CN116486879B - 失效分析方法及装置、可读存储介质、终端 - Google Patents
失效分析方法及装置、可读存储介质、终端 Download PDFInfo
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Abstract
一种失效分析方法及装置、可读存储介质、终端,所述方法包括:确定原始失效数据,所述原始失效数据包括待测芯片沿位线和字线的方向排列的M×N个比特位上的测试数据;沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩,获得压缩后的数据,所述预设方向包括位线方向和/或字线方向;基于所述压缩后的数据,图像化显示所述待测芯片的失效数据。本发明可以扩大对整个比特图的显示比例,可以提高系统性失效模式分析的全面性和有效性。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种失效分析方法及装置、可读存储介质、终端。
背景技术
现代芯片制造工艺复杂,且每道工艺都有可能引入各种缺陷,导致最终芯片失效。因此失效分析是整个流程中重要的一环,其对提高产品良率具有重要的意义。对于半导体产品,如存储器器件等,电性失效分析是进行失效分析的有效手段。
半导体存储器电性失效可以用于表示存储器单元的读取或写入等操作无法正常进行,从而导致整体功能失效。电性失效分析中一种重要的方法是在某种条件下(如特定电压)采用某种操作(如读取操作)对芯片的每个地址进行测试,记录测试结果并生成芯片对应的比特图(bitmap),或称电性失效图。再通过观察比特图中失效比特(failbit)组成的图形来分析判断失效模式(failmode)。
随着半导体工艺集成度的提高以及对存储器容量的需求提高,比特图中数据量变得越来越庞大,需要借助计算机计算、搜索、加工后,展示到交互界面。其中,为了展示原始失效比特的相对位置,以及方便用户观察研究,通常需要对每个区块中每个比特都进行完整的显示。
然而,在现有技术中,由于每个区块中的比特数量都非常多,同时受限于显示终端像素的限制,在一个可视窗口中一般只能显示某个区块的比特图,而这通常只是整个芯片比特图中很小的一部分,而无法对整个比特图进行有效的显示,导致难以对整个芯片上的系统性失效模式进行有效的探究和发现。
亟需一种失效分析方法,可以扩大对整个比特图的显示比例,可以提高系统性失效模式分析的全面性和有效性,提高发现新的失效模式的可能性。
发明内容
本发明解决的技术问题是提供一种失效分析方法及装置、可读存储介质、终端,可以扩大对整个比特图的显示比例,可以提高系统性失效模式分析的全面性和有效性,提高发现新的失效模式的可能性。
为解决上述技术问题,本发明实施例提供一种失效分析方法,包括:确定原始失效数据,所述原始失效数据包括待测芯片沿位线和字线方向排列的M×N个比特位上的测试数据;沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩,获得压缩后的数据,所述预设方向包括位线方向和/或字线方向;基于所述压缩后的数据,图像化显示所述待测芯片的失效数据;其中,M、N均为正整数,且M>1,N>1。
可选的,所述沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩,包括:沿所述预设方向对所述原始失效数据进行分组,各组原始失效数据的数量一致;对每组原始失效数据,确定失效的比特位的数量之和,作为压缩后的单个位置的失效数量。
可选的,所述基于所述压缩后的数据,图像化显示所述待测芯片的失效数据,包括:根据压缩后的每个位置的失效数量所属的级别,确定该位置的失效图案;图像化显示压缩后的各个位置的失效图案;其中,每个级别具有各自的预设的失效图案。
可选的,所述失效图案满足以下一项或多项:所述失效图案的图案密度与所述失效数量正相关;所述失效图案的色度与所述失效数量正相关;所述失效图案的色彩饱和度与所述失效数量正相关。
可选的,所述沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩,包括:沿所述预设方向对所述原始失效数据进行分组,各组原始失效数据的数量一致;对每组原始失效数据,确定失效类型;其中,所述失效类型选自:全部失效、部分失效、无失效。
可选的,所述基于所述压缩后的数据,图像化显示所述待测芯片的失效数据,包括:根据压缩后的每个位置的失效类型,确定该位置的失效图案;图像化显示压缩后的各个位置的失效图案;其中,每个失效类型具有各自的预设的失效图案。
可选的,所述失效图案满足以下一项或多项:所述失效类型为无失效对应的失效图案的图案密度小于所述失效类型为部分失效对应的图案密度,所述失效类型为部分失效对应的图案密度小于所述失效类型为全部失效对应的图案密度;所述失效类型为无失效对应的失效图案的色度小于所述失效类型为部分失效对应的色度,所述失效类型为部分失效对应的色度小于所述失效类型为全部失效对应的色度;所述失效类型为无失效对应的失效图案的色彩饱和度小于所述失效类型为部分失效对应的色彩饱和度,所述失效类型为部分失效对应的色彩饱和度小于所述失效类型为全部失效对应的色彩饱和度。
可选的,所述方法还包括:根据基于所述压缩后的数据,图像化显示所述待测芯片的失效数据的显示结果,确定失效模式。
可选的,所述预设方向为位线方向和字线方向;在所述沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩之后,每m×n个比特位上的测试数据得到M/m×N/n个压缩后的位置;其中,m用于表示所述位线方向上对所述原始失效数据进行压缩的第一压缩倍数,n用于表示所述字线方向上对所述原始失效数据进行压缩的第二压缩倍数,m、n均为正整数,m为M的约数,n为N的约数。
可选的,所述确定失效模式,包括以下一项或多项:根据所述显示结果中包含在所述位线方向上和所述字线方向上均连续的多个阵列化位置为全部失效,判断具有阵列化失效模式;根据所述显示结果中包含在间隔的多条在所述位线方向上连续的多个位置为全部失效,判断具有间隔位线失效模式;根据所述显示结果中包含在间隔的多条在所述字线方向上连续的多个位置为全部失效,判断具有间隔字线失效模式。
可选的,所述第一压缩倍数是根据显示页面上位线显示宽度确定的,以使得在单个显示页面中显示M/m个压缩后的位置;所述第二压缩倍数是根据显示页面上字线显示宽度确定的,以使得在单个显示页面中显示N/n个压缩后的位置。
可选的,所述预设方向为位线方向;在所述沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩之后,每m×1个比特位上的测试数据得到M/m×N个压缩后的位置;其中,m用于表示所述位线方向上对所述原始失效数据进行压缩的第一压缩倍数,m为正整数,m为M的约数。
可选的,所述确定失效模式,包括:根据所述显示结果中包含在间隔的多条在所述位线方向上连续的多个位置为全部失效,判断具有间隔位线失效模式。
可选的,所述第一压缩倍数是根据显示页面上位线显示宽度确定的,以使得在单个显示页面中显示M/m个压缩后的位置。
