JP7235095B2 - 低衝撃モーションリミッタ - Google Patents

Description

本開示は、微小電気機械（ＭＥＭＳ）デバイス、特に可動デバイス部と静止デバイス部との望ましくない接触を防ぐモーションリミッタに関する。

加速度計およびジャイロスコープなどの微小電気機械デバイスは、懸架構造体によって周囲の固定構造体から懸架されるマス要素を備えることが多く、この懸架構造体により、マス要素は、固定構造体に対して動くことができる。可動マス要素はロータと呼ばれてもよく、固定構造体（または、固定構造体の何らかの特定部分）は、ステータと呼ばれてもよい。ステータの電位はステータの電位と同じであってもよく、または、それらの電位は異なってもよい。

ロータとステータとの直接の物理的接触は、デバイスの動作を妨害し得るため、通常望ましくない。通常動作で直接接触が起こらないようにロータおよび懸架構造体を寸法付けることはできるが、依然として外部衝撃によってロータが非常に変位する可能性があるため、ロータは、ステータと直接接触する。そのような接触は、構造損傷、静止摩擦、電気的短絡および他の不具合を引き起こし得る。

外部衝撃を受けた場合のロータとステータとの過度の物理的接触を防ぐために、ＭＥＭＳデバイス内にモーションリミッタを実装することができる。モーションリミッタは、例えば、ロータからステータに向かって延在するバンプを有してもよい。モーションリミッタ・バンプとステータの対向領域とのギャップを、予想される運動方向におけるロータとステータとの他のギャップよりも狭くしている場合、モーションリミッタは、外部衝撃を受けたときにステータと接触するロータの最初の部分になる。例えば、ロータおよびステータの最も感度の高いエリアから離れている領域にモーションリミッタ・バンプを配置することによって、損傷を回避するか、または最小にすることができる。モーションリミッタ・バンプおよび対応する構造体は、ストッパと呼ばれてもよい。

しかしながら、モーションリミッタ・バンプが、ロータとステータとの界面における感度の低い領域に位置する場合でさえ、バンプと、ロータまたはステータとの衝突により、ロータ／ステータから、またはバンプ自体から粒子が放出されるリスクがある。これらの粒子は、一旦放出されると、デバイスのより感度の高い領域に向かって移動し、短絡または他の損傷を引き起こす可能性がある。特許文献１には、衝撃を和らげるための可撓性を有するばねを備えるモーションリミッタが開示されている。このモーションリミッタの課題は、モーションリミッタが広い表面積を占有することである。

独国特許出願公開第１０２０１１００６３９７号明細書

本開示の目的は、上記課題を解決する装置を提供することである。

本開示の目的は、独立請求項に記載されることを特徴とする構成によって達成される。本開示の好ましい実施形態は、従属請求項に開示される。

本開示は、ステータとロータとの間に延在する可撓性ばねを含むモーションリミッタを構成する考えに基づく。ロータとステータとが互いに十分近づくと、ばねは圧縮され、ばねに取り付けられているストッパが、ステータに対するロータの速度よりも低い速度でカウンタ構造体と接触する。ばねとモーションリミッタとは、表面積を確保するために別個の領域に配置される。この構成の利点は、小型モーションリミッタによって衝撃力が低減されることである。

以下に、添付の図面を参照しながら、好ましい実施形態によって本開示をより詳細に説明する。

図１ａは、ばねおよびストッパを有するモーションリミッタを示す図である。 図１ｂは、ばねおよびストッパを有するモーションリミッタを示す図である。 図２ａは、第１ばね、第２ばねおよびストッパを有するモーションリミッタを示す図である。 図２ｂは、第１ばね、第２ばねおよびストッパを有するモーションリミッタを示す図である。 図３ａは、第１ばね、第２ばね、第１ストッパおよび第２ストッパを有するモーションリミッタを示す図である。 図３ｂは、第１ばね、第２ばね、第１ストッパおよび第２ストッパを有するモーションリミッタを示す図である。

本開示では、デバイス面内にある可動ロータを備える微小機械デバイスについて説明する。デバイスは、少なくともモーションリミッタ領域でロータに隣接する固定ステータを備える。

モーションリミッタ領域において、ステータのエッジは実質的に横方向に延在し、ロータのエッジは実質的に横方向に延在する。ロータのエッジは、モーションリミッタ領域において、横方向に直交する縦方向のロータ・ステータ・ギャップだけステータのエッジから離れている。

