CN116547229A - 用于扫描仪技术领域的带振镜的偏转设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种用于扫描仪的偏转设备(100、200、300、400)。所述偏转设备(100、200、300、400)包括衬底(102、202)、振镜(106、206、304、404)和致动器装置(110)。所述振镜(106、206、304、404)通过连接器装置(108)布置在所述衬底(102、202)中的所述凹槽(104、204、306、406)中，以这样的方式，所述振镜可以以振荡的方式绕至少两个轴旋转。所述致动器装置(110)使所述振镜(106、206、304、404)振荡。所述致动器装置(110)布置在围绕所述凹槽(104、204、306、406)的所述衬底(102、202)中的一个或多个所述沟槽(112A至D)中，使得所述致动器装置(110)的形状的变化引起所述衬底(102、202)中的运动，从而引起所述振镜(106、206、304、404)的振荡运动。

Description

用于扫描仪技术领域的带振镜的偏转设备

本发明大体上涉及光学设备，更具体地，涉及包括用于扫描仪的振镜的偏转设备。

背景技术

在光学领域，微机电系统(Micro-Electrical-Mechanical-System，MEMS)技术一直是许多光通信尖端设备的使能工具。基于MEMS技术的偏转设备或扫描仪能够进行二维光学扫描，并在各种低功耗和紧凑的扫描应用中发挥着至关重要的作用，包括投影、传感和成像。通常，扫描仪等会使用偏转设备。对于扫描激光投影系统，更大的振幅相当于更高的光学分辨率。因此，基于微机电系统(micro electro mechanical system，MEMS)振镜谐振操作的激光投影被广泛采用。具体来说，光沿着两个轴的偏转可以使用振镜的万向节安装来实现。偏转设备的扫描角度可以相当于振镜机械旋转角度的两倍。振镜可以耦合到弹簧，并机械稳定在芯片结构中，能够沿着至少两个轴振荡。振镜由内部致动器驱动，或通过使用具有连接MEMS振镜以形成耦合振荡系统的致动器的外部驱动机构驱动。

如果使用内部致动器，通常可以利用压电元件来利用振镜振荡幅度。压电层放置在耦合到振镜的弹簧上，这使得振镜在压电层伸长或收缩时运动，从而引起弹簧的偏转。用于放置压电层的区域受弹簧的几何形状的限制。与区域成比例的最大可实现的偏转力不能独立于弹簧来控制。因此这将导致扫描角受限。扫描角是基于MEMS技术的偏转设备或扫描仪通常可以以每秒给定的点速率实现的光角。

带有与MEMS振镜连接的致动器的外部驱动机构具有更高的空间要求。扫描角越大，偏转设备覆盖的区域就越大，但由于受到外部驱动机构的物理限制，导致偏转设备难以保证扫描的准确性，同时也变得笨重。此外，这种具有致动器的外部驱动机构相对昂贵。另外，难以保证振镜运动的精度和实现控制，并且在激活期间也存在显著的能量损失。

上述偏转设备的共同缺点包括在实现更大的扫描角值方面不能发挥作用，同时对偏转设备提出了更大的空间要求，对偏转设备的制造工艺提出了更多的时间和成本要求。

因此，根据上述讨论，需要解决现有技术中的上述缺点，使偏转设备与现有技术的传统偏转设备相比，能够以更小的空间要求实现更大的扫描角值。

发明内容

本发明的目的是提供一种能够实现更大扫描角的偏转设备，与具有内部致动或外部驱动机构的传统偏转设备相比，采用相同制造工艺的所述偏转设备可同时提供致动和传感，因此成本更低。

这个目的是通过独立权利要求的特征来实现的。其它实现方式在从属权利要求、说明书和附图中是显而易见的。

根据第一方面，提供了一种用于扫描仪的偏转设备。所述偏转设备包括衬底、振镜和致动器装置。所述振镜布置在所述衬底中的凹槽中，并通过连接器装置连接到衬底，使得它可以以振荡的方式绕至少两个轴旋转。所述致动器装置使振镜振荡。所述致动器装置布置在围绕凹槽的衬底中的一个或多个沟槽中，使得致动器装置的形状的变化引起衬底中的运动，从而引起振镜的振荡运动。偏转设备具有使衬底以与振镜的谐振频率相同或相似的频率振荡的优点。偏转设备不限制与连接器装置处的弹簧几何形状相关的区域。因此，偏转设备通过具有更大有效致动区域的致动器装置，利用更高的可用致动能量来实现更大的可实现扫描角。高分辨率的扫描仪需要非常大的扫描角，由于所述偏转设备的有利设计，这可以在没有机械应力的情况下实现。

