CN116926657B - 热场机构及具有其的单晶炉 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种热场机构及具有其的单晶炉，其中，热场机构，包括：第一加热组件和第二加热组件；第一加热组件与第二加热组件串联设置，第二加热组件的第二加热结构用于对坩埚的底部进行加热，多个第一加热结构相互连接并环绕设置于第二加热组件的周外侧，以对坩埚的周侧进行加热。通过第一加热组件和第二加热组件的设置实现了对坩埚底部以及周侧的同时加热，有效利用了坩埚所处环境的空间设置多个加热组件，以提供更多的加热能量，达到加速熔料的效果，进而缩短熔料所需要的时间，提高单晶棒的生产效率。本申请有效地解决了现有技术中的热场加热效果较差，导致熔料工时增加的问题。

Description

热场机构及具有其的单晶炉

技术领域

本申请涉及热场结构的技术领域，尤其涉及一种热场机构及具有其的单晶炉。

背景技术

目前单晶棒的制造采用较多的是RCZ(Recharged Czochralski，复投拉晶技术)直拉法，配合拉晶过程则需要时刻控制以及保证原料的熔融状态。目前的热场通常是采用侧面或者底面的单方向热源对坩埚中的原材料进行加热处理。

随着对单晶棒的尺寸要求逐步增大，需要投入的原材料也逐步增多，热场加热效果不够、加热区域集中，并且对于加热区域内的温度可控制范围也相对较小，对于熔料以及拉晶的配合度相对较低，直接导致熔料阶段工时增加，造成的非等径工时增加，成为制约硅棒单位产量的关键因素。

发明内容

本申请提供了一种热场机构及具有其的单晶炉，以解决现有技术中的热场加热效果较差，导致熔料工时增加的问题。

第一方面，本申请提供了一种热场机构，应用于单晶炉中，包括：第一加热组件和第二加热组件，所述第一加热组件包括并联设置的多个第一加热结构；所述第一加热组件与所述第二加热组件串联设置，所述第二加热组件包括第二加热结构，所述第二加热结构用于对坩埚的底部进行加热，多个所述第一加热结构相互连接并环绕设置于所述第二加热组件的周外侧，以对所述坩埚的周侧进行加热。

根据本申请一些实施例，所述第一加热结构为弧形片体，所述弧形片体的两端沿远离弧形片体的轴线方向的一侧设置有安装部。

根据本申请一些实施例，所述弧形片体两端与其轴线对应的圆心夹角为α，45°≤α≤90°。

根据本申请一些实施例，所述弧形片体上设置有多个分隔槽，相邻所述分隔槽的开口分别设置于所述弧形片体相对的两侧。

根据本申请一些实施例，所述第一加热组件还包括第三加热结构，所述第三加热结构连接在两个所述第一加热结构之间，所述第三加热结构与所述第二加热结构处于同一平面，以对所述坩埚的底部进行加热。

根据本申请一些实施例，所述热场机构还包括连接件，所述第一加热组件设置有两条导通线路，所述导通线路包括两个所述第一加热结构和所述第三加热结构，所述导通线路的一端与所述单晶炉的第一电极电性连接，所述导通线路的另一端与所述连接件电性连接，所述连接件的另一端与所述第二加热结构电性连接。

