CN116771919B - 组合式密封圈及静电卡盘系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种组合式密封圈及静电卡盘系统，涉及半导体设备技术领域，包括内圈、第一外圈和第二外圈，所述内圈具有第一端和第二端，所述第一端和所述第二端相对设置；所述第一外圈和所述第二外圈分别设于所述第一端和所述第二端上，所述第一外圈和所述第二外圈分别与所述卡槽的顶壁和底壁相匹配设置，当第一外圈和第二外圈玻璃化体积微缩时，内圈的张力会推着第一外圈和第二外圈运动，以使第一外圈和第二外圈与卡槽的顶壁和底壁紧密贴合，所述内圈的材质采用聚四氟乙烯，所述第一外圈与所述第二外圈的材质均采用全氟醚橡胶；本发明通过内圈的张力，使第一外圈和第二外圈与卡槽的顶壁和底壁紧密贴合，实现对卡槽的有效密封。

Description

组合式密封圈及静电卡盘系统

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种组合式密封圈及静电卡盘系统。

背景技术

静电卡盘，又称E-Chuck。其结构大致为顶部与晶圆接触的陶瓷，陶瓷与底板之间通过环氧树脂连接，在陶瓷与底板之间形成卡槽，底板上开设有若干个供氦气通过的孔，底板的底部承接设备电源。在实际使用时，晶圆放置在静电卡盘的上表面，然后通入等离子气体对晶圆的表面进行清洗，此过程中等离子气体会运动到静电卡盘的侧面，慢慢蚀刻卡槽内的环氧树脂，为了防止环氧树脂被等离子气体蚀刻，会在卡槽内设置密封圈，通过密封圈将环氧树脂和等离子气体隔离，以避免环氧树脂被蚀刻。现有的密封圈采用聚四氟乙烯材质，该材质的弹性较差，形成的密封圈无法实现较好的密封性能，或采用全氟醚橡胶材质，该材质在-65℃的工艺条件下会玻璃化，体积会产生微缩，由于体积的微缩会使得密封圈与卡槽的顶壁和/或底壁之间产生缝隙，使得等离子气体通过缝隙进入接触到环氧树脂，并对环氧树脂造成刻蚀，因此亟需一种在低温工艺条件下依然能够实现有效密封的密封圈。

发明内容

本发明的目的在于提供一种组合式密封圈及静电卡盘系统，采用内圈、第一外圈和第二外圈的组合结构，以在第一外圈和第二外圈玻璃化微缩时，通过内圈的张力作用，使第一外圈和第二外圈与卡槽的顶壁和底壁紧密贴合，以实现对卡槽的有效密封。

为实现上述目的，本发明提供了一种组合式密封圈，设于静电卡盘的卡槽内，包括内圈、第一外圈和第二外圈，其中，

所述内圈具有第一端和第二端，所述第一端和所述第二端相对设置；

所述第一外圈和所述第二外圈分别设于所述第一端和所述第二端上，且所述第一外圈和所述第二外圈分别与所述卡槽的顶壁和底壁相匹配设置，当所述第一外圈和所述第二外圈玻璃化体积微缩时，所述内圈的张力会推着所述第一外圈和所述第二外圈运动，以使所述第一外圈和所述第二外圈与所述卡槽的顶壁和底壁紧密贴合，其中，所述内圈的材质采用聚四氟乙烯，所述第一外圈与所述第二外圈的材质均采用全氟醚橡胶。本发明中所述内圈采用聚四氟乙烯材料，聚四氟乙烯在-65℃的工艺条件下不会玻璃化，依然能够保持一定的张力。

可选的，所述内圈设于所述第一外圈和所述第二外圈的边缘或设于所述第一外圈和所述第二外圈的中部。

可选的，所述内圈的截面呈矩形结构或呈弧形结构。

可选的，所述第一外圈与所述第二外圈均具有第一侧面和第二侧面，所述第一侧面和所述第二侧面相对设置，所述第一侧面靠近所述卡槽的侧壁设置，其中，所述第一外圈与所述第二外圈的第二侧面上均设置有增厚部。

