CN116984194A - 一种晶圆涂胶单元风道结构 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种晶圆涂胶单元风道结构，所述晶圆涂胶单元风道结构包括：上层腔盖、内层腔盖、底座、整流罩和抽风通道；所述上层腔盖连接所述底座，所述内层腔盖位于所述上层腔盖和所述底座之间；其中，所述底座内设有周向环绕的导流腔体；所述内层腔盖具有导流侧板，所述导流侧板朝向所述导流腔体；所述整流罩环绕于所述导流侧板的内侧，所述整流罩远离所述导流腔体的一侧形成整流腔体，所述整流腔体连通所述导流腔体；所述抽风通道连通所述整流腔体。本发明解决了抽风口处负压较大，不均匀的风速导致晶圆上方的气流偏向抽风管所在方向，影响湿法涂胶工艺的问题。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆技术领域，具体而言，涉及一种晶圆涂胶单元风道结构。
背景技术
目前，在晶圆的涂胶工艺中，晶圆先进行涂布、刻蚀，在进行清洗和烘干工序。在现有技术中，一般采用抽风设备抽走涂胶腔体内的水汽。其中，抽风口分布在圆形腔盖的两侧，抽风所产生的负压导致抽风口处负压较大，其他地方负压较小。从而使得所有气流都往抽风口处汇聚，使风速分布呈现纺锤型，不均匀的风速导致晶圆上方的气流偏向抽风管所在方向，从而影响湿法涂胶工艺过程中晶圆的干燥程度，影响光刻胶附着厚度，最终造成光刻过程的线宽未能达到指定目标。
发明内容
本发明解决的问题是抽风口处负压较大，不均匀的风速导致晶圆上方的气流偏向抽风管所在方向，影响湿法涂胶工艺。
为解决上述问题，本发明提供一种晶圆涂胶单元风道结构，所述晶圆涂胶单元风道结构包括：上层腔盖、内层腔盖、底座、整流罩和抽风通道；所述上层腔盖连接所述底座，所述内层腔盖位于所述上层腔盖和所述底座之间；其中，所述底座内设有周向环绕的导流腔体；所述内层腔盖具有导流侧板，所述导流侧板朝向所述导流腔体；所述整流罩环绕于所述导流侧板的内侧，所述整流罩远离所述导流腔体的一侧形成整流腔体，所述整流腔体连通所述导流腔体；所述抽风通道连通所述整流腔体。
采用该技术方案后所达到的技术效果：晶圆涂胶单元进行抽风时，其内侧晶圆腔体的气流先从上层腔盖和内层腔盖之间流入，经过导流腔体再进入整流腔体，最后从抽风通道排出；由于整流腔体是呈环形的，抽风通道优先抽取整流腔体内的气体，使整流腔体内的气体沿周向流动，导流腔体内的气体沿径向均匀流入整流腔体的周侧，最终使晶圆腔体的气流也能够沿径向均匀向四周排开；因此无论抽风通道如何设置，都不会影响晶圆腔体气流流向的均匀性，不会在晶圆腔体周围产生局部负压较大的情况，使得晶圆的干燥程度和光刻胶附着厚度更加均匀。
进一步的，所述内层腔盖还包括导流盖板，所述导流盖板连接所述导流侧板上方，所述导流盖板靠近所述导流侧板的一端低于其远离所述导流侧板的一端；其中，所述整流腔体位于所述导流盖板和所述整流罩之间。
采用该技术方案后所达到的技术效果：导流盖板上方形成锥形坡面，引导气流流入导流腔体内；导流盖板下方也为锥形坡面，形成空腔，即整流腔体，并且导流盖板下方也能够引导在整流腔体内汇聚、整流，而非直接排出，避免了导流腔体内气流不均匀而影响晶圆腔体的气流。
进一步的，所述内层腔盖还包括：安装槽，所述安装槽设于所述导流盖板朝向所述底座的一侧；所述底座设有内侧板，所述内侧板环绕于所述导流腔体内，所述内侧板顶端与所述安装槽插接配合，用于支撑所述内层腔盖。
采用该技术方案后所达到的技术效果：内层腔盖通过安装槽支撑于内侧板，使得内层腔盖安装更稳定；同时，安装槽与内侧板顶端的配合实现了内层腔盖的径向定位，此时内侧板内侧和外侧的通道宽度处处相等，周向各处气流也能够均匀流过导流腔体。