根据本申请一些实施例，所述第二加热结构包括并联设置的第一支路和第二支路，所述第一支路与所述第二支路对称设置；以及/或者，

所述第二加热结构包括并联设置的第一支路和第二支路，所述第一支路与所述第二支路中心对称设置。

根据本申请一些实施例，所述第二加热结构为一体成型结构，所述第一支路远离所述连接件的端点，以及所述第二支路远离所述连接件的端点均与所述单晶炉的第二电极电性连接。

根据本申请一些实施例，所述第二加热结构设置有多个转弯区，所述第三加热结构与所述转弯区相适配。

第二方面，本申请提供了一种单晶炉，所述单晶炉包括热场机构、第一电极和第二电极，所述热场机构为上述的热场机构，所述热场机构通过所述第一电极和所述第二电极通电加热。

本申请提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：

本申请提供的一种热场机构及具有其的单晶炉，其中，热场机构，包括：第一加热组件和第二加热组件，第一加热组件包括并联设置的多个第一加热结构；第一加热组件与第二加热组件串联设置，第二加热组件包括并联设置的多个第二加热结构，第二加热结构用于对坩埚的底部进行加热，多个第一加热结构相互连接并环绕设置于第二加热组件的周外侧，以对坩埚的周侧进行加热。通过第一加热组件和第二加热组件的设置实现了对坩埚底部以及周侧的同时加热，有效利用了坩埚所处环境的空间设置多个加热组件，以提供更多的加热能量，达到加速熔料的效果，进而缩短熔料所需要的时间，提高单晶棒的生产效率。本申请有效地解决了现有技术中的热场加热效果较差，导致熔料工时增加的问题。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。

图1示出了本申请实施例提供的一种热场机构的立体结构示意图；

图2示出了图1热场机构的俯视示意图；

图3示出了图1热场机构的第一加热结构的立体结构示意图；

图4示出了图1热场机构的第三加热结构的立体结构示意图；

图5示出了图1热场机构的第二加热结构的立体结构示意图；

图6示出了图1热场机构的连接件的立体结构示意图；

图7示出了图1热场机构的连接座的立体结构示意图；

其中，上述附图包含如下的附图标记：

10、第一加热组件；11、第一加热结构；111、安装部；112、分隔槽；12、第三加热结构；121、连接段；122、弧形段；20、第二加热组件；21、第二加热结构；211、第一支路；212、第二支路；213、转弯区；30、连接件；31、弧形板体；32、连接通孔；40、第一电极；50、第二电极；60、连接座；61、安装板体；62、连接板体；63、连接部；71、第一备用电极；72、第二备用电极。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本发明。此外，本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。

为了便于描述，可以在文中使用空间相对关系术语来描述如图中示出的一个元件或者特征相对于另一元件或者特征的相对位置关系或运动情况，这些相对关系术语例如为“内部”、“外部”、“内侧”、“外侧”、“下面”、“下方”、“上面”、“上方”、“前”、“后”等。这种空间相对关系术语意于包括除图中描绘的方位之外的在使用或者操作中装置的不同方位。例如，如果在图中的装置发生了位置翻转或者姿态变化或者运动状态变化，那么这些方向性的指示也相应的随着变化，例如：描述为“在其它元件或者特征下面”或者“在其它元件或者特征下方”的元件将随后定向为“在其它元件或者特征上面”或者“在其它元件或者特征上方”。因此，示例术语“在……下方”可以包括在上和在下的方位。装置可以另外定向(旋转90度或者在其它方向)并且文中使用的空间相对关系描述符相应地进行解释。

如图1和图2所示，第一方面，本申请实施例提供了一种热场机构，应用于单晶炉中，包括：第一加热组件10和第二加热组件20，第一加热组件10包括并联设置的多个第一加热结构11；第一加热组件10与第二加热组件20串联设置，第二加热组件20包括第二加热结构21，第二加热结构21用于对坩埚的底部进行加热，多个第一加热结构11相互连接并环绕设置于第二加热组件20的周外侧，以对坩埚的周侧进行加热。通过第一加热组件10和第二加热组件20的设置实现了对坩埚底部以及周侧的同时加热，有效利用了坩埚所处环境的空间设置多个加热组件，以提供更多的加热能量，达到加速熔料的效果，进而缩短熔料所需要的时间，提高单晶棒的生产效率。本申请有效地解决了现有技术中的热场加热效果较差，导致熔料工时增加的问题。

需要说明的是，并联设置的多个第一加热结构11一方面能够增加第一加热组件10的加热功率，提高加热效率，另一方面也能够有效地降低多个第一加热结构11的整体电阻，进而使得第一加热组件10和第二加热组件20之间的电压分配更加均匀，避免了直接串联导致的功率降低加热效果提升不明显的情况。并且这样的设置降低了第一加热结构11的结构复杂程度，便与加工的同时，还能够根据发热量的需求进行第一加热结构11的电阻值控制，以便于更好地控制热场机构的热能输出。

