CN116989855A - 一种气体状态多参量检测传感器及其自校准方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及电力测试技术领域，尤其涉及一种气体状态多参量检测传感器及其自校准方法，该传感器包括：测试件，具有测试腔室，测试件上具有本体接口；多参量感知机构，包括伸入至测试腔室内的多参量感知单元；校准机构，与测试件连接，并且与多参量感知机构相对设置，校准机构具有伸入至测试腔室内的阀杆，阀杆朝向多参量感知单元和加热件的一端具有可容纳多参量感知单元的容纳腔；其中，在进行校准时在外力驱动下朝向多参量感知单元和加热机构移动，使得容纳腔与多参量感知单元和加热机构所在的侧壁形成密封腔室停止。本发明通过容纳腔可移动设置，实现了微水感知单元的自校准，提高了检测的精度。本发明还请求保护上述传感器的自校准方法。
Description
技术领域
本发明涉及电力测试技术领域，尤其涉及一种气体状态多参量检测传感器及其自校准方法。
背景技术
六氟化硫（以下简称SF6）作为一种性能良好的绝缘气体，被广泛应用于高压电气设备内作为灭弧和绝缘介质使用，在实际使用过程中，SF6的密度降低以及微水含量均会影响到它的绝缘性能，危害电气设备的安全，因此需要引入SF6气体状态在线监测系统，对气体中的微水、密度含量进行实时在线监测。
现有技术中，常用的SF6气体密度与微水监测传感器多属于分离式，即采用专用的测试气路，在气路末端安装相应的在线监测传感器，因此需要在高压电气设备上安装多个气路，存在较大的漏气风险，且专用气路复杂维护难度大；
此外，发明人还发现，目前在线密度、微水监测传感器长时间运行时存在零点漂移现象，导致电气设备内部 SF6气体状态监测存在误差，严重影响电气设备的安全。
发明内容
鉴于以上技术问题中的至少一项，本发明提供了一种气体状态多参量检测传感器及其自校准方法，采用结构的改进以提高传感器的检测精度。
根据本发明的第一方面，提供一种气体状态多参量检测传感器，包括：
测试件，所述测试件内具有测试腔室，所述测试件上具有与所述测试腔室连通的本体接口，所述本体接口用于与被测设备连接，以使得被测设备内的气体进入至所述测试腔室内；
多参量感知机构，与所述测试件连接，包括伸入至所述测试腔室内的多参量感知单元和与所述多参量感知单元电连接的控制器；
校准机构，与所述测试件连接，并且与所述多参量感知机构相对设置，所述校准机构具有伸入至所述测试腔室内的阀杆，所述阀杆朝向所述多参量感知单元的一端具有可容纳所述多参量感知单元的容纳腔；
加热机构，设置在所述测试腔室内，所述加热机构与所述控制器电连接，用于对所述容纳腔进行加热；
其中，所述多参量感知单元包括微水感知单元、压力感知单元、温度感知单元，所述阀杆被配置为在进行校准时在外力驱动下朝向所述多参量感知单元移动，使得所述容纳腔与所述多参量感知单元所在的侧壁形成密封腔室停止，所述加热机构处于形成的密封腔室内，用于与所述控制器配合进行所述微水感知单元的零点校准。
在本发明的一些实施例中，所述测试腔室内还具有容纳室，所述容纳室与所述多参量感知单元相对设置，所述阀杆在初始位置时，所述容纳腔处于所述容纳室内。
在本发明的一些实施例中，所述容纳腔的顶部还具有密封圈。
在本发明的一些实施例中，所述测试腔室上还具有环形凸起，所述环形凸起将所述多参量感知单元所在区域包围，并且与所述密封圈相对设置。
在本发明的一些实施例中，所述测试件中所述测试腔室与所述本体接口相对的一端还具有补气接口。
在本发明的一些实施例中，所述补气接口上具有自封阀。
在本发明的一些实施例中，所述加热机构为加热丝，所述加热丝设置在所述多参量感知单元的周侧。
在本发明的一些实施例中，所述加热机构包括固定在所述多参量感知单元上的感应线圈以及固定在所述容纳腔内的感应加热件，所述感应加热件与所述感应线圈相对设置，当所述阀杆朝向所述多参量感知单元移动行程密封腔室时，所述感应加热件插入至所述感应线圈内。
