CN116700231A - 磁浮平台安全停车方法、装置、控制设备及安全停车系统 - Google Patents
磁浮平台安全停车方法、装置、控制设备及安全停车系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN116700231A CN116700231A CN202210179552.8A CN202210179552A CN116700231A CN 116700231 A CN116700231 A CN 116700231A CN 202210179552 A CN202210179552 A CN 202210179552A CN 116700231 A CN116700231 A CN 116700231A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- platform
- magnetic levitation
- parking
- levitation platform
- error code
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005339 levitation Methods 0.000 title claims abstract description 117
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 50
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims abstract description 18
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 27
- 230000036461 convulsion Effects 0.000 claims description 23
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims description 17
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 14
- 238000001459 lithography Methods 0.000 claims description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000007667 floating Methods 0.000 claims description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 abstract description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 230000004044 response Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 4
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 206010044565 Tremor Diseases 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B7/00—Arrangements for obtaining smooth engagement or disengagement of automatic control
- G05B7/02—Arrangements for obtaining smooth engagement or disengagement of automatic control electric
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B9/00—Safety arrangements
- G05B9/02—Safety arrangements electric
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D1/00—Control of position, course or altitude of land, water, air, or space vehicles, e.g. automatic pilot
- G05D1/02—Control of position or course in two dimensions
Abstract