可选的,所述预设方向为字线方向;在所述沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩之后,每1×n个比特位上的测试数据得到M×N/n个压缩后的位置;其中,n用于表示所述字线方向上对所述原始失效数据进行压缩的第二压缩倍数,n为正整数,n为N的约数。
可选的,所述确定失效模式,包括:根据所述显示结果中包含在间隔的多条在所述字线方向上连续的多个位置为全部失效,判断具有间隔字线失效模式。
可选的,所述第二压缩倍数是根据显示页面上字线显示宽度确定的,以使得在单个显示页面中显示N/n个压缩后的位置。
可选的,所述失效分析方法用于存储器器件,所述存储器器件具有多个预设大小的块存储单元;其中,在所述位线方向上对所述原始失效数据进行压缩的压缩倍数为所述块存储单元在所述位线方向上的约数,在所述字线方向上对所述原始失效数据进行压缩的压缩倍数为所述块存储单元在所述字线方向上的约数。
可选的,所述方法满足以下一项或多项:在所述预设方向为位线方向的情况下,原始失效数据是预先沿所述位线方向逐行连续存储,以及沿所述位线方向逐行读出的;在所述预设方向为字线方向的情况下,原始失效数据是预先沿所述字线方向逐列连续存储,以及沿所述字线方向逐列读出的。
为解决上述技术问题,本发明实施例提供一种失效分析装置,包括:原始数据确定模块,用于确定原始失效数据,所述原始失效数据包括待测芯片沿位线和字线的方向排列的M×N个比特位上的测试数据;压缩模块,用于沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩,获得压缩后的数据,所述预设方向包括位线方向和/或字线方向;显示模块,用于基于所述压缩后的数据,图像化显示所述待测芯片的失效数据;其中,M、N均为正整数,且M>1,N>1。
为解决上述技术问题,本发明实施例提供一种可读存储介质,其上存储有计算机程序,所述计算机程序被处理器运行时执行上述失效分析方法的步骤。
为解决上述技术问题,本发明实施例提供一种终端,包括存储器和处理器,所述存储器上存储有能够在所述处理器上运行的计算机程序,所述处理器运行所述计算机程序时执行上述失效分析方法的步骤。
与现有技术相比,本发明实施例的技术方案具有以下有益效果:
在本发明实施例中,待测芯片沿位线方向和/或字线方向对所述原始失效数据进行压缩,获得压缩后的数据后,基于所述压缩后的数据,图像化显示所述待测芯片的失效数据,相比于现有技术中,显示比例过低,导致只能依赖数据分析判断是否存在预设的失效模式,导致错误率较高,且难以发现未预料到过的失效模式,采用本发明实施例的方案,可以更全面地显示失效数据,扩大对整个比特图的显示比例,并且通过图像化显示压缩后的数据,可以提高系统性失效模式分析的全面性和有效性,提高发现新的失效模式的可能性。
进一步,沿所述预设方向对所述原始失效数据进行分组,各组原始失效数据的数量一致;对每组原始失效数据,确定失效的比特位的数量之和,作为压缩后的单个位置的失效数量,采用上述方案,可以在分组的基础上计算失效的比特位的数量之和,从而准确地对每组原始失效数据进行细致的量化,从而为后续图像化显示压缩后的数据提供较为细致的处理基础。
进一步,根据压缩后的每个位置的失效数量所属的级别,确定该位置的失效图案;图像化显示压缩后的各个位置的失效图案,采用上述方案,可以根据级别设置失效图案,由于级别划分越细致,显示的失效图案之间的差别可以更加细致,能够进一步提高图像化显示的精准性。
进一步,所述失效图案的图案密度与所述失效数量正相关;所述失效图案的色度与所述失效数量正相关;所述失效图案的色彩饱和度与所述失效数量正相关,从而可以对于失效数量较大的情况,采用更加显眼的方式进行图像化显示,进一步提高系统性失效模式分析的有效性,更加有利于发现新的失效模式。
进一步,沿所述预设方向对所述原始失效数据进行分组,各组原始失效数据的数量一致;对每组原始失效数据,确定失效类型,其中,所述失效类型选自:全部失效、部分失效、无失效。采用上述方案,可以在分组的基础上确定失效类型,从而为后续图像化显示压缩后的数据提供基于上述失效类型的处理基础,并且由于失效类型的数量有限(三种),使得运算效率较高。
进一步,根据压缩后的每个位置的失效类型,确定该位置的失效图案;图像化显示压缩后的各个位置的失效图案;其中,每个失效类型具有各自的预设的失效图案,采用上述方案,可以根据失效类型确定失效图案,能够直观、高效地进行图像化显示。
进一步,失效分析方法还包括:根据基于所述压缩后的数据,图像化显示所述待测芯片的失效数据的显示结果,确定失效模式,采用上述方案,可以根据图像化显示结果,提高系统性失效模式分析的全面性和有效性,从而确定多种失效模式,尤其是有利于发现新的失效模式。
进一步,所述预设方向为位线方向和字线方向;在所述沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩之后,每m×n个比特位上的测试数据得到M/m×N/n个压缩后的位置,从而可以同时对位线方向和字线方向均进行压缩,有助于在位线方向和字线方向均扩大对整个比特图的显示比例,从而更全面地显示失效数据。
进一步,根据所述显示结果中包含在所述位线方向上和所述字线方向上均连续的多个阵列化位置为全部失效,判断具有阵列化失效模式,相比于现有技术中显示比例过低,导致阵列化失效模式的判断错误率过高,或者导致在未预料到存在阵列化失效模式的情况下,难以通过数据分析判断存在阵列化失效模式,采用本发明实施例的方案,可以直观显示在所述位线方向上和所述字线方向上均连续的多个阵列化位置,从而实现对阵列化失效模式的有效判断。此外,还可以根据所述显示结果中包含在间隔的多条在所述位线方向上连续的多个位置为全部失效,判断具有间隔位线失效模式,还可以根据所述显示结果中包含在间隔的多条在所述字线方向上连续的多个位置为全部失效,判断具有间隔字线失效模式,相比于现有技术中显示比例过低,导致间隔位线失效模式以及间隔字线失效模式的判断错误率过高,或者导致在未预料到存在这类失效模式的情况下,难以通过数据分析判断存在这类失效模式,采用本发明实施例的方案,可以直观显示在间隔的多条在所述位线方向上连续的多个位置为全部失效,从而实现对间隔位线失效模式的有效判断,还可以直观显示在间隔的多条在所述字线方向上连续的多个位置为全部失效,从而实现对间隔字线失效模式的有效判断。
进一步,所述第一压缩倍数是根据显示页面上位线显示宽度确定的,以使得在单个显示页面中显示M/m个压缩后的位置;所述第二压缩倍数是根据显示页面上字线显示宽度确定的,以使得在单个显示页面中显示N/n个压缩后的位置,采用上述方案,可以根据显示页面上的位线显示宽度灵活地确定在位线方向上的第一压缩倍数,还可以根据显示页面上的字线显示宽度灵活地确定在字线方向上的第二压缩倍数,例如可以实现在单页面上显示完整的压缩后的数据,进一步提高系统性失效模式分析的全面性和有效性,提高发现新的失效模式的可能性。
进一步,所述预设方向为位线方向;在所述沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩之后,每m×1个比特位上的测试数据得到M/m×N个压缩后的位置,从而可以仅对位线方向进行压缩,有助于在位线方向扩大对整个比特图的显示比例,从而对于位线方向容易发生问题的器件,更具针对性地显示失效数据。