所述振镜可以是MEMS振镜。所述振镜可以使偏转设备能够在扫描应用中实现纳米级精度。

在第一方面的偏转设备的第一种可能的实现方式中，致动器装置布置成响应于电信号而改变其形状。致动器装置可选地包括一个或多个由电压信号控制的压电元件。与传统的偏转设备相比，一个或多个压电元件提供了更大的扫描角。可选地，致动器装置包括一个或多个由电压信号控制的静电梳状元件。所述致动器装置可以包括一个或多个由电流信号控制的磁力激励元件。所述静电梳状元件或磁力激励元件使偏转设备具有外部可激励的内部致动。

在第一方面的偏转设备的第二种可能的实现方式中，质量元件布置在致动器装置下方的一个或多个沟槽的至少一个中。所述质量元件为偏转设备提供垂直致动和/或还提供压电元件的相移致动，所述压电元件引起偏转设备的旋转振荡。

所述连接器装置可选地包括一个或多个弹簧，所述弹簧一端连接到振镜，另一端连接到围绕凹槽的衬底。所述一个或多个弹簧使偏转设备能够实现更大的扫描角。

在第一方面的偏转设备的第三种可能的实现方式中，压电元件连接到至少一个弹簧上，用于检测振镜的方向，并为布置成控制致动器装置的控制装置生成表示方向的信号。偏转设备采用相同制造工艺就可同时提供致动和传感，从而降低了制造工艺成本。

致动器装置可选地包括四个致动器元件，所述致动器元件定位在围绕凹槽的矩形的角上。四个致动器元件可以引起偏转设备的旋转振荡。可选地，致动器装置包括至少三个弯曲的致动器元件，每个弯曲的致动器元件覆盖围绕凹槽的圆周段。

根据第二方面，提供了一种用于增强现实或虚拟现实(augmented reality/virtual reality，AR/VR)设备的光引擎，所述光引擎包括激光发射设备、一个或多个布置成对从激光发射设备发射的激光束进行整形的光学元件、根据本发明并布置成将成形的激光束投射到反射表面上的偏转设备。偏转设备向增强现实或虚拟现实(augmentedreality/virtual reality，AR/VR)设备的用户显示图像。

根据第三方面，提供了一种用于增强现实或虚拟现实的显示设备，所述设备包括一个或多个光引擎。所述一个或多个光引擎提供活动场景/物体的光源或信息到表面的投影。

本发明解决了现有技术中的技术问题，所述技术问题即压电薄膜的应用区域受到用于内部致动的弹簧几何形状的限制。由于用于内部致动的弹簧几何形状，传统偏转设备中的最大可实现力不能独立于弹簧进行控制。因此这将导致扫描角受限。本发明解决了现有技术中的另一个技术问题，所述技术问题即在使用外部致动的情况下，混合驱动机构具有更高的空间要求，并且相对昂贵。

因此，与现有技术相比，相较于具有内部致动或外部驱动机构的传统偏转设备，根据本发明具有使用致动器装置致动的振镜的偏转设备可以具有更小的占地面积。所述偏转设备也可以具有更高的整合系数。与具有内部致动或外部驱动机构的传统偏转设备相比，所述偏转设备采用同一制造工艺就可同时提供致动和传感，从而降低了制造工艺成本。与具有内部致动或外部驱动机构的传统偏转设备相比，所述偏转设备具有更久的使用寿命。由于利用了外围，因此所述偏转装置对于致动结构具有更大的设计灵活性。相反，对于具有内部致动或外部驱动机构的传统偏转设备，由于其振镜连接有活动部件，因此空间有限。

与现有技术的传统偏转设备相比，本发明基本上消除或至少部分解决了现有技术中的上述技术缺陷，使得所述偏转设备以较小的空间要求实现较大的扫描角。偏转设备的所述致动器装置可用于汽车、消费者和工业应用，所述装置可以通过典型的半导体工艺制造。

本发明的这些和其它方面在下面描述的实现方式中是显而易见的。

附图说明

为了更清楚地说明本发明或现有技术实现方式中的技术方案，下面简要介绍描述现有技术实现方式所需的附图。显然，以下描述中的附图仅示出了本发明的一些实现方式，本领域普通技术人员在不付出创造性劳动的情况下，仍然可以根据这些附图获得其它附图。