本发明公开了一种磁浮平台安全停车方法、装置、控制设备及安全停车系统，该方法包括：在磁浮平台发生异常时，判断磁浮平台是否适用安全停车控制；响应于适用安全停车控制，获取磁浮平台的当前状态；基于当前状态生成目标停车轨迹；按照目标停车轨迹控制所述磁浮平台进行安全停车。本发明检测到报错后，在不会对其他部件产生更严重破坏的情况下平滑安全停下运动平台，减少对磁浮平台硬件设备的损伤，解决了现有保护措施中检测到报错后直接断开电机使能，控制程序失去对平台控制而自由落体，使得平台依靠自身重力和与底座面的摩擦力来停车的弊端，尤其是在浮起高度过高时产生大冲击碰撞，在高速运动时突然降下平台会剐蹭表面造成物理性破坏的问题。
Description
技术领域
本发明涉及磁浮控制技术领域，尤其涉及一种磁浮平台安全停车方法、装置、控制设备及安全停车系统。
背景技术
磁浮平台运用电磁悬浮技术，具有稳定可控、静音、零摩擦等显著特点，常用于高精度的运动设备中，随之而来的是对硬件精度要求的升高和硬件成本的增加。为了避免正常工作或调试过程发生故障而导致硬件损伤，通常会从结构、硬件、软件等不同方面设计限位或其他保护措施，以减少硬件损坏带来的精度损失、降低维护成本。
现有技术提供了一种针对光刻机工件台的运动控制，采用迭代精密控制系统进一步增强双运动台的协同工作精度，增加了系统鲁棒性。然而，该现有技术着重于如何实现或提高正常工作状态下双工件台的协同运动精度、增加鲁棒性以及减少故障率，但是故障是不可能百分百避免的，例如，调试过程中由于参数还未优化导致工件台经常出现开环控制停机，运行过程中外部因素如停电、停水、人为操作失误等导致的停机，工件台内部硬件故障或者误差累积超差等因素导致停机等。
现有技术中，当遭遇故障时为防止整套系统进一步损坏，通常会采取紧急停电停机措施。由于磁浮平台是悬浮在底座表面的，突然停电会使工件台自由落体至底座表面，巨大的冲击力会砸伤底座表面。如果工件台正在运行过程中，最大速度可达1～3米每秒，磁浮平台与底座接触会使底面刮擦损坏。这对于高精度的磁浮平台而言表面出现损伤导致凹凸不平会严重破坏运动精度，影响故障修复后的重启工作。
因此，针对磁浮平台运动过程中发生异常的情况，有必要提供了一种安全停车方案，以延长硬件使用寿命，降低维护成本。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：针对磁浮平台运动过程中发生异常的情况，有必要提供一种安全停车方案，以延长硬件使用寿命，降低维护成本。
为解决上述技术问题，本发明提供了一种磁浮平台安全停车方法，包括：
在磁浮平台发生异常时，判断所述磁浮平台是否适用安全停车控制；
响应于适用安全停车控制，获取所述磁浮平台的当前状态；
基于所述当前状态生成目标停车轨迹；
按照所述目标停车轨迹控制所述磁浮平台进行安全停车。
可选地，所述判断磁浮平台是否适用安全停车控制，包括：
获取所述磁浮平台上报的错误码；
基于所述错误码判断磁浮平台是否适用安全停车控制。
可选地，所述获取所述磁浮平台上报的错误码，包括：
水气异常错误码、温度异常错误码、速度超限错误码、高度超限错误码、位移超限错误码、误差超差错误码、过流过压错误码。
可选地，所述判断磁浮平台是否适用安全停车控制之前，还包括：
接收到用户输入的指令代码时检测是否符合运行条件；
若不符合所述运行条件，则自动提示错误码，且不输出执行代码。
可选地，所述获取所述磁浮平台的当前状态，包括：
获取利用传感器收集的所述磁浮平台的姿态信息和运动参数，所述运动参数至少包括速度和加速度。
可选地，所述基于所述当前状态生成目标停车轨迹，包括：
根据所述姿态信息和运动参数生成目标停车轨迹。
可选地，所述根据所述姿态信息和运动参数生成目标停车轨迹，包括：
按照固定时长，或固定位移，或固定加速度，或固定加加速度，或固定加加加速度的方式生成目标停车轨迹。
为解决上述技术问题，本发明提供了一种磁浮平台安全停车装置，包括：
停车判断模块，用于在磁浮平台发生异常时，判断所述磁浮平台是否适用安全停车控制；
状态获取模块，用于响应于适用安全停车控制，获取所述磁浮平台的当前状态；
轨迹生成模块，用于基于所述当前状态生成目标停车轨迹；
停车控制模块，用于按照所述目标停车轨迹控制所述磁浮平台进行安全停车。
可选地，所述停车判断模块，具体用于获取所述磁浮平台上报的错误码；基于所述错误码判断磁浮平台是否适用安全停车控制。
可选地，所述停车判断模块，具体用于获取所述磁浮平台上报的水气异常错误码、温度异常错误码、速度超限错误码、高度超限错误码、位移超限错误码、误差超差错误码、过流过压错误码。
可选地，还包括运行条件检测模块，用于在所述停车判断模块判断磁浮平台是否适用安全停车控制之前，接收到用户输入的指令代码时检测是否符合运行条件；若不符合所述运行条件，则自动提示错误码，且不输出执行代码。
可选地，所述状态获取模块，具体用于获取利用传感器收集的所述磁浮平台的姿态信息和运动参数，所述运动参数至少包括、速度、加速度。
可选地，所述轨迹生成模块，具体用于根据所述姿态信息和运动参数生成目标停车轨迹。
可选地，所述轨迹生成模块，具体用于按照固定时长，或固定位移，或固定加速度，或固定加加速度，或固定加加加速度的方式生成目标停车轨迹。
