JP7235095B2 - 低衝撃モーションリミッタ - Google Patents
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- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
- B81B3/0035—Constitution or structural means for controlling the movement of the flexible or deformable elements
- B81B3/0051—For defining the movement, i.e. structures that guide or limit the movement of an element
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Description
Claims (1)
- デバイス面内にある可動ロータと、少なくともモーションリミッタ領域で前記ロータに隣接する固定ステータとを備える微小機械デバイスであって、
前記モーションリミッタ領域において、前記ステータのエッジは実質的に横方向に延在し、前記ロータのエッジは実質的に前記横方向に延在し、前記ロータのエッジは、前記モーションリミッタ領域において、前記横方向に直交する縦方向のロータ・ステータ・ギャップだけ前記ステータのエッジから離れており、
前記微小機械デバイスは、さらに、前記ロータが前記ステータと直接物理的接触するのを防ぐモーションリミッタを備え、前記モーションリミッタは、前記ロータ・ステータ・ギャップを挟んで前記ロータから前記ステータまで延在する第1ばねを少なくとも含み、前記第1ばねは、縦方向に可撓性を有し、
前記モーションリミッタ領域は、接触領域と、少なくとも第1ばね領域とを含み、前記接触領域は、前記第1ばね領域から前記横方向に離れており、前記第1ばねは、前記第1ばね領域において前記ロータ・ステータ・ギャップにわたって延在し、前記モーションリミッタは、さらに、少なくとも第1ストッパを前記接触領域に含み、前記第1ストッパは、前記第1ばね領域と前記接触領域との境界で前記第1ばねに取り付けられており、
前記微小機械デバイスは、さらに、少なくとも1つの隣接カウンタ構造体を前記接触領域に備え、前記カウンタ構造体は、前記接触領域において前記第1ストッパからストッパ・ギャップだけ離れており、前記カウンタ構造体は、前記第1ばねが十分に圧縮されたときに前記第1ストッパと接触し、
前記モーションリミッタ領域は、さらに、第2ばね領域を含み、前記第1ばね領域および前記第2ばね領域は、前記接触領域の横方向両側にあり、前記モーションリミッタは、また、前記接触領域ではなく前記第2ばね領域において、前記ロータ・ステータ・ギャップを挟んで前記ロータから前記ステータまで延在する第2ばねを含み、前記第2ばねは、前記縦方向に可撓性を有し、前記第1ストッパは、前記第1ばねと前記第2ばねとの間に延在するように前記第2ばね領域と前記接触領域との境界で前記第2ばねに取り付けられており、前記カウンタ構造体は、前記ステータのエッジであるか、または、前記カウンタ構造体は、前記ロータのエッジである
微小機械デバイス。
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Family Applications (1)
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EP1408336A2 (en) | 2000-06-21 | 2004-04-14 | Input/Output, Inc. | Accelerometer with mass support springs having predetermined vibration modes |
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- 2021-12-07 JP JP2021198392A patent/JP7235095B2/ja active Active
Patent Citations (3)
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---|---|---|---|---|
EP1408336A2 (en) | 2000-06-21 | 2004-04-14 | Input/Output, Inc. | Accelerometer with mass support springs having predetermined vibration modes |
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