进一步,所述失效分析方法用于存储器器件,所述存储器器件具有多个预设大小的块存储单元;其中,在所述位线方向上对所述原始失效数据进行压缩的压缩倍数为所述块存储单元在所述位线方向上的约数,在所述字线方向上对所述原始失效数据进行压缩的压缩倍数为所述块存储单元在所述字线方向上的约数。采用上述方案,可以基于存储器器件的具体块(block)存储单元的实际情况,实现每个压缩后的位置对应的比特位数量一致,进一步提高压缩均匀性。
进一步地,在所述预设方向为位线方向的情况下,原始失效数据是预先沿所述位线方向逐行连续存储,以及沿所述位线方向逐行读出的;在所述预设方向为字线方向的情况下,原始失效数据是预先沿所述字线方向逐列连续存储,以及沿所述字线方向逐列读出的,从而可以通过预先对存储方式进行改进,例如对可能存在位线相关的失效模式的器件,采用沿所述位线方向逐行存取,对可能存在字线相关的失效模式的器件,采用沿所述字线方向逐列存取,使得存取方式更适用于待分析的失效模式,进一步提高系统性失效模式分析的全面性和有效性。
附图说明
图1是本发明实施例中一种失效分析方法的流程图;
图2是本发明实施例中一种原始失效数据的示意图;
图3是本发明实施例中一种原始失效数据的多种失效模式的示意图;
图4是本发明实施例中第一种压缩前的原始失效数据的示意图;
图5是对图4中的原始失效数据压缩后的一种图像化显示示意图;
图6是对图4中的原始失效数据压缩后的另一种图像化显示示意图;
图7是本发明实施例中第二种压缩前的原始失效数据的示意图;
图8是对图7中的原始失效数据压缩后的一种图像化显示示意图;
图9是对图7中的原始失效数据压缩后的另一种图像化显示示意图;
图10是本发明实施例中第三种压缩前的原始失效数据的示意图;
图11是对图10中的原始失效数据压缩后的一种图像化显示示意图;
图12是对图10中的原始失效数据压缩后的另一种图像化显示示意图;
图13是本发明实施例中一种失效分析装置的结构示意图。
具体实施方式
如前所述,电性失效分析可以是在某种条件下(如特定电压)采用某种操作(如读取操作)对芯片的每个地址进行测试,记录测试结果并生成芯片对应的比特图(bitmap),或称电性失效图。再通过观察比特图中失效比特(failbit)组成的图形来分析判断失效模式(failmode)。
常见的失效模式如单个比特失效(Single Bit),行/列方向连续两个比特失效(Double Bit Row/Column),单条字线/位线失效(Single Wordline/Bitline)等。现有的技术通常是经过计算机计算分析后,输出对各种失效模式的统计结果,再结合原始比特图进行分区块分析。
然而,有些潜在的系统性失效图形可能代表着一些新的未定义的失效模式,此时无法通过计算机提前计算分析,而用户因为受限于比特图的展现形式,也无法有效的发现并分析这些新的系统性的失效模式。
经过研究发现,在现有技术中,由于每个区块中的比特数量都非常多,同时受限于显示终端像素的限制,在一个可视窗口中一般只能显示某个区块的比特图,而这通常只是整个芯片比特图中很小的一部分,而无法对整个比特图进行有效的显示,导致难以对整个芯片上的系统性失效模式进行有效的探究和发现。
在本发明实施例中,待测芯片沿位线方向和/或字线方向对所述原始失效数据进行压缩,获得压缩后的数据后,基于所述压缩后的数据,图像化显示所述待测芯片的失效数据,相比于现有技术中,显示比例过低,导致只能依赖数据分析判断是否存在预设的失效模式,导致错误率较高,且难以发现未预料到过的失效模式,采用本发明实施例的方案,可以更全面地显示失效数据,扩大对整个比特图的显示比例,并且通过图像化显示压缩后的数据,可以提高系统性失效模式分析的全面性和有效性,提高发现新的失效模式的可能性。
为使本发明的上述目的、特征和有益效果能够更为明显易懂,下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。
参照图1,图1是本发明实施例中一种失效分析方法的流程图。所述失效分析方法可以包括步骤S11至步骤S13:
步骤S11:确定原始失效数据,所述原始失效数据包括待测芯片沿位线和字线的方向排列的M×N个比特位上的测试数据;
步骤S12:沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩,获得压缩后的数据,所述预设方向包括位线方向和/或字线方向;
步骤S13:基于所述压缩后的数据,图像化显示所述待测芯片的失效数据。
其中,M、N均为正整数,且M>1,N>1。
在步骤S11的具体实施中,确定原始失效数据,从而获得沿位线和字线的方向排列的测试数据。
图2是本发明实施例中一种原始失效数据的示意图。
如图2所示,原始失效数据包括待测芯片沿位线(图2示出的横向)和字线(图2示出的纵向)的方向排列的M×N个比特位上的测试数据。
以一种存储器器件为例,该存储器器件沿位线方向上的比特数可以为65536,该存储器器件沿字线方向上的比特数可以为65536。
进一步地,存储器器件还可以具有多个预设大小的块存储单元。以存储器器件为动态随机存储器(Dynamic Random Access Memory,DRAM)为例,每个块存储单元沿位线方向上的比特数可以为1024,每个块存储单元沿字线方向上的比特数可以为1024,存储器器件沿位线方向上可以具有64个块存储单元,存储器器件沿字线方向上可以具有64个块存储单元。
参照图3,图3是本发明实施例中一种原始失效数据的多种失效模式的示意图。
在图3示出的原始失效数据中标出了各个失效区域,网格图案用于表示失效,白色图案用于表示有效(无失效)。
常见的失效模式如单个比特失效(Single Bit),行/列方向连续多个比特失效,如行/列方向连续两个比特失效(Double Bit Row/Column),单条字线/位线失效(SingleWordline/Bitline)。
如图3所示,失效模式S1可以用于表示连续多条字线失效,例如沿字线方向上的整列块存储单元失效,失效模式S2可以用于表示行/列方向连续多个比特失效,例如单个块存储单元内多个比特失效,失效模式S3可以用于表示单个块存储单元内少量比特失效,例如为单个比特失效,失效模式S4可以用于表示无失效。
图3中的显示区域用于标记可展示区域的方块,可视为最终在终端窗口中一次可以呈现的区域。
需要指出的是,显示区域的尺寸较小,同时受限于显示终端像素的限制,在一个显示区域中一般只能显示某个区块的比特图,往往无法完整展示整个比特图,如图3示出的显示区域甚至难以完整显示单个块存储单元,也就更不能显示整个原始失效数据。
在本发明实施例的一种具体实施方式中,可以在分组的基础上计算失效的比特位的数量之和,从而准确地对每组原始失效数据进行细致的量化。
继续参照图1,在步骤S12的具体实施中,沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩,获得压缩后的数据。
进一步地,沿所述预设方向对所述原始失效数据进行分组,各组原始失效数据的数量一致;对每组原始失效数据,确定失效的比特位的数量之和,作为压缩后的单个位置的失效数量。