为解决上述技术问题，本发明提供了一种控制设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述方法。
为解决上述技术问题，本发明提供了一种安全停车系统，包括运动平台和上述控制设备。
可选地，所述运动平台在工作状态时为浮起状态，所述运动平台与底座平台间通过磁力连接，且在通电情况下所述运动平台在所述底座平台上进行单自由度运动或多自由度运动。
可选地，所述运动平台为光刻机工件台。
为解决上述技术问题，本发明提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述程序被处理器执行时实现上述方法。
与现有技术相比，上述方案中的一个或多个实施例可以具有如下优点或有益效果：
应用本发明的一种磁浮平台安全停车方法、装置、控制设备及安全停车系统，判断磁浮平台是否适用安全停车控制；响应于适用安全停车控制，获取所述磁浮平台的当前状态；基于所述当前状态生成目标停车轨迹；按照所述目标停车轨迹控制所述磁浮平台进行安全停车。由此可见，本发明检测到报错后，在不会对其他部件产生更严重破坏的情况下平滑安全停下运动平台，减少对磁浮平台硬件设备的损伤，能够解决现有保护措施中检测到报错后直接断开电机使能，控制程序失去对平台控制而自由落体，使得平台依靠自身重力和与底座面的摩擦力来停车的弊端，尤其是解决了在浮起高度过高时容易产生大冲击碰撞，在高速运动时突然降下平台会剐蹭表面，造成物理性破坏的问题。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的磁浮平台安全停车方法的一种流程图；
图2本发明实施例提供的磁浮平台安全停车装置的一种结构图；
图3为本发明提供的一种控制设备的结构图；
图4为本发明提供的三阶轨迹加加速度随时间变化图；
图5为本发明提供的三阶轨迹加速度随时间变化图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
针对磁浮平台运动过程中发生异常的情况，本发明提供了一种安全停车方案，以延长硬件使用寿命，降低维护成本。具体地，提供了一种磁浮平台安全停车方法、装置、控制设备及安全停车系统。
下面对本发明实施例提供的磁浮平台安全停车方法进行说明。
实施例一
如图1所示，为本发明实施例提供的磁浮平台安全停车方法的一种流程图，可以包括以下步骤：
步骤S101：在磁浮平台发生异常时，判断所述磁浮平台是否适用安全停车控制。
一种情形下，所述判断磁浮平台是否适用安全停车控制，可以包括：获取所述磁浮平台上报的错误码；基于所述错误码判断磁浮平台是否适用安全停车控制。
一个实例中，所述获取所述磁浮平台上报的错误码，可以包括：水气异常错误码、温度异常错误码、速度超限错误码、高度超限错误码、位移超限错误码、误差超差错误码、过流过压错误码。
需要说明的是，上述具体错误码进行本发明的具体情形，本发明对此不做限定，本领域内的技术人员可以根据实际应用中的具体情形进行合理设置。
进一步地，所述判断磁浮平台是否适用安全停车控制之前，还可以包括以下步骤：接收到用户输入的指令代码时检测是否符合运行条件；若不符合所述运行条件，则自动提示错误码，且不输出执行代码。具体地，不符合运行条件的情形可以包括轨迹超过限位、速度加速度过大、轨迹干涉、设备已存在其他故障等。
步骤S102：响应于适用安全停车控制，获取所述磁浮平台的当前状态。
一种情形下，所述获取所述磁浮平台的当前状态，可以包括：获取利用传感器收集的所述磁浮平台的姿态信息和运动参数，所述运动参数至少包括、速度、加速度。
步骤S103：基于所述当前状态生成目标停车轨迹。
一种情形下，所述基于所述当前状态生成目标停车轨迹，可以包括：根据所述姿态信息和运动参数生成目标停车轨迹。
在一个实例中，所述根据所述姿态信息和运动参数生成目标停车轨迹，可以包括：按照固定时长，或固定位移，或固定加速度，或固定加加速度，或固定加加加速度的方式生成目标停车轨迹。需要说明的是，在生成目标停车轨迹时，可以依据实际需要按照固定时长，或固定位移，或固定加速度，或固定加加速度，或固定加加加速度的单一参数生成目标停车轨迹，还可以按照固定时长，或固定位移，或固定加速度，或固定加加速度，或固定加加加速度的任意组合参数生成目标停车轨迹，例如，按照固定时长+固定位移的方式生成目标停车轨迹等。
步骤S104：按照所述目标停车轨迹控制所述磁浮平台进行安全停车。
需要说明的是，由于磁浮平台一般通过电流控制电机出力，越大的电流和电流变化率可以做到更快的停车，但随之而来的是出力突变，剧烈抖动，电流过流等问题。因此在考虑轨迹生成算法时通过不同限制条件权衡轨迹平滑性和停车快速性来满足不同状态的要求。并且，针对速度、加速度、加加速度、加加加速度应还根据实际情况设定绝对值最大值，以防止电机过流造成其他损伤。
当生成的目标停车轨迹传输给磁浮平台的控制机箱处理后，磁浮平台的点击按照所述目标停车轨迹进行安全停车控制。
