CN116837348A - 一种化学物质输送系统及方法 - Google Patents

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CN116837348A CN202310783458.8A CN202310783458A CN116837348A CN 116837348 A CN116837348 A CN 116837348A CN 202310783458 A CN202310783458 A CN 202310783458A CN 116837348 A CN116837348 A CN 116837348A
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龚炳建
许所昌
侯永刚
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Abstract

本申请提供一种化学物质输送系统及方法，载气进气口通过第一载气支路与汽化器连接，载气进气口通过第二载气支路分别与第一和第二阀门连接；第一阀门连接前级管路，第二阀门连接反应腔体；汽化器通过液体化学物质输送管路，与液体化学物质输送系统连接；汽化器通过薄膜沉积管路分别与第三和第四阀门连接；第三阀门连接前级管路，第四阀门连接反应腔体；第一阀门和第四阀门用于在输送化学蒸汽时开启，在进行吹扫时关闭；第二阀门和第三阀门用于在进行吹扫时开启，在输送化学蒸汽时关闭。从而本申请通过四个阀门之间的快速切换，可快速将大量化学物质输入反应腔，满足微观结构复杂的薄膜沉积的需求。

Description

一种化学物质输送系统及方法
技术领域
本申请涉及半导体技术领域，特别涉及一种化学物质输送系统及方法。
背景技术
在ALD(Atomic layer deposition，原子层沉积)、PEALD(Plasma enhancedatomic layer deposition，等离子增强原子层沉积)、CVD(Chemical Vapor Deposition，化学气相沉积)和PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子增强化学气相沉积)等常见的薄膜沉积技术中，通常会涉及到将一种或者多种化学物质输送到反应腔体中，在衬底表面发生薄膜沉积反应，以在衬底表面形成薄膜的镀膜过程。
在镀膜过程中，需要大量的化学源，由于液体化学源的蒸汽压较低，目前主要通过源瓶鼓泡、饱和蒸汽压的方式为反应腔体提供化学源，然而上述方式无法快速提供大量的化学源。
同时，在实际的薄膜沉积过程中，随着衬底表面微观结构越来越复杂，需要镀膜的面积越来越大，因而对反应时间提出了越来越高的要求。
因此，迫切需要一种在短时间内快速将大量化学物质输入到反应腔内的方法。
发明内容
有鉴于此，提供该发明内容部分以便以简要的形式介绍构思，这些构思将在后面的具体实施方式部分被详细描述。该发明内容部分并不旨在标识要求保护的技术方案的关键特征或必要特征，也不旨在用于限制所要求的保护的技术方案的范围。
本申请的目的在于提供一种薄膜沉积中的化学物质输送系统，可以在短时间内快速将大量化学物质输入反应腔，满足微观结构复杂的薄膜沉积的需求。
为实现上述目的，本申请有如下技术方案：
第一方面，本申请实施例提供了一种化学物质输送系统，包括：
载气进气口通过第一载气支路与汽化器连接；
载气进气口通过第二载气支路分别与第一阀门和第二阀门连接；
所述第一阀门连接前级管路，所述第二阀门连接反应腔体；
所述汽化器通过液体化学物质输送管路，与液体化学物质输送系统连接；
所述汽化器通过薄膜沉积管路分别与第三阀门和第四阀门连接；
所述第三阀门连接所述前级管路，所述第四阀门连接所述反应腔体；
所述第一阀门和所述第四阀门用于在向所述反应腔体输送化学蒸汽时开启，在对所述反应腔体进行吹扫时关闭；
所述第二阀门和所述第三阀门用于在对所述反应腔体进行吹扫时开启，在向所述反应腔体输送化学蒸汽时关闭。
在一种可能的实现方式中，还包括：
所述载气进气口通过总管路与所述第一载气支路连接；
所述总管路上设置有载气控制阀门；所述第一载气支路上设置有第六阀门和第二气体质量流量控制器。
在一种可能的实现方式中，还包括：
吹扫气体进气口通过第一吹扫支路与所述总管路连接；