具体地,可以将每组中的各个测试点中失效的比特数量相加,得到结果(例如为k),然后分别存储各组的k值。
在本发明实施例中,沿所述预设方向对所述原始失效数据进行分组,各组原始失效数据的数量一致;对每组原始失效数据,确定失效的比特位的数量之和,作为压缩后的单个位置的失效数量,采用上述方案,可以在分组的基础上计算失效的比特位的数量之和,从而准确地对每组原始失效数据进行细致的量化,从而为后续图像化显示压缩后的数据提供较为细致的处理基础。
在步骤S13的具体实施中,可以对压缩后的数据进行图像化显示。
进一步地,所述基于所述压缩后的数据,图像化显示所述待测芯片的失效数据的步骤可以包括:根据压缩后的每个位置的失效数量所属的级别,确定该位置的失效图案;图像化显示压缩后的各个位置的失效图案;其中,每个级别具有各自的预设的失效图案。
在本发明实施例中,根据压缩后的每个位置的失效数量所属的级别,确定该位置的失效图案;图像化显示压缩后的各个位置的失效图案,采用上述方案,可以根据级别设置失效图案,由于级别划分越细致,显示的失效图案之间的差别可以更加细致,能够进一步提高图像化显示的精准性。
结合参照图4和图5,图4是本发明实施例中第一种压缩前的原始失效数据的示意图,图5是对图4中的原始失效数据压缩后的一种图像化显示示意图。
其中,在图5示出的图像化显示示意图中,所述预设方向为位线方向和字线方向,在位线方向和字线方向均对所述原始失效数据进行压缩。
在图4示出的第一种压缩前的原始失效数据中,芯片原始电性失效测试结果可以是每行共有M个测试位置(例如为65536),每列共有N个测试位置(例如为65536)。
其中,测试结果存储可以在二维结构化数据结构中,形成图4示出的M×N的网格。
其中,R1区域可以对应于第一级别,整组原始失效数据中全部比特为完全失效,R2区域可以对应于第二级别,每组原始失效数据中大部分比特为失效,R3区域可以对应于第三级别,每组原始失效数据中少量比特为失效,R4区域可以对应于第四级别,每组原始失效数据中全部比特无失效。
作为一个非限制性的例子,R1区域可以用于表示当前组内失效比例占100%,R2区域可以用于表示当前组内失效比例占[50%,100%),R3区域可以用于表示当前组内失效比例占(0,50%),R4区域(图中未示出)可以用于表示当前组内失效比例占0。
在沿位线方向和字线方向对所述原始失效数据进行分组的过程中,各组原始失效数据的数量一致。
其中,分组后的各组原始失效数据可以直接用于压缩。
更进一步地,在所述沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩之后,每m×n个比特位上的测试数据得到M/m×N/n个压缩后的位置;其中,m用于表示所述位线方向上对所述原始失效数据进行压缩的第一压缩倍数,n用于表示所述字线方向上对所述原始失效数据进行压缩的第二压缩倍数,m、n均为正整数,m为M的约数,n为N的约数。
在图4示出的实施例中,M×N =65536×65536,m=1024,n=1024,因此M/m×N/n =64×64。
需要指出的是,图4示出的仅为一种级别示例,采用4级划分,在具体实施中,还可以划分更为细致,划分级别可以选自3至m×n。然后可以根据失效数量确定对应的级别。
需要指出的是,还可以根据各组中失效数量的顺序,生成相匹配色阶顺序模式,并对网格进行填充后显示,相比于提前划分级别,能够更加适配于当前失效数量的实际情况,并且减少相匹配色阶数量。
具体而言,以图5示出的64组为例,失效数量的个数小于等于64,生成的相匹配色阶的数量也小于等于64,相比于预先生成的相匹配色阶的数量为m×n=10242个,能够更好的减少相匹配色阶数量,降低显示复杂度。
在本发明实施例中,所述预设方向为位线方向和字线方向;在所述沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩之后,每m×n个比特位上的测试数据得到M/m×N/n个压缩后的位置,从而可以同时对位线方向和字线方向均进行压缩,有助于在位线方向和字线方向均扩大对整个比特图的显示比例,从而更全面地显示失效数据。
例如图4和图5的压缩倍数可以为m×n=1024×1024,压缩后,原始的65536×65536个比特构成的对应网格,被显示为64×64个映射后的网格,原始比特图中的R1、R2、R3、R4区域被映射为图5中对应的区域。
更进一步地,所述失效图案可以满足以下一项或多项:所述失效图案的图案密度与所述失效数量正相关;所述失效图案的色度与所述失效数量正相关;所述失效图案的色彩饱和度与所述失效数量正相关。
其中,所述失效图案的图案密度与所述失效数量正相关,换言之,所述失效数量越多,对应的级别的失效图案的图案密度可以越大。
图案密度用于表示点、线、块等图案填充比例,可以理解的是,图案密度越大,图像化显示的显眼程度越大。
所述失效图案的色度与所述失效数量正相关,换言之,所述失效数量越多,对应的级别的失效图案的色度可以越大。
色度用于表示彩色或非彩色的明度,可以理解的是,色度越大,图像化显示的显眼程度越大。
所述失效图案的色彩饱和度与所述失效数量正相关,换言之,所述失效数量越多,对应的级别的失效图案的色彩饱和度可以越大。
色彩饱和度用于表示色彩的鲜艳程度,可以理解的是,色彩饱和度越大,图像化显示的显眼程度越大。
在本发明实施例中,所述失效图案的图案密度与所述失效数量正相关;所述失效图案的色度与所述失效数量正相关;所述失效图案的色彩饱和度与所述失效数量正相关,从而可以对于失效数量较大的情况,采用更加显眼的方式进行图像化显示,进一步提高系统性失效模式分析的有效性,更加有利于发现新的失效模式。
在本发明实施例的另一种具体实施方式中,可以在分组的基础上确定失效类型,从而基于上述失效类型提供后续处理基础。
继续参照图1,在步骤S12的具体实施中,沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩,获得压缩后的数据。
进一步地,所述沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩的步骤可以包括:沿所述预设方向对所述原始失效数据进行分组,各组原始失效数据的数量一致;对每组原始失效数据,确定失效类型;其中,所述失效类型选自:全部失效、部分失效、无失效。
具体地,对每组原始失效数据,确定失效类型的步骤可以包括:设置失效位置值和成功(非失效)位置值为预设值;将每组中的各个结果分别进行与计算以及或计算;根据与计算结果以及或计算结果,确定失效类型。
更具体地,可以设置失效位置值为1或0其中的一个,成功位置值为1或0其中的另一个。
以失效位置值为1,成功位置值为0,与计算结果为a,或计算结果为b为例,任意一组中如果a=1可以用于表示全部失效,任意一组中如果b=0可以用于表示无失效,任意一组中如果a=0且b=1可以用于表示部分失效。可以理解的是,不会出现既全部失效又无失效的情况,也即不会出现a=1且b=0。