本发明检测到报错后，在不会对其他部件产生更严重破坏的情况下平滑安全停下运动平台，减少对磁浮平台硬件设备的损伤，能够解决现有保护措施中检测到报错后直接断开电机使能，控制程序失去对平台控制而自由落体，使得平台依靠自身重力和与底座面的摩擦力来停车的弊端，尤其是解决了在浮起高度过高时容易产生大冲击碰撞，在高速运动时突然降下平台会剐蹭表面，造成物理性破坏的问题。
下面对本发明提供的磁浮平台安全停车装置进行说明。
实施例二
如图2所示，为本发明提供的磁浮平台安全停车装置的一种结构图，包括：停车判断模块210、状态获取模块220、轨迹生成模块230和停车控制模块240。
其中，停车判断模块210，用于在磁浮平台发生异常时，判断所述磁浮平台是否适用安全停车控制；
状态获取模块220，用于响应于适用安全停车控制，获取所述磁浮平台的当前状态；
轨迹生成模块230，用于基于所述当前状态生成目标停车轨迹；
停车控制模块240，用于按照所述目标停车轨迹控制所述磁浮平台进行安全停车。
本发明检测到报错后，在不会对其他部件产生更严重破坏的情况下平滑安全停下运动平台，减少对磁浮平台硬件设备的损伤，能够解决现有保护措施中检测到报错后直接断开电机使能，控制程序失去对平台控制而自由落体，使得平台依靠自身重力和与底座面的摩擦力来停车的弊端，尤其是解决了在浮起高度过高时容易产生大冲击碰撞，在高速运动时突然降下平台会剐蹭表面，造成物理性破坏的问题。
一种情形下，所述停车判断模块210，具体用于获取所述磁浮平台上报的错误码；基于所述错误码判断磁浮平台是否适用安全停车控制。
进一步地，所述停车判断模块210，具体用于获取所述磁浮平台上报的水气异常错误码、温度异常错误码、速度超限错误码、高度超限错误码、位移超限错误码、误差超差错误码、过流过压错误码。
一种情形下，磁浮平台安全停车装置还可以包括运行条件检测模块，用于在所述停车判断模块210判断磁浮平台是否适用安全停车控制之前，接收到用户输入的指令代码时检测是否符合运行条件；若不符合所述运行条件，则自动提示错误码，且不输出执行代码。
一种情形下，所述状态获取模块220，具体用于获取利用传感器收集的所述磁浮平台的姿态信息和运动参数，所述运动参数至少包括、速度、加速度。
一种情形下，所述轨迹生成模块230，具体用于根据所述姿态信息和运动参数生成目标停车轨迹。
进一步地，所述轨迹生成模块230，具体用于按照固定时长，或固定位移，或固定加速度，或固定加加速度，或固定加加加速度的方式生成目标停车轨迹。
实施例三
为解决上述技术问题，本发明提供了一种控制设备，如图3所示，包括存储器310、处理器320及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如上所述的方法。
所述控制设备可以是桌上型计算机、笔记本、掌上电脑及云端服务器等计算设备。所述控制设备可包括，但不仅限于处理器320、存储器310。本领域技术人员可以理解，图3仅仅是控制设备的示例，并不构成对控制设备的限定，可以包括比图示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者不同的部件，例如所述控制设备还可以包括输入输出设备、网络接入设备、总线等。
所称处理器320可以是中央处理单元(Central Processing Unit，CPU)，还可以是其它通用处理器、数字信号处理器(Digital Signal Processor，DSP)、专用集成电路(Application Specific Integrated Circuit，ASIC)、现场可编程门阵列(Field-Programmable Gate Array，FPGA)或者其它可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件等。通用处理器可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。
所述存储器310可以是所述控制设备的内部存储单元，例如控制设备的硬盘或内存。所述存储器310也可以是控制设备的外部存储设备，例如所述控制设备上配备的插接式硬盘，智能存储卡(Smart Media Card,SMC)，安全数字(Secure Digital,SD)卡，闪存卡(Flash Card)等。进一步地，所述存储器310还可以既包括所述控制设备的内部存储单元也包括外部存储设备。所述存储器310用于存储所述计算机程序以及所述控制设备所需的其它程序和数据。所述存储器310还可以用于暂时地存储已经输出或者将要输出的数据。
实施例四
为解决上述技术问题，本发明提供了一种安全停车系统，包括运动平台和上述控制设备。
具体地，所述运动平台在工作状态时为浮起状态，所述运动平台与底座平台间通过磁力连接，且在通电情况下所述运动平台在所述底座平台上进行单自由度运动或多自由度运动。
一种情形下，所述运动平台为光刻机工件台。
