CN116666492A - 太阳能电池欧姆接触优化方法和优化设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种太阳能电池欧姆接触优化方法及优化设备。该太阳能电池欧姆接触优化方法包括对电池片施加反向偏置电压，并向电池片的第一表面投射整形光斑，整形光斑的长度方向与电池片上的细栅线的延伸方向成角度设置，整形光斑沿细栅线的延伸方向扫掠，且照射于至少两条细栅线的局部。通过上述太阳能电池欧姆接触优化方法，避免了较大面积的分区经由一条细栅线的连接同时处于电流作用之下，出现相互分流、热传递的现象，既能够使得多条甚至全部细栅线得以同时处理而大大提高优化效率，且不产生相互干扰，确保了激光优化接触电阻的有效性，对优化效果的把控更精确。

Description

太阳能电池欧姆接触优化方法和优化设备

技术领域

本发明涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种太阳能电池欧姆接触优化方法和优化设备。

背景技术

太阳能电池包括晶硅电池片以及栅线，栅线由金属材质制成，间隔设置于晶硅电池片中。在高效晶硅太阳能电池的制备中，降低欧姆接触的接触电阻是提升转换效率的重要一环。常规的晶硅太阳能电池电极的形成有赖于金属浆料的敷设以及后道的烧结工艺，有效的金属-半导体接触的形成需要较高的烧结温度。高烧结温度一方面使得光伏电池填充因子(FF)提升，但另一方面导致金属诱导复合的增加，限制了光伏电池转换效率的提升。

现有技术中已有改善晶硅太阳能电池金属接触与发射极之间欧姆接触的方法，德国Cell Engineering GmbH提出了一种LECO(Laser-enhanced contact optimization，激光增强接触优化)工艺，该方案以点光源照射电池片正面形成局部感应电流，并施加反向偏置电压分离自由载流子，形成高反向电流，最终通过引导点光源扫掠整片电池实现金属与发射极之间欧姆接触的改善。

降低金属-半导体接触电阻，是制备高效晶硅太阳能电池需要攻克的难关。传统金属化方案通过敷设金属浆料并进行后道烧结的方式实现，升高烧结温度在提升光伏电池填充因子(FF)的同时也导致金属诱导复合增大、开路电压(Voc)减小，限制了光伏电池转换效率的提升。LECO可以作为后处理方式降低电池烧结温度，解耦FF、Voc，实现光伏电池转换效率的提升，但其点光源扫描的方式限制了处理效率，扫描M2尺寸电池单片用时1.6s，不利于工业大规模生产中产能的提升。

现有技术通过平行于副栅线方向的激光光斑沿主栅线方向进行扫描，以防止电池被击穿，但该方案的光斑使得较大面积的分区经由副栅线的连接同时处于电流作用之下，存在相互分流、热传递的影响，处理效果相对难以把控，且增加LECO工序后大幅度延长了电池片的生产周期，降低了生产效率，进一步降低了产能上限。

因此，亟需一种太阳能电池欧姆接触优化方法和优化设备，能够解决上述问题。

发明内容

本发明的一个目的在于提出一种太阳能电池欧姆接触优化方法，能够避免使得较大面积的分区经由副栅线的连接同时处于电流作用之下，出现相互分流、热传递的影响，从而实现更易把控的优化效果，且有效提升优化效率。

为实现上述技术效果，本发明的技术方案如下：

太阳能电池欧姆接触优化方法，包括：

对电池片施加反向偏置电压，并向所述电池片的第一表面投射整形光斑，所述整形光斑的长度方向与所述电池片上的细栅线的延伸方向成角度设置；所述整形光斑沿所述细栅线的延伸方向扫掠所述电池片，且照射于至少两条所述细栅线的局部。