所述第一吹扫支路上设置有吹扫气体控制阀门。
在一种可能的实现方式中，还包括：
液体化学物质溶剂入口通过第一溶剂管路，与所述液体化学物质输送管路连接。
在一种可能的实现方式中，还包括：
冷却液体箱通过第一回收管路，与所述第三阀门连接。
在一种可能的实现方式中，还包括：
位于所述液体化学物质输送管路上，与所述汽化器连接的液体流量计。
在一种可能的实现方式中，还包括：
位于所述第二载气支路上的第五阀门和第一气体质量流量控制器。
在一种可能的实现方式中，还包括：
连接所述总管路和所述液体化学物质输送管路的第二吹扫支路；
所述第二吹扫支路上设置有第七阀门。
在一种可能的实现方式中，还包括：
连接所述总管路和所述第一溶剂管路的第三吹扫支路；
所述第三吹扫支路上设置有第八阀门。
在一种可能的实现方式中，还包括：
第二回收管路；所述第二回收管路分别与所述第一阀门和所述前级管路连接；
所述第二回收管路上设置有第九阀门。
在一种可能的实现方式中，还包括：
与所述冷却液体箱和所述第一回收管路分别连接的第一冷却支路；所述第一冷却支路上设置有第十二阀门；
与所述冷却液体箱连接的第二冷却支路；所述第二冷却支路上设置有第十三阀门；
分别连接所述第一回收管路、所述第一冷却支路和所述第二冷却支路的第四回收管路；所述第四回收管路上设置有第十阀门；
所述第四回收管路通过第三回收管路与所述前级管路连接；所述第三回收管路上设置有第十一阀门。
第二方面，本申请实施例提供了一种化学物质输送方法，包括：
通过与第一载气支路连接的载气进气口向汽化器通入载气；
通过与液体化学物质输送管路连接的液体化学物质输送系统向所述汽化器通入液体化学物质，形成化学蒸汽；
通过与第二载气支路连接的所述载气进气口通入载气，所述第二载气支路分别与第一阀门和第二阀门连接；所述第一阀门连接前级管路，所述第二阀门连接反应腔体；
通过与所述汽化器连接的薄膜沉积管路输送所述化学蒸汽，所述薄膜沉积管路分别与第三阀门和第四阀门连接；所述第三阀门连接所述前级管路，所述第四阀门连接所述反应腔体；
开启所述第一阀门和所述第四阀门，关闭所述第二阀门和所述第三阀门，以向所述反应腔体输送所述化学蒸汽；
在停止向所述反应腔体输送所述化学蒸汽时，开启所述第二阀门和所述第三阀门，关闭所述第一阀门和所述第四阀门，以对所述反应腔体进行吹扫。
在一种可能的实现方式中，还包括：
在停止向所述反应腔体输送所述化学蒸汽时，通过与第一溶剂管路连接的液体化学物质溶剂入口，向所述液体化学物质输送管路通入液体化学物质溶剂，以溶解所述液体化学物质输送管路残留的液体化学物质。
在一种可能的实现方式中，还包括：
在停止向所述反应腔体输送所述化学蒸汽时，通过与所述第三阀门连接的第一回收管路，向冷却液体箱通入所述薄膜沉积管路中未反应的所述化学蒸汽。
与现有技术相比，本申请实施例具有以下有益效果：
本申请实施例提供了一种化学物质输送系统及方法，该系统包括：载气进气口通过第一载气支路与汽化器连接，载气进气口通过第二载气支路分别与第一阀门和第二阀门连接；第一阀门连接前级管路，第二阀门连接反应腔体；汽化器通过液体化学物质输送管路，与液体化学物质输送系统连接；汽化器通过薄膜沉积管路分别与第三阀门和第四阀门连接；第三阀门连接前级管路，第四阀门连接反应腔体；第一阀门和第四阀门用于在向反应腔体输送化学蒸汽时开启，在对反应腔体进行吹扫时关闭；第二阀门和第三阀门用于在对反应腔体进行吹扫时开启，在向反应腔体输送化学蒸汽时关闭。从而本申请通过第一阀门、第二阀门、第三阀门和第四阀门四个阀门之间的快速切换，可以快速将大量化学物质输入反应腔，满足微观结构复杂的薄膜沉积的需求。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
结合附图并参考以下具体实施方式，本公开各实施例的上述和其他特征、优点及方面将变得更加明显。贯穿附图中，相同或相似的附图标记表示相同或相似的元素。应当理解附图是示意性的，原件和元素不一定按照比例绘制。
图1示出了本申请实施例提供的一种化学物质输送系统的示意图；
图2示出了本申请实施例提供的一种化学物质输送方法的流程图。
具体实施方式
