CN116379656A - 温控系统及其控制方法、温控装置 - Google Patents

温控系统及其控制方法、温控装置 Download PDF

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刘紫阳
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Abstract

本发明提供一种温控系统及其控制方法、温控装置。温控系统包括：循环子系统，循环子系统与负载部件连通；制冷子系统，制冷子系统包括压缩机、换热器以及电动阀门，压缩机的输出端与换热器的第一输入端相连，换热器的第一输出端与电动阀门的输入端相连，电动阀门的输出端与压缩机的输入端相连，其中，压缩机与电动阀门之间的部分管道用于对液体进行降温；加热子系统，加热子系统包括节能装置，节能装置并联连接于所述循环子系统的管线上，且压缩机与换热器之间的部分管道置于节能装置内部，以便利用该部分管道释放的热量为液体进行加热；控制装置，控制装置与压缩机和电动阀门建立电连接。由此，能够提升能源利用率，减少能源的浪费。

Description

温控系统及其控制方法、温控装置
技术领域
本发明涉及温控技术领域，尤其涉及一种温控系统及其控制方法、温控装置。
背景技术
在半导体的制造工艺中，刻蚀工艺属于非常重要的制程之一。在刻蚀工艺中需要使用到射频装置，射频装置在使用过程中会产生大量的热量，射频装置释放的热量会使晶圆发生温度变化，而晶圆的温度变化会影响刻蚀精度。因此，在对晶圆加工的过程中，需要对加工腔内的温度进行精确控制。
相关的温控装置在快速升温或者快速降温的境况下，会使厂务水电需求增大，且温控装置中的压缩机和加热系统功率消耗增大，从而会造成能源的浪费。
发明内容
本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明提供一种温控系统及其控制方法、温控装置，以提升能源利用率，减少能源的浪费。
本发明提供一种温控系统，包括：
循环子系统，所述循环子系统与负载部件连通，所述循环子系统用于输送所述负载部件输出的液体；
制冷子系统，所述制冷子系统包括压缩机、换热器以及电动阀门，所述压缩机的输出端与所述换热器的第一输入端相连，所述换热器的第一输出端与所述电动阀门的输入端相连，所述换热器的第二输入端和第二输出端与冷却水系统相连，所述电动阀门的输出端与所述压缩机的输入端相连，其中，所述压缩机与所述电动阀门之间的部分管道用于对所述循环子系统输送的液体进行降温；
加热子系统，所述加热子系统包括节能装置，所述节能装置并联连接于所述循环子系统的管线上，且所述压缩机与所述换热器之间的部分管道置于所述节能装置内部，以便利用该部分管道释放的热量为流经所述节能装置的液体进行加热；
控制装置，所述控制装置与所述压缩机和所述电动阀门建立电连接。
在一些可实现的方式中，所述循环子系统包括循环泵和温控箱，所述循环泵的输入端与所述负载部件的输出端相连，所述循环泵的输出端与所述温控箱的输入端相连，所述温控箱的输出端与所述负载部件的输入端相连，所述压缩机与所述电动阀门之间的部分管道置于所述温控箱内部。
在一些可实现的方式中，所述节能装置并联连接于所述温控箱与所述负载部件之间的管线上。
在一些可实现的方式中，所述循环子系统还包括调节阀，所述调节阀的输入端与所述温控箱的输出端相连，所述调节阀的第一输出端与所述负载部件相连，所述调节阀的第二输出端与所述节能装置的输入端相连，所述调节阀与所述控制装置建立电连接。
在一些可实现的方式中，所述循环子系统还包括第一温度传感器、第二温度传感器以及第三温度传感器；其中，所述第一温度传感器置于所述循环泵与所述温控箱之间的管线上，所述第一温度传感器用于测量所述负载部件的输出温度；所述第二温度传感器置于所述负载部件输入端端口的管线上，所述第二温度传感器用于测量所述负载部件的输入温度；所述第三温度传感器置于所述温控箱与所述调节阀之间的管线上，所述第三温度传感器用于测量所述温控箱的输出温度；所述第一温度传感器、所述第二温度传感器以及所述第三温度传感器分别与所述控制装置建立电连接。
在一些可实现的方式中，所述制冷子系统还包括流量控制阀，所述流量控制阀的输入端与所述冷却水系统相连，所述流量控制阀的输出端与所述换热器的第二输入端，所述流量控制阀与所述控制装置建立电连接。
