CN116347925A - 有机发光显示设备和用于制造其的方法 - Google Patents

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Abstract

本公开提供了有机发光显示设备和用于制造其的方法。所述有机发光显示设备包括：包括第一子像素、第二子像素、第三子像素和第四子像素的像素；其中第一子像素至第四子像素中的每一者包括有机发光元件，有机发光元件包括阳极电极、设置在阳极电极上的有机发光层和设置在有机发光层上的阴极电极，其中设置在第四子像素中的阴极电极的厚度大于设置在第一子像素至第三子像素的每一者中的阴极电极的厚度。

Description

有机发光显示设备和用于制造其的方法
技术领域
本公开涉及有机发光显示设备，更具体地涉及可以防止外部湿气侵入有机发光元件以及可以提高发光效率的有机发光显示设备。
背景技术
随着社会进入全面的信息时代，已经开发了处理和显示大量信息的各种显示设备。存在多种类型的显示图像的显示设备，例如液晶显示设备(LCD)、有机发光显示设备(OLED)和量子点显示设备(QD)。
有机发光显示设备(OLED)包括显示图像的显示区域和围绕显示区域的非显示区域。有机发光显示设备的显示区域中布置有复数个像素区域。对应于复数个像素区域的复数个有机发光元件被包括在设备中。有机发光元件是自发光的。因此，与液晶显示设备相比，有机发光显示设备具有更快的响应速度、更大的发光效率、亮度和视角，以及优异的对比度和色域的优点。
发明内容
有机发光元件包含由于湿气而可能容易劣化的有机材料。存在的问题在于有机发光元件由于从外部引入的湿气而劣化，因此有机发光元件的寿命缩短。
此外，在顶部发射方案的有机发光显示设备中，使用形成在整个显示区域上的透明的共同阴极以构成复数个有机发光元件。当共同阴极为厚时，存在的问题在于由于工艺期间的异物而在阳极与阴极之间发生短路。当共同阴极为薄的以解决由于工艺期间的异物所导致的问题时，光的透射率与共同阴极为厚的情况相比降低，使得有机发光显示设备的发光效率降低。
根据本公开的一个实施方案的目的是提供可以防止外部湿气侵入有机发光元件以及可以提高设备的发光效率的有机发光显示设备。
本公开的目的不限于上述目的。本公开的未提及的其他目的和优点可以基于以下描述而理解，并且可以基于本公开的实施方案更清楚地理解。此外，将容易理解，本公开的目的和优点可以使用权利要求中示出的手段及其组合来实现。
本公开的一个实施方案提供了有机发光显示设备，其包括：包括第一子像素、第二子像素、第三子像素和第四子像素的像素；其中第一子像素至第四子像素中的每一者包括有机发光元件，有机发光元件包括阳极电极、设置在阳极电极上的有机发光层和设置在有机发光层上的阴极电极，其中设置在第四子像素中的阴极电极的厚度大于设置在第一子像素至第三子像素的每一者中的阴极电极的厚度。
本公开的另一个实施方案提供了有机发光显示设备，包括：包括第一子像素、第二子像素和第三子像素的像素，其中第一子像素至第三子像素中的每一者包括有机发光元件，有机发光元件包括阳极电极、设置在阳极电极上的有机发光层和设置在有机发光层上的阴极电极，其中该设备包括覆盖阴极电极并设置在第一子像素和第二子像素的每一者中的阻挡图案。
本公开的还一个实施方案提供了有机发光显示设备，包括：像素，所述像素包括红色子像素、蓝色子像素和绿色子像素，其中红色子像素、蓝色子像素和绿色子像素中的每一者包括有机发光元件，所述有机发光元件包括阳极电极、设置在所述阳极电极上的有机发光层和设置在所述有机发光层上的阴极电极，其中设置在所述绿色子像素中的所述阴极电极的厚度大于设置在所述红色子像素和所述蓝色子像素的每一者中的所述阴极电极的厚度。
