CN116409746A - 用于微机电装置的早期碰撞平面外运动限制器 - Google Patents

Abstract

本公开涉及用于微机电装置的早期碰撞平面外运动限制器。一种微机电装置，该微机电装置包括位于装置平面中的可移动转子和固定定子以及运动限制器，该运动限制器防止可移动转子与固定壁在垂直于装置平面的竖向方向上发生接触。运动限制器在转子与定子之间延伸并且包括能够旋转出装置平面的止挡杆。

Description

用于微机电装置的早期碰撞平面外运动限制器

技术领域

本公开涉及微机电(MEMS)装置，并且特别地涉及防止可移动的装置部分与固定的装置部分之间不期望的接触的运动限制器。

背景技术

诸如加速度计和陀螺仪之类的微机电(MEMS)装置通常包括质量元件，该质量元件通过挠性悬挂结构从固定的锚固件悬挂，该挠性悬挂结构允许质量元件相对于相邻的固定结构移动。可移动的质量元件可以被称为转子，并且定位有锚固件的固定装置部分可以被称为定子。与转子相邻的固定结构通常还包括绕MEMS装置的转子和其他活动部分形成封围件的壁。

转子与固定结构之间的直接物理接触通常是不令人期望的，因为该直接物理接触可能扰乱装置的运行。虽然转子和转子的悬挂结构可以定尺寸为使得直接接触不会发生在常规运行中，但是异常的外部震动仍可能使转子移位以至于转子与固定结构发生直接接触，从而致使结构损坏、静摩擦、电短路或其他故障。

在MEMS装置中可以实现运动限制器以减少或防止这些有害后果。运动限制器可以例如包括附接至转子的凸块并且从转子朝向相邻的固定结构延伸。运动限制器凸块与固定结构之间的间隙在期望的运动方向上可以是窄的，使得在外部震动的情况下该凸块将是与固定结构发生接触的第一部分。例如通过将运动限制器凸块放置在距转子的最敏感区域尽可能远的位置处可以减少损坏。

然而，可用于运动限制器的空间通常受成本和设计考虑的限制。此外，运动限制器凸块刚性地固定至转子的通用问题是凸块和转子通常一起移动。如果凸块与固定结构之间的碰撞是剧烈的，则粒子可以是从固定结构或从凸块自身释放的粒子。这些粒子可以朝向装置的更敏感区域移动、限制动态运行范围并且致使短路或其他损害。

发明内容

本公开的目的是提供减轻上述问题的设备。本公开的目的通过特征在于独立权利要求中所陈述内容的装置来实现。在从属权利要求中公开了本公开的优选实施方式。

本公开基于构建一种运动限制器的构思，该运动限制器连接至转子并通过转子的平面外运动开始运动。运动限制器朝向固定结构比朝向转子移动得快，使得当转子还未获得大量动量时，运动限制器可以在运动的早期阶段进行接触。这个装置的一个优势是运动限制器与固定结构之间的碰撞将是柔和的。

附图说明

在下面，将参照随附附图借助于优选实施方式更详细地描述本公开，在附图中：

图1a至图1c图示了第一装置部分、第二装置部分以及在第一装置部分与第二装置部分之间延伸的运动限制器。

图2a至图2e图示了当第一装置部分是转子时运动限制器的运行。

图3a至图3c图示了当第二装置部分是转子时运动限制器的运行。

具体实施方式

MEMS装置中的转子通常例如通过对装置层进行蚀刻而形成在装置层中。装置层可以例如是硅晶片。替代性地，装置层可以是已经沉积在基板上的硅层。当制造装置时，转子从周围的固定结构部分地释放。转子可以例如通过挠性悬挂件从固定的锚固点被悬挂。悬挂件可以与转子在相同的蚀刻过程形成，并且固定结构的定位有锚固点的区域可以是装置层的与转子相邻的区域。