进一步的，所述内层腔盖还包括：限位板，所述限位板位于所述安装槽靠近所述导流侧板的一侧，所述整流腔体位于所述限位板与所述导流侧板之间，所述限位板靠近整流腔体的一侧具有导流面，所述导流面用于将气流导向所述整流罩。
采用该技术方案后所达到的技术效果：限位板的内侧用于对底座的内侧板进行限位，限位板的外侧通过导流面引导气流流向整流罩，从而在整流罩上沿周向流动，最后从抽风通道抽出；导流面避免导流腔体的气流直吹内侧板。
进一步的，所述整流腔体和所述导流腔体通过侧向通道连通，所述侧向通道位于所述整流罩和所述导流侧板之间。
采用该技术方案后所达到的技术效果：在整流罩和导流侧板之间，侧向通道也呈环形，因此导流腔体中各处气流均可以从侧向通道均匀流入整流腔体。
进一步的，所述整流罩包括整流罩本体、第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板位于所述整流罩本体靠近所述整流腔体的一侧，其中，所述第一挡板连接所述整流罩本体在其径向上靠近所述侧向通道的一侧，所述第二挡板位于连接所述整流罩本体在其径向上远离所述侧向通道的一侧，所述第一挡板和所述第二挡板之间形成整流槽。
采用该技术方案后所达到的技术效果：进入整流腔体的气流经过内层腔盖的内壁以及导流面的引导下，能够吹向整流槽，气流在整流槽内实现缓冲；并且，第一挡板和第二挡板引导气流沿周向流动，从而形成更好的整流效果。
进一步的，所述整流罩还包括至少一个固定筋，所述固定筋沿所述整流罩本体的径向设置，所述固定筋连接所述第一挡板和所述第二挡板。
采用该技术方案后所达到的技术效果：固定筋用于提高第一挡板和第二挡板的强度；第一挡板不容易形变，因此侧向通道的宽度不会改变；第二挡板能够更好地与内侧板套接配合。
进一步的，所述整流罩具有抽风开口；所述抽风通道支撑于所述整流罩下方，并且所述抽风通道的内腔通过所述抽风开口连通所述整流腔体。
采用该技术方案后所达到的技术效果：导流面可以将气流向下引导，从而进入抽风通道；而未与抽风开口直接相对的气流在整流槽内周向流动后也可以直接从抽风开口排出；抽风通道实现了排风，又实现对整流罩的支撑，使得整流罩周侧无需再设置固定的结构，节省了空间，简化结构。
进一步的，所述整流罩包括抽风接头，所述抽风开口位于所述抽风接头内，所述抽风接头向远离所述整流腔体的方向延伸；其中，所述抽风接头与所述抽风通道插接配合。
采用该技术方案后所达到的技术效果：抽风接头与抽风通道插接，实现了整流罩或抽风通道的拆卸更换，同时实现了整流罩的定位，使得整流罩可以和底座保持同心设置，便于整流罩的安装，也保证了侧向通道的宽度处处相等。
进一步的，所述晶圆涂胶单元风道结构还包括：排废口，所述排废口连通所述导流腔体，所述排废口低于所述抽风通道的顶端。
采用该技术方案后所达到的技术效果：排废口用于排水和排放其他废弃物颗粒，废弃物从上层腔盖和内层腔盖之间流入，进入导流腔体时可以直接从排废口排出，不会进入抽风通道，实现气液分离。
综上所述，本申请上述各个技术方案可以具有如下一个或多个优点或有益效果：i)整流腔体是呈环形的，抽风通道优先抽取整流腔体内的气体，使整流腔体内的气体沿周向流动，导流腔体内的气体沿径向均匀流入整流腔体的周侧，最终使晶圆腔体的气流也能够沿径向均匀向四周排开；因此无论抽风通道如何设置，都不会影响晶圆腔体气流流向的均匀性，不会在晶圆腔体周围产生局部负压较大的情况，使得晶圆的干燥程度和光刻胶附着厚度更加均匀；ii)导流面引导气流流向整流罩，从而在整流罩上沿周向流动，最后从抽风通道抽出；iii)抽风接头与抽风通道插接，实现了整流罩或抽风通道的拆卸更换，同时实现了整流罩的定位，使得整流罩可以和底座保持同心设置，便于整流罩的安装，也保证了侧向通道的宽度处处相等。
附图说明
图1为发明提供的一种晶圆涂胶单元风道结构的结构示意图；