微小機械デバイスは、さらに、ロータがステータと直接物理的接触するのを防ぐモーションリミッタを備える。モーションリミッタは、ロータ・ステータ・ギャップを挟んでロータからステータまで延在する第１ばねを少なくとも含む。第１ばねは、縦方向に可撓性を有する。

モーションリミッタ領域は、接触領域と、少なくとも第１ばね領域とを含む。接触領域は、第１ばね領域から横方向に離れている。第１ばねは、第１ばね領域においてロータ・ステータ・ギャップにわたって延在する。モーションリミッタは、さらに、少なくとも第１ストッパを接触領域に含む。第１ストッパは、第１ばね領域と接触領域との境界で第１ばねに取り付けられる。

微小機械デバイスは、さらに、少なくとも１つの隣接カウンタ構造体を接触領域に備える。カウンタ構造体は、接触領域において第１ストッパからストッパ・ギャップだけ離れている。

ストッパ・ギャップは、ロータが休止位置にあるときの第１ストッパとそのカウンタ構造体との距離である。モーションリミッタは、ロータが休止位置からステータに距離Ｄだけ近づいたときに、第１ストッパをストッパ・ギャップを越えてカウンタ構造体と接触させる。距離Ｄは、ばねの縦方向可撓性に依存するが、ストッパ・ギャップよりも常に大きい。モーションリミッタは、ばねがロータまたはステータと接触する前に、ストッパをカウンタ構造体と接触させてもよい。

デバイス面は、本開示ではｘｙ平面として示される。デバイス面は、例えばデバイスウェハによって規定されてもよい。ロータは、エッチングによってデバイスウェハ内に形成されてもよい。デバイス面と平行な方向が水平方向と呼ばれ、一方、デバイス面に垂直な方向が垂直方向と呼ばれてもよい。プルーフマスが休止位置から遠ざかる際にデバイス面内で水平のままである線形運動および／または回転運動は、「面内」運動または「デバイス面内運動」と呼ばれてもよく、一方、プルーフマスが休止位置から垂直方向に遠ざかる線形運動および／または回転運動は、「面外」運動または「デバイス面外運動」と呼ばれてもよい。

本開示では、「水平」および「垂直」という用語は、単に、それぞれデバイス面およびデバイス面に垂直な方向を指す。「水平」および「垂直」という用語は、製造中または使用中に地球の重力場に対してデバイスをどのように方向付けるべきかについて、何も意味していない。

本開示では、「ばね」という用語は、少なくとも一方向に可撓性を有するデバイス要素を指す。可撓性は、例えば、ばねの少なくとも一部の長さ／幅アスペクト比または長さ／高さアスペクト比を十分大きくすることによって得ることができる。

ロータは、デバイスが使用されているときに動きを受ける。この動きは、線形平行移動または角回転のいずれかであってもよく、平行移動と回転の組合せであってもよい。所望の動きは、一定の振幅を有する連続前後振動、またはデバイスが加速度を受けたときに生じ、揺動振幅が急速に低下する単一揺動運動を含んでもよい。この所望の動きは、場合によっては、ロータに連結された力トランスデューサによって駆動されてもよい。モーションリミッタが必要とされるロータの望ましくない動きは、例えばＭＥＭＳデバイスが突然加速衝撃を受けたときに、外力によって引き起こされ得る。

「ステータ」という用語は、実際上、可動ロータに対して固定されていると考えることができる任意の固定構造体を指してもよい。デバイスウェハは、シリコンウェハであってもよく、モーションリミッタは、エッチングによってシリコンウェハ内に形成されてもよい。

ロータは、１以上のアンカーポイントなどの固定構造体から懸架ばねによって懸架されてもよい。この固定構造体は、デバイスウェハ自体の一部であってもよく、懸架ばねは、ロータが形成されるのと同じエッチング工程においてデバイスウェハから形成されてもよい。あるいは、懸架ばねは、ロータに隣接する他の何らかの構造体から形成されてもよい。懸架ばねの剛性およびロータの重量は、ロータの動きの振幅に影響を及ぼす。

図１ａは、ステータがデバイス面内にあり、横方向および縦方向がデバイス面内にある微小機械デバイスを示す。ここで、横方向は図示されたｘ軸に相当し、縦軸は図示されたｙ軸に相当する。モーションリミッタ領域は、ステータ１１１がロータ１１２に隣接する縦線１８１と１８３との間にある。ステータのエッジ１１１１は、この領域においてロータのエッジ１１２１と略平行であり、これらの２つのエッジは、この領域内でロータ・ステータ・ギャップ１９１だけ互いに離れている。