可选地，对所述电池片施加反向偏置电压包括：

在所述电池片的第一表面的主栅线的端部以点接触的连接方式赋予第一电势，并对所述电池片的第二表面赋予第二电势。

可选地，还包括：

所述整形光斑包括多个圆形光斑，多个所述圆形光斑沿所述整形光斑的长度方向排布成至少一排，且每排中的相邻所述圆形光斑的间距与相邻所述细栅线的间距相等；

或者，所述整形光斑包括线性光斑，所述线性光斑照射于若干所述细栅线。

可选地，沿所述整形光斑的长度方向，所述整形光斑的光功率分布一致。

可选地，所述整形光斑的长度方向垂直于所述细栅线的延伸方向；

或者，所述整形光斑的长度方向与所述细栅线的延伸方向呈锐角设置。

可选地，所述整形光斑照射于所有所述细栅线的局部，且沿所述细栅线的延伸方向进行一次扫掠；

或者，所述整形光斑照射于部分所述细栅线，且沿所述细栅线的延伸方向进行至少两次扫掠。

可选地，沿所述细栅线的延伸方向，所述细栅线上被所述整形光斑照射的长度小于或等于200μm。

本发明的另一个目的在于提出一种太阳能电池欧姆接触优化设备，能够避免使得较大面积的分区经由副栅线的连接同时处于电流作用之下，出现相互分流、热传递的影响，从而实现更易把控的优化效果。

为实现上述技术效果，本发明的技术方案如下：

太阳能电池欧姆接触优化设备，用于执行上述的太阳能电池欧姆接触优化方法，所述太阳能电池欧姆接触优化设备包括承载装置和激光装置，所述承载装置用于承载电池片并对所述电池片施加反向偏置电压，所述激光装置用于向所述电池片的第一表面投射整形光斑，且所述整形光斑能够沿所述电池片的细栅线的延伸方向移动。

可选地，所述承载装置包括承载组件和加压组件，所述电池片固定设置于所述承载组件和所述加压组件之间，所述加压组件包括多个探针，所述探针抵接于所述电池片第一表面侧边的主栅线的端部并赋予第一电势，所述承载组件电连接于所述电池片第二表面并赋予第二电势，所述第一电势和所述第二电势之间形成有所述反向偏置电压。

可选地，所述加压组件的若干所述探针呈两列设置，且两列所述探针设置在所述电池片的两侧，所述电池片位于两列所述探针之间。

可选地，所述承载组件还包括承载支架和调节块，所述承载支架固定设置，所述调节块可移动地连接于所述承载支架，所述探针弹性连接于所述调节块。

可选地，所述承载组件设有负压吸附孔以及流道，所述负压吸附孔通过所述流道连通有负压吸附器。

可选地，所述激光装置固定设置，所述承载装置被配置为能够带动所述电池片移动，以使所述整形光斑能够沿所述细栅线的延伸方向扫掠所述电池片。

可选地，所述激光装置包括激光器和整形元件，所述激光器用于投射激光，所述整形元件包括衍射光学元件、液晶空间调制器、微透镜阵列、鲍威尔棱镜、柱面镜中的至少一种，以用于直接或通过聚焦元件将所述激光处理为所述整形光斑。

本发明的太阳能电池欧姆接触优化方法和优化设备的有益效果在于：通过施加反向偏置电压并投射整形光斑，使金属-半导体界面形成局部高电流密度，发生电流诱导退火，Ag、Si相互扩散形成局部亚微米尺寸的点接触，实现金属-半导体接触电阻的下降，并为电池烧结温度的下降提供了空间，能够提升太阳能电池的转换效率。并且，通过将整形光斑的长度方向与细栅线的延伸方向设置为呈一定角度，使得每条细栅线上仅有局部的优化区域，且由于各条细栅线的相对独立性，即使同时照射多条细栅线，细栅线与细栅线之间也不会产生相互影响，避免了较大面积的分区经由一条细栅线的连接同时处于电流作用之下，出现相互分流、热传递的现象，既能够使得多根甚至全部细栅线得以同时处理而大大提高优化效率，且不产生相互干扰，确保了激光优化接触电阻的有效性，对优化效果的把控更精确。