图1A示出了根据本发明的实现方式的偏转设备；

图1B是根据本发明的实现方式，图1A中所示的偏转设备的横截面视图；

图2A是根据本发明的实现方式的偏转设备的第一示例性集成的透视示意图，所述偏转设备包括一个或多个具有致动器元件的沟槽；

图2B和2C分别示出了图2A中根据本发明的实现方式的偏转设备的第一示例性集成的顶视图和底部辅助视图，所述偏转设备包括一个或多个具有致动器元件的沟槽；

图3A和3B分别示出了根据本发明的实现方式的偏转设备的第二示例性集成的顶视图和底部辅助视图，所述偏转设备包括一个或多个具有致动器元件的沟槽；

图4A和4B分别示出了根据本发明的实现方式的偏转设备的第三示例性集成的顶视图和底部辅助视图，所述偏转设备包括一个或多个具有致动器元件的沟槽；

图5是根据本发明的实现方式使用偏转设备的产品的示意图；

图6是描述根据本发明的实现方式，使用放置在振镜结构旁边的辅助内部压电致动器从外部激励振镜的方法的流程图。

具体实现方式

本发明的实现方式提供了一种偏转设备，所述偏转设备采用相同制造工艺就能实现更大的扫描角以及同时提供致动和感测，从而降低了制造工艺的成本。

为使本领域的技术人员能够更好地理解本发明的方案，下面将结合本发明实现方式中的附图，对本发明实现方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实现方式仅仅是本发明的一部分而不是全部实现方式。基于本发明中的实现方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实现方式，都应属于本发明保护的范围。

本发明的说明书、权利要求书及上述附图中的“第一”、“第二”、“第三”和“第四”(如有)等术语用于区分相似的对象，而不一定用于描述特定的序列或顺序。应当理解，如此使用的术语在适当的情况下是可互换的，例如使得本文描述的本发明的实现方式能够以本文所示或所描述的序列以外的序列来实现。此外，术语“包括”和“具有”及其任何变体旨在涵盖非排他性包括。例如，包括一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不一定限于明确列出的步骤或单元，而是可以包括未明确列出的或此类过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

图1A示出了根据本发明的实现方式的偏转设备100。偏转设备100包括衬底102、凹槽104、振镜106、连接器装置108、致动器装置110和一个或多个沟槽112A至D。振镜106布置在衬底102的凹槽104中，并通过连接器装置108连接到衬底102，使得振镜106以振荡的方式绕至少两个轴旋转。

致动器装置110在致动时使振镜106振荡。致动器装置110布置在围绕凹槽104的衬底102中的一个或多个沟槽112A至D中，使得致动器装置110的形状的变化引起衬底102中的运动，从而引起振镜106中的振荡运动。

衬底102可以是用于制造集成电路和在光伏中制造太阳能电池的半导体薄片，例如晶体硅(crystalline silicon，c-Si)。衬底102的不与振镜106和连接器装置108直接接触的区域可以安装致动器装置110，以引起振镜106和连接器装置108的致动。

振镜106可以是微机电系统(micro electro mechanical system，MEMS)振镜。所述MEMS振镜可以是双轴镜，例如，可以是微扫描仪，或任何其它双轴扫描仪等。微机电系统(micro electro mechanical system，MEMS)可以是指尺寸非常小的设备，范围从几微米到毫米不等，其结合了机械和电气组件，并使用集成电路批处理技术制造。所述MEMS振镜可以是用于动态光调制的振镜致动器类别中的微机电系统(micro-electro mechanicalsystem，MEMS)。振镜106可以在入射光可以偏转的两个轴上运动。

振镜106可以是反射由相关准直仪投射到其上的激光的3D-MEMS振镜。在一个示例性实现方式中，振镜阵列被反射由相关准直仪投射到其上的激光的可控3D-MEMS振镜阵列取代。振镜106可以以振荡的方式绕两个轴旋转。振镜106可以通过晶圆级密封封装技术在真空下旋转。

偏转设备100可以包括在中心具有毫米级振镜的硅设备。振镜106可以连接到弯曲件。弯曲件可以是布置成允许振镜106在单轴上振荡或双轴振荡的柔性元件，以投射或捕获光。振镜106和连接器装置108可以悬挂在万向节结构中。振镜106可以处于闭环控制中，所述闭环控制可以通过实现位置检测来激活。闭环控制中的振镜106可以通过覆盖在连接器装置108上的致动器装置110激活。