可选的，所述第一外圈与所述第二外圈相互靠近的一侧均设置有第一引导部，其中，所述第一引导部靠近所述第二侧面设置。

可选的，所述第一外圈与所述第二外圈相互远离的一侧均设置有第二引导部，其中，所述第二引导部靠近所述第一侧面设置。

可选的，还包括设于所述第一外圈与所述第二外圈之间，并用于所述第一外圈与所述第二外圈连接的连接部，其中，所述连接部设于所述内圈和所述卡槽的侧壁之间。

可选的，所述第一外圈和/或所述第二外圈上设有凹陷部，所述内圈设于所述凹陷部内，其中，所述凹陷部具有第一接触面和第二接触面，所述第一接触面与所述第二接触面相对设置，且所述第一接触面靠近所述卡槽的侧壁设置，其中，所述内圈与所述第一接触面连接，所述内圈与所述第二接触面之间存在有间隙。

可选的，还包括设于所述内圈上的两个延伸部，其中，两个所述延伸部分别与所述第一外圈和所述第二外圈相抵接。

为实现上述目的，本发明还提供了一种静电卡盘系统，包括主体部、与所述主体部胶接的陶瓷板，以及所述的组合式密封圈，其中，所述陶瓷板与所述主体部之间存在有卡槽，所述组合式密封圈套设于所述卡槽内。

本发明的有益效果如下：

本发明的密封圈采用内圈、第一外圈和第二外圈的组合结构，以在第一外圈和第二外圈玻璃化微缩时，通过内圈的张力作用，使第一外圈和第二外圈与卡槽的顶壁和底壁紧密贴合，以实现对卡槽的有效密封。

附图说明

图1为本发明中静电卡盘系统结构示意图；

图2为本发明中图1中A结构放大示意图；

图3为本发明中第一外圈和第二外圈的第一实施方式结构示意图；

图4为本发明中第一外圈和第二外圈的第二实施方式结构示意图；

图5为本发明中内圈的第一种构型与第一外圈与第二外圈的第一种安装位置的结构示意图；

图6为本发明中内圈的第一种构型与第一外圈与第二外圈的第二种安装位置的结构示意图；

图7为本发明中内圈的第二种构型与第一外圈与第二外圈安装位置的结构示意图；

图8为本发明中连接部的结构示意图；

图9为本发明中延伸部结构示意图。

附图标记

1、内圈；101、第一端；102、第二端；

2、第一外圈；

3、第二外圈；

4、第一侧面；

5、第二侧面；

6、第一引导部；

7、第二引导部；

8、连接部；

9、凹陷部；

10、延伸部；

11、主体部；

12、陶瓷板；

13、卡槽；

14、增厚部。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。

静电卡盘，又称E-Chuck，ESC，其结构大致为顶部与晶圆接触的陶瓷板，陶瓷与底板之间通过环氧树脂连接，在陶瓷与底板之间形成卡槽，底板上开设有若干个供氦气通过的孔，底板的底部承接设备电源，底板材质为金属铝；在低压环境下晶圆固定在静电卡盘上，向静电卡盘通高电压，静电卡盘表面是陶瓷间隔高电压，但是电场仍会穿过陶瓷，吸引晶圆正电荷往晶圆下方移动，晶圆稳定的被下方电场吸引在静电卡盘上；负电荷往晶圆上方移动，吸引等离子气体。此吸附晶圆的高压电场除了能将晶圆吸附在静电卡盘上，同时也吸引了等离子气体到静电卡盘侧面，等离子气体会慢慢蚀刻外部环氧树脂及内部的材料，最终接到氦气管道，使氦气外泄流量异常偏高，当氦气泄漏量超过工厂的预设范围时，则需要更换整颗静电卡盘。由于更换整颗静电卡盘的成本太高，有厂家使用材质为全氟醚橡胶的密封圈替换环氧树脂对静电卡盘的卡槽进行密封，以防止氦气的泄漏。全氟醚橡胶材质的密封圈长期工作温度在-25~300℃，在此工作温度区间内有着优秀的热稳定性以及耐刻蚀性。但是，当清洗（对晶圆表面进行清洗，具体过程在清洗腔内进行）工艺过程中出现-65℃极端低温工艺条件时，此时全氟醚橡胶材质的密封圈会出现玻璃化导致体积微缩，这样会导致全氟醚橡胶材质的密封圈与卡槽的顶壁和底壁接触处之间产生间隙，致使全氟醚橡胶材质的密封圈的密封性无法达到预期的效果，导致氦气通过间隙泄漏。