附图说明

图1是本发明中电池片的结构图；

图2是图1中A处的局部放大图；

图3是本发明中实施太阳能电池欧姆接触优化方法时的俯视图；

图4是图3中B处的局部放大图；

图5是本发明中实施太阳能电池欧姆接触优化方法时的立体图；

图6是图5中C处的局部放大图；

图7是本发明中实施太阳能电池欧姆接触优化装置的正视图；

图8是本发明中激光装置的结构示意图；

图9是本发明中第一种整形光斑的示意图；

图10是本发明中第二种整形光斑的示意图；

图11是本发明中第三种整形光斑的示意图；

图12是本发明中第四种整形光斑的示意图。

图中：

1、电池片；11、半片结构；101、主栅线；102、细栅线；

2、激光装置；21、激光器；22、整形元件；23、聚焦元件；

3、承载装置；31、承载台；32、调节块；33、探针；34、承载支架；

40、整形光斑；401、圆形光斑；402、条形光斑。

具体实施方式

为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面参考图1至图12介绍本发明所提供的太阳能电池欧姆接触优化方法和优化设备。

如图1至图6所示，该太阳能电池欧姆接触优化设备主要包括承载装置3和激光装置2，承载装置3用于承载电池片1并对电池片1施加反向偏置电压，激光装置2用于向电池片1的第一表面投射整形光斑40，且整形光斑40能够沿电池片1的细栅线102的延伸方向移动，从而对电池片1实施本发明所提供的太阳能电池欧姆接触优化方法。需要说明的是，在本发明中，整形光斑40是指由激光装置2投射至电池片1上的光斑的集合，其形状可以是呈点阵、点列排布的多个局部光斑，也可以是连续的单一光斑，只要能够配合实现LECO工艺即可。

具体地，如图3所示，在本实施例中，太阳能电池欧姆接触优化方法包括在对电池片1施加反向偏置电压的同时，向电池片1的第一表面投射整形光斑40。该整形光斑40的长度方向(参考附图中箭头a所指方向)与电池片1上的细栅线102的延伸方向成角度设置，且覆盖至少两条细栅线102的局部，从而对至少两条细栅线102实现LECO的优化工艺。整形光斑40沿细栅线102的延伸方向扫掠电池片1，进而完成对电池片1的第一表面的较大范围进行优化。优化过程中，既可以是整形光斑40只投射于部分细栅线102，通过多次扫掠完成对电池片1的第一表面的全部优化，也可以是整形光斑40投射于所有细栅线102，通过一次扫掠完成对电池片1的第一表面的全部优化。由于对于每一条细栅线102而言，整形光斑40只照射其局部，即使同时照射多根细栅线102，仍能够避免较大面积的分区经由一条细栅线102的连接同时处于电流作用之下，出现相互分流、热传递的现象，因此在本发明中对整形光斑40所投射的细栅线102的数量不作具体限制。

示例性地，在本实施例中，如图2、图3所示，电池片1接收整形光斑40的第一表面具有横向间隔设置的若干主栅线101和纵向间隔设置的若干细栅线102，整形光斑40的长度方向优选为垂直于细栅线102的延伸方向，从而以较小面积的整形光斑40投射于较多的细栅线102，提高优化效率。对于一条细栅线102而言，沿细栅线102的延伸方向，每条细栅线102上被整形光斑40照射的长度小于或等于200μm，从而使得优化区域的电流及其热效应局限于每条细栅线102的局部。在每条细栅线102的局部，高电流密度流过金属-半导体之间的触点，产生较大的局部热量，促进金属、半导体材料的相互扩散，触点冷却后形成局部亚微米尺寸的点接触，从而实现欧姆接触的改善。