ロータ・ステータ・ギャップは、モーションリミッタ領域外のロータとステータとの他の任意の縦方向ギャップより狭くてもよい。しかしながら、ロータ・ステータ・ギャップはまた、ロータ・ステータ・ギャップ１９１が閉じる十分前に、図示されたモーションリミッタが、ステータに向かうロータの動きを停止し得るため、ロータとステータとの他の何らかの縦方向ギャップより広くてもよい。したがって、モーションリミッタ領域のロータ・ステータ・ギャップ１９１が、ロータとステータとの他の何らかの縦方向ギャップより広くても、モーションリミッタは、ロータがステータとどこかで物理的接触するのを防ぎ得る。これは、本開示に示すすべての実施形態に当てはまる。

図１ａに示したモーションリミッタは、ステータと接触するまでロータが縦方向に動くのを防ぐ。これは、本開示に説明するすべてのモーションリミッタに当てはまる。ステータとロータの他のエッジ間に他のモーションリミッタを構成し、ステータと接触するまでロータがこれらのエッジに垂直な方向に動くのを防いでもよい。

モーションリミッタは、縦線１８１と１８２との間にある第１ばね領域にロータ・ステータ・ギャップ１９１にわたって延在する第１ばね１６を含む。第１ばね１６は、任意の縦方向可撓性ばねにすることができるであろうが、図１ａに示したばねについて詳述し、重要な考えを説明する。

図１ａの第１ばね１６は、縦ステータ端部分１２１と、縦ロータ端部分１２２とを含む。ステータ端部分１２１は、ロータに向かって延在し、縦方向に実質的に剛性を有する。ロータ端部分１２２は、それに対応してステータに向かって延在し、これも縦方向に実質的に剛性を有する。ロータが速度Ｖでステータに近づくと、ロータ端部分とステータ端部分は、それに対応して同じ速度Ｖで互いに近づく。ロータ端部分およびステータ端部分の目的は、この場合、ロータがステータに近づいたときにロータもステータもばねとすぐに接触しないように、ロータエッジ／ステータエッジから適切な距離だけばねの縦方向可撓性部をずらすことである。ロータ端部分およびステータ端部分は、この目的を達成するのに適切な任意の形状を有してもよい。

図１ａの第１ばね１６は、また、ステータ端部分１２１とロータ端部分１２２との間に延在する縦方向可撓性部（１３１＋１３２＋１３３）を含む。縦方向可撓性部は、ステータ１１１のエッジ１１１１からステータばねギャップ１９２だけ離れるように、ステータ端部分１２１に取り付けられ、かつステータ１１１のエッジ１１１１と略平行な第１方向に延在する第１長尺部分１３１を含む。縦方向可撓性部は、また、ロータ１１２のエッジ１１２１からロータばねギャップ１９３だけ離れるように、ロータ端部分１２２に取り付けられ、かつ第１方向に延在する第２長尺部分１３３を含む。第１ばね１６の縦方向可撓性部は、また、第１長尺部分１３１から第２長尺部分１３３まで延在する連結部分１３２を含む。図示したばねの縦方向可撓性部は、長尺部分１３１および１３３の長さ対幅アスペクト比が高いことから縦方向に可撓性を有し、長さは、ｘ軸方向の横方向寸法であり、幅は、ｙ軸方向の縦方向寸法である。

第１ばね１６に、第１ストッパ１５が取り付けられる。モーションリミッタ領域は、第１接触が起こり、かつモーションリミッタが、ステータに向かうロータの動きに抵抗する反力を生成する接触領域を含む。接触領域は、縦線１８２と１８３との間にある。本開示に提示するいずれの実施形態においても、接触領域は、ｘｙ平面内のロータの幾何学的中心および／またはロータの質量中心と縦方向に並んでもよい。

第１ストッパ１５は、第１ばね領域と接触領域との境界、すなわち縦線１８２上で第１ばね１６に取り付けられる。第１ストッパ１５は、ステータ１１１のエッジ１１１１からストッパ・ギャップ１９４だけ離れている。ストッパ・ギャップ１９４は、ロータばねギャップ１９３およびステータばねギャップ１９２の両方よりも狭い。言い換えれば、図示した場合では、ばねが十分に圧縮されたときにストッパ１５と接触する隣接カウンタ構造体は、ステータのエッジである。ストッパがステータに向かってではなく、ロータに向かって延在する場合、隣接カウンタ構造体は、ロータ１１２のエッジ１１２１になるであろう。この選択肢は図示していないが、図１ｂは、ストッパとステータのエッジとの間に第１ストッパ・ギャップ１９４が形成され、ストッパとロータのエッジとの間に第２ストッパ・ギャップ１９５が形成されるように、ロータとステータの両方に向かって延在するストッパを示す。ステータのエッジ１１１１およびロータのエッジ１１２１は、この場合、第１ストッパ１５に対する両方のカウンタ構造体である。