如图1至图3所示，在本实施例的技术方案中，第一加热结构11为弧形片体，弧形片体的两端沿远离弧形片体的轴线方向的一侧设置有安装部111。片体的结构设置能够增加热能的辐射面积，以便于配合坩埚的杯状的侧部环境，弧形的片体更进一步地配合杯状坩埚的周外侧形状，并且可以根据坩埚的大小对弧度进行一定的设置，使得其热能的辐射更加均匀。进一步地，片状的第一加热结构11还可以根据其横截面积对第一加热结构11的电阻值进行设置，即通过控制第一加热结构11的厚度以及整体的高度进行设置，进而能够有效地调节第一加热结构11的电阻值，便于精确控制热场机构的热能输出。

安装部111的设置用于第一加热结构11的固定安装，具体在安装部111的位置形成台阶，并在安装部111上形成多个装配孔，通过台阶与连接座60上安装板体61的配合，形成相互的限位，再通过装配孔与安装板体61上的连接部63的配合，使用紧固件进行固定连接形成第一加热结构11安装固定，这样的设置装配方式简单，并且可以实现可拆卸式的连接，有利于进行热场机构的部件调整。

需要说明的是，在本实施例的技术方案中，连接座60设置有安装板体61和连接板体62，两者相互垂直地设置，安装板体61上至少两个连接部63，通过两个连接部63可以连接两个第一加热结构11，即连接座60可以作为电性连接的载体，通过连接座60进行电流的分流，实现两个第一加热结构11的并联设置，这样的设置结构更加紧凑便于装配，同时还具有良好的互换性能够适配热场机构的更多的部件。

在本实施例的技术方案中(图中未示出)，弧形片体两端与其轴线对应的圆心夹角为α，45°≤α≤90°。即沿垂直于弧形片体轴线的平面上，弧形片体的投影为弧线，弧线对应的圆心夹角为α，45°≤α≤90°，这样的设置使得两个至四个弧形片体能够围成一个完整的圆弧，根据实际的坩埚放置手段，可以调整相邻弧形片体之间的弧度差值，其配合结构的设置更好，也能够根据需求对热场内的温度分布进行调整，使得熔料或者拉晶时的温度分布达到最佳。在一个具体的实施例中，弧形片体两端与其轴线对应的圆心夹角为α＝60°，这样设置三个弧形片体即可完成坩埚周侧的环绕布置，结构简单，便于操作。

如图3所示，在本实施例的技术方案中，弧形片体上设置有多个分隔槽112，相邻分隔槽112的开口分别设置于弧形片体相对的两侧。分隔槽112的设置用于将整块的弧形片体分割成具有一定电流流向的结构，这样能够增加弧形片体有效区域的长度，降低弧形片体的线路的宽度，进而降低弧形片体上线路的电阻，这样的设置配合弧形板体整体长度的设置，能够对其电阻值进行有效地调节，并且这样的设置结构简单，也利于加工，增加了调节电阻值的灵活性。需要说明的是，为便于进行电阻的调整，还可以在弧形片体的分隔槽112上进行导电材料的嵌入设置，当电阻值过大时，可以采取这样的方式进行电阻值的降低，并且这样改进后，后续需要调小电阻值时还可以进行切割，使得弧形片体恢复成原状。

如图1、图2和图4所示，在本实施例的技术方案中，第一加热组件10还包括第三加热结构12，第三加热结构12连接在两个第一加热结构11之间，第三加热结构12与第二加热结构21处于同一平面，以对坩埚的底部进行加热。第三加热结构12的设置能够配合第一加热结构11进行热场环境的调配，以便于空气等介质的进入以及对热场内温度的调整。

需要说明的是，第三加热结构12包括连接段121和弧形段122，弧形段122位弧形的板体，配合第二加热结构21的设置于同一平面，这样的设置在两个连接段121之间形成一个可供夹持的空间，可用于夹持坩埚的夹具等通过，以便于坩埚的夹持。弧形段122的平面设置可配合第二加热结构21进行热能补充，这样能够减少第二加热结构21的发热量，同时与底部的第一电极40以及第二电极50区隔离开，在保证了底部发热量的同时还能够避免电极收到热量集中所带来的影响，具有一定的保护作用。连接段121的结构类似于安装板体61，能够与安装部111相配合，并且上面设置有对应的装配通孔，以便于进行紧固连接。需要说明的是，连接段121可以是板体，与弧形段122呈90°角垂直设置，这样能够配合弧形片体的设置，更利于装配，以及围绕坩埚的成型。