在本发明的一些实施例中，所述容纳室的侧壁上还通过铰簧转动连接有自封门板，所述自封门板用于所述容纳腔的自封闭，当所述阀杆朝向所述多参量感知单元移动时，所述自封门板被顶开，当所述阀杆缩回时，所述自封门板关闭。
根据本发明的第二方面，还提供了一种如第一方面中任一项所述的气体状态多参量检测传感器的微水零点校准方法，包括以下步骤：
在初始状态下，对容纳腔内的水汽分压进行标定，并拟合出不同温度下所述容纳腔内的水汽分压函数Eh（T）；
在每次使用气体状态多参量检测传感器时，利用所述水汽分压函数Eh（T）进行微水感知单元的零点校准，所述零点校准包括以下步骤：
驱动阀杆朝向多参量感知单元移动，使得容纳腔与测试腔室内壁贴合形成密封腔室；
获取当前密封腔室内的温度值T1和湿度值RH1，根据水汽分压函数水汽分压函数Eh（T）计算处当前温度下的水汽分压Eh1，利用Goff-Gratch饱和水汽压方程或Wexler-Greenspan水汽压方程计算出当前温度下的饱和水汽压Ew1，根据公式（1）和公式（2）计算微水感知单元当前温度下的零点值RHzero1，其中：
式(1)中RHSensor是MEMS微水感知单元测量值，RHzero是微水感知单元零点值，RHw是相对湿度公式计算值；
式(2)中Eh是水汽气压，Ew是同温度下饱和水汽压；
启动加热机构，加热密封腔室内气体的温度T2至T2=（T1+10）℃，停止加热机构的加热，读取密封腔室内此时的湿度值RH2，利用Goff-Gratch饱和水汽压方程或Wexler-Greenspan水汽压方程计算出当前温度下的饱和水汽压Ew1，根据所述公式（1）和公式（2）计算微水感知单元当前温度下的零点值RHzero2；
继续启动加热机构，加热密封腔室内气体的温度T3至T3=（T2+10）℃，停止加热机构的加热，读取密封腔室内此时的湿度值RH3，利用Goff-Gratch饱和水汽压方程或Wexler-Greenspan水汽压方程计算出当前温度下的饱和水汽压Ew1，根据所述公式（1）和公式（2）计算微水感知单元当前温度下的零点值RHzero3；
比较RHzero1、RHzero2和RHzero3，选择其中最小值作为当前微水感知单元的零点值。
本发明的有益效果为：本发明通过多参量感知机构的设置，在一个测试腔室内进行多种参量的检测，与现有技术相比，运行可靠且方便维护和更换，此外，通过校准机构中容纳腔在测试腔室内构成的密闭腔室。使得微水测定实现自校准功能，从而在长时间的运行条件下确保微水监测的准确性，提高了测量的精准度。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例一中气体状态多参量检测传感器的结构示意图；
图2为本发明实施例一中气体状态多参量检测传感器在初始状态时的局部剖视图；
图3为本发明实施例一中气体状态多参量检测传感器在自校准时的局部剖视图；
图4为本发明实施例一中图2中的A处局部放大图；
图5为本发明实施例二中加热机构的结构示意图；
图6为本发明实施例二中加热机构工作时的结构示意图；
图7为本发明实施例三中带有自封门板的容纳腔内的结构示意图；
图8为本发明实施例三中自封门板打开过程中的结构示意图；
图9为本发明实施例三中自封门板完全打开时的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
实施例一
如图1至图4所示的气体状态多参量检测传感器，包括测试件1、多参量感知机构2、校准机构3和加热机构4，其中，如图2中所示，测试件1内具有测试腔室11，测试件1上具有与测试腔室11连通的本体接口12，本体接口12用于与被测设备01连接，以使得被测设备01内的气体进入至测试腔室11内；这里需要指出的是，在本发明实施例中，本体接口12与被监测的高压电气设备连接，用于监测SF6气体的压力、温度和微水等参量；在具体进行监测时，本体接口12与被测高压电气设备密封连接，例如可以采用螺纹连接的方式。