本公开的又一个实施方案提供了制造有机发光显示设备的方法，所述方法包括：提供基板；在基板上形成复数个阳极电极以使复数个阳极电极分别设置在复数个子像素中；在复数个阳极电极上形成有机发光层；在有机发光层上形成第一阴极电极；在第一阴极电极上形成阻挡层；在阻挡层上形成掩模层；在掩模层中形成第一开口和第二开口，使得第一开口对应于复数个子像素中的一个子像素，并且第二开口中的每一者对应于复数个子像素的剩余子像素的相邻子像素之间的边界区域的每一者；将阻挡层的分别通过第一开口和第二开口而暴露的部分去除，以使第一阴极电极的部分区域暴露；以及在第一阴极电极的分别通过第一开口和第二开口而暴露的部分区域上形成第二阴极电极。
其他实施方案的具体细节包括在详细描述和附图中。
根据本公开的实施方案，可以在各子像素中和有机发光元件上形成包含含有大量氟的含氟聚合物的阻挡图案，使得可以防止从外部引入的湿气侵入有机发光元件中。
根据本公开的一个实施方案，绿色子像素的阴极电极的厚度可以大于与其相邻的其他子像素中的每一者的阴极电极的厚度，使得可以提高绿色子像素的发光效率。
此外，根据本公开的实施方案，阳极电极与阴极电极之间的短路缺陷可以通过仅增加一些子像素的阴极电极的厚度而不是增加所有子像素的阴极电极的厚度来去除。
本公开的效果不限于上述效果，并且本领域技术人员将通过以下描述清楚地理解未提及的其他效果。
附图说明
图1A和图1B是示出根据本公开的一个实施方案的有机发光显示设备的平面图和截面图。
图2A至图6B是用于说明根据本公开的一个实施方案的用于制造有机发光显示设备的方法的图。
图7是示出基于在本公开的一个实施方案中使用的阴极电极的厚度的透射率的图。
具体实施方式
通过参照稍后详细描述的实施方案以及附图，本公开的优点和特征以及实现所述优点和特征的方法将变得显而易见。然而，本公开不限于以下公开的实施方案，而是可以以各种不同的形式实施。因此，阐述这些实施方案仅是为了使本公开完整，并且向本公开所属技术领域的普通技术人员完整告知本公开的范围。
在用于描述本公开的实施方案的附图中公开的形状、尺寸、比例、角度、数量等是说明性的，并且本公开不限于此。相同的附图标记在本文中指代相同的元件。此外，为了简化描述，省略了众所周知的步骤和元件的描述和细节。此外，在本公开的以下详细描述中，阐述了许多具体细节以便提供对本公开的透彻理解。然而，将理解，可以在没有这些具体细节的情况下实践本公开。在另一些情况下，未详细描述公知的方法、工序、组件和电路以免不必要地模糊本公开的方面。
本文中使用的术语仅针对描述特定实施方案的目的，并且不旨在限制本公开。如本文所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数构成旨在也包括复数构成。还应理解，术语“包括”、“包含”、“含有”和“有”当在说明书中使用时指明存在所陈述的特征、整数、操作、元件和/或组件，但是不排除存在或添加一个或更多个其他的特征、整数、操作、元件、组件和/或其部分。如本文所用，术语“和/或”包括一个或更多个相关列举项目的任何和所有组合。诸如“至少一者”的表达在元件的列表之前时可以修饰元件的整个列表并且可以不修饰该列表的单个元件。在数值的解释中，即使没有其明确的描述，也可能出现其中的误差或公差。
此外，还将理解，当第一元件或层被称为存在于第二元件或层“上”时，第一元件可以直接设置在第二元件上或可以在第三元件或层设置在第一元件或层与第二元件或层之间的情况下间接地设置在第二元件上。将理解的是，当一个元件或层被称为“连接至”或“耦接至”另一元件或层时，其可以直接在其他元件或层上、直接连接至或直接耦接至其他元件或层，或者可以存在一个或更多个中间元件或层。此外，还将理解，当一个元件或层被称为在两个元件或层“之间”时，其可以为两个元件或层之间的唯一元件或层，或者也可以存在一个或更多个中间元件或层。