MEMS装置中与转子相邻的定子可以是装置层的不管装置受到的运动如何都相对于周围的固定结构保持固定至给定位置(不同于转子)的任何部分。在追踪转子运动的测量中，例如在定子上制备有一组电极并且在转子上制备有一组相邻的辅助电极的电容测量装置中，定子可以用作固定参照点。在从定子延伸至转子的挠性悬挂件上可以替代性地制备有压电测量装置。然而，用于构建本公开中所描述的运动限制器的目的的固定定子不一定必须是用于测量转子运动的同一结构。两个单独的定子结构可以替代用于这两个目的。

装置层限定有装置平面，该装置平面在本公开中图示为xy平面。装置平面还可以被称为水平的平面。垂直于装置平面的方向在本公开中用z轴图示，并且该方向可以被称为竖向方向或平面外方向。词语“水平的”和“竖向的”在本公开中仅指代平面和垂直于该平面的方向。在制造或使用装置时，词语“水平的”和“竖向的”不意指关于装置应当相对于地球的引力场如何定向的任何含义。这同样也适用于与“竖向”相关的术语，比如“上方”和“下方”、“高”和“低”、“上”和“下”。

在一些技术应用中，转子可以设计为经历线性的平面外运动，其中，整个转子移动出装置平面。在其他应用中，转子可以设计为经历旋转的平面外运动，其中，转子绕位于装置平面中的轴线旋转。本公开提供旨在对任何类型的平面外运动进行限制的运动限制器。

本公开描述了一种包括可移动转子和固定定子的微机电装置，可移动转子在水平的装置平面中位于转子的静止位置，固定定子在水平的装置平面中定位成与可移动转子相邻。该装置还包括限定有壁平面的固定壁，该壁平面与水平的装置平面相邻，其中，固定壁与可移动转子在竖向方向上通过转子-壁间隙分开，其中，竖向方向垂直于水平的装置平面。

装置还包括运动限制器和台面结构。运动限制器包括止挡元件。台面结构与水平的装置平面相邻并与水平的装置平面在竖向方向上分开。当可移动转子位于水平的装置平面中时，止挡元件和台面结构通过竖向的止挡间隙分开。当可移动转子朝向固定壁经历在竖向方向上的运动时，在可移动转子跨转子-壁间隙与固定壁发生接触之前，该装置使止挡元件跨止挡间隙与台面结构接触。

可移动转子是第一装置部分并且固定定子是第二装置部分，或者可移动转子是第二装置部分并且固定定子是第一装置部分。

第一装置部分的边缘与第二装置部分的边缘在水平的装置平面中通过沿横向方向延伸的转子-定子间隙分开。运动限制器跨转子-定子间隙从第一装置部分延伸至第二装置部分，并且运动限制器包括扭转挠性的第一附接部段，该第一附接部段附接至第一装置部分的边缘并且朝向第二装置部分沿横向方向延伸。运动限制器还包括附接至附接部段的止挡杆。

所述止挡杆的第一侧部从附接部段沿第一侧方向延伸。所述止挡杆的第二侧部从附接部段沿第二侧方向延伸。第二侧方向与第一侧方向相反。止挡杆包括位于其第二侧部上的止挡元件。运动限制器还包括扭转挠性的连接部段，该连接部段从第二装置部分的边缘延伸至所述止挡杆的第一侧部。

在一些应用中，可移动转子可以被称为质量元件、检测质量块或科里奥利质量块。在转子未相对于固定结构经历运动时，转子位于其静止位置。转子可以通过力换能器移动远离转子的静止位置，并且可以例如被驱动成摆动运动。除(或者替代)这样的故意致动之外，转子可以通过作用于MEMS装置上的外部力移动远离转子的静止位置。本公开中描述的运动限制器可以构造为限制任何类型的平面外运动。

被称为“第一装置部分”的装置部分可以是可移动转子或固定定子。被称为“第二装置部分”的装置部分是这两个部分中的另一者。根据这些选择中所适用的那个选择，台面结构可以是(a)固定壁自身或附接至固定壁的结构，或者是(b)与固定壁相比位于装置平面的相反侧的结构。将参照附图在下面更详细地解释这些选择。

