CN116689431B - 一种石英制品用清洗装置及其清洗方法 - Google Patents

一种石英制品用清洗装置及其清洗方法 Download PDF

Info

Publication number
CN116689431B
CN116689431B CN202310947035.5A CN202310947035A CN116689431B CN 116689431 B CN116689431 B CN 116689431B CN 202310947035 A CN202310947035 A CN 202310947035A CN 116689431 B CN116689431 B CN 116689431B
Authority
CN
China
Prior art keywords
quartz crucible
crucible body
fixed
outer side
cleaning
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202310947035.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN116689431A (zh
Inventor
李景双
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Liaoning Tuobang Hongji Semiconductor Materials Co ltd
Original Assignee
Liaoning Tuobang Hongji Semiconductor Materials Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Liaoning Tuobang Hongji Semiconductor Materials Co ltd filed Critical Liaoning Tuobang Hongji Semiconductor Materials Co ltd
Priority to CN202310947035.5A priority Critical patent/CN116689431B/zh
Publication of CN116689431A publication Critical patent/CN116689431A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN116689431B publication Critical patent/CN116689431B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B9/00Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto 
    • B08B9/08Cleaning containers, e.g. tanks
    • B08B9/20Cleaning containers, e.g. tanks by using apparatus into or on to which containers, e.g. bottles, jars, cans are brought
    • B08B9/28Cleaning containers, e.g. tanks by using apparatus into or on to which containers, e.g. bottles, jars, cans are brought the apparatus cleaning by splash, spray, or jet application, with or without soaking
    • B08B9/34Arrangements of conduits or nozzles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B13/00Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B9/00Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto 
    • B08B9/08Cleaning containers, e.g. tanks
    • B08B9/20Cleaning containers, e.g. tanks by using apparatus into or on to which containers, e.g. bottles, jars, cans are brought
    • B08B9/36Cleaning containers, e.g. tanks by using apparatus into or on to which containers, e.g. bottles, jars, cans are brought the apparatus cleaning by using brushes
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

本发明公开了一种石英制品用清洗装置及其清洗方法,涉及石英制品的清洗技术领域,包括收集箱,所述电机的输出端连接有换向件,所述电机通过换向件连接有石英坩埚本体,所述隔板的顶部设置有多向清理机构,所述伸缩气缸的输出端设置有与多向清理机构相连的推件器。本发明通过设置换向件、多向清理机构,在对石英坩埚本体进行清洗前,先将石英坩埚本体放置于两个托辊之间,通过电机的运作带动石英坩埚本体进行转动,同时清洗液通过连液管、支撑管进入U型架的内侧,最后由喷头喷出,如此便可使清洗液均匀地喷洒在石英坩埚本体的两端及外侧,便可对石英坩埚本体进行全方位无死角的清洗,以此来提高设备对石英坩埚本体的清洗效果。