需要说明的是，光刻机工件台为典型的磁浮平台，该运动平台可在电磁力作用下在磁钢面上方悬浮并进行六自由度运动。在运行过程中，当发生错误警报或者操作人员误操作时系统会自动判断是否启用本发明提供的安全停车方案，而不启用安全停车方案得到情形包括：整机断电、电机电流过流等不可控或者会造成更大硬件损伤的情况。
本发明检测到报错后，在不会对其他部件产生更严重破坏的情况下平滑安全停下运动平台，减少对磁浮平台硬件设备的损伤，能够解决现有保护措施中检测到报错后直接断开电机使能，控制程序失去对平台控制而自由落体，使得平台依靠自身重力和与底座面的摩擦力来停车的弊端，尤其是解决了在浮起高度过高时容易产生大冲击碰撞，在高速运动时突然降下平台会剐蹭表面，造成物理性破坏的问题。
下面以光刻机工件台为例进行安全停车过程介绍。
首先，需要提前设定安全停车规定的加加速度j，最大加速度amax。设定的加速度和加加速度应介于正常运行轨迹要求和最大过流限制条件之间，保证停车轨迹先于正常轨迹停下，防止追求轨迹平滑所带来的位移超限位情况。
启用安全停车方案后，系统从光栅尺、容栅尺、电涡流等传感器回采数据通过解算矩阵获取运动平台当前六自由度姿态和位置pos＝(dx,dy,dz,θx,θy,θz)
求导或差分解算得到X，Y，Z三个方向的速度与加速度，vel＝(vx,vy,vz)，acc＝(ax,ay,az)。一般磁浮平台运动过程中都会控制转角，且转角较小，为减少计算量尽快停车，故不考虑转角姿态影响。若vel≈0，则直接下电停车即可无需计算停车轨迹。
如图4和图5所示，根据磁浮平台状态生成多段三阶(固定加加速度方式)停车轨迹，计算各段轨迹的时长和电机电流分配。三阶轨迹为定加加速度轨迹，该轨迹计算简便快速，加速度无突变(电机电流无突变)，非常符合紧急停车时无精度要求但需要快速平缓停车的需求。
以X向运动为例，获取到故障发生时的磁浮平台速度vx，加速度ax。
根据初始速度vx方向，调整加速度amax和加加速度j的正负方向，保证作减速运动。
(1)如果初始速度相对较小，则无需达到最大加速度即可完成停车，此时：
t1＝0
t2＝t0+ax/j
(2)如果初始速度相对较大，则可达到最大加速度，此时：
t2＝amax/j
(3)中间的匀减速段时间：
经过(1)至(3)的设置，保证最终停下时速度和加速度同时为0。
根据磁浮平台的系统采样频率fs，调整三个时间段至采样时间Δt＝1/fs的整数倍，保证电机电流输出的可操作性。有了加速度曲线之后由F＝ma，即可求得时刻t对应所需出力，由磁浮平台的电机分布和电机推力常数即可分配各电机出力。计算所得的各电机电流分配和出力时间发送至控制机箱解算后给与电机执行，使平台能自主停车。
该应用实例实现了工件台运动平台在发生故障时能自行切入控制轨迹，轨迹X向、Y向可同步执行停车方案，Z向需在X向和Y向均停车之后方可执行。即在保持悬浮的状态下将X向、Y向速度和加速度降到0，再将Z向高度缓慢降低，而后落地。减少了运动平台直接摔落的碰撞风险，保护了磁钢表面和工件台底面。特别在前期的调试过程中将大大降低损伤风险，保护硬件安全。
可以看出，整套系统及算法在磁浮平台发生故障时，使平台平稳减速，保护磁浮平台和底座平台表面不受损坏；应用的停车轨迹只需计算时间参数(t0～t2)，算法计算量小，轨迹生成响应快速；考虑了电机性能及发生故障时的速度和加速度不同情况，适用性强，停车所需时间和路程短，满足故障发生时第一时间停车的基本要求；采用定加加速度轨迹规划方式，使电机电流线性变化，不会产生突变，对电机冲击小，平台不会震颤；水平方向(X，Y)同步减速，进一步缩短了停车所需时间，垂向(Z)最后下落虽牺牲部分停车所需时间但增加了安全性，预防垂向先落地而水平向还存在较大速度导致表面摩擦剐蹭。
实施例五
本申请实施例还提供了一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质可以是上述实施例中的存储器中所包含的计算机可读存储介质；也可以是单独存在、未装配入控制设备中的计算机可读存储介质。所述计算机可读存储介质存储有一个或者一个以上计算机程序，所述程序被处理器执行时实现上述所述的方法。
所述集成的模块/单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本申请实现上述实施例方法中的全部或部分流程，也可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一计算机可读存储介质中，该计算机程序在被处理器执行时，可实现上述各个方法实施例的步骤。其中，所述计算机程序包括计算机程序代码，所述计算机程序代码可以为源代码形式、对象代码形式、可执行文件或某些中间形式等。所述计算机可读介质可以包括：能够携带所述计算机程序代码的任何实体或装置、记录介质、U盘、移动硬盘、磁碟、光盘、计算机存储器310、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、电载波信号、电信信号以及软件分发介质等。需要说明的是，所述计算机可读介质包含的内容可以根据司法管辖区内立法和专利实践的要求进行适当的增减，例如在某些司法管辖区，根据立法和专利实践，计算机可读介质不包括电载波信号和电信信号。