针对现有技术存在的问题，本发明的实施例提供了一种组合式密封圈；图1为本发明中静电卡盘系统结构示意图；图2为本发明中图1中A结构放大示意图；参照图1和图2所示，所述组合式密封圈包括内圈1、第一外圈2和第二外圈3，其中，所述内圈1具有第一端101（可以理解为上端）和第二端102（可以理解为下端），所述第一端101和所述第二端102相对设置；所述第一外圈2和所述第二外圈3分别设于所述第一端101和所述第二端102上，且所述第一外圈2和所述第二外圈3分别与所述卡槽13的顶壁和底壁相匹配设置，具体地，当该组合式密封圈套设在卡槽13内时，所述第一外圈2与所述卡槽13的顶壁接触，所述第二外圈3与所述卡槽13的底壁接触。当所述第一外圈2和所述第二外圈3玻璃化体积微缩时，所述内圈1的张力会推着所述第一外圈2和所述第二外圈3运动，以使所述第一外圈2和所述第二外圈3与所述卡槽13的顶壁和底壁紧密贴合。其中，所述第一外圈2和所述第二外圈3均采用全氟醚橡胶材料；所述内圈1采用聚四氟乙烯材料，但又不仅限于所述聚四氟乙烯材料。

使用时，该组合式密封圈套设于所述卡槽13内，其中，所述第一外圈2与所述卡槽13的顶壁相抵接，所述第二外圈3与所述卡槽13的底壁相抵接；在-25~300℃的工作条件时，全氟醚橡胶保持优秀的热稳定性以及耐刻蚀性，保持有效的密封性能；在-65℃的工作条件时，所述第一外圈2与所述第二外圈3玻璃化体积会发生微缩，此时，所述内圈1依然保持张力，从而在张力的作用下，会推着所述第一外圈2和所述第二外圈3与所述卡槽13的顶壁和底壁紧密贴合，使得所述组合式密封圈套在-65℃的工作条件下依然保持优异的密封性能。

该组合式密封圈既可以对卡槽13起到密封的作用，又可以起到优异的耐刻蚀性，具体地，在实际工作时，等离子气体会优先刻蚀与密封圈的接触处，本发明的组合式密封圈中所述第一外圈2和所述第二外圈3的右侧（可以理解为朝向所述卡槽外的一侧）相对所述内圈1均凸出设置，并且所述内圈1设置在所述第一外圈2和所述第二外圈3的中部，因此等离子气体会先接触所述第一外圈2和所述第二外圈3，会优先刻蚀较厚的所述第一外圈2和所述第二外圈3，不会或者很少的对厚度较薄的所述内圈1进行刻蚀，从而可以延长所述内圈1的使用寿命，进而可以延长所述组合式密封圈的使用寿命。

值得注意的是，所述第一外圈2和所述第二外圈3对称设置在所述内圈1的所述第一端101和第二端102上，这样设置能够起到更好的支撑作用，使得所述组合式密封圈对所述卡槽13的顶壁和底壁的抵触力大小一致，从而保证所述组合式密封圈在所述卡槽13内更易处于竖直状态，这样能够更好的使得所述第一外圈2和所述第二外圈3与所述卡槽13的顶壁和底壁紧密贴合。当然在其他示例中，所述内圈1上也可以只设置所述第一外圈2或所述第二外圈3，这样可以通过设置的所述第一外圈2或所述第二外圈3起到单侧密封的效果，基于此，该组合式密封圈的使用不仅限于静电卡盘，还可以适用于单侧密封，或者双侧密封的设备。

图3为本发明中第一外圈和第二外圈的第一实施方式结构示意图；参照图2和图3所示，所述第一外圈2与所述第二外圈3均具有第一侧面4（可以理解为左面）和第二侧面5（可以理解为右面），所述第一侧面4和所述第二侧面5相对设置，所述第一侧面4靠近所述卡槽13的侧壁设置，其中，所述第一外圈2与所述第二外圈3的第二侧面5上均设置有增厚部14。所述增厚部14的设置，用于增加所述第一外圈2和第二外圈3的厚度，从而延长所述第一外圈2和第二外圈3被刻蚀的时间，延长设备的使用寿命。优选地，所述增厚部14的轴向截面可以为半圆形结构或梯形结构，但又不仅限于所述半圆形结构或梯形结构。

在一种实施例中，所述增厚部14为增厚环，所述增厚环套设在所述第一外圈2和/或所述第二外圈3外，并且在实际的使用制备过程中，所述增厚环与所述第一外圈2和所述第二外圈3采用一体注塑成型或者胶黏；当然在其他示例中，所述增厚部14也不仅限于所述增厚环；所述增厚环与所述第一外圈2和所述第二外圈3也不仅限于采用一体注塑成型或者胶黏。