図１ａに示した例に戻ると、ロータが縦方向に距離Ｄだけステータに近づくと、ばね１６の縦方向可撓性部は縦方向に圧縮される。したがって、第１ストッパ１５は、Ｄより小さい距離だけステータに近づく。ロータ１１２が、第１ストッパ１５をステータ１１のエッジ１１１１に接触させるのに十分ステータ１１１に近づく場合、第１ストッパ１５がステータ１１に衝突するときの縦方向速度もまた、その瞬間のロータ１１２の速度よりも低くなる。したがって、その衝突の衝撃は、ロータまたはステータのいずれかに強固に固定されるストッパを用いた比較可能な衝突よりも低くなる。図１ｂのようにストッパがステータおよびロータの両方に向かって延在する場合、同じ効果が得られる。

図２および図３は、モーションリミッタ領域がさらに第２ばね領域を含む任意選択の実施形態を示す。第１ばね領域および第２ばね領域は、接触領域の横方向両側にある。モーションリミッタは、また、接触領域ではなく第２ばね領域において、ロータ・ステータ・ギャップを挟んでロータからステータまで延在する第２ばねを含む。第２ばねは、縦方向に可撓性を有する。第１ストッパは、第１ばねと第２ばねとの間に延在するように第２ばね領域と接触領域との境界で第２ばねに取り付けられる。図２において、参照番号２１１～２１２、２１１１、２１２１、２５、２６１、２８１～２８３および２９４は、それぞれ図１ａおよび図１ｂの参照番号１１１～１１２、１１１１、１１２１、１５、１６、１８１～１８３および１９４に対応する。

先の例のように、モーションリミッタは、第１ばね領域２８１～２８２にロータ・ステータ・ギャップにわたって延在する第１ばね２６１を含む。図２の第１ばね２６１は、図１ａの第１ばね１６と同じ形状を有するが、他の縦方向可撓性ばね構造体を使用することもできるであろう。モーションリミッタは、また、第２ばね領域２８３～２８４に第２ばね２６２を含む。図２ａにおいて、第１ばね領域および第２ばね領域は、接触領域２８２～２８３の横方向両側にあることが分かる。

図２ａは、図１ａの第１ばね１６にも対応する第２ばね２６２の例を示す。したがって、参照番号２２２１、２２２２、２３２１、２３２２および２３２３は、それぞれ図１ａの部分１２１、１２２、１３１、１３２および１３３に対応する端部分、長尺部分および連結部分を示し、これらの部分に関して上述した特性を有する。言い換えれば、第１ばねは、第１方向に前後に１回折り返す屈曲梁であってもよく、第２ばねは、第１方向と反対の方向に前後に１回折り返す屈曲梁であってもよい。１つの折り返しは、２つの長尺部分（２３２１および２３２３など）と、１つの連結部分（２３２２など）とを含む。第１ばねの折り返しの幅（すなわち、図２ａにおけるｘ軸方向の第１ばね領域の幅）は、第２ばねの折り返しの幅（第２ばね領域の幅）と実質的に等しくてもよい。第１ばね領域および／または第２ばね領域のｘ軸方向の幅は、例えば、接触領域のｘ軸方向の幅の２倍より大きいか、３倍より大きいか、または５倍より大きくてもよい。

しかしながら、任意の縦方向可撓性ばね構造体を第２ばねとして使用することができるであろう。モーションリミッタは、例えば、第１ばね領域に第１ボックスばねと、第２ばね領域に第２ボックスばねとを含むことができるであろう。

先の例のように、第２ばねの縦方向可撓性部は、ステータ２１１のエッジ２１１１からステータばねギャップだけ、かつロータ２１２のエッジ２１２１からロータばねギャップだけ離れている。