Description

一种石英制品用清洗装置及其清洗方法
技术领域
本发明涉及石英制品的清洗技术领域,具体是一种石英制品用清洗装置及其清洗方法。
背景技术
石英坩埚,具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点,应用越来越广泛,石英坩埚在制作过程中需要经过成型、切削、清洗、烘干等步骤。
一般在对石英坩埚进行清洗时是将石英坩埚放置于工作台上,之后通过喷头喷出清洗液对石英坩埚进行清洗,由于石英坩埚的底部与工作台接触,如此便会导致石英坩埚的底部无法进行清洗,同时由于石英坩埚为杯子的形状,极易在清洗时出现清洁死角,如此便会影响设备对石英坩埚的清洁效果。
发明内容
本发明的目的在于:为了解决一般的清洁设备对石英坩埚的清洗效果较差的问题,提供一种石英制品用清洗装置及其清洗方法。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种石英制品用清洗装置,包括收集箱,所述收集箱的一侧安装有电机,所述电机的输出端连接有换向件,所述电机通过换向件连接有石英坩埚本体,所述收集箱的内壁固定有隔板,所述隔板的顶部设置有多向清理机构,所述收集箱的一侧设置有位于电机一侧的伸缩气缸,所述伸缩气缸的输出端设置有与多向清理机构相连的推件器,所述收集箱的顶部通过轴承转动连接有撑位杆,所述撑位杆的外侧设置有沥水机构,所述撑位杆的两端设置有与推件器相连的单旋拨位件。
作为本发明再进一步的方案:所述换向件包括有设置于隔板远离电机一侧的两个旋转连轴,两个旋转连轴沿着隔板的横向中轴线对称设置,所述旋转连轴的一端贯穿至隔板靠近电机的一侧,且延伸至收集箱的外侧,所述旋转连轴靠近电机的一端固定有第一同步轮,所述电机的输出端与第一同步轮相连,所述第一同步轮的外侧设置有第一同步带,沿着隔板的横向中轴线对称设置的两个旋转连轴通过第一同步带、第一同步轮转动连接,两个旋转连轴远离第一同步轮的一端均固定有托辊,石英坩埚本体放置于两个托辊之间。
作为本发明再进一步的方案:所述多向清理机构包括有固定于隔板顶部的连接架,所述连接架远离伸缩气缸的一侧通过转轴转动连接有摆连板,所述摆连板与连接架连接的转轴底部固定有蜗轮,所述连接架的远离伸缩气缸的一侧通过轴承转动连接有位于蜗轮一侧的蜗杆,所述蜗杆的两端固定有直齿轮,所述摆连板远离蜗轮的一端顶部固定有贯穿至摆连板底部的支撑管,所述支撑管的底端连接有U型架,U型架的内侧分布有多个喷头,所述支撑管的顶端设置有与连接架相连的同步断连单元,所述支撑管的顶端通过同步断连单元连接有旋转连轴。
作为本发明再进一步的方案:所述推件器包括有固定于伸缩气缸输出端的L型撑架,所述L型撑架的顶部一端固定有第二齿条,所述蜗杆的两端固定有直齿轮,直齿轮与第二齿条相啮合,所述隔板的一侧插接有贯穿至隔板另一侧的推位轴,所述推位轴靠近石英坩埚本体的一端固定有推块,所述推块位于两个托辊之间,所述推位轴远离推块的一端插接有插杆,插杆的一端延伸至推位轴的外侧,所述插杆远离推位轴的一端与L型撑架相连,所述推位轴远离推块的一端设置有与L型撑架相连的伸缩弹簧,伸缩弹簧位于插杆的外侧。
作为本发明再进一步的方案:所述同步断连单元包括有固定于连接架顶部的凸轮,所述支撑管的顶部一端固定有过渡仓,连液管安装于过渡仓的顶部,所述过渡仓的内侧设置有贯穿至过渡仓外侧的插块,所述插块远离过渡仓的一端固定有推挤连块,所述推挤连块的两侧设置有与过渡仓相连的复位弹簧,所述插块远离推挤连块的一端固定有位于过渡仓内侧的塞块,塞块与过渡仓的内壁相贴合,所述塞块的一侧开设有贯穿至塞块另一侧的排液孔。
作为本发明再进一步的方案:所述沥水机构包括有固定于撑位杆外侧的连盘,连盘位于收集箱的上方,所述连盘的外侧固定有多个脱位盘,多个脱位盘沿着连盘的圆心等距离分布,所述脱位盘的顶部通过轴承转动连接有多个从转连辊,从转连辊沿着脱位盘的圆心等距离分布,所述脱位盘的外侧通过轴承转动连接有两个主转连辊,主转连辊的圆心至脱位盘圆心的距离大于从转连辊圆心至脱位盘圆心的距离,两个主转连辊沿着脱位盘的竖向中轴线对称设置,所述主转连辊的底端固定有第二同步轮,所述第二同步轮的底部设置有传动锥齿轮,第二同步轮的外侧设置有第二同步带,沿着脱位盘的竖向中轴线对称设置的两个主转连辊通过第二同步轮、第二同步带传动连接,所述收集箱的内壁固定有定连锥齿轮,定连锥齿轮位于撑位杆的外侧,所述定连锥齿轮与传动锥齿轮相啮合,所述脱位盘的外侧设置有与主转连辊交错设置的U型夹板,所述U型夹板的内侧设置有清洁刷。
作为本发明再进一步的方案:所述单旋拨位件包括有固定于推位轴外侧的侧连架,所述侧连架的靠近撑位杆的一端固定有第一齿条,所述撑位杆的两端固定有第二棘轮,所述撑位杆的外侧设置有位于收集箱外侧的第一棘轮,所述撑位杆的外侧通过轴承转动连接有位于第一棘轮一侧的齿轮套,齿轮套位于第二棘轮的外侧,所述齿轮套与第一齿条相啮合,所述齿轮套的内侧通过转轴转动连接有与第二棘轮相啮合的第一棘爪,所述收集箱的外壁通过转轴转动连接有与第一棘轮相啮合的第二棘爪,第二棘爪与收集箱连接的转轴外侧卡接有扭力弹簧。
作为本发明再进一步的方案:所述齿轮套与第一棘爪连接的转轴外侧同样设置有扭力弹簧。
作为本发明再进一步的方案:所述从转连辊与主转连辊之间的距离与石英坩埚本体的厚度相等,所述U型夹板内侧的宽度与石英坩埚本体的厚度相等。
本发明还公开了一种石英制品用清洗方法,采用上述一种石英制品用清洗装置,包括以下步骤:
S1:在对石英坩埚本体进行清洗时,先将石英坩埚本体的开口端朝向撑位杆;
S2:将石英坩埚本体放置于两个托辊之间,使得石英坩埚本体位于U型架的内侧,将外界水管与连液管相连,此时清洗液便会通过连液管、支撑管进入U型架的内侧,最后由喷头喷出,之后启动电机,通过电机的运作来使两个旋转连轴在第一同步轮、第一同步带的作用下向着相同方向进行转动,如此便可带动石英坩埚本体进行转动,配合着多向清理机构便可对石英坩埚本体进行全方位无死角的清洗,以此来提高设备对石英坩埚本体的清洗效果;
S3:当石英坩埚本体清洗完成后启动伸缩气缸,使得伸缩气缸进行伸展,伸缩气缸进行伸展时伸缩弹簧在弹性复原力的作用下收缩复原,此时推位轴相对隔板无法移动,同时L型撑架在伸缩气缸的作用下向着隔板进行移动,如此便可使第二齿条通过直齿轮、蜗杆、蜗轮带动摆连板进行转动,以此来使石英坩埚本体与U型架发生错位;
S4:当伸缩弹簧完全复原后,伸缩气缸继续伸展,便可使插杆推动推位轴进行移动,使得推块推动石英坩埚本体向着撑位杆进行移动;
S5:石英坩埚本体便会在移动的过程中套入从转连辊的外侧,此时从转连辊与石英坩埚本体的内腔壁贴合,而主转连辊与石英坩埚本体的外壁贴合,同时石英坩埚本体插入U型夹板的内侧,当伸缩气缸收缩复原时,撑位杆便会在单旋拨位件的作用下相对收集箱进行逆时针转动;
S6:如此便可使石英坩埚本体转至倒扣状,以此来使石英坩埚本体内的水流流出,在此过程中传动锥齿轮沿着定连锥齿轮进行自转,如此便可使主转连辊拨动石英坩埚本体进行转动,使得石英坩埚本体相对脱位盘进行转动,以此来使清洁刷对石英坩埚本体的内壁、外壁进行擦拭,防止大量水渍沾附于石英坩埚本体的外侧,同时也为后续石英坩埚本体的烘干提供了便利。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
1、通过设置换向件、多向清理机构,在对石英坩埚本体进行清洗前,先将石英坩埚本体放置于两个托辊之间,之后启动电机,通过电机的运作来使两个旋转连轴在第一同步轮、第一同步带的作用下向着相同方向进行转动,如此便可带动石英坩埚本体进行转动,同时将外界水管与连液管相连,此时清洗液便会通过连液管、支撑管进入U型架的内侧,最后由喷头喷出,如此便可使清洗液均匀地喷洒在石英坩埚本体的两端及外侧,便可对石英坩埚本体进行全方位无死角的清洗,以此来提高设备对石英坩埚本体的清洗效果;
2、通过设置推件器,当石英坩埚本体清洗完成后启动伸缩气缸,使得伸缩气缸进行伸展,伸缩气缸进行伸展时伸缩弹簧在弹性复原力的作用下收缩复原,此时推位轴相对隔板无法移动,同时L型撑架在伸缩气缸的作用下向着隔板进行移动,如此便可使第二齿条通过直齿轮、蜗杆、蜗轮带动摆连板进行转动,以此来使石英坩埚本体与U型架发生错位,当伸缩弹簧完全复原后,伸缩气缸继续伸展,便可使插杆推动推位轴进行移动,使得推块推动石英坩埚本体向着撑位杆进行移动,以此来防止推块在推动石英坩埚本体进行移动的过程中与喷头发生碰撞,以此来使设备有序运作;
3、通过设置沥水机构、单旋拨位件,当伸缩气缸进行伸展时,第一齿条拨动齿轮套进行转动,使得齿轮套相对撑位杆进行转动,当石英坩埚本体在推件器向着撑位杆进行移动时,石英坩埚本体便会在移动的过程中套入从转连辊的外侧,此时从转连辊与石英坩埚本体的内腔壁贴合,而主转连辊与石英坩埚本体的外壁贴合,同时石英坩埚本体插入U型夹板的内侧,当伸缩气缸进行收缩时第一齿条拨动齿轮套进行反转,此时齿轮套通过第一棘爪带动第二棘轮进行转动,如此便可使第二棘轮带动撑位杆进行转动,如此便可使撑位杆相对收集箱进行逆时针转动,如此便可使石英坩埚本体转至倒扣状,以此来使石英坩埚本体内的水流流出,同时传动锥齿轮沿着定连锥齿轮进行自转,如此便可使主转连辊拨动石英坩埚本体进行转动,使得石英坩埚本体相对脱位盘进行转动,以此来使清洁刷对石英坩埚本体的内壁、外壁进行擦拭,防止大量水渍沾附于石英坩埚本体的外侧,同时也为后续石英坩埚本体的烘干提供了便利;
4、通过设置同步断连单元,当摆连板相对连接架发生转动时,凸轮便会与推挤连块发生错位,此时推挤连块失去凸轮的限位,如此便可使复位弹簧推动推挤连块远离过渡仓,以此来使塞块移至连液管的下方,对连液管进行遮挡,以此达到断水效果,而当伸缩气缸完全收缩时,摆连板便会在推件器的作用下复原,此时塞块在插块、推挤连块、凸轮的作用下复原,此时水流便会通过连液管、排液孔进入支撑管内,此过程无需对工作人员对控制清洗液的阀门进行重复打开、关闭,操作简单,不仅减轻了工作人员的劳动强度,同时也防止出现大量水资源的浪费。
附图说明
图1为本发明的结构示意图;
图2为本发明的收集箱与撑位杆的连接示意图;
图3为本发明的脱位盘的结构示意图;
图4为本发明的推件器的结构示意图;
图5为本发明的连液管与支撑管的连接示意图;
图6为本发明的过渡仓内部结构示意图;
图7为本发明的撑位杆的端部结构示意图;
图8为本发明的第一棘轮与第二棘爪的连接示意图。
