CN117028398A - 用于轴向运动传递的连接装置、连接方法与晶粒分选设备 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于轴向运动传递的连接装置、连接方法与晶粒分选设备，所述连接装置包括两个连接座，两个所述连接座之间设有用于将两者连接的连接结构，所述连接结构包括间隙配合设置的安装凸起与安装槽，两个连接座之间通过上述连接结构连接后能够沿径向进行小幅度的位置调整，使得第一轴与第二轴之间能够保持硬接触连接，在第一轴与第二轴连接后再以填充材料填入间隙。采用该连接装置连接后，第一轴与第二轴能够在各自既定的轴向上往复运动，能够显著地减小传输末端的位置偏差，保证轴向运动传递的精密可靠。该连接装置尤其适用于如晶粒分选设备等微小型部件的精密加工工艺中，用于部件之间的轴向运动传递。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于轴向运动传递的连接装置、连接方法，以及具有该连接装置的晶粒分选设备。
背景技术
芯片在生产切割形成晶粒后，在投入到应用之前一般还需要进行测试分类，在完成测试分类后还需要将同一张芯片上切割形成的晶粒分选到不同的蓝膜上，也就是进行晶粒的分选。现有技术中，在晶粒的分选加工中，通常是采用顶针来将附着在蓝膜上的晶粒沿竖直方向进行顶推，从而使其从一张蓝膜上脱离而转移至另一张蓝膜上。顶针通常是安装于顶针轴上的，而顶针轴则通过联轴器与动力装置的驱动轴予以连接，从而能够与驱动轴同步地沿轴向运动来实现分选加工。
采用目前市面上的联轴器来连接上述驱动轴与顶针轴时，是将驱动轴的一端与顶针轴的一端分别与联轴器进行固定连接，两根轴与联轴器之间保持硬接触。然而，由于联轴器自身制造的误差，顶针轴的轴心线与驱动轴的轴心线在径向上势必会有一定的偏移量，或者是有一定的夹角，在轴向运动的过程中，联轴器受到来自驱动轴的侧向力而产生微量变形，使得顶针轴也受到相应的作用力而在轴向上有一定的偏转，这不仅造成导套在侧向力的作用下，摩擦增大，寿命缩短，长时间磨损后还会导致轴向引直走位不准，造成轴的变形；长时间运行后，顶针轴的底部末端与预设的位置在径向上的偏差越来越大，造成加工位置偏移，影响加工的精准度。而晶粒的尺寸非常的微小，顶针末端微小的偏移量都会影响分选加工的精准度，造成分选错误。
发明内容
本发明的目的是提供一种用于轴向运动传递的连接装置，以解决现有技术的一个或多个问题。
为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种用于轴向运动传递的连接装置，用于第一轴与第二轴之间的轴向连接，所述连接装置包括两个连接座，两个所述连接座之间设有用于将两者连接的连接结构，所述连接结构包括沿径向延伸的安装凸起，以及能够供所述安装凸起配合地插入的安装槽，所述安装凸起与所述安装槽分设于两个所述连接座相邻的轴端部上，其中，所述第一轴与所述第二轴分别固定在两个所述连接座上，且所述第一轴的轴端部与所述第二轴的轴端部相互抵靠；所述安装凸起插设在所述安装槽中，且所述安装凸起的外侧周壁与所述安装槽的周向槽壁之间具有间隙，所述间隙中填充有填充材料。
优选地，两个所述连接座上均设有所述的安装凸起与安装槽，两个所述安装凸起与两个所述安装槽一一对应配合，各组所述安装凸起与安装槽之间形成的间隙中均填充有所述的填充材料。
进一步地，所述连接座包括座体，所述座体上开设有沿轴向贯穿延伸以用于安装所述第一轴或所述第二轴的安装孔，所述连接座还包括设于所述座体一侧轴端部与所述安装凸起之间的连接部，所述连接部沿径向位于所述安装孔的周向外侧，所述座体、所述连接部及所述安装凸起之间形成所述的安装槽。