对于系统或装置实施例而言，由于其基本相似于方法实施例，所以描述得比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。
所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为了描述的方便和简洁，仅以上述各功能单元、模块的划分进行举例说明，实际应用中，可以根据需要而将上述功能分配由不同的功能单元、模块完成，即将所述装置的内部结构划分成不同的功能单元或模块，以完成以上描述的全部或者部分功能。实施例中的各功能单元、模块可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中，上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。另外，各功能单元、模块的具体名称也只是为了便于相互区分，并不用于限制本申请的保护范围。上述系统中单元、模块的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
应当理解，在本申请说明书中所使用的术语仅仅是出于描述特定实施例的目的而并不意在限制本申请。如在本申请说明书和所附权利要求书中所使用的那样，除非上下文清楚地指明其它情况，否则单数形式的“一”、“一个”及“该”意在包括复数形式。
还应当理解，在本申请说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。
如在本说明书和所附权利要求书中所使用的那样，术语“如果”可以依据上下文被解释为“当...时”或“一旦”或“响应于确定”或“响应于检测到”。类似地，短语“如果确定”或“如果检测到所描述条件或事件”可以依据上下文被解释为意指“一旦确定”或“响应于确定”或“一旦检测到所描述条件或事件”或“响应于检测到所描述条件或事件”。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并非用于限定本发明的保护范围。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均包含在本发明的保护范围内。
Claims (13)
1.一种磁浮平台安全停车方法，其特征在于，包括：
在磁浮平台发生异常时，判断所述磁浮平台是否适用安全停车控制；
响应于适用安全停车控制，获取所述磁浮平台的当前状态；
基于所述当前状态生成目标停车轨迹；
按照所述目标停车轨迹控制所述磁浮平台进行安全停车。
2.根据权利要求1所述的磁浮平台安全停车方法，其特征在于，所述判断磁浮平台是否适用安全停车控制，包括：
获取所述磁浮平台上报的错误码；
基于所述错误码判断磁浮平台是否适用安全停车控制。
3.根据权利要求2所述的磁浮平台安全停车方法，其特征在于，所述获取所述磁浮平台上报的错误码，包括：
水气异常错误码、温度异常错误码、速度超限错误码、高度超限错误码、位移超限错误码、误差超差错误码、过流过压错误码。
4.根据权利要求1所述的磁浮平台安全停车方法，其特征在于，所述判断磁浮平台是否适用安全停车控制之前，还包括：
接收到用户输入的指令代码时检测是否符合运行条件；
若不符合所述运行条件，则自动提示错误码，且不输出执行代码。
5.根据权利要求1所述的磁浮平台安全停车方法，其特征在于，所述获取所述磁浮平台的当前状态，包括：
获取利用传感器收集的所述磁浮平台的姿态信息和运动参数，所述运动参数至少包括速度和加速度。
6.根据权利要求5所述的磁浮平台安全停车方法，其特征在于，所述基于所述当前状态生成目标停车轨迹，包括：
根据所述姿态信息和运动参数生成目标停车轨迹。
7.根据权利要求6所述的磁浮平台安全停车方法，其特征在于，所述根据所述姿态信息和运动参数生成目标停车轨迹，包括：
按照固定时长，或固定位移，或固定加速度，或固定加加速度，或固定加加加速度的方式生成目标停车轨迹。
8.一种磁浮平台安全停车装置，其特征在于，包括：
停车判断模块，用于在磁浮平台发生异常时，判断所述磁浮平台是否适用安全停车控制；
状态获取模块，用于响应于适用安全停车控制，获取所述磁浮平台的当前状态；
轨迹生成模块，用于基于所述当前状态生成目标停车轨迹；
停车控制模块，用于按照所述目标停车轨迹控制所述磁浮平台进行安全停车。
9.一种控制设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求1至7中任一项所述的方法。
10.一种安全停车系统，其特征在于，包括运动平台和权利要求9所述的控制设备。
11.根据权利要求10所述的安全停车系统，其特征在于，所述运动平台在工作状态时为浮起状态，所述运动平台与底座平台间通过磁力连接，且在通电情况下所述运动平台在所述底座平台上进行单自由度运动或多自由度运动。