图中:1、收集箱;2、电机;3、伸缩气缸;4、石英坩埚本体;501、第一同步轮;502、第一同步带;503、旋转连轴;504、L型撑架;505、托辊;506、推位轴;507、连接架;508、撑位杆;509、第一齿条;510、侧连架;511、隔板;512、连盘;513、脱位盘;514、从转连辊;515、U型夹板;516、清洁刷;517、主转连辊;518、第一棘轮;519、齿轮套;520、第二棘轮;521、定连锥齿轮;522、传动锥齿轮;523、第二同步轮;524、第二同步带;525、推块;526、插杆;527、伸缩弹簧;528、第二齿条;529、凸轮;530、连液管;531、过渡仓;532、蜗轮;533、支撑管;534、摆连板;535、U型架;536、喷头;537、蜗杆;538、直齿轮;539、推挤连块;540、复位弹簧;541、插块;542、排液孔;543、塞块;544、第一棘爪;545、第二棘爪;546、扭力弹簧。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。下面根据本发明的整体结构,对其实施例进行说明。
请参阅图1~图8,本发明实施例中,一种石英制品用清洗装置,包括收集箱1,收集箱1的一侧安装有电机2,电机2的输出端连接有换向件,电机2通过换向件连接有石英坩埚本体4,收集箱1的内壁固定有隔板511,隔板511的顶部设置有多向清理机构,收集箱1的一侧设置有位于电机2一侧的伸缩气缸3,伸缩气缸3的输出端设置有与多向清理机构相连的推件器,收集箱1的顶部通过轴承转动连接有撑位杆508,撑位杆508的外侧设置有沥水机构,撑位杆508的两端设置有与推件器相连的单旋拨位件。
本实施例中:在对石英坩埚本体4进行清洗时,先将石英坩埚本体4的开口端朝向撑位杆508,之后将石英坩埚本体4放置于收集箱1的顶部,通过换向件对石英坩埚本体4进行支撑放置,随后启动电机2,通过电机2与换向件之间的配合来使石英坩埚本体4相对收集箱1发生转动,之后通过多向清理机构对石英坩埚本体4的各个位置进行无死角清洗,清洗完成后启动伸缩气缸3,通过伸缩气缸3的伸展使推件器将石英坩埚本体4推向撑位杆508,当伸缩气缸3输出端进行收缩时通过单旋拨位件与沥水机构的配合对清洗后的石英坩埚本体4进行擦拭清洁,以此来提高设备对石英坩埚本体4的清洗效果。
请着重参阅图1,换向件包括有设置于隔板511远离电机2一侧的两个旋转连轴503,两个旋转连轴503沿着隔板511的横向中轴线对称设置,旋转连轴503的一端贯穿至隔板511靠近电机2的一侧,且延伸至收集箱1的外侧,旋转连轴503靠近电机2的一端固定有第一同步轮501,电机2的输出端与第一同步轮501相连,第一同步轮501的外侧设置有第一同步带502,沿着隔板511的横向中轴线对称设置的两个旋转连轴503通过第一同步带502、第一同步轮501转动连接,两个旋转连轴503远离第一同步轮501的一端均固定有托辊505,石英坩埚本体4放置于两个托辊505之间。
本实施例中:在对石英坩埚本体4进行清洗前,先将石英坩埚本体4放置于两个托辊505之间,之后启动电机2,通过电机2的运作来使两个旋转连轴503在第一同步轮501、第一同步带502的作用下向着相同方向进行转动,如此便可带动石英坩埚本体4进行转动,配合着多向清理机构便可对石英坩埚本体4进行全方位无死角的清洗,以此来提高设备对石英坩埚本体4的清洗效果。
请着重参阅图1、图4、图5、图6,多向清理机构包括有固定于隔板511顶部的连接架507,连接架507远离伸缩气缸3的一侧通过转轴转动连接有摆连板534,摆连板534与连接架507连接的转轴底部固定有蜗轮532,连接架507的远离伸缩气缸3的一侧通过轴承转动连接有位于蜗轮532一侧的蜗杆537,蜗杆537的两端固定有直齿轮538,摆连板534远离蜗轮532的一端顶部固定有贯穿至摆连板534底部的支撑管533,支撑管533的底端连接有U型架535,U型架535的内侧分布有多个喷头536,支撑管533的顶端设置有与连接架507相连的同步断连单元,支撑管533的顶端通过同步断连单元连接有旋转连轴503。
本实施例中:将石英坩埚本体4放置于托辊505的顶部的同时,石英坩埚本体4位于U型架535的内侧,将外界水管与连液管530相连,此时清洗液便会通过连液管530、支撑管533进入U型架535的内侧,最后由喷头536喷出,如此便可使清洗液均匀的喷洒在石英坩埚本体4的两端及外侧,同时配合着换向件带动石英坩埚本体4的转动,便可对石英坩埚本体4进行全方位无死角的清洗,以此来提高设备对石英坩埚本体4的清洗效果,提高了石英坩埚本体4的清洁度。
请着重参阅图1、图4,推件器包括有固定于伸缩气缸3输出端的L型撑架504,L型撑架504的顶部一端固定有第二齿条528,蜗杆537的两端固定有直齿轮538,直齿轮538与第二齿条528相啮合,隔板511的一侧插接有贯穿至隔板511另一侧的推位轴506,推位轴506靠近石英坩埚本体4的一端固定有推块525,推块525位于两个托辊505之间,推位轴506远离推块525的一端插接有插杆526,插杆526的一端延伸至推位轴506的外侧,插杆526远离推位轴506的一端与L型撑架504相连,推位轴506远离推块525的一端设置有与L型撑架504相连的伸缩弹簧527,伸缩弹簧527位于插杆526的外侧。
本实施例中:当石英坩埚本体4清洗完成后启动伸缩气缸3,使得伸缩气缸3进行伸展,伸缩气缸3进行伸展时伸缩弹簧527在弹性复原力的作用下收缩复原,此时推位轴506相对隔板511无法移动,同时L型撑架504在伸缩气缸3的作用下向着隔板511进行移动,如此便可使第二齿条528通过直齿轮538、蜗杆537、蜗轮532带动摆连板534进行转动,以此来使石英坩埚本体4与U型架535发生错位,当伸缩弹簧527完全复原后,伸缩气缸3继续伸展,便可使插杆526推动推位轴506进行移动,使得推块525推动石英坩埚本体4向着隔板511进行移动,如此便可使石英坩埚本体4通过沥水机构移至撑位杆508的外侧,配合着沥水机构便可对清洗后的石英坩埚本体4进行擦拭处理,以此来提高石英坩埚本体4的清洁度,同时也为后续石英坩埚本体4的烘干提供了便利。