此外，如本文所用，当层、膜、区域、板等可以设置在另一个层、膜、区域、板等“上”或“顶部”时，前者可以直接接触后者，或者可以在前者与后者之间设置有又一个层、膜、区域、板等。如本文所用，当层、膜、区域、板等直接设置在另一个层、膜、区域、板等“上”或“顶部”时，前者直接接触后者并且在前者与后者之间未设置又一个层、膜、区域、板等。此外，如本文所用，当层、膜、区域、板等可以设置在另一个层、膜、区域、板等“下方”或“下”时，前者可以直接接触后者，或者可以在前者与后者之间设置有又一个层、膜、区域、板等。如本文所用，当层、膜、区域、板等直接设置在另一个层、膜、区域、板等“下方”或“下”时，前者直接接触后者并且在前者与后者之间未设置又一个层、膜、区域、板等。
将理解，尽管在本文中可以使用术语“第一”、“第二”、“第三”等以描述各种元件、组件、区域、层和/或部分，但是这些元件、组件、区域、层和/或部分不应受这些术语的限制。这些术语用于将一个元件、组件、区域、层或部分与另一个元件、组件、区域、层或部分区分开。因此，在不脱离本公开的精神和范围的情况下，下面描述的第一元件、第一组件、第一区域、第一层或第一部分可以称为第二元件、第二组件、第二区域、第二层或第二部分。
在解释数值时，除非有其单独的明确描述，否则该值被解释为包括误差范围。
将理解，当一个元件或层被称为“连接至”或“耦接至”另一个元件或层时，其可以直接在其他元件或层上、直接连接至或直接耦接至其他元件或层，或者可以存在一个或更多个中间元件或层。此外，还将理解，当一个元件或层被称为在两个元件或层“之间”时，其可以为两个元件或层之间的唯一元件或层，或者也可以存在一个或更多个中间元件或层。
本公开的各种实施方案的特征可以部分地或全部地彼此组合，并且可以彼此在技术上相关或彼此操作。这些实施方案可以彼此独立地实现，可以以相关关系一起实现。
在时间关系例如两个事件之间的时间优先关系如“在……之后”、“随后”、“在……之前”等的描述中，除非指明“直接在……之后”、“直接随后”或“直接在……之前”，否则在其间可能发生另一事件。
除非另有定义，否则在本文中使用的包括技术术语和科学术语的所有术语具有与本发明构思所属领域的普通技术人员通常理解的相同含义。还将理解，术语，例如在常用字典中定义的术语，应被解释为具有与其在相关领域的背景中的含义一致的含义，并且除非在本文中明确地如此限定，否则不以理想化或过分形式化的含义来理解。
在下文中，将参照附图详细描述根据本公开的一个实施方案的有机发光显示设备。
图1A和图1B是示出根据本公开的一个实施方案的有机发光显示设备的平面图和截面图。
参照图1A和图1B，根据本公开的一个实施方案的有机发光显示设备可以在显示区域中包括复数个像素，并且每个像素可以包括复数个子像素。在该实施方案中，每个像素包括四个子像素，例如红色子像素SP_R、白色子像素SP_W、蓝色子像素SP_B和绿色子像素SP_G。红色子像素SP_R包括发射红光的区域EA_R，白色子像素SP_W包括发射白光的区域EA_W，蓝色子像素SP_B包括发射蓝光的区域EA_B，绿色子像素SP_G包括发射绿光的区域EA_G。
根据本公开的一个实施方案的有机发光显示设备包括基板101、驱动薄膜晶体管DTr、有机发光元件120、堤130和阻挡图案140。有机发光元件120包括阳极电极121、有机发光层123和阴极电极125。
包括驱动薄膜晶体管DTr的像素驱动电路可以设置在基板101上。连接至驱动薄膜晶体管DTr的阳极电极(也被称为像素电极)121可以设置在每个子像素中。基板101可以由柔性材料制成。基板101可以由例如塑料或薄玻璃制成。为了防止外部光进入驱动薄膜晶体管DTr，可以在基板101上设置光阻挡层以与驱动薄膜晶体管DTr交叠。覆盖光阻挡层的缓冲层可以设置在基板101与驱动薄膜晶体管DTr之间。缓冲层可以由无机绝缘膜、有机绝缘膜、或无机绝缘膜和有机绝缘膜的堆叠体构成，并且可以具有单层或多层结构。
覆盖驱动薄膜晶体管DTr的绝缘层110可以设置在基板101上。绝缘层110可以由无机绝缘膜、有机绝缘膜、或无机绝缘膜和有机绝缘膜的堆叠体构成，并且可以具有单层或多层结构。