通过上述的太阳能电池欧姆接触优化方法和优化设备，施加反向偏置电压并投射整形光斑40，使金属-半导体界面形成局部高电流密度，发生电流诱导退火，Ag、Si相互扩散形成局部亚微米尺寸的点接触，实现金属-半导体接触电阻的下降，并为电池烧结温度的下降提供了空间，有望实现0.6％abs的转换效率提升。通过进一步使得整形光斑40的长度方向与细栅线102的延伸方向呈一定角度，使得每条细栅线102上仅有局部的优化区域，且由于各条细栅线102的相对独立性，即使同时照射多条细栅线102，细栅线102与细栅线102之间也不会产生相互影响，避免了较大面积的分区经由一条细栅线102的连接同时处于电流作用之下，出现相互分流、热传递的现象，既能够使得多根甚至全部细栅线102得以同时处理而大大提高优化效率，且不产生相互干扰，确保了激光优化接触电阻的有效性，对优化效果的把控更精确。

进一步地，在本实施例中，承载装置3包括承载组件和加压组件，电池片1固定设置于承载组件和加压组件之间。如图3、图4所示，加压组件包括多个探针33，探针33抵接于电池片1第一表面的主栅线101的端部并赋予第一电势，且不遮挡整形光斑40，有利于精确控制优化效果。

具体地，参照图5、图6所示，由于探针33是以点接触的方式抵接于主栅线101的端部，因此相比于现有技术中的通过导电丝赋予第一电势，点接触的方式能够避免对整形光斑40的遮挡，从而避免导电丝与承载组件之间发生短路的风险，还能够进一步简化装置的结构。同时，由于栅线(包括主栅线101和细栅线102)的电阻远小于金属-半导体接触电阻，栅线与探针33电连接后近似为等势面，此时将承载台31电连接于电池片1的第二表面并赋予第二电势，第一电势和第二电势之间即可形成反向偏置电压，就能够满足实施太阳能电池欧姆接触优化方法的需要，避免了导电丝准确平行接触、导电丝分离等较为复杂的工艺过程，降低了优化难度，提升了优化效率。

在本实施例中，如图5所示，激光装置2通过激光支架(图中未示出)固定设置，使得整形光斑40的投射方向为预设的方向。承载装置3活动设置，能够带动电池片1进行移动(移动方向参考附图中箭头b所指方向)，以使整形光斑40能够沿细栅线102的延伸方向平移运动。相比于通过激光装置2移动整形光斑40的方式，使得通有反向偏置电压的电池片1通过沿固定方向投射的整形光斑40，此时只需使得电池片1的搬运方向与细栅线102的延伸方向同向，就能够在电池片1搬运过程中即可同步实现激光优化处理，节省和优化了生产节拍，提高了电池片1优化和加工的效率，避免因增加优化处理工艺导致电池片1的生产效率降低。

示例性地，现有技术中电池片1的生产流程末端为堆叠运输，例如将制作完成的电池片1通过输送线体搬运至堆叠机器人处，若采用本发明所提供的优化装置并将优化装置设置于输送线体中，即可在搬运至堆叠机器人的过程中实现上述优化方法，将搬运与优化的工序同步进行，从而节省和优化了生产节拍，即达到了优化电池片1的目的和效果，也避免了因增加优化处理工艺导致电池片1的生产效率降低。

可选地，在本实施例中，承载台31上表面设置有负压吸附孔(图中未示出)以及流道(图中未示出)，负压吸附孔通过流道连通有负压吸附器(图中未示出)。当电池片1放置在承载台31上时，通过负压吸附孔在电池片1与承载台31之间形成负压，能够将电池片1固定于承载台31，此时，通过更改承载台31相对于水平面的设置角度，就可以使得电池片1能够以水平、竖直或者倾斜的多种角度相对于激光装置2平移以进行优化，更有利于布置和使用该太阳能电池欧姆接触优化设备。