在一种实施例中，所述增厚部14靠近所述第一外圈2的上边缘设置，或者所述增厚部14靠近所述第二外圈3的下边缘设置，如图3所示；这样设置可以对等离子气体起到更好的阻挡作用。

图4为本发明中第一外圈和第二外圈的第二实施方式结构示意图；参照图4所示，所述第一外圈2与所述第二外圈3相互靠近的一侧均设置有第一引导部6，其中，所述第一引导部6靠近所述第二侧面5设置，具体地，在图4示例中，所述第一外圈2位于右下角设置有所述第一引导部6，所述第二外圈3位于右上角设置有所述第一引导部6；在一种示例中，所述第一引导部6可以理解为第一弧形槽，但又不仅限于所述第一弧形槽；所述第一引导部6的设置，一方面降低设备的加工难度，另一方面，对等离子气体起到引导的作用，降低等离子气体对所述第一外圈2与所述第二外圈3的刻蚀速率。

在一种实施例中，所述第一外圈2与所述第二外圈3相互远离的一侧均设置有第二引导部7，所述第二引导部7可以理解为弧形槽，其中，所述第二引导部7靠近所述第一侧面4设置，具体地，在图2和图4示例中，所述第一外圈2位于左上角设置有所述第二引导部7，所述第二外圈3位于左下角设置有所述第二引导部7；所述第二引导部7的设置，用于引导所述组合式密封圈能够顺利的安装在所述卡槽13内；并且所述第二引导部7的设置，在安装时，能够使得所述第一外圈2与所述第二外圈3可以同时安装进入到所述卡槽13内，防止所述第一外圈2与所述第二外圈3先后安装到所述卡槽13内时，存在的倾斜问题。在一种示例中，所述第二引导部7可以理解为第二弧形槽，但又不仅限于所述第二弧形槽。

在一种实施例中，所述卡槽的开口处设置有第三引导部，所述第三引导部与所述第二引导部7相匹配设置，通过所述第二引导部7与所述第三引导部的配合，能够更加快速、便捷的将所述组合式密封圈安装到所述卡槽内。

在一种实施例中，所述内圈1的截面具有多种构型，其中，所述内圈1的第一种构型为在轴向上的截面呈矩形结构；所述内圈1的第二种构型为在轴向上的截面呈弧形结构；当然在其他示例中，所述内圈1在轴上的截面构型也不仅限于矩形结构和弧形结构。

在一种实施例中，所述第一外圈2和/或所述第二外圈3上设有凹陷部9，所述内圈1设于所述凹陷部9内。一种示例中，所述第一外圈2或所述第二外圈3上设有凹陷部9；另一种示例中，所述第一外圈2和所述第二外圈3上均设有凹陷部9。当然在其他实施方式中，所述第一外圈2与所述第二外圈3上未设置所述凹陷部9，所述内圈1的上端和下端分别与所述第一外圈2的下端面和所述第二外圈3的上端面连接。

图5为本发明中内圈的第一种构型与第一外圈与第二外圈的第一种安装位置的结构示意图；参照图2和图5所示，所述内圈1设于所述第一外圈2和所述第二外圈3的中部；并且所述第一外圈2和所述第二外圈3上均设有凹陷部9，所述凹陷部9设于所述第一外圈2和所述第二外圈3的中部，所述内圈1设于所述凹陷部9内；所述内圈1的截面呈矩形结构；在该实施例中，所述内圈1从中部对所述第一外圈2与所述第二外圈3提供竖直方向上的推力，将所述第一外圈2与所述第二外圈3沿着竖直方向紧压在所述卡槽13的顶壁和底壁上。