请继续参照图2，在本发明实施例中，多参量感知机构2与测试件1连接，包括伸入至测试腔室11内的多参量感知单元21以及设置在多参量感知机构2内与多参量感知单元21电连接的控制器；这里需要指出的是，多参量感知单元21包括微水感知单元、压力感知单元、温度感知单元，具体可以是MEMS微水感知传感器、MEMS压力传感器以及MEMS温度传感器，这里还需要找指出的是，在本发明实施例中的控制器包括智能信息处理单元、通讯模块、电源处理模块、控制单元和保护电路等；电源处理模块的主要功能是电源电压调整，升压、稳压功能，为多参量感知机构2提供不同类型的电源；保护电路为压力感知、微水感知、温度感知等接口提供浪涌保护、短路保护、极性保护、过压保护以及滤波等功能；MEMS传感器用于采集气体参量信息，通过数据总线将压力、微水、温度等参量信息传送至智能信息处理单元，依据压力-温度特性以及微水-温度特性计算得到相应的气体密度值以及标准微水值，最终通过计算得出密度值、温度值以及微水值，并且通过通讯模块采用无线或者有线方式传送至控制后台，来实时监测电气设备内部的SF6气体状态参量，气体状态异常的情况下实现早期预警；有线通讯方式包括USB\CAN\RS485\RS422\RS232\4-20mA\模拟信号及光纤等，无线通讯方式包括传感器内置5G/NB-IOT通讯模块（如5G、NB-IOT）、2G/3G/4G/5G等、WIFI、蓝牙、Lora、Lorawan、Zigbee等，将各种传感器数据上传到物联网云平台。
如图4中所示，在本发明实施例中，还包括加热机构4，设置在测试腔室11内，加热机构4与控制器（图中未示出）电连接，用于对容纳腔33进行加热；在本发明的一种方式中，加热机构4为加热丝，加热丝设置在多参量感知单元21的周侧。这里的周侧如图2中所示，是指加热丝设置在多参量感知单元21的底部周围，但加热丝处于容纳腔32的覆盖范围内。
在本发明实施例中，请继续参照图2和图3，校准机构3与测试件1连接，并且与多参量感知机构2相对设置，校准机构3具有伸入至测试腔室11内的阀杆31，阀杆31朝向多参量感知单元21和加热件22的一端具有可容纳多参量感知单元21和加热机构4容纳腔32；阀杆31被配置为在进行校准时在外力驱动下朝向多参量感知单元21和加热机构4移动，使得容纳腔32与多参量感知单元21和加热件22所在的侧壁形成密封腔室停止。在本发明实施例中，通过阀杆31与容纳腔32以及测试腔室11的设置，气体多参量传感器在校验状态时，通过控制阀杆31使得容纳腔32与测试腔室11内壁紧密相连形成一个密封腔室，内部的气体密封不变，加热机构4放置在密闭腔室内部，在校验时加热密封腔室内的温度，在不同温度时实现对微水感知单元的零点校准，具体校准方法在下文中进行详细描述。
在上述实施例中，通过多参量感知机构2的设置，在一个测试腔室11内进行多种参量的检测，与现有技术相比，运行可靠且方便维护和更换，此外，通过校准机构3中容纳腔32在测试腔室11内构成的密闭腔室。使得微水测定实现自校准功能，从而在长时间的运行条件下确保微水监测的准确性，提高了测量的精准度。
下面对本发明实施例中的气体状态多参量检测传感器的微水零点校准方法进行描述，在本发明实施例中，对微水感知单元零点自校准是基于湿度校准公式（1）进行的，湿度校准公式（1）为：
式(1)中RHSensor是MEMS微水感知单元测量值（即测量得到的湿度值），RHzero是微水感知单元零点值，RHw是相对湿度公式计算值，基于此，仅需知道相对湿度公式计算值RHw并根据微水感知单元的测量值RHSensor即可计算出微水感知单元的零点值；