图1a图示了第一装置部分11和第二装置部分12。此处，横向方向是y方向。第一装置部分11的边缘111与第二装置部分的边缘121通过转子-定子间隙181分开。运动限制器是延伸横过图1a中的这个间隙的结构。

运动限制器包括扭转挠性的附接部段14。换句话说，附接部段14可以围绕附接部段的横向纵向轴线191扭曲，该横向纵向轴线也可以被称为第一横向轴线。运动限制器还包括附接至附接部段14的止挡杆13。止挡杆具有第一侧部131和第二侧部132。

在本公开中术语“杆”指代可以附接至附接部段使得在附接部段扭曲时杆可以旋转出装置平面的任何结构。杆可以具有长形的形状，如本公开的附图中图示的。然而，还可能是许多其他的形状。至少与扭转挠性的部分相比，杆可以在平面外方向上是刚性的，使得运动限制器中的大多数变形主要发生在扭转挠性的部分中。然而，替代性地，杆可以具有某种程度的平面外挠性。

在水平的装置平面中侧向方向垂直于横向方向。侧向方向图示为图1a中的x方向。止挡杆13在图1a中的侧向方向上延伸，但是止挡杆可以替代性地在xy平面中的任何其他方向上延伸，只要止挡杆可以围绕附接部段14经历平面外旋转。

图1a还图示了连接部段15。连接部段也是围绕轴线192扭转挠性的，轴线192可以被称为第二横向轴线。因此，当第一装置部分11和第二装置部分12经历相对竖向运动时(即，当他们中的一者向上移动或向下移动时)，附接部段14和连接部段15将通过扭曲挠性地适应该运动。这种扭曲允许止挡杆13围绕第一横向轴线191旋转，使得止挡杆的两个侧部在相反的竖向方向上移动。这个运动将在下面进行更详细地说明和解释。附接部段14和连接部段15可以例如实现为扭力杆。扭力杆是具有有利于扭转扭曲的长度/宽度/高度纵横比的结构。替代性地，附接部段和连接部段可以通过其他类型的扭转挠性元件、例如弯曲弹簧来实现。

运动限制器还包括位于止挡杆上的止挡元件16。止挡元件可以例如仅是止挡杆的端部，但是替代性地，止挡元件可以是从止挡杆在x-y平面(如图示)中和/或沿z方向(在下面的图2e中图示)突出的止挡凸块。止挡元件可以位于止挡杆的端部处(如图示)，但是替代性地，如果止挡元件是从止挡杆沿z方向突出的凸块，则止挡元件可以位于止挡杆的第二侧部132的其他位置。如以上所提及的，当转子在竖向方向上移位得足够远时，止挡元件应当是运动限制器的与台面结构发生接触的第一部分。

第一附接部段14可以在第一横向轴线191上对准，止挡元件16可以在第三横向轴线193上对准，并且连接部段15在止挡杆13的第一侧部131上的附接点可以在第二横向轴线192上对准。从第一横向轴线191至第二横向轴线192的侧向距离可以小于从第一横向轴线191至第三横向轴线193的侧向距离。

连接部段15可以从第二装置部分12的边缘121沿横向方向延伸至止挡杆13的第一侧部131，如图1a图示。在这种情况下，连接部分15仅是扭转挠性的、横向定向的扭力杆。

图1b图示了替代性装置，其中，连接部段15包括附接至第二装置部分12的边缘121的扭转挠性的第二附接部段151。第二附接部段151朝向第一装置部分11沿横向方向延伸。连接部段15还包括附接至止挡杆13的第一侧部131上的附接点的扭转挠性的第三附接部段153。连接部段15还包括从第二附接部段151延伸至第三附接部段153的连接杆152。第二附接部段151可以、但不必在第一横向轴线191上对准。

图1c图示了位于装置平面上方的固定壁171。作为转子(11/12)的第一装置部分或第二装置部分位于转子的静止位置，并且转子与固定壁171通过转子-壁间隙182分开。固定壁可以例如是支承晶片上的表面，该支承片与装置层相邻并且为装置的一个或更多边缘(未图示)上的装置层提供机械支承。替代性地，固定壁可以是帽晶片上的表面，帽晶片已被放置成与装置层或与封装结构的内表面相邻。