请着重参阅图4、图5、图6,同步断连单元包括有固定于连接架507顶部的凸轮529,支撑管533的顶部一端固定有过渡仓531,连液管530安装于过渡仓531的顶部,过渡仓531的内侧设置有贯穿至过渡仓531外侧的插块541,插块541远离过渡仓531的一端固定有推挤连块539,推挤连块539的两侧设置有与过渡仓531相连的复位弹簧540,插块541远离推挤连块539的一端固定有位于过渡仓531内侧的塞块543,塞块543与过渡仓531的内壁相贴合,塞块543的一侧开设有贯穿至塞块543另一侧的排液孔542。
本实施例中:当摆连板534相对连接架507发生转动时,凸轮529便会与推挤连块539发生错位,此时推挤连块539失去凸轮529的限位,如此便可使复位弹簧540推动推挤连块539远离过渡仓531,以此来使塞块543移至连液管530的下方,对连液管530进行遮挡,以此达到断水效果,而当伸缩气缸3完全收缩时,摆连板534便会在推件器的作用下复原,此时塞块543在插块541、推挤连块539、凸轮529的作用下复原,此时水流便会通过连液管530、排液孔542进入支撑管533内,此过程无需对工作人员对控制清洗液的阀门进行重复打开、关闭,操作简单,不仅减轻了工作人员的劳动强度,同时也防止出现大量水资源的浪费。
请着重参阅图1、图2、图3,沥水机构包括有固定于撑位杆508外侧的连盘512,连盘512位于收集箱1的上方,连盘512的外侧固定有多个脱位盘513,多个脱位盘513沿着连盘512的圆心等距离分布,脱位盘513的顶部通过轴承转动连接有多个从转连辊514,从转连辊514沿着脱位盘513的圆心等距离分布,脱位盘513的外侧通过轴承转动连接有两个主转连辊517,主转连辊517的圆心至脱位盘513圆心的距离大于从转连辊514圆心至脱位盘513圆心的距离,两个主转连辊517沿着脱位盘513的竖向中轴线对称设置,主转连辊517的底端固定有第二同步轮523,第二同步轮523的底部设置有传动锥齿轮522,第二同步轮523的外侧设置有第二同步带524,沿着脱位盘513的竖向中轴线对称设置的两个主转连辊517通过第二同步轮523、第二同步带524转动连接,收集箱1的内壁固定有定连锥齿轮521,定连锥齿轮521位于撑位杆508的外侧,定连锥齿轮521与传动锥齿轮522相啮合,脱位盘513的外侧设置有与主转连辊517交错设置的U型夹板515,U型夹板515的内侧设置有清洁刷516。
本实施例中:当石英坩埚本体4在推件器向着撑位杆508进行移动时,石英坩埚本体4便会在移动的过程中套入从转连辊514的外侧,此时从转连辊514与石英坩埚本体4的内腔壁贴合,而主转连辊517与石英坩埚本体4的外壁贴合,同时石英坩埚本体4插入U型夹板515的内侧,当伸缩气缸3收缩复原时,撑位杆508便会在单旋拨位件的作用下相对收集箱1进行逆时针转动,如此便可使石英坩埚本体4转至倒扣状,以此来使石英坩埚本体4内的水流流出,在此过程中传动锥齿轮522沿着定连锥齿轮521进行自转,如此便可使主转连辊517拨动石英坩埚本体4进行转动,使得石英坩埚本体4相对脱位盘513进行转动,以此来使清洁刷516对石英坩埚本体4的内壁、外壁进行擦拭,防止大量水渍沾附于石英坩埚本体4的外侧,同时也为后续石英坩埚本体4的烘干提供了便利。
请着重参阅图1、图2、图4、图7、图8,单旋拨位件包括有固定于推位轴506外侧的侧连架510,侧连架510的靠近撑位杆508的一端固定有第一齿条509,撑位杆508的两端固定有第二棘轮520,撑位杆508的外侧设置有位于收集箱1外侧的第一棘轮518,撑位杆508的外侧通过轴承转动连接有位于第一棘轮518一侧的齿轮套519,齿轮套519位于第二棘轮520的外侧,齿轮套519与第一齿条509相啮合,齿轮套519的内侧通过转轴转动连接有与第二棘轮520相啮合的第一棘爪544,收集箱1的外壁通过转轴转动连接有与第一棘轮518相啮合的第二棘爪545,第二棘爪545与收集箱1连接的转轴外侧卡接有扭力弹簧546。
本实施例中:当伸缩气缸3进行伸展时,第一齿条509拨动齿轮套519进行转动,此时第一棘轮518受到第二棘爪545的限位,如此便可使齿轮套519相对撑位杆508进行转动,当伸缩气缸3进行收缩时第一齿条509拨动齿轮套519进行反转,此时齿轮套519通过第一棘爪544带动第二棘轮520进行转动,如此便可使第二棘轮520带动撑位杆508进行转动,在此过程中第二棘爪545失去在第一棘轮518的拨动下进行反复摆动,如此便可使撑位杆508相对收集箱1进行逆时针转动,配合着沥水机构对石英坩埚本体4进行擦拭处理,提高了设备对石英坩埚本体4清洗的整洁度。
请着重参阅图7,齿轮套519与第一棘爪544连接的转轴外侧同样设置有扭力弹簧546。
本实施例中:通过设置此结构使得齿轮套519仅可通过第一棘爪544带动第二棘轮520进行单向转动,以此来使撑位杆508进行单向转动。
请着重参阅图3,从转连辊514与主转连辊517之间的距离与石英坩埚本体4的厚度相等,U型夹板515内侧的宽度与石英坩埚本体4的厚度相等。