図２ａにおいて、第１ばね２６１と第２ばね２６２との間にストッパ２５が取り付けられる。これにより、ストッパは、接触領域２８２～２８３にある。ストッパは、例えば、固体バンプ、または図２ａの第１ばねと第２ばねとの間のストッパ２５などの蛇行構造体であってもよい。ストッパ２５は、縦方向に剛性を有してもよいが、そうである必要はない。ストッパ２５の蛇行構造体は、例えば、縦方向および横方向の両方においていくらかの可撓性をストッパ２５に与えてもよい。この可撓性は、用途によっては、ロータがステータに近づく、またはステータから遠ざかるときに第１ばねおよび第２ばねが晒され得る機械的張力を低減し得る。

ストッパが、図２ａおよび図３ａのように蛇行構造体を有する場合、ストッパは、縦方向に延在するサブ部分を有する屈曲梁を含んでもよい。これらのサブ部分は、横方向に延在するサブ部分によって互いに連結される。（サブ部分が延在する方向に対して垂直に測定される）屈曲梁の各サブ部分の幅は、第１ばねおよび第２ばねの対応する幅より小さいか、または対応する幅と実質的に等しくてもよい。

ストッパ２５は、ステータ２１１のエッジ２１１１からストッパ・ギャップ２９４だけ離れている。ストッパ・ギャップ２９４は、ロータばねギャップおよびステータばねギャップの両方より狭くてもよい。図示した場合では、ばねが十分に圧縮されたときにストッパ２５と接触するカウンタ構造体は、ステータのエッジ２１１１である。先の例のように、ストッパ２５がステータに向かってではなく、ロータに向かって延在する場合、カウンタ構造体は、ロータ２１２のエッジ２１２１になるであろう。あるいは、ストッパ２５は、ストッパ２５とステータのエッジとの間に第１ストッパ・ギャップが形成され、ストッパ２５とロータのエッジとの間に第２ストッパ・ギャップが形成されるように、ロータとステータの両方に向かって延在することができるであろう。

図２ａにおいて、ストッパ２５は、２つの端部分対（２２１１＋２２１２、２２２１＋２２２２）間の横方向における略中間に位置する。第１ばね領域２８１～２８２の横方向幅は、第２ばね領域２８３～２８４の横方向幅と実質的に等しい。あるいは、モーションリミッタには、異なる横方向幅を有する第１ばねおよび第２ばねを実装することができるであろう。

図２ｂは、ロータ２１２がステータ２１１に近づくときのモーションリミッタの動作を示す。第１ばねおよび第２ばねは、縦方向に圧縮される。その結果、ステータ２１１に対するストッパ２５の速度は、ステータに対するロータ２１２の速度よりも低くなる。したがって、ストッパ２５とステータ２１１との衝撃は、ストッパがロータに強固に取り付けられる場合よりも小さくなる。ストッパが、ステータではなくロータに面している場合、また、ステータとロータの両方が、両方向に延在するストッパのための両方のカウンタ構造体である場合、衝撃力が同様に低減される。モーションリミッタは、ばね２６１および２６２がロータまたはステータと接触する前に、ストッパがそのカウンタ構造体（図示した場合ではステータである）と接触するように構成される。

図３ａは代替構成を示し、参照番号３１１、３１１１、３１２、３１２１、３２１１、３２１２、３２２１、３２２２、３６１、３６２、３８１、３８２、３８３および３８４は、それぞれ図２ａの参照番号２１１、２１１１、２１２、２１２１、２２１１、２２１２、２２２１、２２２２、２６１、２６２、２８１、２８２、２８３および２８４に対応する。

ここで、モーションリミッタは、第１ストッパ３５１に加えて、さらに、接触領域３８２～３８３において第１ばね３６１と第２ばね３６２との間に同じく延在する第２ストッパ３５２を含み、第２ストッパ３５２は、カウンタ構造体である。

図３ａに示した第１ばね３６１および第２ばね３６２は、それぞれステータ端部分３２１１および３２２１と、それぞれロータ端部分３２１２および３２２２とを含む。これらのばねは、また、対応するステータ端部分とロータ端部分との間に延在する縦方向可撓性部３３１および３３２を含む。この場合、縦方向可撓性部３３１および３３２は蛇行構造体である。あるいは、前述同様、他の任意の縦方向可撓性ばねを使用することができるであろう。

先の実施形態のように、第１ばね３６１および第２ばね３６２は、ステータエッジ３１１１から横方向ステータばねギャップだけ、かつロータエッジ３１２１から横方向ロータばねギャップだけ離れている。