在本发明实施例中，相对湿度计算机RHw的计算公式为
式(2)中Eh是水汽气压，Ew是同温度下饱和水汽压；也就是说在本发明实施例中仅需计算得到相对湿度RHw即可得出微水感知单元的零点值；
在本发明实施例中，根据MEMS微水感知单元零点特性，其在初始状态下其零点值是固定不变的，但在不同温度下密封腔室内的水汽分压是不同的，故需要得出不同温度下的水汽分压值，在本发明实施例中，具体的自校准方法包括以下步骤：
S10：在初始状态下，对容纳腔内的水汽分压进行标定，并拟合出不同温度下所述容纳腔内的水汽分压函数Eh（T）；在具体进行容纳腔内水汽分压标定时，包含以下步骤：
S11：依据MEMS微水感知单元零点特性，在初始状态下其零点值是固定不变的，利用高精度对标湿度计可以获取初始状态下微水感知单元的零点值RHzero；
S12：气体状态多参量监测传感器在校准状态下，测量温度值T01，湿度值RH01，计算出当前温度下水分子气压Eh（T01）；
S13：重复步骤S12，气体状态多参量监测传感器在校准状态下，加热机构4加热，测量n个温度值Tn，湿度值RHn，利用式(1)和式(2)计算出当前温度下水分子气压Eh（Tn）；
S14：在密封腔室不变，温度变化的条件下，根据测量若干个Eh（Tn）利用多项式逼近法拟合水汽分压Eh（Tn）的方程；
S15：根据不同温度的水汽分压Eh（T）的函数，可以得出在密封腔室内，任意温度下水汽分压Eh。通过上述密封腔室内水汽分压的标定，为后续微水感知单元21的零点自校准提供了基础；
S20：在每次使用气体状态多参量检测传感器时，利用所述水汽分压函数Eh（T）进行微水感知单元的零点校准，所述零点校准包括以下步骤：
S21：驱动阀杆朝向多参量感知单元移动，使得容纳腔与测试腔室内壁贴合形成密封腔室；
S22：获取当前密封腔室内的温度值T1和湿度值RH1，根据水汽分压函数水汽分压函数Eh（T）计算处当前温度下的水汽分压Eh1，利用Goff-Gratch饱和水汽压方程或Wexler-Greenspan水汽压方程计算出当前温度下的饱和水汽压Ew1，根据公式（1）和公式（2）计算微水感知单元当前温度下的零点值RHzero1；
S23：启动加热机构，加热密封腔室内气体的温度T2至T2=（T1+10）℃，停止加热机构的加热，读取密封腔室内此时的湿度值RH2，利用Goff-Gratch饱和水汽压方程或Wexler-Greenspan水汽压方程计算出当前温度下的饱和水汽压Ew1，根据所述公式（1）和公式（2）计算微水感知单元当前温度下的零点值RHzero2；
S24：继续启动加热机构，加热密封腔室内气体的温度T3至T3=（T2+10）℃，停止加热机构的加热，读取密封腔室内此时的湿度值RH3，利用Goff-Gratch饱和水汽压方程或Wexler-Greenspan水汽压方程计算出当前温度下的饱和水汽压Ew1，根据所述公式（1）和公式（2）计算微水感知单元当前温度下的零点值RHzero3；
S25：比较RHzero1、RHzero2和RHzero3，选择其中最小值作为当前微水感知单元的零点值。由于零点漂移是逐渐增大的，故选择最小值作为微水感知单元21的零点值是最准确的。
在上述实施例的基础上，如图3中所示，在本发明实施例中，测试腔室11内还具有容纳室13，容纳室13与多参量感知单元21和加热件22相对设置，阀杆31在初始位置时，容纳腔32处于容纳室13内。即在本发明实施例中，测试腔室11包括供气体进入的横向气道，还包括用于容纳阀杆31顶部的容纳腔32的容纳室13，通过如此设置，使得在多参量感知机构2进行具体的测量时，减少容纳腔32对横向气道内气体参量采集的影响，提高信息采集的精度。