12.根据权利要求10所述的安全停车系统，其特征在于，所述运动平台为光刻机工件台。
13.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述程序被处理器执行时实现如权利要求1至7中任一项所述的方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210179552.8A CN116700231A (zh) | 2022-02-25 | 2022-02-25 | 磁浮平台安全停车方法、装置、控制设备及安全停车系统 |
| PCT/CN2022/115897 WO2023159902A1 (zh) | 2022-02-25 | 2022-08-30 | 磁浮平台安全停车方法、装置、控制设备及安全停车系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210179552.8A CN116700231A (zh) | 2022-02-25 | 2022-02-25 | 磁浮平台安全停车方法、装置、控制设备及安全停车系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN116700231A true CN116700231A (zh) | 2023-09-05 |
Family
ID=87764540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202210179552.8A Pending CN116700231A (zh) | 2022-02-25 | 2022-02-25 | 磁浮平台安全停车方法、装置、控制设备及安全停车系统 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN116700231A (zh) |
| WO (1) | WO2023159902A1 (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117588491B (zh) * | 2024-01-18 | 2024-04-12 | 瑞纳智能设备股份有限公司 | 磁悬浮轴承系统及其停机控制方法、装置和电器设备 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06147185A (ja) * | 1992-11-10 | 1994-05-27 | Seiko Seiki Co Ltd | 磁気浮上型真空ポンプ |
| CN101024270A (zh) * | 2006-12-12 | 2007-08-29 | 大连交通大学 | 数控机床磁浮直线进给系统 |
| CN100497037C (zh) * | 2007-10-17 | 2009-06-10 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 防护磁浮列车吸死轨道的方法及系统 |
| CN104590288B (zh) * | 2014-11-28 | 2016-12-07 | 南车株洲电力机车有限公司 | 一种应对中低速磁悬浮列车悬浮失稳的控制方法 |
| KR102573123B1 (ko) * | 2017-01-06 | 2023-08-30 | 엘지전자 주식회사 | 압축기 구동장치 및 이를 구비한 칠러 |
| CN107220456B (zh) * | 2017-06-20 | 2020-07-28 | 清华大学 | 磁悬浮轴系跌落轨迹识别与重新悬浮的控制方法及装置 |
| CN113492815B (zh) * | 2020-03-19 | 2022-07-26 | 中车唐山机车车辆有限公司 | 落车制动控制装置及磁悬浮列车 |
| CN113525456B (zh) * | 2021-08-18 | 2023-04-25 | 湖南中车时代通信信号有限公司 | 一种磁浮列车的控制方法及装置，一种控制平台 |
-
2022
- 2022-02-25 CN CN202210179552.8A patent/CN116700231A/zh active Pending
- 2022-08-30 WO PCT/CN2022/115897 patent/WO2023159902A1/zh unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2023159902A1 (zh) | 2023-08-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2042278B1 (en) | Robot controller for halting a robot based on the speed of a robot hand portion | |