在本发明实施例中,沿所述预设方向对所述原始失效数据进行分组,各组原始失效数据的数量一致;对每组原始失效数据,确定失效类型,其中,所述失效类型选自:全部失效、部分失效、无失效。采用上述方案,可以在分组的基础上确定失效类型,从而为后续图像化显示压缩后的数据提供基于上述失效类型的处理基础,并且由于失效类型的数量有限(三种),使得运算效率较高。
在步骤S13的具体实施中,可以基于所述压缩后的数据,对待测芯片的失效数据进行图像化显示。
可以理解的是,在具体实施中,可以既显示待测芯片的无失效数据(又可称为成功数据)和失效数据,还可以仅显示待测芯片的失效数据。
在本发明实施例中,如图5所示,可以既显示各种失效数据(如第一级别R1至第三级别R3)又显示无失效数据R4,从而可以提高显示的全面性和整齐性。
进一步地,所述基于所述压缩后的数据,图像化显示所述待测芯片的失效数据的步骤可以包括:根据压缩后的每个位置的失效类型,确定该位置的失效图案;图像化显示压缩后的各个位置的失效图案;其中,每个失效类型具有各自的预设的失效图案。
在本发明实施例中,根据压缩后的每个位置的失效类型,确定该位置的失效图案;图像化显示压缩后的各个位置的失效图案;其中,每个失效类型具有各自的预设的失效图案,采用上述方案,可以根据失效类型确定失效图案,能够直观、高效地进行图像化显示。
结合参照图4和图6,图4是本发明实施例中第一种压缩前的原始失效数据的示意图,图6是对图4中的原始失效数据压缩后的另一种图像化显示示意图。
其中,在图6示出的图像化显示示意图中,所述预设方向为位线方向和字线方向,在位线方向和字线方向均对所述原始失效数据进行压缩。
需要指出的是,在图6示出的方案中,与R2区域相对应的区域(每组原始失效数据中大部分比特为失效)以及与R3区域相对应的区域(每组原始失效数据中少量比特为失效)均对应于部分失效这一失效类型,即当前组内失效比例占(0,100%)。
有关图4示出的实施例中的比特数量和级别示例的更多内容,请参照前文以及图4和图5的描述,此处不再赘述。
在本发明实施例中,所述预设方向为位线方向和字线方向;在所述沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩之后,每m×n个比特位上的测试数据得到M/m×N/n个压缩后的位置,从而可以同时对位线方向和字线方向均进行压缩,有助于在位线方向和字线方向均扩大对整个比特图的显示比例,从而更全面地显示失效数据。
例如图4和图6的压缩倍数可以为m×n=1024×1024,压缩后,原始的65536×65536个比特构成的对应网格,被显示为64×64个映射后的网格,原始比特图中的R1、R2、R3、R4区域被映射为图6中对应的区域。
需指出,图6未特别标记R1~R4,可以参考文字说明以及图5。
更进一步地,所述失效图案可以满足以下一项或多项:所述失效类型为无失效对应的失效图案的图案密度小于所述失效类型为部分失效对应的图案密度,所述失效类型为部分失效对应的图案密度小于所述失效类型为全部失效对应的图案密度;所述失效类型为无失效对应的失效图案的色度小于所述失效类型为部分失效对应的色度,所述失效类型为部分失效对应的色度小于所述失效类型为全部失效对应的色度;所述失效类型为无失效对应的失效图案的色彩饱和度小于所述失效类型为部分失效对应的色彩饱和度,所述失效类型为部分失效对应的色彩饱和度小于所述失效类型为全部失效对应的色彩饱和度。
其中,有关图案密度、色度、色彩饱和度的更多内容,请参照前文以及图4和图5的描述,此处不再赘述。
在本发明实施例中,可以对于失效类型用于表示失效比例较大的情况,采用更加显眼的方式进行图像化显示,进一步提高系统性失效模式分析的有效性,更加有利于发现新的失效模式。
进一步地,本发明实施例中的失效分析方法还可以包括:根据基于所述压缩后的数据,图像化显示所述待测芯片的失效数据的显示结果,确定失效模式。
采用上述方案,可以根据图像化显示结果,提高系统性失效模式分析的全面性和有效性,从而确定多种失效模式,尤其是有利于发现新的失效模式。
在图5和图6示出的两种原始失效数据压缩后的图像化显示示意图中,在所述沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩之后,每m×n个比特位上的测试数据得到M/m×N/n个压缩后的位置。
在本发明实施例中,同时对位线方向和字线方向均进行压缩,有助于在位线方向和字线方向均扩大对整个比特图的显示比例,从而更全面地显示失效数据。
进一步地,所述确定失效模式可以包括以下一项或多项:根据所述显示结果中包含在所述位线方向上和所述字线方向上均连续的多个阵列化位置为全部失效,判断具有阵列化失效模式;根据所述显示结果中包含在间隔的多条在所述位线方向上连续的多个位置为全部失效,判断具有间隔位线失效模式;根据所述显示结果中包含在间隔的多条在所述字线方向上连续的多个位置为全部失效,判断具有间隔字线失效模式。
需要特别指出的是,由于图4中的显示内容有限,存在多组原始失效数据被隐藏的情况,因此间隔位线失效模式和间隔字线失效模式并未在图4中详细显示。有关间隔位线失效模式和间隔字线失效模式的更多内容,可以参照后文以及图7至12的描述。
在本发明实施例中,根据所述显示结果中包含在所述位线方向上和所述字线方向上均连续的多个阵列化位置为全部失效,判断具有阵列化失效模式,相比于现有技术中显示比例过低,导致阵列化失效模式的判断错误率过高,或者导致在未预料到存在阵列化失效模式的情况下,难以通过数据分析判断存在阵列化失效模式,采用本发明实施例的方案,可以直观显示在所述位线方向上和所述字线方向上均连续的多个阵列化位置,从而实现对阵列化失效模式的有效判断。此外,还可以根据所述显示结果中包含在间隔的多条在所述位线方向上连续的多个位置为全部失效,判断具有间隔位线失效模式,还可以根据所述显示结果中包含在间隔的多条在所述字线方向上连续的多个位置为全部失效,判断具有间隔字线失效模式,相比于现有技术中显示比例过低,导致间隔位线失效模式以及间隔字线失效模式的判断错误率过高,或者导致在未预料到存在这类失效模式的情况下,难以通过数据分析判断存在这类失效模式,采用本发明实施例的方案,可以直观显示在间隔的多条在所述位线方向上连续的多个位置为全部失效,从而实现对间隔位线失效模式的有效判断,还可以直观显示在间隔的多条在所述字线方向上连续的多个位置为全部失效,从而实现对间隔字线失效模式的有效判断。
更进一步地,所述第一压缩倍数是根据显示页面上位线显示宽度确定的,以使得在单个显示页面中显示M/m个压缩后的位置;所述第二压缩倍数是根据显示页面上字线显示宽度确定的,以使得在单个显示页面中显示N/n个压缩后的位置。
在本发明实施例中,可以根据显示页面上的位线显示宽度灵活地确定在位线方向上的第一压缩倍数,还可以根据显示页面上的字线显示宽度灵活地确定在字线方向上的第二压缩倍数,例如可以实现在单页面上显示完整的压缩后的数据,进一步提高系统性失效模式分析的全面性和有效性,提高发现新的失效模式的可能性。
结合参照图7、图8和图9,图7是本发明实施例中第二种压缩前的原始失效数据的示意图;图8是对图7中的原始失效数据压缩后的一种图像化显示示意图;图9是对图7中的原始失效数据压缩后的另一种图像化显示示意图。
以下对图7至图9中与图4至图6中不同的内容进行说明。