如图1、图2和图7所示，在本实施例的技术方案中，热场机构还包括连接件30，第一加热组件10设置有两条导通线路，导通线路包括两个第一加热结构11和第三加热结构12，导通线路的一端与单晶炉的第一电极40电性连接，导通线路的另一端与连接件30电性连接，连接件30的另一端与第二加热结构21电性连接。设置两条导通线路，即两条导通线路并联设置，这样能够降低第一加热组件10的整体电阻值，增加发热量提高熔料效率，同时能够根据不同的需求将坩埚不同位置的周侧环绕起来，对于弧形片体的制备与安装也起到简化的效果。连接件30的设置用于将第一加热组件10与第二加热组件20串联起来，其两端分别与第一加热组件10与第二加热组件20电性连接，进而能够更好地配合。

具体地，如图6所示，连接件30包括弧形板体31和设置在弧形板体31两侧的连接通孔32，通过连接通孔32可分别与第一加热组件10与第二加热组件20固定连接，连接通孔32远离第一加热组件10或第二加热组件20的一侧与第一备用电极71和第二备用电极72固定连接，这样的设置用于固定架设热场机构，提供稳定的加热环境。弧形板体31的设置可以与弧形片体同轴线，这样能够保持弧形板体31的状态稳定，并且能够精准地定位连接座60与第二加热结构21之间的关系，进而实现第二加热结构21的定位。连接件30具体可以是石墨材料。

如图1、图2和图5所示，在本实施例的技术方案中，第二加热结构21包括第一支路211和第二支路212，第一支路211与第二支路212对称设置；这样的设置使得第一支路211和第二支路212的长度相等，即第一支路211和第二支路212的电阻相等，更利于控制，同时对称的设置在进行装配时也能够保证一定的平衡性，进而增加装配的稳定性，以确保热场的实际应用中不会出现温度不均匀等影响拉晶的问题。

进一步地，在一个可选择的是实施例中，第一支路211与第二支路212满足中心对称设置，由于环绕设置的第一加热组件10，使得热场机构整体呈回转体结构设置，当第一支路211与第二支路212满足中心对称时，会使得热场机构的整体性更好，平衡性和稳定性更强，并且对于气体通过后产生的气流等影响因素也具有一定的导向作用，进而能够保持热场内的温度以及气体成分控制。

如图5所示，在本实施例的技术方案中，第二加热结构21为一体成型结构，第一支路211远离连接件30的端点，以及第二支路212远离连接件30的端点均与单晶炉的第二电极50电性连接。一体成型的第二加热结构21的结构稳定性更强，有利于进行坩埚的承载，并且板体状的设置也有利于热场机构的放置。

如图5所示，在本实施例的技术方案中，第二加热结构21设置有多个转弯区213，第三加热结构12与转弯区213相适配。多个转弯区213的设置能够提高人能辐射的面积，提高热场的加热效果，并且能够根据不同的位置进行避让设置，灵活性更高，并且也有利于进行电阻的调整。需要说明的是，转弯区213如图5所示，形成一定的回绕区域，以增加第二加热结构21的长度和辐射面积，并且围绕的中心区域设置有较大的空隙，这样的设置有利于布置其他部件或者采用其他部件进行坩埚的承载。

当前传统热场采用的热场加热方式，受限于加热效果和加热区域有限，在RCZ单晶制造阶段，熔料工时过长造成的非等径工时上升，成为制约硅棒单位产量的关键因素。

现随热场规格增大，坩埚内装料也随之增加，热场加热效果不够、加热区域集中，直接导致熔料阶段工时增加。且通过计算模拟以及现场实测，热场底部存在较大的空间浪费，未加利用。具体的缺点还包括：对热场进行加热，只能选择侧面或者底部进行加热，不能同时对两方向进行加热；加热高温区集中，热场件易损耗；加热面积小、发热量不够，发热路径短；电阻调解不够灵活等等。