阳极电极121可以设置在绝缘层110上。每个阳极电极121可以延伸通过绝缘层110以连接至各驱动薄膜晶体管DTr。根据本公开的一个实施方案的有机发光显示设备可以实施为按照顶部发射方案的显示设备，在顶部发射方案中，从有机发光层发射的光通过阴极电极朝向有机发光显示设备的顶部发射。阳极电极121可以包括具有高反射率的金属材料，例如铝和钛的堆叠体结构(Ti/Al/Ti)、铝和氧化铟锡(ITO)的堆叠体结构(ITO/Al/ITO)、APC合金、以及APC合金和ITO的堆叠体结构(ITO/APC/ITO)。APC合金是指银(Ag)、钯(Pb)和铜(Cu)的合金。
覆盖每个阳极电极121的边缘的堤130可以设置在绝缘层110上。堤130用于限定各子像素的发光区域。形成有堤130的区域不发光，因此可以定义为非发光区域。堤130可以由由丙烯酸树脂、环氧树脂、酚醛树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺树脂等制成的有机绝缘膜构成。
然后，有机发光层123和阴极电极125可以顺序堆叠在由堤130的开口限定的子像素SP_R、SP_W、SP_B和SP_G的发光区域EA_R、EA_W、EA_B和EA_G中。有机发光层123和阴极电极125可以不被图案化，而是可以在整个显示区域上连续地延伸。阴极电极125可以用作共同连接至显示区域的所有有机发光元件120的共同电极。
有机发光层123可以包括空穴传输层、发光层和电子传输层的堆叠结构。或者，有机发光层123可以被配置为包括空穴传输层、发光层和电子传输层，以及空穴阻挡层、空穴注入层、电子阻挡层和电子注入层。发光层经由电子和空穴的复合发光，并且基于发光层的带隙，可以发射蓝光、绿光、红光或紫外光。或者，发光层可以由复数个发光层的堆叠体构成，并且可以发射白光。在本实施方案中，有机发光层123可以发射白光。
根据本公开的一个实施方案的有机发光显示设备可以实施为按照顶部发射方案的显示设备，在顶部发射方案中，从有机发光层发射的光通过阴极电极朝向有机发光显示设备的顶部发射。阴极电极125可以由透明导电材料制成。阴极电极125可以由透明金属氧化物例如氧化铟锡(ITO)或氧化铟锌(IZO)制成。阴极电极125可以包括设置在红色子像素SP_R中的阴极电极125_R、设置在白色子像素SP_W中的阴极电极125_W、设置在蓝色子像素SP_B中的阴极电极125_B和设置在绿色子像素SP_G中的阴极电极125_G。设置在绿色子像素SP_G中的阴极电极125_G可以具有比设置在其他子像素的每一者中的阴极电极的厚度更大的厚度。例如，阴极电极125可以包括氧化铟锌(IZO)。设置在绿色子像素SP_G中的阴极电极125_G的厚度可以在
Figure BDA0003960902200000071
至/>
Figure BDA0003960902200000072
的范围内，并且可以例如为/>
Figure BDA0003960902200000073
此外，设置在其他子像素的每一者中的阴极电极的厚度可以在/>
Figure BDA0003960902200000074
Figure BDA0003960902200000075
至/>
Figure BDA0003960902200000076
的范围内，并且可以例如为/>
Figure BDA0003960902200000077
例如，图7示出了当阴极电极125由氧化铟锌(IZO)制成并且阴极电极125的厚度为
Figure BDA0003960902200000078
或/>
Figure BDA0003960902200000079
时透射率在400nm至700nm的波长范围内的变化。参照图7，当阴极电极125的厚度为/>
Figure BDA00039609022000000710
时，蓝光波长带(峰值波长为470nm)的透射率与阴极电极125的厚度为
Figure BDA00039609022000000711
时的透射率相似。在阴极电极125的厚度为/>