示例性地，承载台31水平设置，激光装置2设置于承载台31上方，竖直向下投射整形光斑40，电池片1能够稳定地跟随承载台31移动，便于提高优化效率和电池片1的生产效率。可选地，承载台31竖直设置，激光装置2沿水平方向向承载台31投射整形光斑40，此时激光装置2距离地面的高度较低，便于维护和调试，能够降低对优化设备的维护难度。可选地，承载台31相对于水平面45°倾斜设置，激光装置2则以斜向下45°的角度向承载台31投射整形光斑40，既能够以较快的速度移动电池片1，也能够兼顾对激光装置2的维护和调试。

更具体地，如图2、图3所示，加压组件的若干探针33呈两列设置，两列探针33设置在电池片1的两侧，电池片1位于两列探针33之间。探针33能够抵接于主栅线101形成可靠的电连接，且相比于导电丝能够避免对激光的遮挡，能够进一步增强对优化效果的把控。进一步地，如图2、图3所示，对于目前常见的由两个半片结构11组合而成的电池片1，每一列探针33能够抵接于位于一个半片结构11的主栅线101，使得两个半片结构11能够同时被施加反向偏置电压，此时通过整形光斑40进行一次或多次扫掠，能够在一次工序中完成对两个半片结构11的处理，相比于设置单列探针33，避免了增加旋转电池片1的步骤，进一步加快了对上述由两个半片结构11组合而成的电池片1的优化效率。

优选地，在本实施例中，如图7所示，承载组件还包括承载支架34和调节块32，承载支架34活动设置，由驱动装置控制与电池片1之间的距离，调节块32可移动地连接于承载支架34，探针33弹性连接于调节块32。通过按需设置调节块32、探针33的数量与间距，能够满足不同电池片1版型的需要。探针33是弹性连接于调节块32，能够避免对电池片1压力过大造成损伤，并且，通过探针33的弹性设置，避免了因承载组件和加压组件之间平行度不佳导致的一部分探针33先接触、另外部分探针33未接触的情况，从而提高了该优化装置的使用便利性。同时，在移动电池片1的过程中，探针33也能跟随电池片1发生轻微移动，从而避免因为震动等原因导致的探针33与主栅线101的端部之间脱离，从而出现局部缺少反向偏置电压的现象。

如图8所示，在本实施例中，激光装置2包括固定支架(图中未示出)、激光器21、整形元件22和聚焦元件23，激光器21用于投射激光，整形元件22包括衍射光学元件、液晶空间调制器、微透镜阵列、鲍威尔棱镜、柱面镜中的至少一种，聚焦元件23包括凸透镜、平凸透镜或由若干透镜组成的透镜组。固定支架用于固定激光器21、整形元件22和聚焦元件23，整形元件22和聚焦元件23能够将激光处理为整形光斑40，以满足实施太阳能电池欧姆接触优化方法的需要。

示例性地，在本实施例中，激光穿过衍射光学元件和透镜组，能够形成由点列或点阵形式排布的多个圆形光斑401组成的整形光斑40。如图9所示，以点列形式为例，排成一排的多个圆形光斑401组成上述的整形光斑40，一排的排布方向即为整形光斑40的长度方向。该排中的相邻圆形光斑401的间距与对应照射的相邻细栅线102的间距相等，从而使得通过调整整形光斑40的位置，即可确保每个圆形光斑401对应照射于一条细栅线102的局部。

而对于点阵形式的整形光斑40，例如包括若干排圆形光斑401的整形光斑40而言，如图10所示，需要特别强调的是，在本发明中，其长度方向仍是其中一排的排布方向，使得其中每一排的每个圆形光斑401均对应照射于一条细栅线102的局部。并且，在本发明中，不具体限定点阵形式的整形光斑40中每一排之间的间距，也不限定组成点阵的每一个局部光斑的形状(例如圆形、方形、异形等)，只要能够在优化处理效率的同时避免较大面积的分区经由一条细栅线102的连接同时处于电流作用之下，就属于本发明所要保护的范围之内。