为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请，但是本申请还可以采用其它不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似推广，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。
正如背景技术所述，经申请人研究发现，在ALD(Atomic layer deposition，原子层沉积)、PEALD(Plasma enhanced atomic layer deposition，等离子增强原子层沉积)、CVD(Chemical Vapor Deposition，化学气相沉积)和PECVD(Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition，等离子增强化学气相沉积)等常见的薄膜沉积技术中，通常会涉及到将一种或者多种化学物质输送到反应腔体中，在衬底表面发生薄膜沉积反应，以在衬底表面形成薄膜的镀膜过程。
在镀膜过程中，需要大量的化学源，由于液体化学源的蒸汽压较低，目前主要通过源瓶鼓泡、饱和蒸汽压的方式为反应腔体提供化学源，然而上述方式无法快速提供大量的化学源。
同时，在实际的薄膜沉积过程中，随着衬底表面微观结构越来越复杂，需要镀膜的面积越来越大，因而对反应时间提出了越来越高的要求。
因此，迫切需要一种在短时间内快速将大量化学物质输入到反应腔内的方法。
基于以上技术问题，本申请实施例提供了一种化学物质输送系统及方法，该系统包括：载气进气口通过第一载气支路与汽化器连接，载气进气口通过第二载气支路分别与第一阀门和第二阀门连接；第一阀门连接前级管路，第二阀门连接反应腔体；汽化器通过液体化学物质输送管路，与液体化学物质输送系统连接；汽化器通过薄膜沉积管路分别与第三阀门和第四阀门连接；第三阀门连接前级管路，第四阀门连接反应腔体；第一阀门和第四阀门用于在向反应腔体输送化学蒸汽时开启，在对反应腔体进行吹扫时关闭；第二阀门和第三阀门用于在对反应腔体进行吹扫时开启，在向反应腔体输送化学蒸汽时关闭。从而本申请通过第一阀门、第二阀门、第三阀门和第四阀门四个阀门之间的快速切换，可以快速将大量化学物质输入反应腔，满足微观结构复杂的薄膜沉积的需求。
为了更好地理解本申请的技术方案和技术效果，以下将结合附图对具体的实施例进行详细的描述。
示例性管路
参见图1所示，图1为本申请实施例提供的一种化学物质输送系统的示意图，包括：
载气进气口81通过第一载气支路101与汽化器6(VAP，vaporizer)连接，载气进气口81通过第二载气支路102分别与第一阀门91和第二阀门92连接。
第一阀门91连接前级管路4，第二阀门92连接反应腔体7(Process chamber)。汽化器6通过液体化学物质输送管路2，与液体化学物质输送系统84(LDS，Liquid DeliverySystem)连接，液体化学物质输送系统84可以给汽化器6提供源源不断的化学物质，在液体化学物质输送管路2上设置有第十七阀门997，以控制液体化学物质的通断。
汽化器6通过薄膜沉积管路3分别与第三阀门93和第四阀门94连接。
第三阀门93连接前级管路4，第四阀门94连接反应腔体。
第一阀门91和第四阀门94用于在向反应腔体7输送化学蒸汽时开启，在对反应腔体7进行吹扫时关闭；第二阀门92和第三阀门93用于对反应腔体7进行吹扫时开启，在向反应腔体7输送化学蒸汽时关闭。
液体化学物质输送系统D可以给汽化器6提供源源不断的化学物质，汽化器6可以对化学物质进行汽化得到化学蒸汽，第三阀门93开启，第四阀门94关闭时，可以将不进入反应腔体7的化学蒸汽进行回收；当第三阀门93关闭，第四阀门94开启时，可以使化学蒸汽进入反应腔室7。即在本申请实施例中，可以通过第三阀门93和第四阀门94的切换使化学蒸汽在需要进行薄膜沉积的时段迅速进入反应腔体7，可快速将大量化学物质输入反应腔体7，满足微观结构复杂的薄膜沉积的需求。
从而在本申请实施例中，当第一阀门91和第四阀门94开启时，此时，第二阀门92和第三阀门93可以保持关闭。
载气进气口81可以通过第一载气支路101与汽化器6连接，从而为汽化器6提供载气。汽化器6将通过化学物质输送管路2供入的液体化学物质汽化后的化学蒸汽与通过第一载气支路101通入的载气混合后，输入到反应腔体7中。
同时，为了维持薄膜沉积中的化学物质输送系统各个管道内的压力稳定，可以在第四阀门94开启时，同时开启第一阀门91通过第二载气支路102通入载气至前级管路4。