在图7示出的第二种压缩前的原始失效数据的示意图中,存在较多沿位线方向上分布的失效区域,在图8和图9中,预设方向为位线方向,也即在位线方向对所述原始失效数据进行压缩,且在位线方向不进行行压缩。
其中,图8示出的可以是在分组的基础上计算失效的比特位的数量之和,从而准确地对每组原始失效数据进行细致的量化,图9示出的可以是在分组的基础上确定失效类型,从而基于上述失效类型提供后续处理基础,提高处理效率。
进一步地,在所述沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩之后,每m×1个比特位上的测试数据得到M/m×N个压缩后的位置;其中,m用于表示所述位线方向上对所述原始失效数据进行压缩的第一压缩倍数,m为正整数,m为M的约数。
在本发明实施例中,所述预设方向为位线方向;在所述沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩之后,每m×1个比特位上的测试数据得到M/m×N个压缩后的位置,从而可以仅对位线方向进行压缩,有助于在位线方向扩大对整个比特图的显示比例,从而对于位线方向容易发生问题的器件,更具针对性地显示失效数据。
更进一步地,所述确定失效模式的步骤可以包括:根据所述显示结果中包含在间隔的多条在所述位线方向上连续的多个位置为全部失效,判断具有间隔位线失效模式。
如图7所示,R1区域示出了间隔的两条在整个原始失效数据中整行失效的情况,R2区域示出的间隔两条在分组后的单组或相邻两组原始失效数据中整行失效的情况,R3区域示出了在单组原始失效数据中连续数个比特失效却并未达到整行失效的情况,R4区域示出了在单组原始失效数据中少量比特失效的情况。
进一步地,根据所述显示结果中包含在间隔的多条在所述位线方向上连续的多个位置为全部失效,判断具有间隔位线失效模式。
在图8示出的压缩后的图像化显示示意图中,R1区域示出了间隔的两条在整个原始失效数据中整行失效的情况,可以视为全局位线失效,例如一行中所有区块所有比特全部失效。
R2区域示出了间隔两条在分组后的单组或相邻两组原始失效数据中整行失效的情况,可以视为局部位线失效,例如一个区块中一行中全部比特失效。
需要指出的是,R1区域、R2区域能够在显示区域中显示完整,从而可以直接确定。
相比于现有技术中显示比例过低,导致间隔位线失效模式的判断错误率过高,或者导致在未预料到存在这类失效模式的情况下,难以通过数据分析判断存在这类失效模式,采用本发明实施例的方案,可以直观显示在间隔的多条在所述位线方向上连续的多个位置为全部失效,从而实现对间隔位线失效模式的有效判断。
进一步地,所述第一压缩倍数是根据显示页面上位线显示宽度确定的,以使得在单个显示页面中显示M/m个压缩后的位置。
在本发明实施例中,可以根据显示页面上的位线显示宽度灵活地确定在位线方向上的第一压缩倍数,例如可以实现在单页面上显示完整的压缩后的位线方向上的数据,进一步提高系统性失效模式分析的全面性和有效性,提高发现新的失效模式的可能性。
结合参照图10、图11和图12,图10是本发明实施例中第三种压缩前的原始失效数据的示意图;图11是对图10中的原始失效数据压缩后的一种图像化显示示意图;图12是对图10中的原始失效数据压缩后的另一种图像化显示示意图。
以下对图10至图12中与图4至图6中不同的内容进行说明。
在图10示出的第三种压缩前的原始失效数据的示意图中,存在较多沿字线方向上分布的失效区域,在图11和图12中,预设方向为字线方向,也即在字线方向对所述原始失效数据进列压缩,且在字线方向不进行列压缩。
其中,图11示出的可以是在分组的基础上计算失效的比特位的数量之和,从而准确地对每组原始失效数据进列细致的量化,图12示出的可以是在分组的基础上确定失效类型,从而基于上述失效类型提供后续处理基础,提高处理效率。
进一步地,在所述沿预设方向对所述原始失效数据进列压缩之后,在所述沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩之后,每1×n个比特位上的测试数据得到M×N/n个压缩后的位置;其中,n用于表示所述字线方向上对所述原始失效数据进行压缩的第二压缩倍数,n为正整数,n为N的约数。
在本发明实施例中,所述预设方向为字线方向;在所述沿预设方向对所述原始失效数据进列压缩之后,每1×n个比特位上的测试数据得到M×N/n个压缩后的位置,从而可以仅对字线方向进列压缩,有助于在字线方向扩大对整个比特图的显示比例,从而对于字线方向容易发生问题的器件,更具针对性地显示失效数据。
更进一步地,所述确定失效模式的步骤可以包括:根据所述显示结果中包含在间隔的多条在所述字线方向上连续的多个位置为全部失效,判断具有间隔字线失效模式。
如图10所示,R1区域示出了间隔的两条在整个原始失效数据中整列失效的情况,R2区域示出的间隔两条在分组后的单组或相邻两组原始失效数据中整列失效的情况,R3区域示出了在单组原始失效数据中连续数个比特失效却并未达到整列失效的情况,R4区域示出了在单组原始失效数据中少量比特失效的情况。
进一步地,根据所述显示结果中包含在间隔的多条在所述字线方向上连续的多个位置为全部失效,判断具有间隔字线失效模式。
在图11示出的压缩后的图像化显示示意图中,R1区域示出了间隔的两条在整个原始失效数据中整列失效的情况,可以视为全局字线失效,例如一列中所有区块所有比特全部失效。
R2区域示出了间隔两条在分组后的单组或相邻两组原始失效数据中整列失效的情况,可以视为局部字线失效,例如一个区块中一列中全部比特失效。
需要指出的是,R1区域、R2区域能够在显示区域中显示完整,从而可以直接确定。
相比于现有技术中显示比例过低,导致间隔字线失效模式的判断错误率过高,或者导致在未预料到存在这类失效模式的情况下,难以通过数据分析判断存在这类失效模式,采用本发明实施例的方案,可以直观显示在间隔的多条在所述字线方向上连续的多个位置为全部失效,从而实现对间隔字线失效模式的有效判断。
进一步地,所述第一压缩倍数是根据显示页面上字线显示宽度确定的,以使得在单个显示页面中显示N/n个压缩后的位置。
在本发明实施例中,可以根据显示页面上的字线显示宽度灵活地确定在字线方向上的第一压缩倍数,例如可以实现在单页面上显示完整的压缩后的字线方向上的数据,进一步提高系统性失效模式分析的全面性和有效性,提高发现新的失效模式的可能性。
进一步地,所述失效分析方法用于存储器器件,所述存储器器件具有多个预设大小的块存储单元;其中,在所述位线方向上对所述原始失效数据进行压缩的压缩倍数为所述块存储单元在所述位线方向上的约数,在所述字线方向上对所述原始失效数据进行压缩的压缩倍数为所述块存储单元在所述字线方向上的约数。
其中,块(block)存储单元可以用于表示最小存储和处理单位。
如图2示出的存储器器件可以具有64×64个块存储单元,每个块存储单元具有1024×1024个比特。
在本发明实施例中,所述失效分析方法用于存储器器件,所述存储器器件具有多个预设大小的块存储单元;其中,在所述位线方向上对所述原始失效数据进行压缩的压缩倍数为所述块存储单元在所述位线方向上的约数,在所述字线方向上对所述原始失效数据进行压缩的压缩倍数为所述块存储单元在所述字线方向上的约数。采用上述方案,可以基于存储器器件的具体块(block)存储单元的实际情况,实现每个压缩后的位置对应的比特位数量一致,进一步提高压缩均匀性。