可选地，在一些其他实施例中，采用鲍威尔棱镜作为整形元件22，激光穿过鲍威尔棱镜后形成一个线性光斑，并直接投射至电池片1，相比于上述的点列或点阵形式的整形光斑40能够避免设置聚焦元件23，从而对激光装置2的结构进行精简。如图11、图12所示，在该实施例中，整形光斑40具体为线性光斑中的条形光斑402，该条形光斑402照射于若干细栅线102，且因为其长度方向与电池片1上的细栅线102的延伸方向成角度设置，因此仅能照射每条细栅线102的局部，从而避免出现上述的相互分流等情况。

更具体地，继续参考图11所示，在本实施例中，条形光斑402的长度方向垂直于细栅线102的延伸方向，此时通过选择合适的鲍威尔棱镜以控制条形光斑402的宽度尺寸(例如上述的小于或等于200μm)，即可达到避免较大面积的分区经由一条细栅线102的连接同时处于电流作用之下的效果，使得每条细栅线102的被照射区域具有相对独立性。当然，在一些其他实施例中，对于不同型号(细栅线102的材质、尺寸等不同)的电池片1，该宽度尺寸还可以适应性地控制在40μm至120μm之间，以达到更好的优化效果。

可选地，如图12所示，整形光斑40包括条形光斑402，且条形光斑402的长度方向与细栅线102之间成锐角设置，使得相邻两条细栅线102的被照射区域之间的距离进一步增大，一方面防止细栅线102与细栅线102之间的互相影响，方便操作人员精确把控优化效果，另一方面，由于整形光斑倾斜设置，使得光斑在初始接触电池片时，仅有部分扫掠细栅线，而非同时扫掠细栅线，可以进一步降低光斑照射瞬间作用在电池片上的电流及其热效应。进一步地，继续参考图12所示，整形光斑40包括多个间隔设置的条形光斑402，每个条形光斑402均可实现对电池片1的优化，且两个条形光斑402之间间隔一定距离，以防止经由一条细栅线102连接的两个分区互相影响。

具体地，以上述的通过鲍威尔棱镜形成的条形光斑402为例，如图11所示，沿其长度方向，整形光斑40的光功率分布一致，使得在使用线性光斑进行太阳能电池片1的优化时，不同细栅线102上的各个优化区域的优化效果一致，避免出现优化后局部位置的欧姆接触不良的现象。当然，通过设置其他类型的整形元件22和聚焦元件23，也能够在多种其他形式的整形光斑40(例如上述的点列或点阵形式)中实现沿长度方向的光功率分布一致，本发明中就不一一赘述。

在使用上述的太阳能电池欧姆接触优化设备时，示例性地，先将电池片1放置于承载台31上，通过负压吸附等方式固定电池片1，再通过调节块32移动探针33的位置，使得探针33抵接于电池片1第一表面的主栅线101，配合承载台31对电池片1施加反向偏置电压。最后，通过激光装置2向预设的方向投射整形光斑40，移动承载装置3使得整形光斑40能够沿细栅线102的延伸方向扫掠电池片1，完成对电池片1的优化处理。

在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅为本发明的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (14)

1.太阳能电池欧姆接触优化方法，其特征在于，包括：

对电池片(1)施加反向偏置电压，并向所述电池片(1)的第一表面投射整形光斑(40)，所述整形光斑(40)的长度方向与所述电池片(1)上的细栅线(102)的延伸方向成角度设置；所述整形光斑(40)沿所述细栅线(102)的延伸方向扫掠所述电池片(1)，且照射于至少两条所述细栅线(102)的局部。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池欧姆接触优化方法，其特征在于，

对所述电池片(1)施加反向偏置电压包括：

在所述电池片(1)的第一表面的主栅线(101)的端部以点接触的连接方式赋予第一电势，并对所述电池片(1)的第二表面赋予第二电势。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池欧姆接触优化方法，其特征在于，还包括：