当第二阀门92和第三阀门93开启时，此时，第一阀门91和第四阀门94可以保持关闭。即本申请实施例提供的第二阀门92和第三阀门93在对反应腔体7进行吹扫时开启。
具体的，可以开启第二阀门92，从而将第二载气支路102的载气通入反应腔体7；开启第三阀门93，从而将多余的化学蒸汽导入前级管路4中去，从而可以实现化学蒸汽的循环利用，避免浪费，同时维持薄膜沉积中的化学物质输送系统各个管道内的压力稳定。
即在本申请实施例中，在通入一次化学蒸汽到反应腔室7中后，可以开启第二阀门92，将第二载气支路102的载气通入反应腔体7，以对反应腔室7进行吹扫。载气吹扫一般采用的是氩气等常通气体进行吹扫。
本申请实施例可以设置将第二载气支路102和薄膜沉积管路3的气体流量保持一致，以便在切换管路通入载气或化学蒸汽时，保持反应腔体7的压力平衡。
在一种可能的实现方式中，参见图1所示，本申请实施例提供的薄膜沉积中的化学物质输送系统还可以包括：
载气进气口81通过总管路1与第一载气支路101连接；
总管路1上设置有载气控制阀门994，第一载气支路101上设置有第六阀门96和第二气体质量流量控制器2222MFC2(Mass Flow Controller,气体质量流量控制器)。
从而在本申请实施例中，可以在总管路1上设置有载气控制阀门994，可以实现对载气的通断控制；通过第六阀门96可以控制第一载气支路101的载气的通断，通过第二气体质量流量控制器2222可以控制载气的流量，从而根据需要给汽化器6提供载气。
在一种可能的实现方式中，参见图1所示，本申请实施例提供的薄膜沉积中的化学物质输送系统还可以包括：
吹扫气体进气口82通过第一吹扫支路11与总管路1连接；
第一吹扫支路11上设置有吹扫气体控制阀门995。
从而在本申请实施例中，通过第一吹扫支路11与总管路1连接，可以实现在一个阶段的薄膜沉积反应结束后，通过各阀门的状态切换控制吹扫气体吹扫管道内残余的化学源，便于各种阀门、管道等元器件的更换。通过载气或者吹扫气进行吹扫，可以防止残余化学源积累在管道的死角或反应腔室7的死角。
同时，可以在第一吹扫支路11上设置有吹扫气体控制阀门995，可以实现对吹扫气体的通断控制。
即在本申请实施例中，当薄膜沉积完毕后，可以利用吹扫气体进气口82通入吹扫气体以对本申请实施例提供的化学物质输送系统的各个管路进行吹扫，以实现对管道的清洁。吹扫气体吹扫一般采用的是氮气等价格比较便宜的气体进行整体管路的吹扫，可以节约成本。
在一种可能的实现方式中，参见图1所示，本申请实施例提供的薄膜沉积中的化学物质输送系统还可以包括：
液体化学物质溶剂入口83通过第一溶剂管路10，与液体化学物质输送管路2连接。
从而在本申请实施例中，通过液体化学物质溶剂入口83通入液体化学物质溶剂可以将黏稠度高、气体不易吹扫干净的液体化学物质溶解后，再用气体吹扫干净。
举例来说，如果液体化学物质输送系统供入的液体化学物质是粘稠度比较高的化学源，在一个阶段的薄膜沉积反应结束后，可以通过向液体流量计5(LFM，liquidflowmeter)、汽化器6供入液体化学溶剂，并通过阀门93、94状态切换来控制液体化学溶剂是通入反应腔体所经的管道还是通入冷却液体箱8TANK所经的管道。
同时，可以在第一溶剂管路10上设置有液体化学物质溶剂控制阀门996，可以实现对液体化学物质溶剂的通断控制。
在一种可能的实现方式中，参见图1所示，本申请实施例提供的薄膜沉积中的化学物质输送系统还可以包括：
冷却液体箱8通过第一回收管路111，与第三阀门93连接。
从而在本申请实施例中，开启第三阀门93后，可以设置冷却液体箱8，从而将多余的化学蒸汽导入冷却液体箱8中去，从而可以实现化学蒸汽的循环利用，避免浪费，同时维持薄膜沉积中的化学物质输送系统各个管道内的压力稳定。
在一种可能的实现方式中，参见图1所示，本申请实施例提供的薄膜沉积中的化学物质输送系统还可以包括：
位于液体化学物质输送管路2上，与汽化器VAP连接的液体流量计5(LFM，liquidflowmeter)。从而通过将LFM(liquid flowmeter，液体流量计)+VAP(vaporizer，汽化器)结合的控制方式，将额定流量的液体化学物质汽化后的化学蒸汽输送到反应腔体7内。
在一种可能的实现方式中，参见图1所示，本申请实施例提供的薄膜沉积中的化学物质输送系统还可以包括：