图6为本发明中内圈1的第一种构型与第一外圈与第二外圈的第二种安装位置的结构示意图；参照图2和图6所示，所述内圈1设于所述第一外圈2和所述第二外圈3的边缘；并且所述第一外圈2和所述第二外圈3上均设有凹陷部9，所述凹陷部9设于所述第一外圈2和所述第二外圈3的边缘，所述内圈1设于所述凹陷部9内，值得注意的是，该所述凹陷部9与所述第一外圈2和所述第二外圈3的左边缘连通，这样所述内圈1在安装到所述凹陷部9内以后，所述内圈1的左侧暴露在所述第一外圈2和所述第二外圈3外，且所述内圈1的左侧壁与所述第一外圈2和所述第二外圈3的左侧壁保持在同一竖直线上；所述内圈1的截面呈矩形结构；在该实施例中，所述内圈1从左端边缘处对所述第一外圈2与所述第二外圈3提供竖直方向的推力，将所述第一外圈2与所述第二外圈3沿着竖直方向紧压在所述卡槽13的顶壁和底壁上，结合图2所示；并且所述第一外圈2与所述第二外圈3的左边缘受力要大于所述第一外圈2和所述第二外圈3的右边缘受力，这样可以减小所述第一外圈2和所述第二外圈3的右端的密度，降低刻蚀的速率。

图7为本发明中内圈1的第二种构型与第一外圈2与第二外圈3安装位置的结构示意图；参照图2和图7所示，所述内圈1设于所述第一外圈2和所述第二外圈3的中部；并且所述第一外圈2和所述第二外圈3上均设有凹陷部9，所述凹陷部9设于所述第一外圈2和所述第二外圈3的中部，所述内圈1设于所述凹陷部9内；所述内圈1的在轴向上的截面呈弧形结构，并且所述弧形结构的凹面朝向所述卡槽13的侧壁设置；在该实施例中，所述内圈1从中部对所述第一外圈2与所述第二外圈3分别提供倾斜向左上方和倾斜向左下方的推力，这样通过倾斜向左上方的推力推着所述第一外圈2的有做逆时针偏转运动的趋势，从而使得所述第一外圈2的左端与所述卡槽13的顶壁抵触的更加紧密，同时，通过倾斜向左下方的推力推着所述第二外圈3的有做顺时针偏转运动的趋势，从而使得所述第二外圈3的左端与所述卡槽13的底壁抵触的更加紧密；由于所述第一外圈2的右上角会被等离子气体先刻蚀或所述第二外圈3的右下角会被等离子气体先刻蚀，这样在刻蚀的作用下，会在所述第一外圈2的右上方刻蚀出凹槽，以及在所述第二外圈3的右下方刻蚀出凹槽；本实施例的设置，可以在所述第一外圈2做逆时针偏转运动时，带着右端未刻蚀的部分填补被刻蚀出的凹槽部位，凹槽部位逆时针偏转脱离与等离子气体正面接触的部位，从而使得所述第一外圈2的较厚部位始终与等离子气体正面接触，延长所述组合式密封圈被刻蚀的时间。所述第二外圈3做顺时针偏转运动的过程和作用与所述第一外圈2的原理一致，此处不再赘述。

在一种实施例中，所述凹陷部9具有第一接触面（可以理解为左侧面）和第二接触面（可以理解为右侧面），所述第一接触面与所述第二接触面相对设置，且所述第一接触面靠近所述卡槽13的侧壁设置，其中，所述内圈1与所述第一接触面连接，所述内圈1与所述第二接触面之间存在有间隙，如图7所示。这样设置在所述第一外圈2和所述第二外圈3玻璃化体积微缩时，与所述内圈1连接的所述第一接触面会对所述内圈1起到拉动作用，与所述内圈1未连接的所述第二接触面不会对所述内圈1起作用，因此在所述第一接触面的拉动力作用下，会拉着所述内圈1向左弯曲，在弯曲的过程中由于所述内圈1的张力作用会对所述第一外圈2和所述第二外圈3提供进一步的推力，使得第一外圈2和所述第二外圈3与所述卡槽13的顶壁和底壁贴合的更加紧密，因此本实施例的设置，在-65℃的工艺条件下，会使得所述组合式密封圈的密封效果更好。

图8为本发明中连接部的结构示意图；参照图2和图8所示，所述组合式密封圈还包括设于所述第一外圈2与所述第二外圈3之间，并用于所述第一外圈2与所述第二外圈3连接的连接部8，其中，所述连接部8设于所述内圈1和所述卡槽13的侧壁之间。优选的，所述连接部8为连接杆，且所述连接杆采用全氟醚橡胶材料。所述连接部8的设置，一方面用于起到支撑的作用，提高所述组合式密封圈的刚性，避免所述组合式密封圈较软时，不易安装在所述卡槽13内的问题；另一方面，在-65℃的工艺条件下，所述连接部8玻璃化体积微缩时，会拉着所述第一外圈2和所述第二外圈3的左端做相互靠近运动（即第一外圈2做逆时针偏转，第二外圈3做顺时针偏转），这样在所述内圈1的张力推动下既可以使得第一外圈2和第二外圈3分别与所述卡槽13的顶壁和底壁贴合的更加紧密，同时，又可以在所述第一外圈2和第二外圈3偏转的过程中，使得未被刻蚀的部位偏转到被刻蚀的位置，从而保证与等离子气体接触的部位始终保持较大的厚度。