所述整形光斑(40)包括多个圆形光斑(401)，多个所述圆形光斑(401)沿所述整形光斑(40)的长度方向排布成至少一排，且每排中的相邻所述圆形光斑(401)的间距与相邻所述细栅线(102)的间距相等；

或者，所述整形光斑(40)包括线性光斑，所述线性光斑照射于若干所述细栅线(102)。

4.根据权利要求3所述的太阳能电池欧姆接触优化方法，其特征在于，

沿所述整形光斑(40)的长度方向，所述整形光斑(40)的光功率分布一致。

5.根据权利要求1所述的太阳能电池欧姆接触优化方法，其特征在于，

所述整形光斑(40)的长度方向垂直于所述细栅线(102)的延伸方向；

或者，所述整形光斑(40)的长度方向与所述细栅线(102)的延伸方向呈锐角设置。

6.根据权利要求5所述的太阳能电池欧姆接触优化方法，其特征在于，

所述整形光斑(40)照射于所有所述细栅线(102)的局部，且沿所述细栅线(102)的延伸方向进行一次扫掠；

或者，所述整形光斑(40)照射于部分所述细栅线(102)，且沿所述细栅线(102)的延伸方向进行至少两次扫掠。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的太阳能电池欧姆接触优化方法，其特征在于，

沿所述细栅线(102)的延伸方向，所述细栅线(102)上被所述整形光斑(40)照射的长度小于或等于200μm。

8.太阳能电池欧姆接触优化设备，其特征在于，用于执行权利要求1-7中任一项所述的太阳能电池欧姆接触优化方法，所述太阳能电池欧姆接触优化设备包括承载装置(3)和激光装置(2)，所述承载装置(3)用于承载电池片(1)并对所述电池片(1)施加反向偏置电压，所述激光装置(2)用于向所述电池片(1)的第一表面投射整形光斑(40)，且所述整形光斑(40)能够沿所述电池片(1)的细栅线(102)的延伸方向移动。

9.根据权利要求8所述的太阳能电池欧姆接触优化设备，其特征在于，

所述承载装置(3)包括承载组件和加压组件，所述电池片(1)固定设置于所述承载组件和所述加压组件之间，所述加压组件包括多个探针(33)，所述探针(33)抵接于所述电池片(1)第一表面侧边的主栅线(101)的端部并赋予第一电势，所述承载组件电连接于所述电池片(1)第二表面并赋予第二电势，所述第一电势和所述第二电势之间形成有所述反向偏置电压。

10.根据权利要求9所述的太阳能电池欧姆接触优化设备，其特征在于，

所述加压组件的若干所述探针(33)呈两列设置，且两列所述探针(33)设置在所述电池片(1)的两侧，所述电池片(1)位于两列所述探针(33)之间。

11.根据权利要求9所述的太阳能电池欧姆接触优化设备，其特征在于，

所述承载组件还包括承载支架(34)和调节块(32)，所述承载支架(34)固定设置，所述调节块(32)可移动地连接于所述承载支架(34)，所述探针(33)弹性连接于所述调节块(32)。

12.根据权利要求9所述的太阳能电池欧姆接触优化设备，其特征在于，

所述承载组件设有负压吸附孔以及流道，所述负压吸附孔通过所述流道连通有负压吸附器。

13.根据权利要求8所述的太阳能电池欧姆接触优化设备，其特征在于，

所述激光装置(2)固定设置，所述承载装置(3)被配置为能够带动所述电池片(1)移动，以使所述整形光斑(40)沿所述细栅线(102)的延伸方向扫掠所述电池片(1)。

14.根据权利要求8所述的太阳能电池欧姆接触优化设备，其特征在于，

所述激光装置(2)包括激光器(21)和整形元件(22)，所述激光器(21)用于投射激光，所述整形元件(22)包括衍射光学元件、液晶空间调制器、微透镜阵列、鲍威尔棱镜、柱面镜中的至少一种，以用于直接或通过聚焦元件(23)将所述激光处理为所述整形光斑(40)。