图1B是根据本发明的实现方式，图1A中所示的偏转设备100的横截面视图。偏转设备100包括衬底102、布置在凹槽104中的振镜106、围绕凹槽104的衬底102中的一个或多个沟槽112A至D，以及可选地，质量元件114。连接器装置108包括一个或多个弹簧，所述弹簧的一端连接到振镜106，另一端连接到围绕凹槽104的衬底102。

致动器装置110布置在围绕凹槽104的衬底102中的一个或多个沟槽112A至D中，使得致动器装置110的形状的变化引起衬底102中的运动，从而引起振镜106中的振荡运动。致动器装置110可以布置成响应于电信号而改变其形状。致动器装置110可以设置成以与运动结构(例如振镜106)和连接器装置108的谐振频率相同或相似的频率振荡。致动器装置110的致动能量可以经由衬底102耦合到振镜106和连接器装置108中，从而实现更大的有效致动区域。

致动器装置110可选地包括一个或多个由电压信号致动的压电元件。材料的压电性质是某些材料响应所施加的机械应力而产生电荷的能力。一个或多个压电元件可以被定义为当它们置于机械应力下时产生电流的材料。压电过程可以是可逆的，因此如果电流施加到一个或多个压电元件上，它们的形状会略有变化(例如，最大变化4％)。所述一个或多个压电元件可以包括蛋白质、晶体和陶瓷，例如锆钛酸铅。

可选地，致动器装置110包括一个或多个由电压信号控制的静电梳状元件。致动器装置110可以包括一个或多个由电流信号控制的磁力激励元件。所述静电梳状元件或磁力激励元件使偏转设备100具有外部可激励的内部致动。

一个或多个沟槽112A至D是围绕凹槽104的衬底102中的空腔。沟槽可以是空腔，例如偏转设备100中容纳致动器装置110或致动器装置110的运动的空间。一个或多个沟槽112A至D可以对设计进行优化和图案化以实现所需的扫描角。一个或多个沟槽112A至D可以装配致动器元件，包括但不限于一个或多个压电元件。一个或多个压电元件可以布置为一个或多个沟槽112A至D中的功能层。所述功能层可以包括具有可与偏转设备100谐振的镜轴的相应本征频率的平移或垂直致动。压电元件致动可引起衬底102的谐振。

质量元件114可以布置在一个或多个沟槽112A至D中的至少一个的致动器装置110下面。在示例性实现方式中，一个或多个沟槽112A至D包括安装在致动器装置110下面的附加质量元件。致动器元件可以连接到连接器装置108的至少一个弹簧上，用于检测振镜106的方向。连接到至少一个弹簧上的所述致动器元件也可以用于生成代表定向到布置成控制致动器装置110的控制设备的信号。

致动器装置110可选地连接到可布置在一个或多个沟槽112A至D中的附加振荡功能层。所述附加振荡功能层为偏转设备100提供振镜106的附加功能。致动器装置110可以是位于偏转设备100内部、位于凹槽104旁边，并悬挂振镜106的致动器机构，所述致动器机构向偏转设备100提供用于扫描的力，并可以使用静电、磁或压电原理激励。以来自致动器装置110形状变化为驱动力的致动器机构可以分别引起偏转设备100的振动激励或万向节结构和振镜106的倾斜运动。致动器机构可用于汽车、消费者或工业应用，支持通过典型半导体工艺制造。

偏转设备100以驱动轴的谐振频率引起振动，并引起振镜106的振荡，使得振镜106可以以振荡的方式绕至少两个轴旋转。由于致动频率是衬底本征频率，振镜106和衬底102运动的相长干涉可以引起振镜106的大角度振荡。通过与被驱动的压电元件相对应的相位和振幅，可以控制振镜106的振幅。

图2A示出了根据本发明的实现方式的偏转设备200的第一示例性集成的透视图，偏转设备200包括一个或多个具有致动器元件208A至D的沟槽。偏转设备200的第一示例性集成包括布置在凹槽204中的振镜206和一个或多个在围绕凹槽204的衬底202中具有致动器元件208A至D的沟槽。致动器元件208A至D可以包括但不限于压电元件。一个或多个具有致动器元件208A至D的沟槽的致动可以在偏转设备200的第一示例性集成中引起振动。相对于谐振频率的振动可引起振镜206的振荡。振镜206的振幅或频率可以使用信号波的相位和振幅来控制。使用信号波，可以驱动一个或多个具有致动器元件208A至D的沟槽。