图2为图1晶圆涂胶单元风道结构另一视角的结构示意图；
图3为图1中A-A方向的剖视图；
图4为图3中I区域的局部放大图；
图5为图1中B-B方向的剖视图；
图6为图5中II区域的局部放大图；
图7为图3中整流罩的结构示意图。
附图标记说明：
100-晶圆涂胶单元风道结构；101-晶圆腔体；110-上层腔盖；120-内层腔盖；121-导流侧板；122-导流盖板；123-安装槽；124-限位板；124a-导流面；130-底座；131-导流腔体；132-内侧板；140-整流罩；141-整流腔体；142-第一挡板；143-第二挡板；144-整流槽；145-固定筋；146-抽风接头；150-抽风通道；160-侧向通道；170-排废口。
具体实施方式
本发明的目的在于提供一种晶圆涂胶单元风道结构，用于实现晶圆腔体气流向周侧均匀流动的效果，不会产生局部负压较大的问题。
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。
参见图1-图7，本发明提供一种晶圆涂胶单元风道结构100，晶圆涂胶单元风道结构100包括：上层腔盖110、内层腔盖120、底座130、整流罩140和抽风通道150；上层腔盖110连接底座130，内层腔盖120位于上层腔盖110和底座130之间；其中，底座130内设有周向环绕的导流腔体131；内层腔盖120具有导流侧板121，导流侧板121朝向导流腔体131；整流罩140环绕于导流侧板121的内侧，整流罩140远离导流腔体131的一侧形成整流腔体141，整流腔体141连通导流腔体131；抽风通道150连通整流腔体141。
需要说明的是，晶圆涂胶单元进行抽风时，其内侧晶圆腔体101的气流先从上层腔盖110和内层腔盖120之间流入，经过导流腔体131再进入整流腔体141，最后从抽风通道150排出；由于整流腔体141是呈环形的，抽风通道150优先抽取整流腔体141内的气体，使整流腔体141内的气体沿周向流动，导流腔体131内的气体沿径向均匀流入整流腔体141的周侧，最终使晶圆腔体101的气流也能够沿径向均匀向四周排开；因此无论抽风通道150如何设置，都不会影响晶圆腔体101气流流向的均匀性，不会在晶圆腔体101周围产生局部负压较大的情况，使得晶圆的干燥程度和光刻胶附着厚度更加均匀。
在一个具体的实施例中，内层腔盖120还包括导流盖板122，导流盖板122连接导流侧板121上方，导流盖板122靠近导流侧板121的一端低于其远离导流侧板121的一端；其中，整流腔体141位于导流盖板122和整流罩140之间。
需要说明的是，导流盖板122上方形成锥形坡面，引导气流流入导流腔体131内；导流盖板122下方也为锥形坡面，形成空腔，即整流腔体141，并且导流盖板122下方也能够引导在整流腔体141内汇聚、整流，而非直接排出，避免了导流腔体131内气流不均匀而影响晶圆腔体101的气流。
优选的，上层腔盖110的内壁也为锥形坡面，因此上层腔盖110和内层腔盖120均能够对晶圆腔体101的气流和液体实现引导作用。
优选的，底座130具有周侧向上延伸的底座130侧板，上层腔盖110具有周侧向下延伸的上层侧板，其中底座130侧板和上层侧板套接配合，实现上层腔盖110的支撑和固定。举例来说，底座130侧板和上层侧板可以通过螺纹配合，例如上层侧板具有外螺纹，与底座130侧板的内螺纹配合；底座130侧板和上层侧板可以通过可形变的卡扣进行锁定配合，此处不做限定。
在一个具体的实施例中，内层腔盖120还包括：安装槽123，安装槽123设于导流盖板122朝向底座130的一侧；底座130设有内侧板132，内侧板132环绕于导流腔体131内，内侧板132顶端与安装槽123插接配合，用于支撑内层腔盖120。