进一步地，所述安装凸起呈C字形的半圆环状，所述C字形以所述安装孔的轴心线为旋转中心，且其延伸角度大于180°。
优选地，所述安装凸起呈C字形的半圆环状，所述间隙包括沿所述连接座轴向上的轴向间隙，以及沿所述安装凸起长度延伸方向上的周向间隙。
优选地，所述连接座上设有沿轴向贯穿延伸以用于安装所述第一轴或第二轴的安装孔，所述连接座上开设有沿轴向贯穿延伸的开口槽，所述开口槽沿径向连通所述安装孔，所述连接座上具有分设于所述开口槽相异两侧的连接端，两个所述连接端之间通过紧固组件连接。
进一步地，所述安装凸起插设在所述安装槽中时，两个所述连接座之间形成有能够供所述第一轴或第二轴穿过的避让通道。
优选地，所述填充材料为在加热时软化且常温时固化的胶合材料。
优选地，所述连接装置还包括提供所述第一轴以轴向滑动导向的第一导套、提供所述第二轴以轴向滑动导向的第二导套，所述第一导套与所述第二导套的位置固定地设置。
本发明的另一目的是提供一种轴向运动传递装置的连接方法，采用的技术方案是： 一种轴向运动传递装置的连接方法，用于第一轴与第二轴之间的轴向连接，基于上述的连接装置，所述连接方法包括：
将所述第一轴固定连接于一个所述连接座上，所述安装凸起插入至所述安装槽中，使得两个所述连接座通过所述连接结构沿轴向连接；
将所述第二轴与另一个所述连接座配合，调整两个所述连接座之间的相对位置，并使得所述第二轴的轴端部与所述第一轴的一侧轴端部相抵靠，随后将所述第二轴固定连接至该另一个所述连接座上；
从所述安装凸起与所述安装槽之间的间隙中注入填充材料，使得所述填充材料在固化后填充所述间隙。
本发明的再一目的是提供一种晶粒分选设备，该分选设备至少包括顶针驱动装置，所述顶针驱动装置包括具有动力轴的动力组件、用于安装所述顶针的顶针轴，其特征在于：所述动力轴与所述顶针轴通过如上所述的连接装置沿轴向连接。
由于上述技术方案的运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：本发明的用于轴向运动传递的连接装置，其在将第一轴与第二轴沿轴向进行连接时，用于固定连接第一轴与第二轴的两个连接座之间采用间隙配合，使得两者之间能够沿径向进行小幅度的位置调整，且第一轴与第二轴之间保持硬接触连接，在第一轴与第二轴连接后再以填充材料填入间隙。采用该连接装置连接后，第一轴与第二轴能够在各自既定的轴向上往复运动，能够显著地减小传输末端的位置偏差，保证轴向运动传递的精密可靠。该连接装置尤其适用于如晶粒分选设备等微小型部件的精密加工工艺中，用于部件之间的轴向运动精准传递。
附图说明
图1为本发明一实施例的连接装置的整体结构示意图；
图2为图1的连接装置的结构分解示意图；
图3为图2的连接装置中两个连接座的结构示意图；
图4为图1的连接装置的部分结构示意图；
图5为图4的侧视示意图；
图6为沿图5中M-M向剖视示意图；
图7为沿图5中N-N向剖视示意图；
图8为图1的连接装置的纵向剖切示意图，其中，第一轴与第二轴处于理想的共轴状态；
图9为图8的基础上，第一轴的轴心线与第二轴的轴心线沿径向具有位置偏差△L时的示意图；
图10为图8的基础上，第一轴的轴心线与第二轴的轴心线具有夹角α时的示意图；
图11为本发明一实施例的晶粒分选设备的结构示意图；
其中：1、第一轴；2、第二轴；
3、第一连接座；31、第一座体；32、第一安装凸起；33、第一安装槽；34、第一安装孔；35、第一连接部；36、开口槽；37、连接孔；
4、第二连接座；41、第二座体；42、第二安装凸起；43、第二安装槽；44、第二安装孔；
5、第一导套；6、第二导套；
7、动力组件；71、动力轴；8、顶针轴；9、顶针；10、顶针驱动装置。
具体实施方式
下面结合附图和具体的实施例来对本发明的技术方案作进一步的阐述。