本发明还提供一种温控系统的控制方法，应用于上述的温控系统，该控制方法包括：获取负载部件的输出温度和目标温度；根据所述负载部件的输出温度和所述目标温度确定所述负载部件的运行工况；根据所述运行工况调控制冷子系统中的电动阀门、流量控制阀以及循环子系统中的调节阀的开度，以便对所述负载部件输出液体的温度进行调控。
在一些可实现的方式中，所述控制方法还包括：获取所述循环子系统中温控箱的输出温度；确定所述温控箱的输出温度与所述预设温度的第一温度差值，其中，所述预设温度是根据所述目标温度得到的；在所述第一温度差值未处于第一预设范围内时，调控所述电动阀门和所述流量控制阀的开度，以使所述温控箱的输出温度与所述预设温度一致。
在一些可实现的方式中，在所述温控箱的输出温度与所述预设温度一致后，所述控制方法还包括：获取所述负载部件的输入温度；确定所述负载部件的输入温度与所述目标温度的第二温度差值；在所述第二温度差值未处于第二预设范围内时，调控所述调节阀的开度，以使所述负载部件的输入温度与所述目标温度一致。
本发明还提供一种温控装置，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现如上述任一种所述的温控系统的控制方法。
本发明还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述的温控系统的控制方法。
本发明还提供一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述的温控系统的控制方法。
本发明提供的温控系统及其控制方法、温控装置，通过将压缩机与换热器之间的部分管道置于节能装置内部，使处于高温高压状态的制冷剂在换热器释放热量之前，先在节能装置处将部分热量释放，且这部分热量能够对流经节能装置的液体进行加热，从而提高了能量的利用率；另外，由于处于高温高压状态的制冷剂在节能装置处释放了部分热量，因此，制冷剂在换热器处释放的热量就会减少，从而能够减少冷却水系统中水资源的浪费。
附图说明
为了更清楚地说明本发明或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例的温控系统的结构示意图；
图2是本发明实施例的温控系统的控制方法的流程图之一；
图3是本发明实施例的温控系统的控制方法的流程图之二；
图4是本发明实施例的温控系统的控制方法的流程图之三；
图5是本发明一个具体实施例的温控系统的控制方法的流程图；
图6示例了一种温控装置的实体结构示意图。
附图标记：
110：循环子系统；111：循环泵；112：温控箱；113：调节阀；114：第一温度传感器；115：第二温度传感器；116：第三温度传感器；120：制冷子系统；121：压缩机；122：换热器；123：电动阀门；124：流量控制阀；130：加热子系统；131：节能装置；140：负载部件。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明中的附图，对本发明中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
图1是本发明实施例的温控系统的结构示意图。
如图1所示，本实施例的温控系统包括循环子系统110、制冷子系统120、加热子系统130以及控制装置(不在图中示出)。需要说明的是，本发明实施例的温控系统主要用于根据负载部件140的温度需求，调节负载部件140输出液体的温度。
在本实施例中，循环子系统110与负载部件140连通，循环子系统110用于输送负载部件140输出的液体。具体地，循环子系统110通过将负载部件140输出的液体输送至制冷子系统120和加热子系统130，使制冷子系统120和加热子系统130对液体进行温度调节；循环子系统110再将经过温度调节后的液体输送给负载部件140，从而完成整个温度调节过程。
在本实施例中，制冷子系统120包括压缩机121、换热器122以及电动阀门123。其中，压缩机121的输出端与换热器122的第一输入端相连；换热器122的第一输出端与电动阀门123的输入端相连，换热器122的第二输入端和第二输出端与冷却水系统相连；电动阀门123的输出端与压缩机121的输入端相连。另外，压缩机121与电动阀门123之间的部分管道用于对循环子系统110输送的液体进行降温。