需要说明的是，内层腔盖120通过安装槽123支撑于内侧板132，使得内层腔盖120安装更稳定；同时，安装槽123与内侧板132顶端的配合实现了内层腔盖120的径向定位，此时内侧板132内侧和外侧的通道宽度处处相等，周向各处气流也能够均匀流过导流腔体131。
优选的，内侧板132顶部向晶圆腔体101弯折，从而在顶部形成面积更大的水平支撑面，安装槽123设在该水平支撑面上，实现锁定。
在一个具体的实施例中，内层腔盖120还包括：限位板124，限位板124位于安装槽123靠近导流侧板121的一侧，整流腔体141位于限位板124与导流侧板121之间，限位板124靠近整流腔体141的一侧具有导流面124a，导流面124a用于将气流导向整流罩140。
需要说明的是，限位板124的内侧用于对底座130的内侧板132进行限位，限位板124的外侧通过导流面124a引导气流流向整流罩140，从而在整流罩140上沿周向流动，最后从抽风通道150抽出；导流面124a避免导流腔体131的气流直吹内侧板132。
优选的，导流侧板121靠近整流罩140的一侧、导流盖板122靠近整流罩140的一侧，以及限位板124的导流面124a，均采用圆滑的曲面过渡，实现了气流的顺畅流动提高均匀性。
在一个具体的实施例中，整流腔体141和导流腔体131通过侧向通道160连通，侧向通道160位于整流罩140和导流侧板121之间。
需要说明的是，在整流罩140和导流侧板121之间，侧向通道160也呈环形，因此导流腔体131中各处气流均可以从侧向通道160均匀流入整流腔体141。
在一个具体的实施例中，整流罩140包括整流罩本体、第一挡板142和第二挡板143，第一挡板142和第二挡板143位于整流罩本体靠近整流腔体141的一侧，其中，第一挡板142连接整流罩本体在其径向上靠近侧向通道160的一侧，第二挡板143位于连接整流罩本体在其径向上远离侧向通道160的一侧，第一挡板142和第二挡板143之间形成整流槽144。
需要说明的是，进入整流腔体141的气流经过内层腔盖120的内壁以及导流面124a的引导下，能够吹向整流槽144，气流在整流槽144内实现缓冲；并且，第一挡板142和第二挡板143引导气流沿周向流动，从而形成更好的整流效果。
在一个具体的实施例中，整流罩140还包括至少一个固定筋145，固定筋145沿整流罩本体的径向设置，固定筋145连接第一挡板142和第二挡板143。
需要说明的是，固定筋145用于提高第一挡板142和第二挡板143的强度；第一挡板142不容易形变，因此侧向通道160的宽度不会改变；第二挡板143能够更好地与内侧板132套接配合。
优选的，第一挡板142的竖直尺寸小于第二挡板143的竖直尺寸，一方面，第一挡板142与第二挡板143形成的坡形结构与导流盖板122的倾斜方向相同，使进入整流腔体141的气流更加通畅。
在一个具体的实施例中，整流罩140具有抽风开口；抽风通道150支撑于整流罩140下方，并且抽风通道150的内腔通过抽风开口连通整流腔体141。
需要说明的是，导流面124a可以将气流向下引导，从而进入抽风通道150；而未与抽风开口直接相对的气流在整流槽144内周向流动后也可以直接从抽风开口排出；抽风通道150实现了排风，又实现对整流罩140的支撑，使得整流罩140周侧无需再设置固定的结构，节省了空间，简化结构。
在一个具体的实施例中，整流罩140包括抽风接头146，抽风开口位于抽风接头146内，抽风接头146向远离整流腔体141的方向延伸；其中，抽风接头146与抽风通道150插接配合。
需要说明的是，抽风接头146与抽风通道150插接，实现了整流罩140或抽风通道150的拆卸更换，同时实现了整流罩140的定位，使得整流罩140可以和底座130保持同心设置，便于整流罩140的安装，也保证了侧向通道160的宽度处处相等。