参见图1至图7所示，一种用于轴向运动传递的连接装置，用于第一轴1与第二轴2之间的轴向连接以传递轴向上的运动，该连接装置包括两个连接座，分别为第一连接座3与第二连接座4，其中，第一连接座3用于固定连接第一轴1，第二连接座4用于固定连接第二轴2，第一连接座3与第二连接座4之间还设有用于将两者予以连接的连接结构。
该连接结构包括沿径向延伸的安装凸起与能够供上述安装凸起配合地插入的安装槽，该安装凸起与安装槽分设于第一连接座3与第二连接座4相邻的轴端部上，通过将安装凸起沿径向插入至安装槽中，实现第一连接座3与第二连接座4沿轴向上的连接，其中，安装凸起间隙配合地设于安装槽中，安装凸起的外侧周壁与安装槽的周向槽壁之间的间隙通过填充材料予以填充。
该填充材料优选为在加热时软化且常温时固化的胶合材料，例如树脂材料，其能够以软化时的半固态充填至间隙中，能够适应间隙的形状，最后固化而充填在间隙中。
本实施例中，第一连接座3与第二连接座4这两者上均设置有安装凸起与安装槽，这两个安装凸起与安装槽一一对应配合，且各组安装凸起与安装槽之间形成的间隙均被填充材料所填充。具体为，第一连接座3上设有第一安装凸起32与第一安装槽33，第二连接座4上设有第二安装凸起42与第二安装槽43，第一连接座3与第二连接座4沿轴向连接时，第一安装凸起32沿径向插入至第二安装槽43的同时，第二安装凸起42也沿径向插设在第一安装槽33中，第一安装凸起32与第二安装槽43之间、第二安装凸起42与第一安装槽33之间分别形成间隙且间隙中均由填充材料填充。
具体地，参见图2至图4所示，第一连接座3包括第一座体31，该第一座体31上开设有沿轴向贯穿延伸以用于安装第一轴1的第一安装孔34，第一座体31上开设有沿轴向贯穿延伸的开口槽36，该开口槽36沿径向连通第一安装孔34，第一座体31上具有分设于开口槽36相异两侧的两个连接端，这两个连接端之间通过紧固组件连接，具体地，两个连接端上均设有连接孔37，紧固组件具体可以为螺栓螺母组件，在连接第一轴1时，将第一轴1沿轴向穿设至第一安装孔34中，将螺栓穿设在两个连接孔37中，旋转锁紧螺栓，使得开口槽36的间隙逐渐减小，从而使得第一安装孔34的周向孔壁抱紧在第一轴1的外侧周部上，进而使得第一轴1与第一连接座3固定。
第一连接座3还包括设于第一座体31一侧轴端部与第一安装凸起32之间的连接部35，该连接部35沿径向位于第一安装孔34的周向外侧，第一安装凸起32自连接部35背离第一座体31的端部而沿径向向内延伸。第一座体31、连接部35及第一安装凸起32之间形成第一安装槽33。第一安装凸起32呈C字形的半圆环状，该C字形以第一安装孔34的轴心线为旋转中心线，且其延伸角度大于180°。
第二连接座4包括开设有第二安装孔44且用于固定连接第二轴2的第二座体41、能够配合地插入至第一安装槽33中的第二安装凸起42，以及能够供第一安装凸起32配合地插入的第二安装槽43，其结构与第一连接座3的结构类似，此处不予赘述。
第一安装凸起32与第二安装凸起42采用上述C字形结构，不仅使得连接座易于加工，同时也使得第一安装凸起32与第二安装凸起42对应地插设至第二安装槽43与第一安装槽33中时，第一连接座3与第二连接座4之间形成有能够供第一轴1与第二轴2穿过的避让通道，使得第一轴1与第二轴2的轴端部能够相互抵接。本实施例中，第一连接座3与第二连接座4在相互连接后整体呈圆柱形，使得该连接处美观简洁。
本实施例中，第一安装槽33被配置为槽的高度略大于第二安装凸起42的高度，且沿周向上的长度略大于第二安装凸起42沿周向上的延伸长度，在第二安装凸起42插入至第一安装槽33中时，两者之间形成的间隙包括沿第一连接座1轴向上的轴向间隙，以及沿第二安装凸起42的长度延伸方向上的周向间隙，该轴向间隙与周向间隙中均需要填充上述的填充材料。类似地，第二安装槽43与第一安装凸起32之间也做上述类似设置。