本实施例的技术方案通过提供一种热场机构，可实现对热场的侧部和底部同步进行加热。主要分为第一加热组件10和第二加热组件20，其中第一加热组件10为侧部加热的碗型结构，第二加热组件20位底部平板加热的结构，共计两部分，通过利用单晶炉底部备用铜电极和正常电流输入输出电极，实现对两部分发热结构组合进行加热。

本实施例的目的在于：

同步实现对热场底部和侧面进行加热；多向、更大的发热面积径现单位时间内对热场提供更大的加热面和更多更均匀的发热量；提供一种热场机构，实现同一件热场机构就可满足同时对侧面和底部进行加热，缩短熔料工时；缩短高温加热时间，降低功耗和减少坩埚高温反应产的氧，改善氧品质。本实施例的热场机构设计结构为侧部以及底部分别并联线路后再整体串联的设计。

本实施例实际应用还包括步骤：

步骤一：利用预留备用的第一备用电极71和第二备用电极72的电极位置，调整第一加热组件10输入电流电极位置，第一加热组件10的电极夹角由180°相对调整为45°同侧相邻；炉底的第二电极50的电极电源线路进行技改，将原负电极线路牵引至第一电极40旁备用电机作为新负电极；

步骤二：第二加热组件20安装在第一备用电极71和第二备用电极72上；

步骤三：第一加热组件10的负电极和相邻的备用电极位置安装绝缘电极进行支撑；

步骤四：将第二加热组件20与第一加热组件10用石墨连接臂进行连接；

步骤五：电流流向为第一加热组件10的正极进入，通过两侧的导通线路并联流向对向支撑电极汇合，然后流经连接件30后，电流再经过并联设置的第一支路211和第二支路212分别进行发热后，最后通过负极流出；

相较于现有技术，本申请实施例具有如下的优点：

组合式结构，可同时对两个方向进行加热，加热更快更均匀；

导通线路的电流并联，配合第一支路211以及第二支路212的并联设置，使得整体发热回路为内部独立分体并联后再整体串联，减小了单个组件的电阻，提高了发热效率，还可利用发热回路串联结合并联结构有效调节整体加热器电阻；

结合侧面以及底部的结构设置，热场机构的整体有效发热面积提升至150％，并且不需要额外增加功耗，通过结构调整就能满足单位时间内的加热需求。

本实施例通过利用热场底部空间，将第一加热组件10以及第二加热组件20分别设置串联的多个线路，对热场的侧部以及底部进行加热，可同时对底部和侧面进行加热，两方向发热结构串联而成，单个方向发热结构为并联。整体电阻可调节，且发热均匀。热场机构的输入输出电流的电极位置调整为同侧，原输入输出电极为一左一右相对，夹角180°，现输入输出电流为同侧，夹角45°

需要说明的是，本实施例的技术方案中，第一备用电极71以及第二备用电极72可以配合第一电极40和第二电极50进行不同电流流向的设置，即可以通过多种电流的施加方案对热场加热进行调整，这样的设置增加了热场使用的灵活性，并且不同的电路设置可以增加不同的技术效果，以增加热场的适用范围。

第二方面，本申请还提供了一种单晶炉，单晶炉包括热场机构、第一电极40和第二电极50，热场机构为上述的热场机构，热场机构通过第一电极40和第二电极50通电加热。采用上述热场机构的单晶炉，通过第一加热组件10和第二加热组件20的设置实现了对坩埚底部以及周侧的同时加热，有效利用了坩埚所处环境的空间设置多个加热组件，以提供更多的加热能量，达到加速熔料的效果，进而缩短熔料所需要的时间，提高单晶棒的生产效率。

应理解的是，文中使用的术语仅出于描述特定示例实施方式的目的，而无意于进行限制。除非上下文另外明确地指出，否则如文中使用的单数形式“一”、“一个”以及“所述”也可以表示包括复数形式。术语“包括”、“包含”、“含有”以及“具有”是包含性的，并且因此指明所陈述的特征、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但并不排除存在或者添加一个或多个其它特征、步骤、操作、元件、部件、和/或它们的组合。文中描述的方法步骤、过程、以及操作不解释为必须要求它们以所描述或说明的特定顺序执行，除非明确指出执行顺序。还应当理解，可以使用另外或者替代的步骤。