图2B和2C分别示出了图2A中根据本发明的实现方式的偏转设备200的第一示例性集成的顶视图和底部辅助视图，偏转设备200包括一个或多个具有致动器元件208A至D的沟槽。偏转设备200的第一示例性集成描绘了一个或多个圆形压电装置210A至D、一个或多个具有致动器元件208A至D的沟槽、凹槽204和振镜206。一个或多个圆形压电装置210A至D可以包括连接在一个或多个具有致动器元件208A至D的沟槽底部的质量元件，以致动一个或多个沟槽的垂直方向、相移致动。一个或多个沟槽的相移致动引起偏转设备200的旋转振荡。作为四个致动器元件的一个或多个圆形压电装置210A至D可以定位在围绕凹槽204的偏转设备200的第一示例性集成的角处，以形成致动器装置。

图3A和3B分别示出了根据本发明的实现方式的偏转设备300的第二示例性集成的顶视图和底部辅助视图，偏转设备300包括一个或多个具有致动器元件的沟槽。偏转设备300的第二示例性集成描绘了桥结构压电元件302、振镜304和凹槽306。桥结构压电元件302使振镜304能够具有实现更高振幅的额外运动自由度。桥结构压电元件302的谐振频率可以通过改变桥结构压电元件302的尺寸并附加额外的硅质量元件来拟合到振镜304的谐振频率。这提高了振镜304的驱动效率。一个或多个桥结构压电元件302可选地布置为弯曲致动器元件。一个或多个桥结构压电元件302中的每一个可选地覆盖围绕凹槽306的圆周段，以形成致动器装置。

弯曲致动器元件可以使用长桥结构压电元件来布置。长桥结构压电元件使振镜304能够具有实现更高振幅的额外运动自由度。通过改变长桥结构压电元件的尺寸并连接附加的硅质量元件，桥结构致动器元件的谐振频率可以拟合到振镜304的谐振频率。弯曲致动器元件实现了额外的运动，使偏转设备具有更大振幅。弯曲致动器元件的尺寸可以调节以实现振镜304的驱动频率。附加的硅质量元件可以添加到弯曲致动器元件中。

图4A和4B分别示出了根据本发明的实现方式的偏转设备400的第三示例性集成的顶视图和底部辅助视图，偏转设备400包括一个或多个具有致动器元件的沟槽。偏转设备400的第三示例性集成包括一个或多个位置优化压电元件402A至B、振镜404和凹槽406。一个或多个位置优化压电元件402A至B可以是桥结构压电元件302和附加硅质量元件的组合，并针对位置进行了优化。偏转设备400的第三示例性集成通过根据设计将一个或多个致动器的谐振频率调整到一个或多个致动器的相应扫描轴，以及通过选择一个或多个致动器在偏转设备上的最佳位置，实现振镜404的最佳驱动效率。一个或多个位置优化压电元件402A至B中的一个可选地用于驱动振镜404或偏转设备400的第三示例性集成上的万向节结构。

图5是根据本发明的实现方式使用偏转设备510的产品500的示意图。偏转设备510可以是上述偏转设备100、偏转设备200、偏转设备300或偏转设备400中的任何一个。产品500可以是偏转设备510的操作环境。产品500可以包括光引擎502、激光器504、微控制器506、光学元件组508、偏转设备510和反射表面512。激光器504可以是RGB激光器。激光器504可以发射穿过光学元件组508以进入偏转设备510的激光。偏转设备510可以将激光投射到反射表面512。偏转设备510可在人眼514处产生视觉效果。产品500可用于(i)增强现实或虚拟现实眼镜或头盔中的投影，(ii)平视显示投影，(iii)激光前照灯，用于将信息投射到表面的活动场景或物体光源，或(iv)光检测和测距系统中的激光扫描。

在一个示例性实现方式中，光引擎502包括激光发射设备、光学元件组508和用于增强现实或虚拟现实(augmented reality/virtual reality，AR/VR)设备的偏转设备510。光学元件组508可以包括但不限于棱镜。所述光学元件组可以布置成对从激光发射设备发射的激光束进行整形。光学元件组508可选地布置成将成形激光束投射到反射表面上，以向(AR/VR)设备的用户显示图像。AR/VR设备可以是外表面上的激光前照灯。光检测和测距(light detection and ranging，LiDAR)系统中的激光扫描系统也可以结合光引擎502。