具体地，压缩机121、换热器122以及电动阀门123相连形成一个回路，压缩机121、换热器122以及电动阀门123之间通过管道相连，管道中流动有制冷剂。需要说明的是，制冷剂可以为氟利昂，也可以为其他制冷剂，此处不作具体限制。制冷剂经过压缩机121时，会被压缩为高温高压的液体；制冷剂再经过换热器122时，释放大量热量，变为低温的液体，此时的制冷剂能够吸收周围的热量，从而起到降温的作用。因此，可以使用压缩机121与电动阀门123之间的管道来对循环子系统110输送的液体进行降温。
在本实施例中，加热子系统130包括节能装置131，节能装置131并联连接于循环子系统110的管线上，且压缩机121与换热器122之间的部分管道置于节能装置131内部，以便利用该部分管道释放的热量为流经节能装置131的液体进行加热。
具体地，节能装置131并联连接于循环子系统110的管线上，且节能装置131的管道与循环子系统110的管道连通。另外，压缩机121与换热器122之间的部分管道置于节能装置131内部，该部分管道中的制冷剂经过压缩机121后，被压缩为高温高压的液体。因此，将这部分管道置于节能装置131中，可以使制冷剂在节能装置131中释放大量的热量。循环子系统110将经过降温的液体输送至节能装置131处，利用制冷剂释放的热量再对液体进行加热。
在本实施例中，控制装置与压缩机121和电动阀门123建立电连接。具体地，控制装置可以控制压缩机121开启和关闭，也可以控制电动阀门123的开度。当需要开始进行温度调节时，控制装置接收负载部件140发送的温度调节指令，控制装置再根据温度调节指令控制压缩机121开启或者控制电动阀门123的开度。可以理解的是，通过调控电动阀门123的开度，可以调节制冷子系统120对液体的制冷程度。
在一些实施方式中，循环子系统110包括循环泵111和温控箱112，循环泵111的输入端与负载部件140的输出端相连，循环泵111的输出端与温控箱112的输入端相连，温控箱112的输出端与负载部件140的输入端相连，压缩机121与电动阀门123之间的部分管道置于温控箱112内部。
需要说明的是，本发明实施例将水箱、蒸发器以及加热器合并为温控箱112，因此，本发明实施例的温控箱112具有水箱、蒸发器以及加热器所具备的功能，即在温控箱112中，不仅能够对液体进行升温处理，还能够对液体进行降温处理。将水箱、蒸发器以及加热器集成为的温控箱112，能够有效减小硬件占用空间，降低装置成本。
具体地，循环泵111可以对液体进行输送、吸收以及分离，负载部件140输出的液体经过循环泵111输送至温控箱112中，置于温控箱112中的管道对输送的液体进行降温，液体降温后从温控箱112的输出端输出。在一些实施方式中，温控箱112内还可以设置一个板式换热器，板式换热器一边的输入端和输出端与制冷系统的管道相连，板式换热器另一边的输入端和输出端与循环子系统110的管线相连，从而方便制冷子系统120对流经温控箱112的液体进行降温。
在一些实施方式中，节能装置131并联连接于温控箱112与负载部件140之间的管线上。具体地，由于制冷剂在节能装置131中释放的热量只能用于对流经节能装置131的液体进行小幅度的调节，因此，可以将节能装置131并联连接于温控箱112与负载部件140之间的管线上，在温控箱112对输送的液体进行大幅度调节后，再通过节能装置131对输送的液体进行精细调节，从而实现对液体温度精确控制。
在一些实施方式中，循环子系统110还包括调节阀113，调节阀113的输入端与温控箱112的输出端相连，调节阀113的第一输出端与负载部件140相连，调节阀113的第二输出端与节能装置131的输入端相连，调节阀113与控制装置建立电连接。
需要说明的是，调节阀113可以为控制精度较高的精控调节阀，从而能够提高对节能装置131流量控制的精度。
具体地，调节阀113设置于温控箱112的输出端，用于控制液体流入节能装置131的流量，相当于控制需要进行加热的液体流量，达到再次调节液体温度的目的。循环子系统110管线中的液体从温控箱112中流出后，通过调控调节阀113的开度，来控制流入节能装置131的液体流量。