在本发明实施例中，为了进一步提高容纳腔32在与测试腔室11密封连接时的密封性，如图3和图4中所示，容纳腔32的顶部还具有密封圈33。并且，测试腔室11上还具有环形凸起14，环形凸起14将多参量感知单元21和加热件22所在区域包围，并且与密封圈33相对设置。在本发明实施例中，通过环形凸起14的设置，一方面为多参量感知单元21提供了定位的功能，此外，在本发明实施例中，环形凸起14的底部呈平面设置，通过该种设置，可以提高与密封圈33的接触面积，进而进一步提高容纳腔32与该环形凸起14接触时的密封性。
请继续参照图3，在本发明实施例中，测试件1中测试腔室11与本体接口12相对的一端还具有补气接口15。通过补气接口15的设置，可以实现对高压电气设备内部气体的补充，在本发明实施例中，补气接口15上具有自封阀16。通过自封阀16的设置，便于对高压设备内部的气体进行维护，也能够避免在测试时的漏气等情况发生。
实施例二
在本发明第一个实施例的基础上，由于每次进行零点校准的过程中，加热丝在加热后会影响测试腔室11内的温度，一般需要等待温度恢复至测量环境后再进行测量，但此时加热丝依然会影响测试腔室11内湿度的测量；为了降低加热丝的影响，在本发明实施例中，对加热机构44作出了改进，其余的结构设置和测量方法均与实施例一相同，这里不再赘述；
请参照图5和图6，在本发明的第二个实施例中，加热机构4包括固定在多参量感知单元21上的感应线圈41以及固定在容纳腔32内的感应加热件42，感应加热件42与感应线圈41相对设置，当阀杆31朝向多参量感知单元21移动行程密封腔室时，感应加热件42插入至感应线圈41内。在本发明实施例中，采用感应加热的方式对固定在容纳腔32内的感应加热件42进行加热，感应加热是利用导电物体在磁场中产生的涡流，例如将金属棒放置在线圈中，在金属棒上物流流动的区域电阻会产生热量，从而对金属棒进行加热，在本发明实施例中，可以选择金属棒的顶部伸入至感应线圈41中，实现对金属棒顶部的加热，金属棒顶部在加热时，由于感应加热为一种非接触式加热方法，故可以减小对线圈的影响；在本发明实施例中，如图6中在校准过程完成以后，参照图5，阀杆31缩回，感应加热件42也一同缩回，进而热量不会集中在多参量感知单元21附近，减少对测试腔室11的影响。
实施例三
在实施例二的基础上，本发明实施例中还对容纳腔32室作出了进一步改进，如图7至图9中所示，容纳室13的侧壁上还通过铰簧转动连接有自封门板43，自封门板43用于容纳腔32的自封闭，当阀杆31朝向多参量感知单元21移动时，自封门板43被顶开，当阀杆31缩回时，自封门板43关闭。通过如此设置，在容纳腔32伸出之前，被自封门板43封闭，在容纳腔32室伸出之后，自封门板43被顶开，完成测试以后，容纳腔32缩回，自封门板43在铰簧的作用下自动关闭。通过上述设置，进一步减少了校准过程中的加热对测试腔室11的影响，提高了校准后测试的精度。
本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (10)
1.一种气体状态多参量检测传感器，其特征在于，包括：
测试件，所述测试件内具有测试腔室，所述测试件上具有与所述测试腔室连通的本体接口，所述本体接口用于与被测设备连接，以使得被测设备内的气体进入至所述测试腔室内；
多参量感知机构，与所述测试件连接，包括伸入至所述测试腔室内的多参量感知单元和与所述多参量感知单元电连接的控制器；
校准机构，与所述测试件连接，并且与所述多参量感知机构相对设置，所述校准机构具有伸入至所述测试腔室内的阀杆，所述阀杆朝向所述多参量感知单元的一端具有可容纳所述多参量感知单元的容纳腔；
加热机构，设置在所述测试腔室内，所述加热机构与所述控制器电连接，用于对所述容纳腔进行加热；