图6是描述根据本发明的实现方式，使用放置在振镜结构旁边的辅助内部压电致动器从外部激励振镜的方法的流程图600。在步骤602，所述振镜布置在所述衬底中的凹槽中，并通过连接器装置连接到衬底，使得它可以以振荡的方式绕至少两个轴旋转。在步骤604，使用致动器装置振荡振镜。所述致动器装置布置在围绕凹槽的衬底中的一个或多个沟槽中，使得致动器装置的形状的变化引起衬底中的运动，从而引起振镜的振荡运动。

尽管已详细描述了本发明及其优点，但是应当理解，在不脱离所附权利要求书界定的本发明的精神和范围的情况下，可以作出各种改变、替代和更改。

Claims (13)

1.一种用于扫描仪的偏转设备(100、200、300、400)，其特征在于，所述偏转设备(100、200、300、400)包括：

-衬底(102、202)，

-布置在衬底(102、202)中的凹槽(104、204、306、406)中的振镜(106、206、304、404)，并通过连接器装置(108)连接到衬底(102、202)，使得所述振镜(106、206、304、404)可以以振荡方式绕至少两个轴旋转，

-用于引起振镜(106、206、304、404)振荡的致动器装置(110)，所述致动器装置(110)布置在围绕凹槽(104、204、306、406)的衬底(102、202)中的一个或多个沟槽(112A至D)中，以这样的方式，所述致动器装置(110)的形状的改变将引起衬底(102、202)中的运动，从而引起振镜(106、206、304、404)的振荡运动。

2.根据权利要求1所述的偏转设备(100、200、300、400)，其特征在于，所述振镜(106、206、304、404)是MEMS振镜。

3.根据上述权利要求中任一项所述的偏转设备(100、200、300、400)，其特征在于，所述致动器装置(110)布置成响应于电信号而改变其形状。

4.根据权利要求3所述的偏转设备(100、200、300、400)，其特征在于，所述致动器装置(110)包括一个或多个由电压信号控制的压电元件。

5.根据权利要求3所述的偏转设备(100、200、300、400)，其特征在于，所述致动器装置(110)包括一个或多个由电压信号控制的静电梳状元件。

6.根据权利要求3所述的偏转设备(100、200、300、400)，其特征在于，所述致动器装置(110)包括一个或多个由电流信号控制的磁力激励元件。

7.根据上述权利要求中任一项所述的偏转设备(100、200、300、400)，其特征在于，所述质量元件(114)布置在所述一个或多个沟槽(112A至D)中的至少一个的所述致动器装置(110)的下方。

8.根据上述权利要求中任一项所述的偏转设备(100、200、300、400)，其特征在于，所述连接器装置包括一个或多个弹簧，所述弹簧一端连接到所述振镜(106、206、304、404)，另一端连接到围绕所述凹槽(104、204、306、406)的所述衬底(102、202)。

9.根据权利要求8所述的偏转设备(100、200、300、400)，其特征在于，所述压电元件连接到所述弹簧中的至少一个，用于检测所述振镜(106、206、304、404)的方向，并为布置成控制所述致动器装置(110)的控制装置生成代表所述方向的信号。

10.根据上述权利要求中任一项所述的偏转设备(100、200、300、400)，其特征在于，所述致动器装置(110)包括四个致动器元件，所述致动器元件定位在围绕所述凹槽(104)的矩形的角处。

11.根据上述权利要求中任一项所述的偏转设备(100、200、300、400)，其特征在于，所述致动器装置(110)包括至少三个弯曲的致动器元件，每个弯曲的致动器元件覆盖围绕所述凹槽(104)的圆周段。

12.一种用于增强现实或虚拟现实设备的光引擎(502)，包括激光发射设备、一个或多个布置成对从激光发射设备发射的激光束进行整形的光学元件、根据上述权利要求中任一项所述的偏转设备(100、200、300、400)，所述偏转设备布置成将所述成形激光束投射到反射表面上，以向所述增强现实或虚拟现实设备的用户显示图像。

13.根据权利要求12所述的用于增强现实或虚拟现实的显示设备，包括一个或多个光引擎(502)。