位于第二载气支路102上的第五阀门95和第一气体质量流量控制器1111MFC1。
从而在本申请实施例中，通过第五阀门95可以控制第二载气支路102的载气的通断，通过第一气体质量流量控制器1111可以控制载气的流量，从而根据需要给反应腔体7提供载气。
在一种可能的实现方式中，参见图1所示，本申请实施例提供的薄膜沉积中的化学物质输送系统还可以包括：
连接总管路1和液体化学物质输送管路2的第二吹扫支路12；
第二吹扫支路12上设置有第七阀门97。
从而在本申请实施例中，可以将吹扫气体通过第二吹扫支路12通入液体化学物质输送管路2，以实现吹扫气体对液体化学物质输送管路2的吹扫。通过第七阀门97控制通入液体化学物质输送管路2的吹扫气体的通断。
在一种可能的实现方式中，参见图1所示，本申请实施例提供的薄膜沉积中的化学物质输送系统还可以包括：
连接总管路1和第一溶剂管路10的第三吹扫支路13；
第三吹扫支路13上设置有第八阀门98。
从而在本申请实施例中，可以将吹扫气体通过第三吹扫支路13通入第一溶剂管路10，以实现吹扫气体对第一溶剂管路10的吹扫。通过第八阀门98控制通入第一溶剂管路10的吹扫气体的通断。
在一种可能的实现方式中，参见图1所示，本申请实施例提供的薄膜沉积中的化学物质输送系统还可以包括：
第二回收管路112；第二回收管路112分别与第一阀门91和前级管路4Foreline连接；
第二回收管路112上设置有第九阀门99。
从而在本申请实施例中，可以通过第二回收管路112连接第一阀门91和前级管路4，第九阀门99可以实现对通往前级管路4的载气的通断。
在一种可能的实现方式中，参见图1所示，本申请实施例提供的薄膜沉积中的化学物质输送系统还可以包括：
与冷却液体箱8和第一回收管路111分别连接的第一冷却支路1001，第一冷却支路1001上设置有第十二阀门992；与冷却液体箱8连接的第二冷却支路1002；第二冷却支路1002上设置有第十三阀门993。
分别连接第一回收管路111、第一冷却支路1001和第二冷却支路1002的第四回收管路114，第四回收管路114上设置有第十阀门990，第四回收管路114通过第三回收管路113与前级管路4连接，第三回收管路113上设置有第十一阀门991。
从而在本申请实施例中，通过设置冷却液体箱8，冷却液体箱8可以进行制冷。当第三阀门93打开，则汽化器6汽化后的化学蒸汽将通过第一回收管路111和第一冷却支路1001流至冷却的冷却液体箱8，高温汽化的化学蒸汽与通过第一载气支路101通入的载气混合后，经过冷却的冷却液体箱8，凝结成液体，体积大幅减小；凝结后的液体化学物质可以再重复利用。
第一冷却支路1001上设置有第十二阀门992，第十二阀门91992可以控制流入冷却液体箱8的化学蒸汽的通断。凝结后的液体化学物质可以通过与冷却液体箱8连接的第二冷却支路1002进入后续重复利用的管路，第二冷却支路1002上设置有第十三阀门993，第十三阀门993可以控制流出冷却液体箱8的载气和液体化学物质的通断。
此外，当吹扫气体吹扫管道时，此时可以将第三阀门93开启。吹扫气体可以不进入冷却液体箱8，关闭第十二阀门992和第十三阀门993，开启第十阀门990，直接通过分别连接第一回收管路111、第一冷却支路1001和第二冷却支路1002的第四回收管路114，第四回收管路114通过第三回收管路113与前级管路4连接，将吹扫气体直接导入后续的前级管路4。
第四回收管路114上设置有第十阀门990，第三回收管路113上设置有第十一阀门991，从而可以分别控制各自管路的通断。
本申请实施例提供了一种化学物质输送系统，该系统包括：载气进气口通过第一载气支路与汽化器连接，载气进气口通过第二载气支路分别与第一阀门和第二阀门连接；第一阀门连接前级管路，第二阀门连接反应腔体；汽化器通过液体化学物质输送管路，与液体化学物质输送系统连接；汽化器通过薄膜沉积管路分别与第三阀门和第四阀门连接；第三阀门连接前级管路，第四阀门连接反应腔体；第一阀门和第四阀门用于在向反应腔体输送化学蒸汽时开启，在对反应腔体进行吹扫时关闭；第二阀门和第三阀门用于在对反应腔体进行吹扫时开启，在向反应腔体输送化学蒸汽时关闭。从而本申请通过第一阀门、第二阀门、第三阀门和第四阀门四个阀门之间的快速切换，可以快速将大量化学物质输入反应腔，满足微观结构复杂的薄膜沉积的需求。