参见图1、图2所示，该连接装置还包括提供第一轴1以轴向滑动导向的第一导套5，以及提供第二轴2以轴向滑动导向的第二导套6，该第一导套5与第二导套6的位置固定地设置，其具体可以设置在设备的机座上。
采用上述连接装置来连接第一轴1与第二轴2时，参见图8至图10所示，可以按照如下方法进行连接：
将第一轴1在第一导套5的导向作用下插入至第一安装孔34中，并与第一连接座3固定连接；
将第一连接座3与第二连接座4予以轴向连接，具体为，将两者沿径向对扣，使得第一安装凸起32沿径向插入至第二安装槽43的同时，第二安装凸起42也沿径向插设在第一安装槽33中；
将第二轴2在第二导套6的导向作用下，其一侧轴端部插入至第二连接座4的第二安装孔44中，驱使第二连接座4相对第一连接座3在径向上做小幅的转动，以调整第二连接座4的位置，并使得第二轴2的轴端部与第一轴1的轴端部沿轴向相抵接，使得两个轴端部之间保持为硬接触，随后，将第二轴2固定连接至第二连接座4上；
上述调整以及连接完成后，第一安装凸起32与第二安装槽43之间，以及第二安装凸起42与第一安装槽33均存在不规则形状的间隙，此时，再向该间隙中注入填充材料，使得该填充材料固化中填充上述间隙，使得第一连接座3与第二连接座4之间保持稳定可靠的连接。
如此，用于安装第一轴1的第一安装孔34与用于安装第二轴2的第二安装孔44，这两者即便是在因为制造误差造成的不同轴，即两者的轴心线之间具有间距△L，如图9所示，或者是因为制造误差有一定的偏斜，即两者的轴心线之间具有夹角α，如图10所示，在采用上述连接装置予以连接时，由于第一连接座3与第二连接座4能够在径向上相对移动，以及能够做一定角度的调整，在连接第一轴1与第二轴2的过程中，第一轴1与第二轴2可以在各自对应的导套的导向作用下穿设在第一安装孔34与第二安装孔44中并沿轴向相互抵接，并进一步分别与第一连接座3与第二连接座4固定连接，第一轴1与第二轴2之间在轴向上始终保持的为硬接触，且第一轴1与第二轴2在各自对应的导套的导向作用下沿各自既定的轴心线进行轴向运动，在长时间运动后第一轴1与第二轴2之间的相对位置也不会发生偏移，保证轴向运动的精密可靠传递。
参见图11所示的一种晶粒分选设备，该分选设备至少包括顶针驱动装置10，该顶针驱动装置包括具有动力轴71的动力组件7，以及用于安装顶针9的顶针轴8，该顶针轴8与动力轴71之间通过如上述的连接装置沿轴向连接。动力组件7工作时，动力轴71沿竖直方向的运动传递至顶针轴8上，顶针轴8在自身轴向上往复运动，而沿径向不会发生偏移，使得由其带动的顶针9的末端的工作位置精准可靠，能够显著地提升晶粒分选加工的准确度。
经实验测试，使用上述连接装置来连接顶针轴8与动力轴71，传送2mm的轴向运动，顶针9末端产生的偏差能够降低至2μm以下，相比采用传统联轴器会产生5～10μm的位置偏差，其精度大幅提高，尤其适用于类似于精密化的产品加工中的轴向运动传递。
当然，在其他实施例中，采用上述连接装置，也可以用于其他非竖直方向上轴向运动的传递，不限于如上述实施例中所示出的竖直方向上轴向运动的传递。
上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并加以实施，并不能以此限制本发明的保护范围，凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围内。
Claims (11)