此外，调节阀113与控制装置建立电连接，在需要开始进行温度调节时，控制装置可以通过调用PID算法，来根据需求控制调节阀113的开度。
为了确定负载部件140的运行工况以及温度调节情况，在一些实施方式中，循环子系统110还包括第一温度传感器114、第二温度传感器115以及第三温度传感器116；其中，第一温度传感器114置于循环泵111与温控箱112之间的管线上，第一温度传感器114用于测量负载部件140的输出温度；第二温度传感器115置于负载部件140输入端端口的管线上，第二温度传感器115用于测量负载部件140的输入温度；第三温度传感器116置于温控箱112与调节阀113之间的管线上，第三温度传感器116用于测量温控箱112的输出温度；第一温度传感器114、第二温度传感器115以及第三温度传感器116分别与控制装置建立电连接。
具体地，第一温度传感器114设置在循环泵111与温控箱112之间的管线上，第一温度传感器114可以测量负载部件140输出端的液体温度。根据预设的、负载部件140的目标温度和第一温度传感器114测量的温度，可以确定负载部件140的运行工况为升温工况或者降温工况。示例地，若目标温度为50℃，而第一温度传感器114测量的负载部件140的输出温度为45℃，则负载部件140的工况为升温工况。
第二温度传感器115设置在负载部件140输入端端口的管线上，第二温度传感器115能够测量输入至负载部件140的输入温度(即经过温控系统调节后液体的最终温度)。根据预设的、负载部件140的目标温度和第二温度传感器115测量的温度，可以确定温控系统的温度调节情况。示例地，若目标温度为50℃，而第二温度传感器115测量的负载部件140的输入温度为49℃，则说明还需要对液体进行升温调节，此时，就可以通过控制装置控制调节阀113的开度，通过节能装置131对液体进行升温调节。
第三温度传感器116设置在温控箱112与调节阀113之间，第三温度传感器116用于测量通过温控箱112调节后且节能装置131未调节前液体的温度。根据第三温度传感器116测量的温度，可以确定温控箱112的调节结果，并确定调节阀113应该设置的开度。
在一些实施方式中，由于在温控箱112对液体的温度进行调节后，节能装置131也会对液体进行一次调节，因此，可以根据目标温度来预设一个温控箱112的目标输出温度。需要说明的是，温控箱112的目标输出温度可以根据节能装置131的调节能力、管线传输时的温度损耗等因素进行设置，此处不作具体限制。示例地，若目标温度为50℃，可以设置温控箱112的目标输出温度为48℃，若第三温度传感器116检测到的温度为47℃，则需要通过控制装置调控电动阀门123的开度，使温控箱112的输出温度达到48℃。
在一些实施方式中，制冷子系统120还包括流量控制阀124，流量控制阀124的输入端与冷却水系统相连，流量控制阀124的输出端与换热器122的第二输入端，流量控制阀124与控制装置建立电连接。
具体地，换热器122的第一输出端和第一输入端是通过管道与其他制冷部件连接的，即换热器122的第一输出端和第一输入端之间循环流通的是制冷剂。而换热器122的第二输出端和第二输入端是与冷却水系统连接的，即换热器122的第二输出端和第二输入端之间循环流通的为清水。可以理解的是，制冷剂流动至换热器122中，通过换热器122第二输出端和第二输入端之间流动的清水可以带走制冷剂的热量，从而达到对制冷剂降温的目的。在换热器122的第二输入端与冷却水系统之间设置一个流量控制阀124，能够控制冷却水系统中水流入换热器122的流量。
下面结合上述温控系统的结构，对本发明实施例的温控系统的控制方法进行具体介绍。
图2是本发明实施例的温控系统的控制方法的流程图之一。如图2所示，该方法可以包括以下步骤：
步骤210：获取负载部件的输出温度和目标温度。
步骤220：根据负载部件的输出温度和目标温度确定负载部件的运行工况。
步骤230：根据运行工况调控制冷子系统中的电动阀门、流量控制阀以及循环子系统中的调节阀的开度，以便对所述负载部件输出液体的温度进行调控。
需要说明的是，目标温度为预先设置的、负载部件所需的温度，目标温度可以为一个恒定的温度值，也可以为变化的温度值，例如，目标温度可以进行梯度变化，即当温度达到第一梯度的温度值时，目标温度则会变为第二梯度的温度值。