本实施例中:通过设置此结构来提高清洁刷516、从转连辊514、主转连辊517与石英坩埚本体4贴合度。
以下结合上述一种石英制品用清洗装置,提供一种石英制品用清洗方法,具体包括以下步骤:
S1:在对石英坩埚本体4进行清洗时,先将石英坩埚本体4的开口端朝向撑位杆508;
S2:将石英坩埚本体4放置于两个托辊505之间,使得石英坩埚本体4位于U型架535的内侧,将外界水管与连液管530相连,此时清洗液便会通过连液管530、支撑管533进入U型架535的内侧,最后由喷头536喷出,之后启动电机2,通过电机2的运作来使两个旋转连轴503在第一同步轮501、第一同步带502的作用下向着相同方向进行转动,如此便可带动石英坩埚本体4进行转动,配合着多向清理机构便可对石英坩埚本体4进行全方位无死角的清洗,以此来提高设备对石英坩埚本体4的清洗效果;
S3:当石英坩埚本体4清洗完成后启动伸缩气缸3,使得伸缩气缸3进行伸展,伸缩气缸3进行伸展时伸缩弹簧527在弹性复原力的作用下收缩复原,此时推位轴506相对隔板511无法移动,同时L型撑架504在伸缩气缸3的作用下向着隔板511进行移动,如此便可使第二齿条528通过直齿轮538、蜗杆537、蜗轮532带动摆连板534进行转动,以此来使石英坩埚本体4与U型架535发生错位;
S4:当伸缩弹簧527完全复原后,伸缩气缸3继续伸展,便可使插杆526推动推位轴506进行移动,使得推块525推动石英坩埚本体4向着撑位杆508进行移动;
S5:石英坩埚本体4便会在移动的过程中套入从转连辊514的外侧,此时从转连辊514与石英坩埚本体4的内腔壁贴合,而主转连辊517与石英坩埚本体4的外壁贴合,同时石英坩埚本体4插入U型夹板515的内侧,当伸缩气缸3收缩复原时,撑位杆508便会在单旋拨位件的作用下相对收集箱1进行逆时针转动;
S6:如此便可使石英坩埚本体4转至倒扣状,以此来使石英坩埚本体4内的水流流出,在此过程中传动锥齿轮522沿着定连锥齿轮521进行自转,如此便可使主转连辊517拨动石英坩埚本体4进行转动,使得石英坩埚本体4相对脱位盘513进行转动,以此来使清洁刷516对石英坩埚本体4的内壁、外壁进行擦拭,防止大量水渍沾附于石英坩埚本体4的外侧,同时也为后续石英坩埚本体4的烘干提供了便利。
以上所述的,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种石英制品用清洗装置,包括收集箱(1),其特征在于,所述收集箱(1)的一侧安装有电机(2),所述电机(2)的输出端连接有换向件,所述电机(2)通过换向件连接有石英坩埚本体(4),所述收集箱(1)的内壁固定有隔板(511),所述隔板(511)的顶部设置有多向清理机构,所述收集箱(1)的一侧设置有位于电机(2)一侧的伸缩气缸(3),所述伸缩气缸(3)的输出端设置有与多向清理机构相连的推件器,所述收集箱(1)的顶部通过轴承转动连接有撑位杆(508),所述撑位杆(508)的外侧设置有沥水机构,所述撑位杆(508)的两端设置有与推件器相连的单旋拨位件;
所述换向件包括有设置于隔板(511)远离电机(2)一侧的两个旋转连轴(503),两个旋转连轴(503)沿着隔板(511)的横向中轴线对称设置,所述旋转连轴(503)的一端贯穿至隔板(511)靠近电机(2)的一侧,且延伸至收集箱(1)的外侧,所述旋转连轴(503)靠近电机(2)的一端固定有第一同步轮(501),所述电机(2)的输出端与第一同步轮(501)相连,所述第一同步轮(501)的外侧设置有第一同步带(502),沿着隔板(511)的横向中轴线对称设置的两个旋转连轴(503)通过第一同步带(502)、第一同步轮(501)转动连接,两个旋转连轴(503)远离第一同步轮(501)的一端均固定有托辊(505),石英坩埚本体(4)放置于两个托辊(505)之间;
所述多向清理机构包括有固定于隔板(511)顶部的连接架(507),所述连接架(507)远离伸缩气缸(3)的一侧通过转轴转动连接有摆连板(534),所述摆连板(534)与连接架(507)连接的转轴底部固定有蜗轮(532),所述连接架(507)的远离伸缩气缸(3)的一侧通过轴承转动连接有位于蜗轮(532)一侧的蜗杆(537),所述蜗杆(537)的两端固定有直齿轮(538),所述摆连板(534)远离蜗轮(532)的一端顶部固定有贯穿至摆连板(534)底部的支撑管(533),所述支撑管(533)的底端连接有U型架(535),U型架(535)的内侧分布有多个喷头(536),所述支撑管(533)的顶端设置有与连接架(507)相连的同步断连单元,所述支撑管(533)的顶端通过同步断连单元连接有旋转连轴(503);
所述推件器包括有固定于伸缩气缸(3)输出端的L型撑架(504),所述L型撑架(504)的顶部一端固定有第二齿条(528),所述蜗杆(537)的两端固定有直齿轮(538),直齿轮(538)与第二齿条(528)相啮合,所述隔板(511)的一侧插接有贯穿至隔板(511)另一侧的推位轴(506),所述推位轴(506)靠近石英坩埚本体(4)的一端固定有推块(525),所述推块(525)位于两个托辊(505)之间,所述推位轴(506)远离推块(525)的一端插接有插杆(526),插杆(526)的一端延伸至推位轴(506)的外侧,所述插杆(526)远离推位轴(506)的一端与L型撑架(504)相连,所述推位轴(506)远离推块(525)的一端设置有与L型撑架(504)相连的伸缩弹簧(527),伸缩弹簧(527)位于插杆(526)的外侧;