更进一步地,所述方法可以满足以下一项或多项:在所述预设方向为位线方向的情况下,原始失效数据是预先沿所述位线方向逐行连续存储,以及沿所述位线方向逐行读出的;在所述预设方向为字线方向的情况下,原始失效数据是预先沿所述字线方向逐列连续存储,以及沿所述字线方向逐列读出的。
如图7示出的示意图中,可以沿所述位线方向逐行连续存储,以及沿所述位线方向逐行读出的,从而可以在压缩得到图8或图9的过程中,使得存取方式更适用于待分析的沿位线方向的失效模式。
如图10示出的示意图中,可以沿所述字线方向逐行连续存储,以及沿所述字线方向逐行读出的,从而可以在压缩得到图11或图12的过程中,使得存取方式更适用于待分析的沿字线方向的失效模式。
在本发明实施例中,在所述预设方向为位线方向的情况下,原始失效数据是预先沿所述位线方向逐行连续存储,以及沿所述位线方向逐行读出的;在所述预设方向为字线方向的情况下,原始失效数据是预先沿所述字线方向逐列连续存储,以及沿所述字线方向逐列读出的,从而可以通过预先对存储方式进行改进,例如对可能存在位线相关的失效模式的器件,采用沿所述位线方向逐行存取,对可能存在字线相关的失效模式的器件,采用沿所述字线方向逐列存取,使得存取方式更适用于待分析的失效模式,进一步提高系统性失效模式分析的全面性和有效性。
参照图13,图13是本发明实施例中一种失效分析装置的结构示意图。所述失效分析装置可以包括:
原始数据确定模块131,用于确定原始失效数据,所述原始失效数据包括待测芯片沿位线和字线的方向排列的M×N个比特位上的测试数据;
压缩模块132,用于沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩,获得压缩后的数据,所述预设方向包括位线方向和/或字线方向;
显示模块133,用于基于所述压缩后的数据,图像化显示所述待测芯片的失效数据。
其中,M、N均为正整数,且M>1,N>1。
关于该失效分析装置的原理、具体实现和有益效果请参照前文所述的关于失效分析方法的相关描述,此处不再赘述。
本发明实施例还提供了一种可读存储介质,其上存储有计算机程序,所述计算机程序被处理器运行时执行上述方法的步骤。所述可读存储介质可以是计算机可读存储介质,例如可以包括非挥发性存储器(non-volatile)或者非瞬态(non-transitory)存储器,还可以包括光盘、机械硬盘、固态硬盘等。
本发明实施例还提供了一种配置终端,包括存储器和处理器,所述存储器上存储有能够在所述处理器上运行的计算机程序,所述处理器运行所述计算机程序时执行上述方法的步骤。所述终端包括但不限于服务器、手机、计算机、平板电脑等终端设备。
具体地,在本发明实施例中,所述处理器可以为中央处理单元(centralprocessing unit,简称CPU),该处理器还可以是其他通用处理器、数字信号处理器(digital signal processor,简称DSP)、专用集成电路(application specificintegrated circuit,简称ASIC)、现成可编程门阵列(field programmable gate array,简称FPGA)或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件等。通用处理器可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。
还应理解,本申请实施例中的存储器可以是易失性存储器或非易失性存储器,或可包括易失性和非易失性存储器两者。其中,非易失性存储器可以是只读存储器(read-only memory,简称ROM)、可编程只读存储器(programmable ROM,简称PROM)、可擦除可编程只读存储器(erasable PROM,简称EPROM)、电可擦除可编程只读存储器(electricallyEPROM,简称EEPROM)或闪存。易失性存储器可以是随机存取存储器(random accessmemory,简称RAM),其用作外部高速缓存。通过示例性但不是限制性说明,许多形式的随机存取存储器(random access memory,简称RAM)可用,例如静态随机存取存储器(staticRAM,简称SRAM)、动态随机存取存储器(DRAM)、同步动态随机存取存储器(synchronousDRAM,简称SDRAM)、双倍数据速率同步动态随机存取存储器(double data rate SDRAM,简称DDR SDRAM)、增强型同步动态随机存取存储器(enhanced SDRAM,简称ESDRAM)、同步连接动态随机存取存储器(synchlink DRAM,简称SLDRAM)和直接内存总线随机存取存储器(direct rambus RAM,简称DR RAM)。
应理解,本文中术语“和/或”,仅仅是一种描述关联对象的关联关系,表示可以存在三种关系,例如,A和/或B,可以表示:单独存在A,同时存在A和B,单独存在B这三种情况。另外,本文中字符“/”,表示前后关联对象是一种“或”的关系。
本申请实施例中出现的“多个”是指两个或两个以上。
本申请实施例中出现的第一、第二等描述,仅作示意与区分描述对象之用,没有次序之分,也不表示本申请实施例中对设备个数的特别限定,不能构成对本申请实施例的任何限制。
虽然本发明披露如上,但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,均可作各种更动与修改,因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
Claims (19)
1.一种失效分析方法,其特征在于,包括:
确定原始失效数据,所述原始失效数据包括待测芯片沿位线和字线的方向排列的M×N个比特位上的测试数据;
沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩,获得压缩后的数据,所述预设方向包括位线方向和/或字线方向;
基于所述压缩后的数据,图像化显示所述待测芯片的失效数据;
其中,M、N均为正整数,且M>1,N>1;
所述失效分析方法用于存储器器件,所述存储器器件具有多个预设大小的块存储单元,其中,在所述位线方向上对所述原始失效数据进行压缩的压缩倍数为所述块存储单元在所述位线方向上的约数,在所述字线方向上对所述原始失效数据进行压缩的压缩倍数为所述块存储单元在所述字线方向上的约数;
所述失效分析方法还包括:
在单页面上显示完整的压缩后的位线方向上的数据,以根据间隔的两条在整个原始失效数据中整行失效,判断具有全局位线失效,以及根据间隔两条在分组后的单组或相邻两组原始失效数据中整行失效,判断具有局部位线失效;
和/或,
在单页面上显示完整的压缩后的字线方向上的数据,以根据间隔的两条在整个原始失效数据中整列失效,判断具有全局字线失效,以及根据间隔两条在分组后的单组或相邻两组原始失效数据中整列失效,判断具有局部字线失效。