示例性方法
参见图2所示，为本申请实施例提供的一种化学物质输送方法的流程图，结合图1所示，该方法可以包括：
S101：通过与第一载气支路101连接的载气进气口81向汽化器6通入载气；
S102：通过与液体化学物质输送管路2连接的液体化学物质输送系统84向所述汽化器6通入液体化学物质，形成化学蒸汽；
S103：通过与第二载气支路102连接的所述载气进气口81通入载气，所述第二载气支路102分别与第一阀门91和第二阀门92连接；所述第一阀门91连接前级管路4，所述第二阀门92连接反应腔体7；
S104：通过与所述汽化器6连接的薄膜沉积管路3输送所述化学蒸汽，所述薄膜沉积管路3分别与第三阀门93和第四阀门94连接；所述第三阀门93连接所述前级管路4，所述第四阀门94连接所述反应腔体7；
S105：开启所述第一阀门91和所述第四阀门94，关闭所述第二阀门92和所述第三阀门93，以向所述反应腔体7输送所述化学蒸汽；
S106：在停止向所述反应腔体7输送所述化学蒸汽时，开启所述第二阀门92和所述第三阀门93，关闭所述第一阀门91和所述第四阀门94，以对所述反应腔体7进行吹扫。
在一种可能的实现方式中，本申请实施例提供的方法还可以包括：
在停止向所述反应腔体7输送所述化学蒸汽时，通过与第一溶剂管路10连接的液体化学物质溶剂入口83，向所述液体化学物质输送管路2通入液体化学物质溶剂，以溶解所述液体化学物质输送管路2残留的液体化学物质。
在一种可能的实现方式中，本申请实施例提供的方法还可以包括：
在停止向所述反应腔体7输送所述化学蒸汽时，通过与所述第三阀门93连接的第一回收管路111，向冷却液体箱8通入所述薄膜沉积管路3中未反应的所述化学蒸汽。
本申请实施例提供了一种化学物质输送方法，该方法包括：通过与第一载气支路连接的载气进气口向汽化器通入载气；通过与液体化学物质输送管路连接的液体化学物质输送系统向汽化器通入液体化学物质，形成化学蒸汽；通过与第二载气支路连接的载气进气口通入载气，第二载气支路分别与第一阀门和第二阀门连接；第一阀门连接前级管路，第二阀门连接反应腔体；通过与汽化器连接的薄膜沉积管路输送化学蒸汽，薄膜沉积管路分别与第三阀门和第四阀门连接；第三阀门连接所述前级管路，第四阀门连接反应腔体；开启第一阀门和第四阀门，关闭第二阀门和第三阀门，以向反应腔体输送化学蒸汽；开启第二阀门和第三阀门，关闭第一阀门和所述第四阀门，以对反应腔体进行吹扫。从而本申请通过第一阀门、第二阀门、第三阀门和第四阀门四个阀门之间的快速切换，可以快速将大量化学物质输入反应腔，满足微观结构复杂的薄膜沉积的需求。
本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其它实施例的不同之处。尤其，对于方法实施例而言，由于其基本相似于系统实施例，所以描述得比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。
以上所述仅是本申请的优选实施方式，虽然本申请已以较佳实施例披露如上，然而并非用以限定本申请。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本申请技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本申请技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本申请技术方案的内容，依据本申请的技术实质对以上实施例所做的任何的简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本申请技术方案保护的范围内。

Claims (14)

1.一种化学物质输送系统，其特征在于，包括：
载气进气口通过第一载气支路与汽化器连接；
载气进气口通过第二载气支路分别与第一阀门和第二阀门连接；
所述第一阀门连接前级管路，所述第二阀门连接反应腔体；
所述汽化器通过液体化学物质输送管路，与液体化学物质输送系统连接；
所述汽化器通过薄膜沉积管路分别与第三阀门和第四阀门连接；
所述第三阀门连接所述前级管路，所述第四阀门连接所述反应腔体；
所述第一阀门和所述第四阀门用于在向所述反应腔体输送化学蒸汽时开启，在对所述反应腔体进行吹扫时关闭；