第１ストッパ３５１および第２ストッパ３５２は、図３において、それらの両方が第１ばね領域３８１～３８２と第２ばね領域３８３～３８４との間の接触領域３８２～３８３にあるように、第１ばね３６１と第２ばね３６２との間に取り付けられる。これらのストッパ３５１～３５２は、縦方向に剛性を有する、例えば図３ａのような横方向蛇行構造体、または固体バンプであってもよい。あるいは、ストッパ３５１～３５２は、縦方向の可撓性を有することができるであろう。ロータが休止位置にあるとき、第１ストッパ３５１および第２ストッパ３５２は、縦方向ストッパ・ギャップ３９６だけ互いに離れていてもよい。

図３ｂは、ロータが縦方向にステータに近づくときのモーションリミッタの動作を示す。第１ばね３６１および第２ばね３６２は、縦方向に圧縮される。ばねがステータ３１１またはロータ３１２と接触する前に、第１ストッパ３５１が第２ストッパ３５２と接触する。以下に提示する実施形態のように、接触で起こる衝撃は、モーションリミッタ内のばね３６１および３６２の可撓性によって低くなる。

あるいは、図３ａに示したストッパは、第１ストッパ３５１とステータ３１１との間に第１ストッパ・ギャップが形成され、第２ストッパ３５２とロータ３１２との間に第２ストッパ・ギャップが形成されるように、他方向に回動させることができるであろう。これらのストッパは、また、それぞれステータとロータに向かって延在することに加えて、互いに向かって延在することができるであろう。この場合、モーションリミッタは、３つのストッパ・ギャップ、すなわち、第１ストッパ３５１とステータ３１１との間の第１ストッパ・ギャップと、第２ストッパ３５２とロータ３１２との間の第２ストッパ・ギャップと、第１ストッパ３５１と第２ストッパ３５２との間の第３ストッパ・ギャップとを含むであろう。

図１ａおよび図２ａに示した実施形態において、第１ばねおよび第２ばねの縦方向可撓性部は、折り返しが１つの蛇行形状を有する。図３ａに示した実施形態では、第１ばねおよび第２ばねの縦方向可撓性部は、折り返しが３つの蛇行形状を有する。任意の数の折り返しを用いることができるであろうが、通常、折り返しが少ないほど、モーションリミッタに必要な面積は小さくなる。

Claims (1)

1. デバイス面内にある可動ロータと、少なくともモーションリミッタ領域で前記ロータに隣接する固定ステータとを備える微小機械デバイスであって、
   前記モーションリミッタ領域において、前記ステータのエッジは実質的に横方向に延在し、前記ロータのエッジは実質的に前記横方向に延在し、前記ロータのエッジは、前記モーションリミッタ領域において、前記横方向に直交する縦方向のロータ・ステータ・ギャップだけ前記ステータのエッジから離れており、
   前記微小機械デバイスは、さらに、前記ロータが前記ステータと直接物理的接触するのを防ぐモーションリミッタを備え、前記モーションリミッタは、前記ロータ・ステータ・ギャップを挟んで前記ロータから前記ステータまで延在する第１ばねを少なくとも含み、前記第１ばねは、縦方向に可撓性を有し、
   前記モーションリミッタ領域は、接触領域と、少なくとも第１ばね領域とを含み、前記接触領域は、前記第１ばね領域から前記横方向に離れており、前記第１ばねは、前記第１ばね領域において前記ロータ・ステータ・ギャップにわたって延在し、前記モーションリミッタは、さらに、少なくとも第１ストッパを前記接触領域に含み、前記第１ストッパは、前記第１ばね領域と前記接触領域との境界で前記第１ばねに取り付けられており、
   前記微小機械デバイスは、さらに、少なくとも１つの隣接カウンタ構造体を前記接触領域に備え、前記カウンタ構造体は、前記接触領域において前記第１ストッパからストッパ・ギャップだけ離れており、前記カウンタ構造体は、前記第１ばねが十分に圧縮されたときに前記第１ストッパと接触し、
   前記モーションリミッタ領域は、さらに、第２ばね領域を含み、前記第１ばね領域および前記第２ばね領域は、前記接触領域の横方向両側にあり、前記モーションリミッタは、また、前記接触領域ではなく前記第２ばね領域において、前記ロータ・ステータ・ギャップを挟んで前記ロータから前記ステータまで延在する第２ばねを含み、前記第２ばねは、前記縦方向に可撓性を有し、前記第１ストッパは、前記第１ばねと前記第２ばねとの間に延在するように前記第２ばね領域と前記接触領域との境界で前記第２ばねに取り付けられており、前記カウンタ構造体は、前記ステータのエッジであるか、または、前記カウンタ構造体は、前記ロータのエッジである
   微小機械デバイス。

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