与装置层相邻的固定壁通常形成绕转子的封围件。为了在转子11/12的平面外移位接近给定的阈值(该阈值可以接近竖向转子-壁间隙)时防止转子11/12与任何竖向相邻的固定壁171之间的直接接触，设计成使止挡元件16在转子11/12之前与台面结构接触的运动限制器可以与固定壁进行接触。

运动限制器构建在转子(11/12)与固定定子(12/11)之间的间隙中。固定定子位于水平的装置平面中。固定定子可以是定位成与转子相邻的任何固定的结构。如果装置层形成在装置晶片中，则固定定子可以是该晶片的固定部分。对可移动转子的重量进行支承的挠性悬挂结构可以在固定定子与可移动转子之间延伸。然而，替代性地，除了运动限制器所附接的固定定子之外该悬挂结构可以附接至一些其他固定的结构。

如以上所提及的，被称为“第一装置部分”的装置部分可以是可移动定子或固定转子。现在将参照附图详细地讨论这两种情况。

第一装置部分是可移动转子的实施方式

在这个实施方式中，第一装置部分是可移动转子，第二装置部分是固定定子，并且固定壁和台面结构位于装置平面的同一侧上。在这种情况下，止挡杆的第二端部将沿与可移动转子移动的方向相同的方向移动。

图2a至图2c示出了在第一装置部分是可移动转子时沿着图1a和图1b中的线C-C和A-A的横截面。附图标记21、23、24、25、26和271分别对应于图1a至图1c中的附图标记11、13、14、15、16和171。

图2a示出了当转子在x-y平面中位于其静止位置时止挡杆23的位置。第一附接部段24与固定壁271通过竖向的第一分开间隙283分开，并且止挡元件26与固定壁271通过止挡间隙284分开。

此处，固定壁271被用作图2a至图2c中图示的运动限制器中的台面结构。止挡元件26位于止挡杆23的最末端并且与止挡杆23具有相同的竖向高度。此外，由于当转子位于其静止位置时止挡杆23在xy平面中是水平的，因此在这种情况下，第一分开间隙283和止挡间隙284的竖向高度等于图1c中转子-壁间隙182的竖向高度。

运动限制器的运行图示在图2b和图2c中。图2b示出了当可移动转子21已经朝向固定壁271移动使得转子21与壁271之间的第二分开间隙285的竖向高度小于图1c中的转子-壁间隙182的竖向高度时根据图1a至图1b的A-A横截面。

第一附接部段24刚性地附接至可移动转子21并且与转子向上移动。图2c示出了当可移动转子21位于图2b中图示的位置时图1a至图1b中的C-C横截面。第一附接部段24与固定壁271之间的第三分开间隙286的竖向高度等于图2b中的第二分开间隙285的竖向高度。

然而，连接部段25保持附接至固定定子，固定定子保持在xy平面中。如果连接部段25在竖向方向上是非常刚性的，则第四分开间隙287的竖向高度仍可以与图1c中的转子-壁间隙182相同。转子的运动产生了使止挡杆围绕第一横向轴线191旋转的扭矩。在所图示的情况下，运动限制器中所需的以适应可移动转子21的平面外运动的挠性变形是24和25的扭转变形。

替代性地，连接部段可以具有一点点的竖向挠性但仍具有足够的刚性以在转子向上移动时将止挡杆23的第一端部拉到转子21下方，使得第四分开间隙287在转子已经向上移动时获得182与286之间的值。在这种情况下，使止挡杆转动的扭矩将比连接部段在竖向上是刚性的情况下的扭矩小，但是止挡杆23将仍然旋转使得止挡元件26移动至比转子21更高的z坐标。在这种情况下，挠性变形可以是24和25的扭转变形与25的竖向弯曲的组合。