2.根据权利要求1所述的失效分析方法,其特征在于,所述沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩,包括:
沿所述预设方向对所述原始失效数据进行分组,各组原始失效数据的数量一致;
对每组原始失效数据,确定失效的比特位的数量之和,作为压缩后的单个位置的失效数量。
3.根据权利要求2所述的失效分析方法,其特征在于,所述基于所述压缩后的数据,图像化显示所述待测芯片的失效数据,包括:
根据压缩后的每个位置的失效数量所属的级别,确定该位置的失效图案;
图像化显示压缩后的各个位置的失效图案;
其中,每个级别具有各自的预设的失效图案。
4.根据权利要求3所述的失效分析方法,其特征在于,所述失效图案满足以下一项或多项:
所述失效图案的图案密度与所述失效数量正相关;
所述失效图案的色度与所述失效数量正相关;
所述失效图案的色彩饱和度与所述失效数量正相关。
5.根据权利要求1所述的失效分析方法,其特征在于,所述沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩,包括:
沿所述预设方向对所述原始失效数据进行分组,各组原始失效数据的数量一致;
对每组原始失效数据,确定失效类型;
其中,所述失效类型选自:全部失效、部分失效、无失效。
6.根据权利要求5所述的失效分析方法,其特征在于,所述基于所述压缩后的数据,图像化显示所述待测芯片的失效数据,包括:
根据压缩后的每个位置的失效类型,确定该位置的失效图案;
图像化显示压缩后的各个位置的失效图案;
其中,每个失效类型具有各自的预设的失效图案。
7.根据权利要求6所述的失效分析方法,其特征在于,所述失效图案满足以下一项或多项:
所述失效类型为无失效对应的失效图案的图案密度小于所述失效类型为部分失效对应的图案密度,所述失效类型为部分失效对应的图案密度小于所述失效类型为全部失效对应的图案密度;
所述失效类型为无失效对应的失效图案的色度小于所述失效类型为部分失效对应的色度,所述失效类型为部分失效对应的色度小于所述失效类型为全部失效对应的色度;
所述失效类型为无失效对应的失效图案的色彩饱和度小于所述失效类型为部分失效对应的色彩饱和度,所述失效类型为部分失效对应的色彩饱和度小于所述失效类型为全部失效对应的色彩饱和度。
8.根据权利要求1至7任一项所述的失效分析方法,其特征在于,所述方法还包括:
根据基于所述压缩后的数据,图像化显示所述待测芯片的失效数据的显示结果,确定失效模式。
9.根据权利要求8所述的失效分析方法,其特征在于,所述预设方向为位线方向和字线方向;
在所述沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩之后,每m×n个比特位上的测试数据得到M/m×N/n个压缩后的位置;
其中,m用于表示所述位线方向上对所述原始失效数据进行压缩的第一压缩倍数,n用于表示所述字线方向上对所述原始失效数据进行压缩的第二压缩倍数,m、n均为正整数,m为M的约数,n为N的约数。
10.根据权利要求9所述的失效分析方法,其特征在于,所述确定失效模式,包括以下一项或多项:
根据所述显示结果中包含在所述位线方向上和所述字线方向上均连续的多个阵列化位置为全部失效,判断具有阵列化失效模式;
根据所述显示结果中包含在间隔的多条在所述位线方向上连续的多个位置为全部失效,判断具有间隔位线失效模式;
根据所述显示结果中包含在间隔的多条在所述字线方向上连续的多个位置为全部失效,判断具有间隔字线失效模式。
11.根据权利要求9所述的失效分析方法,其特征在于,
所述第一压缩倍数是根据显示页面上位线显示宽度确定的,以使得在单个显示页面中显示M/m个压缩后的位置;
所述第二压缩倍数是根据显示页面上字线显示宽度确定的,以使得在单个显示页面中显示N/n个压缩后的位置。
12.根据权利要求8所述的失效分析方法,其特征在于,所述预设方向为位线方向;
在所述沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩之后,每m×1个比特位上的测试数据得到M/m×N个压缩后的位置;
其中,m用于表示所述位线方向上对所述原始失效数据进行压缩的第一压缩倍数,m为正整数,m为M的约数。
13.根据权利要求12所述的失效分析方法,其特征在于,
所述第一压缩倍数是根据显示页面上位线显示宽度确定的,以使得在单个显示页面中显示M/m个压缩后的位置。
14.根据权利要求8所述的失效分析方法,其特征在于,所述预设方向为字线方向;
在所述沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩之后,每1×n个比特位上的测试数据得到M×N/n个压缩后的位置;
其中,n用于表示所述字线方向上对所述原始失效数据进行压缩的第二压缩倍数,n为正整数,n为N的约数。
15.根据权利要求14所述的失效分析方法,其特征在于,
所述第二压缩倍数是根据显示页面上字线显示宽度确定的,以使得在单个显示页面中显示N/n个压缩后的位置。
16.根据权利要求1所述的失效分析方法,其特征在于,满足以下一项或多项:
在所述预设方向为位线方向的情况下,原始失效数据是预先沿所述位线方向逐行连续存储,以及沿所述位线方向逐行读出的;
在所述预设方向为字线方向的情况下,原始失效数据是预先沿所述字线方向逐列连续存储,以及沿所述字线方向逐列读出的。
17.一种失效分析装置,其特征在于,包括:
原始数据确定模块,用于确定原始失效数据,所述原始失效数据包括待测芯片沿位线和字线的方向排列的M×N个比特位上的测试数据;
压缩模块,用于沿预设方向对所述原始失效数据进行压缩,获得压缩后的数据,所述预设方向包括位线方向和/或字线方向;
显示模块,用于基于所述压缩后的数据,图像化显示所述待测芯片的失效数据;
其中,M、N均为正整数,且M>1,N>1;
所述失效分析方法用于存储器器件,所述存储器器件具有多个预设大小的块存储单元,其中,在所述位线方向上对所述原始失效数据进行压缩的压缩倍数为所述块存储单元在所述位线方向上的约数,在所述字线方向上对所述原始失效数据进行压缩的压缩倍数为所述块存储单元在所述字线方向上的约数;
所述失效分析装置还用于执行:
在单页面上显示完整的压缩后的位线方向上的数据,以根据间隔的两条在整个原始失效数据中整行失效,判断具有全局位线失效,以及根据间隔两条在分组后的单组或相邻两组原始失效数据中整行失效,判断具有局部位线失效;
和/或,
在单页面上显示完整的压缩后的字线方向上的数据,以根据间隔的两条在整个原始失效数据中整列失效,判断具有全局字线失效,以及根据间隔两条在分组后的单组或相邻两组原始失效数据中整列失效,判断具有局部字线失效。
18.一种可读存储介质,其上存储有计算机程序,其特征在于,所述计算机程序被处理器运行时执行权利要求1至16任一项所述失效分析方法的步骤。
19.一种终端,包括存储器和处理器,所述存储器上存储有能够在所述处理器上运行的计算机程序,其特征在于,所述处理器运行所述计算机程序时执行权利要求1至16任一项所述失效分析方法的步骤。
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