1.一种用于轴向运动传递的连接装置，用于第一轴与第二轴之间的轴向连接，其特征在于：所述连接装置包括两个连接座，两个所述连接座之间设有用于将两者连接的连接结构，所述连接结构包括沿径向延伸的安装凸起，以及能够供所述安装凸起配合地插入的安装槽，所述安装凸起与所述安装槽分设于两个所述连接座相邻的轴端部上，其中，所述第一轴与所述第二轴分别固定在两个所述连接座上，且所述第一轴的轴端部与所述第二轴的轴端部相互抵靠；所述安装凸起插设在所述安装槽中，且所述安装凸起的外侧周壁与所述安装槽的周向槽壁之间具有间隙，所述间隙中填充有填充材料。
2.根据权利要求1所述的用于轴向运动传递的连接装置，其特征在于：两个所述连接座上均设有所述的安装凸起与安装槽，两个所述安装凸起与两个所述安装槽一一对应配合，各组所述安装凸起与安装槽之间形成的间隙中均填充有所述的填充材料。
3.根据权利要求2所述的用于轴向运动传递的连接装置，其特征在于：所述连接座包括座体，所述座体上开设有沿轴向贯穿延伸以用于安装所述第一轴或所述第二轴的安装孔，所述连接座还包括设于所述座体一侧轴端部与所述安装凸起之间的连接部，所述连接部沿径向位于所述安装孔的周向外侧，所述座体、所述连接部及所述安装凸起之间形成所述的安装槽。
4.根据权利要求3所述的用于轴向运动传递的连接装置，其特征在于：所述安装凸起呈C字形的半圆环状，所述C字形以所述安装孔的轴心线为旋转中心，且其延伸角度大于180°。
5.根据权利要求1所述的用于轴向运动传递的连接装置，其特征在于：所述安装凸起呈C字形的半圆环状，所述间隙包括沿所述连接座轴向上的轴向间隙，以及沿所述安装凸起长度延伸方向上的周向间隙。
6.根据权利要求1所述的用于轴向运动传递的连接装置，其特征在于：所述连接座上设有沿轴向贯穿延伸以用于安装所述第一轴或第二轴的安装孔，所述连接座上开设有沿轴向贯穿延伸的开口槽，所述开口槽沿径向连通所述安装孔，所述连接座上具有分设于所述开口槽相异两侧的连接端，两个所述连接端之间通过紧固组件连接。
7.根据权利要求6所述的用于轴向运动传递的连接装置，其特征在于：所述安装凸起插设在所述安装槽中时，两个所述连接座之间形成有能够供所述第一轴或第二轴穿过的避让通道。
8.根据权利要求1所述的用于轴向运动传递的连接装置，其特征在于：所述填充材料为在加热时软化且常温时固化的胶合材料。
9.根据权利要求1至8任一项所述的用于轴向运动传递的连接装置，其特征在于：所述连接装置还包括提供所述第一轴以轴向滑动导向的第一导套、提供所述第二轴以轴向滑动导向的第二导套，所述第一导套与所述第二导套的位置固定地设置。
10.一种轴向运动传递装置的连接方法，用于第一轴与第二轴之间的轴向连接，其特征在于：基于权利要求1至9任一项所述的连接装置，所述连接方法包括：
将所述第一轴固定连接于一个所述连接座上，所述安装凸起插入至所述安装槽中，使得两个所述连接座通过所述连接结构沿轴向连接；
将所述第二轴与另一个所述连接座配合，调整两个所述连接座之间的相对位置，并使得所述第二轴的轴端部与所述第一轴的一侧轴端部相抵靠，随后将所述第二轴固定连接至该另一个所述连接座上；
从所述安装凸起与所述安装槽之间的间隙中注入填充材料，使得所述填充材料在固化后填充所述间隙。
11.一种晶粒分选设备，至少包括顶针驱动装置，所述顶针驱动装置包括具有动力轴的动力组件、用于安装所述顶针的顶针轴，其特征在于：所述动力轴与所述顶针轴通过如权利要求1至9任一项所述的连接装置沿轴向连接。
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- 2023-10-10 CN CN202311305402.8A patent/CN117028398B/zh active Active
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