在图2c中，止挡杆23的转动使止挡元件26与固定壁271接触。由此，运动限制器刚性地抵抗可移动转子21进一步的向上运动。如果止挡杆23具有某种竖向挠性，则止挡杆可以少量弯曲并且抵抗可以具有一定程度的弹性。

止挡杆23、止挡元件26和止挡间隙284应当定尺寸为使得在可移动转子21跨转子-壁间隙与固定壁371发生直接物理接触之前，止挡元件26跨止挡间隙284与台面结构271接触。

在图2a至图2c中图示的情况下，止挡元件26由于下述事实将与固定壁进行早期接触：从第一横向轴线至第二横向轴线的侧向距离小于从第一横向轴线至第三横向轴线的侧向距离。换句话说，在x方向上，图2a中的24与25之间的距离小于26与24之间的距离。止挡元件26朝向固定壁271移动的速率将大于可移动转子21朝向固定壁271移动的速率，但是在转子可以获得在竖向方向上的大量动量之前，运动限制器早期地开始抵抗转子的运动。这可以在止挡元件撞击固定壁271时减少损坏的可能性。

图2d图示了使用单独的台面结构272的情况下的替代性选择。台面结构272是从固定壁朝向止挡元件26延伸的突出部。附加地，此处，止挡元件26从止挡杆23沿竖向方向朝向固定壁271延伸。如果应用这两个替代性方案(台面结构从固定壁朝向止挡元件延伸，或者止挡元件朝向台面结构或固定壁延伸)中的任一者，则止挡间隙284的竖向高度可以小于在转子位于其静止位置时转子-壁间隙的竖向高度。

运动限制器的早期碰撞运行原理可以通过图2d中示出的装置实现，即使在从第一横向轴线至第二横向轴线的侧向距离大于从第一横向轴线至第三横向轴线的侧向距离时也是如此。这图示在图2e中。转子杆23相对于可移动转子的相对运动(旋转角度比图2c中的旋转角度小)比图2c中的相对运动慢，但是止挡元件26在运动的早期阶段仍然可以与台面结构进行接触。通过适当地对止挡杆23、止挡元件26和/或台面结构272进行定尺寸，运动限制器可以布置成在可移动转子已经获得显著的动量之前限制可移动转子的运动。

第二装置部分是可移动转子的实施方式

在这个实施方式中，第二装置部分是可移动转子，第一装置部分是固定定子，并且固定壁和台面结构位于装置平面的相反侧上。在这种情况下，止挡杆的第二端部将沿与可移动转子移动的方向相反的方向移动。

图3a至图3c示出了在第一装置部分是可移动转子时沿着图1a和图1b中的线C-C和B-B的横截面。附图标记32、33、34、35、36和371分别对应于图1a至图1c中的附图标记12、13、14、15、16和171。

图3a示出了在转子在xy平面中位于其静止位置时止挡杆33的位置。如先前的实施方式中，第一附接部段34与固定壁371通过竖向的第一分开间隙383分开。不同于先前的实施方式中，在这种情况下，台面结构372位于止挡元件36下方。止挡元件与台面结构372通过止挡间隙384分开。

台面结构372可以例如是位于转子和运动限制器下方的固定壁，但是替代性地，台面结构可以是位于运动限制器下方的任何较小的固定结构。当转子32位于其静止位置时，第一分开间隙383的竖向高度等于图1c中的转子-壁间隙182的竖向高度。在另一方面，止挡间隙384的竖向高度可以是给定的任何适合的值。

运动限制器的运行图示在图3b和图3c中。图3b示出了在可移动转子32已经朝向固定壁371移动使得转子32与壁371之间的第二分开间隙385的竖向高度小于图1c中的转子-壁间隙182的竖向高度时根据图1a至图1b的B-B横截面。

第一附接部段34刚性地附接至固定定子(定子未图示在图3a至图3c中)，所以当转子32移动时第一附接部段在xy平面中必定保持水平。图3c示出了在可移动转子32位于图3b中图示的位置时根据图1a至图1b的C-C横截面。第一附接部段34与固定壁371之间的第三分开间隙383的竖向高度保持不变。