所述同步断连单元包括有固定于连接架(507)顶部的凸轮(529),所述支撑管(533)的顶部一端固定有过渡仓(531),连液管(530)安装于过渡仓(531)的顶部,所述过渡仓(531)的内侧设置有贯穿至过渡仓(531)外侧的插块(541),所述插块(541)远离过渡仓(531)的一端固定有推挤连块(539),所述推挤连块(539)的两侧设置有与过渡仓(531)相连的复位弹簧(540),所述插块(541)远离推挤连块(539)的一端固定有位于过渡仓(531)内侧的塞块(543),塞块(543)与过渡仓(531)的内壁相贴合,所述塞块(543)的一侧开设有贯穿至塞块(543)另一侧的排液孔(542);
沥水机构包括有固定于撑位杆(508)外侧的连盘(512),连盘(512)位于收集箱(1)的上方,所述连盘(512)的外侧固定有多个脱位盘(513),多个脱位盘(513)沿着连盘(512)的圆心等距离分布,所述脱位盘(513)的顶部通过轴承转动连接有多个从转连辊(514),从转连辊(514)沿着脱位盘(513)的圆心等距离分布,所述脱位盘(513)的外侧通过轴承转动连接有两个主转连辊(517),主转连辊(517)的圆心至脱位盘(513)圆心的距离大于从转连辊(514)圆心至脱位盘(513)圆心的距离,两个主转连辊(517)沿着脱位盘(513)的竖向中轴线对称设置,所述主转连辊(517)的底端固定有第二同步轮(523),所述第二同步轮(523)的底部设置有传动锥齿轮(522),第二同步轮(523)的外侧设置有第二同步带(524),沿着脱位盘(513)的竖向中轴线对称设置的两个主转连辊(517)通过第二同步轮(523)、第二同步带(524)转动连接,所述收集箱(1)的内壁固定有定连锥齿轮(521),定连锥齿轮(521)位于撑位杆(508)的外侧,所述定连锥齿轮(521)与传动锥齿轮(522)相啮合,所述脱位盘(513)的外侧设置有与主转连辊(517)交错设置的U型夹板(515),所述U型夹板(515)的内侧设置有清洁刷(516);
单旋拨位件包括有固定于推位轴(506)外侧的侧连架(510),所述侧连架(510)的靠近撑位杆(508)的一端固定有第一齿条(509),所述撑位杆(508)的两端固定有第二棘轮(520),所述撑位杆(508)的外侧设置有位于收集箱(1)外侧的第一棘轮(518),所述撑位杆(508)的外侧通过轴承转动连接有位于第一棘轮(518)一侧的齿轮套(519),齿轮套(519)位于第二棘轮(520)的外侧,所述齿轮套(519)与第一齿条(509)相啮合,所述齿轮套(519)的内侧通过转轴转动连接有与第二棘轮(520)相啮合的第一棘爪(544),所述收集箱(1)的外壁通过转轴转动连接有与第一棘轮(518)相啮合的第二棘爪(545),第二棘爪(545)与收集箱(1)连接的转轴外侧卡接有扭力弹簧(546)。
2.根据权利要求1所述的一种石英制品用清洗装置,其特征在于,所述齿轮套(519)与第一棘爪(544)连接的转轴外侧同样设置有扭力弹簧(546)。
3.根据权利要求1所述的一种石英制品用清洗装置,其特征在于,所述从转连辊(514)与主转连辊(517)之间的距离与石英坩埚本体(4)的厚度相等,所述U型夹板(515)内侧的宽度与石英坩埚本体(4)的厚度相等。
4.一种石英制品用清洗方法,其特征在于,采用权利要求1-3任一项所述的一种石英制品用清洗装置,包括以下步骤:
S1:在对石英坩埚本体(4)进行清洗时,先将石英坩埚本体(4)的开口端朝向撑位杆(508),之后将石英坩埚本体(4)放置于收集箱(1)的顶部;
S2:通过换向件对石英坩埚本体(4)进行支撑放置,随后启动电机(2),通过电机(2)与换向件之间的配合来使石英坩埚本体(4)相对收集箱(1)发生转动;
S3:之后通过多向清理机构对石英坩埚本体(4)的各个位置进行无死角清洗,清洗完成后启动伸缩气缸(3),通过伸缩气缸(3)的伸展使推件器将石英坩埚本体(4)推向撑位杆(508);
S4:当伸缩气缸(3)输出端进行收缩时通过单旋拨位件与沥水机构的配合对清洗后的石英坩埚本体(4)进行擦拭清洁,以此来提高设备对石英坩埚本体(4)的清洗效果。
CN202310947035.5A 2023-07-31 2023-07-31 一种石英制品用清洗装置及其清洗方法 Active CN116689431B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202310947035.5A CN116689431B (zh) 2023-07-31 2023-07-31 一种石英制品用清洗装置及其清洗方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202310947035.5A CN116689431B (zh) 2023-07-31 2023-07-31 一种石英制品用清洗装置及其清洗方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN116689431A CN116689431A (zh) 2023-09-05
CN116689431B true CN116689431B (zh) 2023-10-10