具体地，先确定负载部件的需求温度(即目标温度)，在确定了负载部件的需求温度后，可以使负载部件将目标温度发送至控制装置。再通过温控系统中的第一温度传感器测量得到负载部件输出的液体温度(即负载部件的输出温度)，第一传感器会将负载部件的输出温度发送至控制装置。
控制装置在接收到的目标温度和负载部件的输出温度后，会计算目标温度与负载部件的输出温度之间的差值，控制装置再根据差值确定负载部件的运行工况。这里所说的运行工况可以为升温工况、降温工况、梯度升温工况、梯度降温工况、线性升温工况、线性降温工况等。
作为一个示例，若负载部件的温度需求为恒温，且目标温度为60℃，第一温度传感器检测的负载部件的输出温度为48℃，则此时的工况为升温工况。当温控系统将液体温度调节到60℃，即第二温度传感器测得的温度为60℃；液体从负载部件循环流出后，液体温度可能会有所降低，通过第一温度传感器再次测量负载部件的输出温度为55℃，则此时的工况依旧为升温工况，但是需要调节温控系统的升温能力。
作为另一个示例，若负载部件的温度需求为温度梯度下降，梯度为5℃，设定的目标温度为20℃。在开始进行温度调节后，第一温度传感器检测的负载部件的输出温度为65℃，控制装置根据负载部件的输出温度、目标温度以及梯度确定负载部件的工况为梯度降温工况。
在控制装置确定了负载部件的运行工况后，控制装置会根据运行工况来控制制冷子系统中的电动阀门、流量控制阀以及循环子系统中的调节阀的开度。具体地，控制装置可以通过调用PID算法，计算得到电动阀门、流量控制阀以及调节阀的开度，具体调用PID算法计算开度的方式可以参考已有的计算方式，此处不再赘述。
图3是本发明实施例的温控系统的控制方法的流程图之二。为了提高温度调控的精度，如图3所示，在一些实施方式中，在步骤230之后，该控制方法还可以包括以下步骤：
步骤310：获取循环子系统中温控箱的输出温度。
步骤320：确定温控箱的输出温度与预设温度的第一温度差值。
步骤330：在第一温度差值未处于第一预设范围内时，调控电动阀门和流量控制阀的开度，以使温控箱的输出温度与预设温度一致。
可以理解的是，由于在温控箱对液体的温度进行调节后，节能装置也会对液体的温度进行一次调节，因此，温控箱的输出温度与目标温度之间可以存在一些偏差。在本实施例中，预设温度可以根据目标温度、节能装置的的调节能力、管线传输时的温度损耗等因素进行设置，此处不作具体限制。
具体地，可以通过在循环子系统中设置的第三温度传感器，来测量温控箱输出液体的温度。第三温度传感器测量得到温控箱的输出温度后，会发送给控制装置。控制装置接收到温控箱的输出温度后，计算温控箱的输出温度与预设温度之间的第一温度差值。控制装置在计算得到第一温度差值后，判断第一温度差值是否处于第一预设范围内。这里需要说明的是，第一预设范围可以根据温控精度人为进行设定，例如，第一预设范围可以为-0.5℃至+0.5℃。
若控制装置判断第一温度差值未处于第一预设范围内，则说明温控箱的输出温度未达到预设温度，此时，控制装置会根据第一温度差值调用PID算法来调控电动阀门和流量控制阀的开度，从而通过调控制冷子系统的制冷能力，使温控箱的输出温度与预设温度一致。
图4是本发明实施例的温控系统的控制方法的流程图之三。为了进一步提高温度控制的精度，如图4所示，在一些实施方式中，在步骤330之后，该控制方法还可以包括以下步骤：
步骤410：获取负载部件的输入温度。
步骤420：确定负载部件的输入温度与目标温度的第二温度差值。
步骤430：在第二温度差值未处于第二预设范围内时，调控调节阀的开度，以使负载部件的输入温度与目标温度一致。
需要说明的是，第二预设范围同样可以根据温控精度人为进行设定。
具体地，通过循环子系统中第二温度传感器来测量得到负载部件的输入温度，第二温度传感器在测量得到负载部件的输入温度后，会将负载部件的输入温度发送给控制装置。控制装置接收到负载部件的输入温度后，会计算负载部件的输入温度与目标温度之间的第二温度差值。控制装置在计算得到第二温度差值后，会判断第二温度差值是否在第二预设范围内；若第二温度差值不在第二预设范围内，则控制装置会根据第二温度差值调用PID算法来调控调节阀的开度，从而控制节能装置的温度调节能力，实现对循环子系统传输液体的第二次调控。