所述第二阀门和所述第三阀门用于在对所述反应腔体进行吹扫时开启，在向所述反应腔体输送化学蒸汽时关闭。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括：
所述载气进气口通过总管路与所述第一载气支路连接；
所述总管路上设置有载气控制阀门；所述第一载气支路上设置有第六阀门和第二气体质量流量控制器。
3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，还包括：
吹扫气体进气口通过第一吹扫支路与所述总管路连接；
所述第一吹扫支路上设置有吹扫气体控制阀门。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的系统，其特征在于，还包括：
液体化学物质溶剂入口通过第一溶剂管路，与所述液体化学物质输送管路连接。
5.根据权利要求1-3任意一项所述的系统，其特征在于，还包括：
冷却液体箱通过第一回收管路，与所述第三阀门连接。
6.根据权利要求1-3任意一项所述的系统，其特征在于，还包括：
位于所述液体化学物质输送管路上，与所述汽化器连接的液体流量计。
7.根据权利要求1-3任意一项所述的系统，其特征在于，还包括：
位于所述第二载气支路上的第五阀门和第一气体质量流量控制器。
8.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，还包括：
连接所述总管路和所述液体化学物质输送管路的第二吹扫支路；
所述第二吹扫支路上设置有第七阀门。
9.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，还包括：
连接所述总管路和所述第一溶剂管路的第三吹扫支路；
所述第三吹扫支路上设置有第八阀门。
10.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括：
第二回收管路；所述第二回收管路分别与所述第一阀门和所述前级管路连接；
所述第二回收管路上设置有第九阀门。
11.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，还包括：
与所述冷却液体箱和所述第一回收管路分别连接的第一冷却支路；所述第一冷却支路上设置有第十二阀门；
与所述冷却液体箱连接的第二冷却支路；所述第二冷却支路上设置有第十三阀门；
分别连接所述第一回收管路、所述第一冷却支路和所述第二冷却支路的第四回收管路；所述第四回收管路上设置有第十阀门；
所述第四回收管路通过第三回收管路与所述前级管路连接；所述第三回收管路上设置有第十一阀门。
12.一种化学物质输送方法，其特征在于，包括：
通过与第一载气支路连接的载气进气口向汽化器通入载气；
通过与液体化学物质输送管路连接的液体化学物质输送系统向所述汽化器通入液体化学物质，形成化学蒸汽；
通过与第二载气支路连接的所述载气进气口通入载气，所述第二载气支路分别与第一阀门和第二阀门连接；所述第一阀门连接前级管路，所述第二阀门连接反应腔体；
通过与所述汽化器连接的薄膜沉积管路输送所述化学蒸汽，所述薄膜沉积管路分别与第三阀门和第四阀门连接；所述第三阀门连接所述前级管路，所述第四阀门连接所述反应腔体；
开启所述第一阀门和所述第四阀门，关闭所述第二阀门和所述第三阀门，以向所述反应腔体输送所述化学蒸汽；
在停止向所述反应腔体输送所述化学蒸汽时，开启所述第二阀门和所述第三阀门，关闭所述第一阀门和所述第四阀门，以对所述反应腔体进行吹扫。
13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，还包括：
在停止向所述反应腔体输送所述化学蒸汽时，通过与第一溶剂管路连接的液体化学物质溶剂入口，向所述液体化学物质输送管路通入液体化学物质溶剂，以溶解所述液体化学物质输送管路残留的液体化学物质。
14.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，还包括：
在停止向所述反应腔体输送所述化学蒸汽时，通过与所述第三阀门连接的第一回收管路，向冷却液体箱通入所述薄膜沉积管路中未反应的所述化学蒸汽。
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