其中，抽风通道150的数量例如为两个，位于整流罩140直径方向相对的两端，同样的，抽风接头146的数量也为两个，此处不做限定。
在一个具体的实施例中，晶圆涂胶单元风道结构100还包括：排废口170，排废口170连通导流腔体131，排废口170低于抽风通道150的顶端。
需要说明的是，排废口170用于排水和排放其他废弃物颗粒，废弃物从上层腔盖110和内层腔盖120之间流入，进入导流腔体131时可以直接从排废口170排出，不会进入抽风通道150，实现气液分离。
虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
Claims (10)
1.一种晶圆涂胶单元风道结构，其特征在于，所述晶圆涂胶单元风道结构包括：上层腔盖、内层腔盖、底座、整流罩和抽风通道；
所述上层腔盖连接所述底座，所述内层腔盖位于所述上层腔盖和所述底座之间；
其中，所述底座内设有周向环绕的导流腔体；所述内层腔盖具有导流侧板，所述导流侧板朝向所述导流腔体；所述整流罩环绕于所述导流侧板的内侧，所述整流罩远离所述导流腔体的一侧形成整流腔体，所述整流腔体连通所述导流腔体；所述抽风通道连通所述整流腔体。
2.根据权利要求1所述的晶圆涂胶单元风道结构，其特征在于，所述内层腔盖还包括导流盖板，所述导流盖板连接所述导流侧板上方，所述导流盖板靠近所述导流侧板的一端低于其远离所述导流侧板的一端；
其中，所述整流腔体位于所述导流盖板和所述整流罩之间。
3.根据权利要求2所述的晶圆涂胶单元风道结构，其特征在于，所述内层腔盖还包括：安装槽，所述安装槽设于所述导流盖板朝向所述底座的一侧；
所述底座设有内侧板，所述内侧板环绕于所述导流腔体内，所述内侧板顶端与所述安装槽插接配合，用于支撑所述内层腔盖。
4.根据权利要求3所述的晶圆涂胶单元风道结构，其特征在于，所述内层腔盖还包括：限位板，所述限位板位于所述安装槽靠近所述导流侧板的一侧，所述整流腔体位于所述限位板与所述导流侧板之间，所述限位板靠近整流腔体的一侧具有导流面，所述导流面用于将气流导向所述整流罩。
5.根据权利要求1所述的晶圆涂胶单元风道结构，其特征在于，所述整流腔体和所述导流腔体通过侧向通道连通，所述侧向通道位于所述整流罩和所述导流侧板之间。
6.根据权利要求5所述的晶圆涂胶单元风道结构，其特征在于，所述整流罩包括整流罩本体、第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板位于所述整流罩本体靠近所述整流腔体的一侧，其中，所述第一挡板连接所述整流罩本体在其径向上靠近所述侧向通道的一侧，所述第二挡板位于连接所述整流罩本体在其径向上远离所述侧向通道的一侧，所述第一挡板和所述第二挡板之间形成整流槽。
7.根据权利要求6所述的晶圆涂胶单元风道结构，其特征在于，所述整流罩还包括至少一个固定筋，所述固定筋沿所述整流罩本体的径向设置，所述固定筋连接所述第一挡板和所述第二挡板。
8.根据权利要求1所述的晶圆涂胶单元风道结构，其特征在于，所述整流罩具有抽风开口；所述抽风通道支撑于所述整流罩下方，并且所述抽风通道的内腔通过所述抽风开口连通所述整流腔体。
9.根据权利要求8所述的晶圆涂胶单元风道结构，其特征在于，所述整流罩包括抽风接头，所述抽风开口位于所述抽风接头内，所述抽风接头向远离所述整流腔体的方向延伸；
其中，所述抽风接头与所述抽风通道插接配合。
10.根据权利要求1所述的晶圆涂胶单元风道结构，其特征在于，所述晶圆涂胶单元风道结构还包括：
排废口，所述排废口连通所述导流腔体，所述排废口低于所述抽风通道的顶端。
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