尽管可以在文中使用术语第一、第二、第三等来描述多个元件、部件、区域、层和/或部段，但是，这些元件、部件、区域、层和/或部段不应被这些术语所限制。这些术语可以仅用来将一个元件、部件、区域、层或部段与另一区域、层或部段区分开。除非上下文明确地指出，否则诸如“第一”、“第二”之类的术语以及其它数字术语在文中使用时并不暗示顺序或者次序。因此，以下讨论的第一元件、部件、区域、层或部段在不脱离示例实施方式的教导的情况下可以被称作第二元件、部件、区域、层或部段。

以上所述仅是本发明的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所申请的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (9)

1.一种热场机构，应用于单晶炉中，其特征在于，包括：

第一加热组件(10)，所述第一加热组件(10)包括并联设置的多个第一加热结构(11)；

第二加热组件(20)，所述第一加热组件(10)与所述第二加热组件(20)串联设置，所述第二加热组件(20)包括第二加热结构(21)，所述第二加热结构(21)用于对坩埚的底部进行加热，多个所述第一加热结构(11)相互连接并环绕设置于所述第二加热组件(20)的周外侧，以对所述坩埚的周侧进行加热；

所述第一加热组件(10)还包括第三加热结构(12)，所述第三加热结构(12)连接在两个所述第一加热结构(11)之间；

所述热场机构还包括连接件(30)，所述第一加热组件(10)设置有两条导通线路，所述导通线路包括两个所述第一加热结构(11)和所述第三加热结构(12)，所述导通线路的一端与所述单晶炉的第一电极(40)电性连接，所述导通线路的另一端与所述连接件(30)电性连接，所述连接件(30)的另一端与所述第二加热结构(21)电性连接；

所述连接件(30)包括弧形板体(31)和设置在所述弧形板体(31)两侧的连接通孔(32)，所述连接通孔(32)分别与所述第一加热组件(10)以及所述第二加热组件(20)固定连接，且所述连接通孔(32)分别与第一备用电极(71)和第二备用电极(72)固定连接。

2.根据权利要求1所述的热场机构，其特征在于，所述第一加热结构(11)为弧形片体，所述弧形片体的两端沿远离弧形片体的轴线方向的一侧设置有安装部(111)。

3.根据权利要求2所述的热场机构，其特征在于，所述弧形片体两端与其轴线对应的圆心夹角为α，45°≤α≤90°。

4.根据权利要求2所述的热场机构，其特征在于，所述弧形片体上设置有多个分隔槽(112)，相邻所述分隔槽(112)的开口分别设置于所述弧形片体相对的两侧。

5.根据权利要求2所述的热场机构，其特征在于，所述第三加热结构(12)与所述第二加热结构(21)处于同一平面，以对所述坩埚的底部进行加热。

6.根据权利要求5所述的热场机构，其特征在于，所述第二加热结构(21)包括并联设置的第一支路(211)和第二支路(212)，所述第一支路(211)与所述第二支路(212)对称设置；以及/或者，

所述第二加热结构(21)包括并联设置的第一支路(211)和第二支路(212)，所述第一支路(211)与所述第二支路(212)中心对称设置。

7.根据权利要求6所述的热场机构，其特征在于，所述第二加热结构(21)为一体成型结构，所述第一支路(211)远离所述连接件(30)的端点，以及所述第二支路(212)远离所述连接件(30)的端点均与所述单晶炉的第二电极(50)电性连接。

8.根据权利要求5所述的热场机构，其特征在于，所述第二加热结构(21)设置有多个转弯区(213)，所述第三加热结构(12)与所述转弯区(213)相适配。

9.一种单晶炉，其特征在于，所述单晶炉包括热场机构、第一电极(40)和第二电极(50)，所述热场机构为权利要求1至8中任一项所述的热场机构，所述热场机构通过所述第一电极(40)和所述第二电极(50)通电加热。