；过渡面一方面起到导向作用，另一方面使支板05及定位组件作为整体的移动总是处在第一弹性件03的弹力作用下，使支板05及定位组件的移动更加稳定，提高机械手200移动的稳定性。
可选地，所述限位件09为轴承，所述第一卡槽11和所述第二卡槽12中至少一个为V形槽，所述V形槽的内壁用于与所述轴承的外壁压力接触。限位件09在V形槽中时，V形槽的两侧侧壁同时形成对轴承较稳定的支撑，使得在V形槽中轴承不易产生滚动。当然，也可以使所述第一卡槽11和所述第二卡槽12中至少一个为U形槽。
可选地，在所述定位卡块01上还形成有支撑平面13，所述第一卡槽11的槽口边沿、所述导向面和所述支撑平面13依次连接，所述机械手定位装置100包括两个所述定位组件，所述支撑平面13用于在一个所述定位组件的限位件09与第一卡槽11或第二卡槽12配合时与另一个所述定位组件的限位件09压力接触，进而使两个所述限位件09的底端的连线平行于第一方向。两个所述限位件09的底端的连线平行于第一方向，说明两个定位组件中的第一弹性件03所受压缩量相同，支板05承受的两个第一弹性件03的压力达到一个平衡状态，支板05及两个定位组件形成一个相对稳定的整体，进而提高对机械手200的定位精度；当定位组件包括第二弹性件02的时，一个定位组件中的第一弹性件03和第二弹性件02作为整体的弹性变形，与另一个定位组件中的第一弹性件03和第二弹性件02作为整体的弹性变形相同。
本申请的另一个方面提供一种半导体设备，包括机械手200和本申请所提供的机械手定位装置100，所述机械手200安装于所述支板05。
本申请实施例所提供的半导体设备，应用了本申请实施例所提供的机械手定位装置100，仅通过传统的机械结构在物料获取工位对机械手200进行定位，相对于采用机械手200系统的零部件结构、电气元件和运动控制等需克服一些复杂苛刻的要求实现机械手200的定位，结构相对简单，制作相对容易，且相对于采用电气元件和运动控制等对机械手200进行定位，成本相对较低，且可靠性更高。
为了更好的说明本申请所提供的机械手定位装置100及半导体设备，本申请还提供一种机械手定位装置100及半导体设备的应用实例，该应用实例具体如下：
随着半导体设备自动化程度的日益提升，机械手传输系统越来越多的应用到设备中。因半导体设备各工位对物料定位精度要求较高，为了实现高定位精度往往需要在机械手系统的零部件结构、电气元件、运动控制等方面花费较高的人力、物力和财力，而且也无法保证达到预期的效果。
本应用实例应用于一种半导体设备的硅片传输系统中，通过机械结构实现硅片在关键工位的精确定位。
一种能够实现硅片传输中精确定位的方法，该方法原理简单，成本低廉，易于实现，运行稳定可靠。
发明原理：
轴承定位机构安装于支板上，支板与机械手片叉连接，当机械手运动到关键工位时，定位机构的轴承与安装在工位处的卡块接触并逐渐完全卡紧，实现机械手在该工位的精确定位。该设计方案的定位精度高，重复性也得到了保证，且易于实现。
核心方案：
一种轴承定位机构。主要包括轴承、轴、簧片、定位卡块等。两个深沟球轴承通过轴安装在两个簧片之间，并通过连接块与支板连接固定，支板与机械手片叉连接，因此可通过两个轴承对片叉进行精确定位。
定位卡块安装于工位处，与两个轴承接触卡位的分别是一个V型卡槽和一个平边卡槽。当机械手片叉即将运动到该工位时切换为慢速运动，两个轴承先后与两个卡槽接触，直到一个轴承完全卡入V型槽，另一个轴承顶到平边，此时机械手片叉运动停止，即运动到位。