在一些实施方式中，由于液体在从第二温度传感器流动至负载部件时，会有一定的温度损失，因此，可以设置一个第二温度传感器的目标设置温度，该第二温度传感器的目标设置温度可以设置略高于目标温度。在计算第二温度差值时，也可以使用负载部件的输入温度与第二温度传感器的目标设置温度进行计算，若负载部件的输入温度达到第二温度传感器的目标设置温度，则认为温度调节完毕。从而降低了液体在运输时温度损失带来的影响。
为了方便理解，下面通过一个具体实施例对本发明实施例的温控系统的控制方法进行介绍。
图5是本发明一个具体实施例的温控系统的控制方法的流程图。如图5所示，该控制方法还可以包括以下步骤：
步骤510：获取第一传感器采集的负载部件的输出温度。
步骤520：根据负载部件的输出温度和目标温度确定负载部件的运行工况。
步骤530：根据运行工况调控电动阀门、流量控制阀以及调节阀的开度。
步骤540：获取第三传感器采集的温控箱的输出温度。
步骤550：计算温控箱的输出温度与预设温度之间的第一温度差值。
步骤560：判断第一温度差值是否在第一预设范围内，若是，则进入；若否，则调控电动阀门和流量控制阀的开度。
步骤570：获取第二传感器采集的负载部件的输入温度。
步骤580：计算负载部件的输入温度与目标温度之间的第二温度差值。
步骤590：判断第二温度差值是否在第二预设范围内，若是，则结束；若否，则调控调节阀的开度。
由此，通过将压缩机与换热器之间的部分管道置于节能装置内部，使处于高温高压状态的制冷剂在换热器释放热量之前，先在节能装置处将部分热量释放，且这部分热量能够对流经节能装置的液体进行加热，从而提高了能量的利用率。其次，由于处于高温高压状态的制冷剂在节能装置处释放了部分热量，因此，制冷剂在换热器处释放的热量就会减少，从而能够减少冷却水系统水资源的浪费。最后，通过设置调节阀与节能装置，能够对温度进行两次精确调控，从而提高了温度控制的精度。
图6示例了一种温控装置的实体结构示意图，如图6所示，该温控装置可以包括：处理器(processor)610、通信接口(Communications Interface)620、存储器(memory)630和通信总线640，其中，处理器610，通信接口620，存储器630通过通信总线640完成相互间的通信。处理器610可以调用存储器630中的逻辑指令，以执行温控系统的控制方法，该方法包括：获取负载部件的输出温度和目标温度；根据负载部件的输出温度和目标温度确定负载部件的运行工况；根据运行工况调控制冷子系统中的电动阀门、流量控制阀以及循环子系统中的调节阀，以实现对负载部件的温度调控。
此外，上述的存储器630中的逻辑指令可以通过软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
另一方面，本发明还提供一种计算机程序产品，所述计算机程序产品包括计算机程序，计算机程序可存储在非暂态计算机可读存储介质上，所述计算机程序被处理器执行时，计算机能够执行上述各方法所提供的温控系统的控制方法，该方法包括：获取负载部件的输出温度和目标温度；根据负载部件的输出温度和目标温度确定负载部件的运行工况；根据运行工况调控制冷子系统中的电动阀门、流量控制阀以及循环子系统中的调节阀，以实现对负载部件的温度调控。
又一方面，本发明还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现以执行上述各方法提供的温控系统的控制方法，该方法包括：获取负载部件的输出温度和目标温度；根据负载部件的输出温度和目标温度确定负载部件的运行工况；根据运行工况调控制冷子系统中的电动阀门、流量控制阀以及循环子系统中的调节阀，以实现对负载部件的温度调控。
以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。本领域普通技术人员在不付出创造性的劳动的情况下，即可以理解并实施。
通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到各实施方式可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件。基于这样的理解，上述技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品可以存储在计算机可读存储介质中，如ROM/RAM、磁碟、光盘等，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行各个实施例或者实施例的某些部分所述的方法。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种温控系统，其特征在于，所述温控系统包括：