在另一方面，连接部段35现在已经通过可移动转子32向上移动。因此，止挡杆33的第一侧部也已向上移动，并且这个运动使止挡杆33的第二侧部向下移动，如图3c图示。如果连接部段35在竖向方向上是非常刚性的，则第三分开间隙389的竖向高度可以与图3b中的第二分开间隙385的竖向高度相同。转子32的运动产生使止挡杆33围绕第一横向轴线191旋转的扭矩。在图示的情况下，在运动限制器中所需的以适应可移动转子32的平面外运动的挠性变形是34和35的扭转变形。

如先前的实施方式，连接部段35可以具有某种竖向挠性，但是仍然具有足够的刚性以在转子32向上移动时将止挡杆33的第一端部升高至装置平面的上方，使得在转子32已经向上移动时第三分开间隙389获得383与385之间的值。在这种情况下，使止挡杆33转动的扭矩将比连接部段在竖向上是刚性的情况下的扭矩小，但是止挡杆33将仍然旋转使得止挡元件36移动至比定子低的z坐标。在这种情况下，挠性变形可以是34和35的扭转变形与35的竖向弯曲的组合。

在图3c中，止挡杆33的转动使止挡元件36与台面结构372接触。由于止挡杆33将不再旋转，所以运动限制器现在刚性地抵抗可移动转子32进一步的向上运动。如果止挡杆33具有某种竖向挠性，则止挡杆可以少量弯曲并且抵抗可以具有一定程度的弹性。

止挡杆33、止挡元件36和止挡间隙384应当定尺寸为使得在可移动转子32跨转子-壁间隙与固定壁371发生直接物理接触之前止挡元件36跨止挡间隙384与台面结构372接触。

如先前的实施方式，从第一横向轴线至第二横向轴线的侧向距离可以小于从第一横向轴线至第三横向轴线的侧向距离。这图示在图3a中，其中，在x方向上，34与35之间的距离小于36与34之间的距离。在这种情况下，止挡元件36朝向台面结构372移动的速率将大于可移动转子32朝向固定壁371移动的速率。在转子可以获得在竖向方向上的大量动量之前，运动限制器早期地开始抵抗转子的运动。这可以在止挡元件36撞击台面结构372时减少损坏的可能性。

然而，止挡元件可以构造成即使没有应用上述距离关系也与台面结构进行早期接触。这将取决于止挡间隙384的大小。如果必要的话，止挡元件36可以从止挡杆33朝向台面结构372向下延伸，使得止挡间隙384减小。替代性地，台面结构372可以通过其他方式、例如通过在止挡元件36下方构建突出部来更接近止挡间隙。通过适当地对止挡间隙384进行定尺寸，运动限制器可以布置成在可移动转子已经获得显著的动量之前限制可移动转子32的运动。

线性和旋转的转子运动

可移动转子可以经历线性的平面外运动，如图2b和图3b中图示的。然而，在可移动转子经历朝向固定壁的旋转的平面外运动时也可以实现相同的运动限制器原理，只要第一附接部段(在第一装置部分是可移动转子的实施方式中)或连接部段(在第二装置部分是可移动转子的实施方式中)附接至转子的在旋转运动中朝向固定壁向上转动的侧部(未附接至远离固定壁转动的侧部)。

换句话说，如果转子将经历旋转运动，在图2b中，转子将旋转出装置平面使得第一附接部段24所附接的转子部分将与固定壁271相距图示的距离285。运动限制器然后将如图2c中运行。对应地，在图3b中，转子将旋转出装置平面使得连接部段35所附接的转子部分将与固定壁371相距图示的距离385。运动限制器然后将如图3c中运行。

如果这两个侧部两者在旋转运动中均可以朝向固定壁转动，则可以在转子的相反侧实现两个单独的运动限制器。

多个运动限制器

在转子的边缘与定子的边缘之间的间隙中可以构造两个或更多个运动限制器。附加的运动限制器可以构造在转子的相反边缘与另一定子的邻近于转子该边缘的边缘之间。通常可以通过绕转子大致对称地安置多个运动限制器来避免可能由单个运动限制器的不对称作用产生的任何缺点。最优对称性将取决于转子的预期的平面外运动以及其他装置设计考虑。