| EP3453663B1 (en) | Floor monitoring method, electronic device and computer storage medium for use when robot riding elevator | |
| US9162359B2 (en) | Robot system and method for controlling robot system | |
| JP2018524185A (ja) | アクチュエータ駆動ロボットジョイントの開ループ／閉ループ制御のための方法および装置 | |
| KR102489196B1 (ko) | 조향 모델에 기반한 모델 기반 진단 | |
| US20190193269A1 (en) | Robot control system and method of controlling a robot | |
| US10996654B2 (en) | Servo controller | |
| CN116700231A (zh) | 磁浮平台安全停车方法、装置、控制设备及安全停车系统 | |
| US20080071491A1 (en) | System and method for controlling operations of a measuring machine | |
| JP2008183680A (ja) | 負荷機械の制御装置とその衝突検出しきい値更新方法 | |
| JP5912953B2 (ja) | 制御装置、及び制御方法 | |
| CN114589694A (zh) | 一种机器人碰撞检测阈值更新方法、装置与存储介质 | |
| CN111891274A (zh) | 平衡车控制方法、装置及存储介质 | |
| JP2014018941A (ja) | 制御装置、及び制御方法 | |
| CN117075647B (zh) | 一种堆垛机的控制方法及装置 | |
| CN104871101B (zh) | 用于材料切除地加工工件的方法 | |
| US5663622A (en) | Positioning control system | |
| CN111775148B (zh) | 一种机器人控制方法、装置、存储介质及机器人 | |
| CN115389077B (zh) | 碰撞检测方法、装置、控制设备及可读存储介质 | |
| CN115818091B (zh) | 一种单巷道双堆垛机的调度方法及系统 | |
| CN111687248B (zh) | 故障检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质 | |
| US20230138649A1 (en) | Following robot | |
| WO2021193914A1 (ja) | ロボット、ロボットシステム、およびロボット制御プログラム | |
| TWI718082B (zh) | 機器人的停止方法以及機器人系統 | |
| CN112645217B (zh) | 起重小车的控制方法、控制装置及塔式起重机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20230918 Address after: 2nd Floor, Building 2, Courtyard 19, Kechuang 10th Street, Daxing District, Beijing, 101111 (Yizhuang Cluster, High end Industrial Zone, Beijing Pilot Free Trade Zone) Applicant after: BEIJING U-PRECISION TECH Co.,Ltd. Applicant after: Beijing Youwei Precision Measurement and Control Technology Research Co.,Ltd. Address before: 100176 floor 2, building 2, yard 19, Kechuang 10th Street, economic and Technological Development Zone, Daxing District, Beijing (Yizhuang group, high-end industrial area, Beijing Pilot Free Trade Zone) Applicant before: BEIJING U-PRECISION TECH Co.,Ltd. |
|
| TA01 | Transfer of patent application right |