循环子系统，所述循环子系统与负载部件连通，所述循环子系统用于输送所述负载部件输出的液体；
制冷子系统，所述制冷子系统包括压缩机、换热器以及电动阀门，所述压缩机的输出端与所述换热器的第一输入端相连，所述换热器的第一输出端与所述电动阀门的输入端相连，所述换热器的第二输入端和第二输出端与冷却水系统相连，所述电动阀门的输出端与所述压缩机的输入端相连，其中，所述压缩机与所述电动阀门之间的部分管道用于对所述循环子系统输送的液体进行降温；
加热子系统，所述加热子系统包括节能装置，所述节能装置并联连接于所述循环子系统的管线上，且所述压缩机与所述换热器之间的部分管道置于所述节能装置内部，以便利用该部分管道释放的热量为流经所述节能装置的液体进行加热；
控制装置，所述控制装置与所述压缩机和所述电动阀门建立电连接。
2.根据权利要求1所述的温控系统，其特征在于，所述循环子系统包括循环泵和温控箱，所述循环泵的输入端与所述负载部件的输出端相连，所述循环泵的输出端与所述温控箱的输入端相连，所述温控箱的输出端与所述负载部件的输入端相连，所述压缩机与所述电动阀门之间的部分管道置于所述温控箱内部。
3.根据权利要求2所述的温控系统，其特征在于，所述节能装置并联连接于所述温控箱与所述负载部件之间的管线上。
4.根据权利要求3所述的温控系统，其特征在于，所述循环子系统还包括调节阀，所述调节阀的输入端与所述温控箱的输出端相连，所述调节阀的第一输出端与所述负载部件相连，所述调节阀的第二输出端与所述节能装置的输入端相连，所述调节阀与所述控制装置建立电连接。
5.根据权利要求4所述的温控系统，其特征在于，所述循环子系统还包括第一温度传感器、第二温度传感器以及第三温度传感器；其中，
所述第一温度传感器置于所述循环泵与所述温控箱之间的管线上，所述第一温度传感器用于测量所述负载部件的输出温度；
所述第二温度传感器置于所述负载部件输入端端口的管线上，所述第二温度传感器用于测量所述负载部件的输入温度；
所述第三温度传感器置于所述温控箱与所述调节阀之间的管线上，所述第三温度传感器用于测量所述温控箱的输出温度；
所述第一温度传感器、所述第二温度传感器以及所述第三温度传感器分别与所述控制装置建立电连接。
6.根据权利要求1-5任一项所述的温控系统，其特征在于，所述制冷子系统还包括流量控制阀，所述流量控制阀的输入端与所述冷却水系统相连，所述流量控制阀的输出端与所述换热器的第二输入端，所述流量控制阀与所述控制装置建立电连接。
7.一种温控系统的控制方法，其特征在于，应用于根据权利要求1-6任一项所述的温控系统，所述控制方法包括：
获取负载部件的输出温度和目标温度；
根据所述负载部件的输出温度和所述目标温度确定所述负载部件的运行工况；
根据所述运行工况调控制冷子系统中电动阀门、流量控制阀以及循环子系统中调节阀的开度，以便对所述负载部件输出液体的温度进行调控。
8.根据权利要求7所述的温控系统的控制方法，其特征在于，所述控制方法还包括：
获取所述循环子系统中温控箱的输出温度；
确定所述温控箱的输出温度与预设温度的第一温度差值，其中，所述预设温度是根据所述目标温度得到的；
在所述第一温度差值未处于第一预设范围内时，调控所述电动阀门和所述流量控制阀的开度，以使所述温控箱的输出温度与所述预设温度一致。
9.根据权利要求8所述的温控系统的控制方法，其特征在于，在所述温控箱的输出温度与所述预设温度一致后，所述控制方法还包括：
获取所述负载部件的输入温度；
确定所述负载部件的输入温度与所述目标温度的第二温度差值；
在所述第二温度差值未处于第二预设范围内时，调控所述调节阀的开度，以使所述负载部件的输入温度与所述目标温度一致。
10.一种温控装置，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述程序时实现如权利要求7至9任一项所述的温控系统的控制方法。
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