采用上述结构的优点在于:通过两个轴承与定位卡块的卡槽接触，可实现机械手片叉在关键工位的精确定位，并可保证定位的重复精度。该定位机构易于实现，降低了对机械手电气元件、运动控制等方面的苛刻要求，在机械手性能和成本两方面都达到了较好效果。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.机械手定位装置，其特征在于，包括定位卡块、定位组件和用于安装机械手的支板，所述定位组件包括均安装于所述支板的第一弹性件和限位件，在第一方向上所述第一弹性件的两端分别为第一连接端和第二连接端，所述第一连接端与所述支板连接，所述第二连接板与所述限位件连接，
所述定位卡块用于安装在工位处，在所述定位卡块上形成有第一卡槽，所述第一卡槽用于与所述限位件卡合以使所述第一弹性件在所述第一方向上弹性变形。
2.根据权利要求1所述的机械手定位装置，其特征在于，所述限位件为轴承，所述定位组件包括轴和两个所述第一弹性件，所述轴承套装于所述轴，所述轴的两端一一对应的与两个所述第一弹性件连接，所述轴垂直于所述支板的板面设置，所述第一弹性件为弹片。
3.根据权利要求2所述的机械手定位装置，其特征在于，所述定位组件还包括压块和第二弹性件，在所述第一方向上所述第二弹性件的一端为与所述压块连接的压块连接端，所述第二弹性件的另一端为安装端，所述安装端与所述支板固定连接，所述第一连接端与所述压块连接，所述安装端靠近所述第二连接端设置。
4.根据权利要求3所述的机械手定位装置，其特征在于，所述第二弹性件为弹片，所述定位组件包括两个弹片组，每个所述弹片组包括两个所述第二弹性件，在所述第一方向上两个所述弹片组设置在所述第一弹性件两侧，每个所述弹片组中两个所述第二弹片在平行于所述轴的方向上排列。
5.根据权利要求3所述的机械手定位装置，其特征在于，包括两个所述定位组件，所述机械手定位装置还包括连接块，所述连接块与所述支板固定连接，在所述第一方向上两个所述定位组件设置在所述连接块的两侧，所述安装端与所述连接块固定连接。
6.根据权利要求1-5中任意一项所述的机械手定位装置，其特征在于，在所述定位卡块上还形成有用于与所述限位件压力接触的导向面，所述第一卡槽和所述导向面在第二方向上排列，所述导向面的一端为与所述第一卡槽的槽口边沿连接的第一端，在所述第一方向上所述导向面的另一端为靠近所述第一卡槽的槽底设置的第二端，从所述第一端到所述第二端所述导向面的延伸方向相对于所述第一方向和所述第二方向均倾斜，所述第二方向垂直于所述第一方向，且所述第一方向和所述第二方向均平行于所述支板的板面，所述支板用于在所述第二方向上移动。
7.根据权利要求6所述的机械手定位装置，其特征在于，在所述定位卡块上还形成有第二卡槽，在所述第二方向上所述第一卡槽位于所述第二卡槽和所述导向面之间，所述第一卡槽的边沿和所述第二卡槽的边沿之间通过过渡面连接，所述过渡面用于与所述限位件压力接触，且所述过渡面平行于第二方向。
8.根据权利要求7所述的机械手定位装置，其特征在于，所述限位件为轴承，所述第一卡槽和所述第二卡槽中至少一个为V形槽，所述V形槽的内壁用于与所述轴承的外壁压力接触。
9.根据权利要求7所述的机械手定位装置，其特征在于，在所述定位卡块上还形成有支撑平面，所述第一卡槽的槽口边沿、所述导向面和所述支撑平面依次连接，所述机械手定位装置包括两个所述定位组件，所述支撑平面用于在一个所述定位组件的限位件与第一卡槽或第二卡槽配合时与另一个所述定位组件的限位件压力接触，进而使两个所述限位件的底端的连线平行于第一方向。
10.半导体设备，其特征在于，包括机械手和如权利要求1-9中任意一项所述的机械手定位装置，所述机械手安装于所述支板。
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