图9为本发明中延伸部结构示意图；参照图9所示，所述组合式密封圈还包括设于所述内圈1上的两个延伸部10，其中，两个所述延伸部10分别与所述第一外圈2和所述第二外圈3相抵接，当然在其它实施方式中，所述延伸部10的数量也不仅限于两个。所述延伸部10可以为延伸凸起，但又不仅限于延伸凸起。所述延伸部10的设置，一方面起到封堵作用，避免等离子气体刻蚀所述内圈1和所述第一外圈2和第二外圈3的结合部位，另一方面与所述第一外圈2和所述第二外圈3接触会增大所述第一外圈2和所述第二外圈3的厚度。

本发明还提供了一种静电卡盘系统。所述静电卡盘系统包括主体部11、与所述主体部11胶接的陶瓷板12，以及所述的组合式密封圈，其中，所述陶瓷板12与所述主体部11之间存在有卡槽13，所述组合式密封圈套设于所述卡槽13内，如图1和图2所示。

虽然在上文中详细说明了本发明的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本发明的范围和精神之内。而且，在此说明的本发明可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。

Claims (7)

1.一种组合式密封圈，设于静电卡盘的卡槽内，其特征在于，包括内圈、第一外圈和第二外圈，其中，

所述内圈具有第一端和第二端，所述第一端和所述第二端相对设置；

所述第一外圈和所述第二外圈分别设于所述第一端和所述第二端上，且所述第一外圈和所述第二外圈分别与所述卡槽的顶壁和底壁相匹配设置，当所述第一外圈和所述第二外圈玻璃化体积微缩时，所述内圈的张力会推着所述第一外圈和所述第二外圈运动，以使所述第一外圈和所述第二外圈与所述卡槽的顶壁和底壁紧密贴合，其中，所述内圈的材质采用聚四氟乙烯，所述第一外圈与所述第二外圈的材质均采用全氟醚橡胶；

所述内圈的截面呈弧形结构；

还包括设于所述第一外圈与所述第二外圈之间，并用于所述第一外圈与所述第二外圈连接的连接部，其中，所述连接部设于所述内圈和所述卡槽的侧壁之间；

所述第一外圈和/或所述第二外圈上设有凹陷部，所述内圈设于所述凹陷部内，其中，所述凹陷部具有第一接触面和第二接触面，所述第一接触面与所述第二接触面相对设置，且所述第一接触面靠近所述卡槽的侧壁设置，其中，所述内圈与所述第一接触面连接，所述内圈与所述第二接触面之间存在有间隙。

2.根据权利要求1所述的组合式密封圈，其特征在于，所述内圈设于所述第一外圈和所述第二外圈的边缘或设于所述第一外圈和所述第二外圈的中部。

3.根据权利要求1所述的组合式密封圈，其特征在于，所述第一外圈与所述第二外圈均具有第一侧面和第二侧面，所述第一侧面和所述第二侧面相对设置，所述第一侧面靠近所述卡槽的侧壁设置，其中，所述第一外圈与所述第二外圈的第二侧面上均设置有增厚部。

4.根据权利要求3所述的组合式密封圈，其特征在于，所述第一外圈与所述第二外圈相互靠近的一侧均设置有第一引导部，其中，所述第一引导部靠近所述第二侧面设置。

5.根据权利要求3所述的组合式密封圈，其特征在于，所述第一外圈与所述第二外圈相互远离的一侧均设置有第二引导部，其中，所述第二引导部靠近所述第一侧面设置。

6.根据权利要求1所述的组合式密封圈，其特征在于，还包括设于所述内圈上的两个延伸部，其中，两个所述延伸部分别与所述第一外圈和所述第二外圈相抵接。

7.一种静电卡盘系统，其特征在于，包括主体部、与所述主体部胶接的陶瓷板，以及如权利要求1至6中任一项所述的组合式密封圈，其中，所述陶瓷板与所述主体部之间存在有卡槽，所述组合式密封圈套设于所述卡槽内。