其中，所述多参量感知单元包括微水感知单元、压力感知单元、温度感知单元，所述阀杆被配置为在进行校准时在外力驱动下朝向所述多参量感知单元移动，使得所述容纳腔与所述多参量感知单元所在的侧壁形成密封腔室停止，所述加热机构处于形成的密封腔室内，用于与所述控制器配合进行所述微水感知单元的零点校准。
2.根据权利要求1所述的气体状态多参量检测传感器，其特征在于，所述测试腔室内还具有容纳室，所述容纳室与所述多参量感知单元相对设置，所述阀杆在初始位置时，所述容纳腔处于所述容纳室内。
3.根据权利要求2所述的气体状态多参量检测传感器，其特征在于，所述容纳腔的顶部还具有密封圈。
4.根据权利要求3所述的气体状态多参量检测传感器，其特征在于，所述测试腔室上还具有环形凸起，所述环形凸起将所述多参量感知单元所在区域包围，并且与所述密封圈相对设置。
5.根据权利要求1所述的气体状态多参量检测传感器，其特征在于，所述测试件中所述测试腔室与所述本体接口相对的一端还具有补气接口。
6.根据权利要求5所述的气体状态多参量检测传感器，其特征在于，所述补气接口上具有自封阀。
7.根据权利要求1所述的气体状态多参量检测传感器，其特征在于，所述加热机构为加热丝，所述加热丝设置在所述多参量感知单元的周侧。
8.根据权利要求2所述的气体状态多参量检测传感器，其特征在于，所述加热机构包括固定在所述多参量感知单元上的感应线圈以及固定在所述容纳腔内的感应加热件，所述感应加热件与所述感应线圈相对设置，当所述阀杆朝向所述多参量感知单元移动行程密封腔室时，所述感应加热件插入至所述感应线圈内。
9.根据权利要求8所述的气体状态多参量检测传感器，其特征在于，所述容纳室的侧壁上还通过铰簧转动连接有自封门板，所述自封门板用于所述容纳腔的自封闭，当所述阀杆朝向所述多参量感知单元移动时，所述自封门板被顶开，当所述阀杆缩回时，所述自封门板关闭。
10.一种根据权利要求1至9中任一项权利要求所述的气体状态多参量检测传感器的微水零点校准方法，其特征在于，包括以下步骤：
在初始状态下，对容纳腔内的水汽分压进行标定，并拟合出不同温度下所述容纳腔内的水汽分压函数Eh（T）；
在每次使用气体状态多参量检测传感器时，利用所述水汽分压函数Eh（T）进行微水感知单元的零点校准，所述零点校准包括以下步骤：
驱动阀杆朝向多参量感知单元移动，使得容纳腔与测试腔室内壁贴合形成密封腔室；
获取当前密封腔室内的温度值T1和湿度值RH1，根据水汽分压函数水汽分压函数Eh（T）计算处当前温度下的水汽分压Eh1，利用Goff-Gratch饱和水汽压方程或Wexler-Greenspan水汽压方程计算出当前温度下的饱和水汽压Ew1，根据公式（1）和公式（2）计算微水感知单元当前温度下的零点值RHzero1，其中：
式(1)中RHSensor是MEMS微水感知单元测量值，RHzero是微水感知单元零点值，RHw是相对湿度公式计算值；
式(2)中Eh是水汽气压，Ew是同温度下饱和水汽压；
启动加热机构，加热密封腔室内气体的温度T2至T2=（T1+10）℃，停止加热机构的加热，读取密封腔室内此时的湿度值RH2，利用Goff-Gratch饱和水汽压方程或Wexler-Greenspan水汽压方程计算出当前温度下的饱和水汽压Ew1，根据所述公式（1）和公式（2）计算微水感知单元当前温度下的零点值RHzero2；
继续启动加热机构，加热密封腔室内气体的温度T3至T3=（T2+10）℃，停止加热机构的加热，读取密封腔室内此时的湿度值RH3，利用Goff-Gratch饱和水汽压方程或Wexler-Greenspan水汽压方程计算出当前温度下的饱和水汽压Ew1，根据所述公式（1）和公式（2）计算微水感知单元当前温度下的零点值RHzero3；
比较RHzero1、RHzero2和RHzero3，选择其中最小值作为当前微水感知单元的零点值。
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