Claims (6)

1.一种微机电装置，所述微机电装置包括可移动转子和固定定子，所述可移动转子在水平的装置平面中位于所述可移动转子的静止位置，所述固定定子在水平的所述装置平面中定位成与所述可移动转子相邻，并且所述装置还包括固定壁，所述固定壁限定有与水平的所述装置平面相邻的壁平面，其中，所述固定壁与所述可移动转子在竖向方向上通过转子-壁间隙分开，其中，所述竖向方向垂直于水平的所述装置平面，

并且所述装置还包括运动限制器和台面结构，其中，所述运动限制器包括止挡元件，并且所述台面结构与水平的所述装置平面相邻并与水平的所述装置平面在竖向方向上分开，并且所述止挡元件和所述台面结构在所述可移动转子位于水平的所述装置平面中时通过竖向的止挡间隙分开，

并且当所述可移动转子朝向所述固定壁经历在所述竖向方向上的运动时，在所述可移动转子跨所述转子-壁间隙与所述固定壁发生接触之前，所述装置使所述止挡元件跨所述止挡间隙与所述台面结构接触，

其特征在于，

-所述可移动转子是第一装置部分并且所述固定定子是第二装置部分，或者

-所述可移动转子是第二装置部分并且所述固定定子是第一装置部分，

并且在水平的所述装置平面中所述第一装置部分的边缘与所述第二装置部分的边缘通过沿横向方向延伸的转子-定子间隙分开，并且所述运动限制器跨所述转子-定子间隙从所述第一装置部分延伸至所述第二装置部分，并且所述运动限制器包括扭转挠性的第一附接部段和止挡杆，所述第一附接部段从所述第一装置部分的边缘朝向所述第二装置部分沿所述横向方向延伸，所述止挡杆附接至所述附接部段，

并且所述止挡杆的第一侧部从所述附接部段沿第一侧方向延伸，并且所述止挡杆的第二侧部从所述附接部段沿第二侧方向延伸，其中，所述第二侧方向与所述第一侧方向相反，并且所述止挡杆包括位于所述止挡杆的第二侧部上的止挡元件，并且所述运动限制器还包括扭转挠性的连接部段，所述连接部段从所述第二装置部分的边缘延伸至所述止挡杆的所述第一侧部。

2.根据权利要求1所述的微机电装置，其特征在于，所述第一附接部段在第一横向轴线上对准，所述止挡元件在第三横向轴线上对准，所述连接部段在所述止挡杆的所述第一侧部上的附接点在第二横向轴线上对准，并且从所述第一横向轴线至所述第二横向轴线的侧向距离小于从所述第一横向轴线至所述第三横向轴线的侧向距离。

3.根据权利要求1至2中的任一项所述的微机电装置，其特征在于，所述连接部段从所述第二装置部分的边缘沿所述横向方向延伸至所述止挡杆的所述第一侧部。

4.根据权利要求1至2中的任一项所述的微机电装置，其特征在于，所述连接部段包括扭转挠性的第二附接部段，所述第二附接部段附接至所述第二装置部分的边缘并朝向所述第一装置部分沿所述横向方向延伸，并且所述连接部段还包括扭转挠性的第三附接部段，所述第三附接部段附接至所述止挡杆的所述第一侧部上的附接点，并且所述连接部段还包括连接杆，所述连接杆从所述第二附接部段延伸至所述第三附接部段。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的微机电装置，其特征在于，所述第一装置部分是所述可移动转子，所述第二装置部分是所述固定定子，并且所述固定壁和所述台面结构位于所述装置平面的同一侧上。

6.根据权利要求1至4中的任一项所述的微机电装置，其特征在于，所述第二装置部分是所述可移动转子，所述第一装置部分是所述固定定子，并且所述固定壁和所述台面结构位于所述装置平面的相反侧上。

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