Family

ID=87829630

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202310947035.5A Active CN116689431B (zh) 2023-07-31 2023-07-31 一种石英制品用清洗装置及其清洗方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN116689431B (zh)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0546966U (ja) * 1991-11-29 1993-06-22 信越石英株式会社 石英坩堝の洗浄装置
CN113020185A (zh) * 2021-04-07 2021-06-25 新沂市中鑫光电科技有限公司 一种石英坩埚表面自动清洗除砂系统
CN215656938U (zh) * 2021-07-26 2022-01-28 浙江美晶新材料有限公司 一种石英坩埚的清洗组件
CN218854950U (zh) * 2022-11-22 2023-04-14 江苏英思特半导体科技有限公司 一种全自动酸槽石英管滚动内外清洗机构

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040000327A1 (en) * 2002-06-26 2004-01-01 Fabio Somboli Apparatus and method for washing quartz parts, particularly for process equipment used in semiconductor industries

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0546966U (ja) * 1991-11-29 1993-06-22 信越石英株式会社 石英坩堝の洗浄装置
CN113020185A (zh) * 2021-04-07 2021-06-25 新沂市中鑫光电科技有限公司 一种石英坩埚表面自动清洗除砂系统
CN215656938U (zh) * 2021-07-26 2022-01-28 浙江美晶新材料有限公司 一种石英坩埚的清洗组件
CN218854950U (zh) * 2022-11-22 2023-04-14 江苏英思特半导体科技有限公司 一种全自动酸槽石英管滚动内外清洗机构

Also Published As

Publication number Publication date
CN116689431A (zh) 2023-09-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN201271227Y (zh) 转轮式洗碗机
CN114326617B (zh) 一种基于数字孪生的智能生产线系统数据监测装置
CN112838030A (zh) 一种用于晶圆的清洗装置
CN116689431B (zh) 一种石英制品用清洗装置及其清洗方法
CN112354998A (zh) 一种医疗用玻璃管清洗设备
CN112371679A (zh) 一种玻璃生产加工用预清理装置及预清理方法
CN113118127B (zh) 一种mems技术用石英基片的清洗装置
CN214651308U (zh) 一种钢化玻璃餐具生产线的传送装置
CN212190195U (zh) 一种铝合金板材加工用清洗装置
CN210160123U (zh) 一种玻璃深加工用快速清洗装置
CN214863457U (zh) 一种清洗方便的化工机械保温反应釜
CN220617337U (zh) 一种喷涂设备输送带清洗装置
CN216911395U (zh) 一种新型胚胎植入前活检转移用的装管操作皿
CN218691961U (zh) 一种带有废水回收功能的涂辊清洗设备
CN217929615U (zh) 一种肉制品加工用出料沥水导料装置
CN215391454U (zh) 手表平板清洗机
CN110695013A (zh) 一种排污塑料管材清洗设备
CN214600623U (zh) 一种用于晶圆的清洗装置
CN218798218U (zh) 一种冷轧带钢除鳞装置
CN218424451U (zh) 一种光伏板生产用组件清洗装置
CN210907139U (zh) 一种太阳能电池片加工清洗设备
CN218527560U (zh) 一种冰淇淋机专用小车
CN220920147U (zh) 一种测试果蜡去除率的实验装置
CN218638107U (zh) 一种晶圆等离子清洗装置
CN212703275U (zh) 一种手机摄像头镜片加工用uv胶去除设备

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CP03 Change of name, title or address

Address after: No. 89 Shendong Fourth Road, Shenfu Demonstration Zone, Shenyang City, Liaoning Province, 110000

Patentee after: Liaoning Tuobang Hongji Semiconductor Materials Co.,Ltd.

Country or region after: China

Address before: No. 89, Shendong Fourth Road, Shenfu Demonstration Zone, Shenyang City, Liaoning Province, 113000

Patentee before: Liaoning Tuobang Hongji Semiconductor Materials Co.,Ltd.

Country or region before: China

CP03 Change of name, title or address