Figure BDA00039609022000000712
时的红光波长带(峰值波长为630nm)的透射率与阴极电极125的厚度为/>
Figure BDA00039609022000000713
时的透射率相似。阴极电极125的厚度为
Figure BDA00039609022000000714
时的绿光波长带(峰值波长为550nm)的透射率大于阴极电极125的厚度为/>
Figure BDA00039609022000000715
时的透射率。
在根据本公开的一个实施方案的有机发光显示设备中，设置在绿色子像素SP_G中的阴极电极125_G的厚度可以大于分别设置在其他子像素中的每个阴极电极的厚度，使得可以提高绿色子像素SP_G的发光效率。
覆盖阴极电极125的阻挡图案140可以分别设置在红色子像素SP_R、白色子像素SP_W和蓝色子像素SP_B中。阻挡图案140可以设置在堤130上。设置在与绿色子像素SP_G相邻的子像素(在该实例中，蓝色子像素SP_B)中的阻挡图案140可以延伸至绿色子像素SP_G。设置在与绿色子像素SP_G相邻的子像素(例如，蓝色子像素SP_B)中的阻挡图案140可以具有比位于不与绿色子像素SP_G相邻的子像素(例如，红色子像素SP_R或白色子像素SP_W)中的阻挡图案140的面积更大的面积。
阻挡图案140可以由含氟聚合物制成，在含氟聚合物中碳-碳键连续排列成链结构(碳-碳主链)并且在其官能团处包含大量氟(F)。氟原子的数量可以达到含氟聚合物原子总数的高达50％或更大、或60％、70％、80％或90％或更大。
根据本公开的一个实例，以下[化学式1]示出了在官能团处包含大量氟(F)的含氟聚合物材料的化学结构式。
[化学式1]
Figure BDA0003960902200000081
在化学式1中，n和m分别代表重复单元的数目。如以上[化学式1]所示，根据本公开的用作阻挡图案140的材料的含氟聚合物在其官能团处包含大量氟(F)。在官能团处包含大量氟(F)的含氟聚合物具有正交性。正交性可以理解为两个对象彼此不相关而是彼此独立存在的特性。因此，阻挡图案140可以具有对水具有低亲和力的疏水特性和对油具有低亲和力的疏油特性二者。在这种正交性下，阻挡图案140可以与湿气分隔或排斥湿气。因此，湿气渗透的路径可以被阻挡图案140阻挡。
根据本公开的一个实施方案的有机发光显示设备还可以包括设置在红色子像素SP_R与白色子像素SP_W之间的边界区域中、以及白色子像素SP_W与蓝色子像素SP_B之间的边界区域中的阻挡图案140之间的虚拟阴极电极125_S。虚拟阴极电极125_S可以具有与设置在绿色子像素SP_G中的阴极电极125_G的厚度相同的厚度。虚拟阴极电极125_S可以设置在堤130上并且可以连接至阴极电极125_G。在一个实施方案中，虚拟阴极电极125_S和阴极电极125_G可以不彼此连接，虚拟阴极电极125_S可以由彼此间隔开的复数个虚拟阴极电极构成。
覆盖阴极电极125和阻挡图案140的封装层(未示出)可以设置在基板101上。封装层可以由无机绝缘层、有机绝缘层或其堆叠结构构成。封装层可以具有例如三层堆叠结构，例如无机绝缘层/有机绝缘层/无机绝缘层。封装层用于防止湿气、氧气或颗粒进入有机发光显示设备。
滤色器(未示出)可以设置在封装层上。红色滤色器可以设置在红色子像素SP_R中，蓝色滤色器可以设置在蓝色子像素SP_B中，绿色滤色器可以设置在绿色子像素SP_G中。
在下文中，将参照附图描述根据本公开的一个实施方案的用于制造有机发光显示设备的方法。
图2A至图6B为用于说明根据本公开的一个实施方案的用于制造有机发光显示设备的方法的图。图2A、图3A、图4A、图5A和图6A为用于说明根据本公开的一个实施方案的用于制造有机发光显示设备的方法的平面图。图2B、图3B、图4B、图5B和图6B是用于说明根据本公开的一个实施方案的制造有机发光显示设备的方法的截面图。
参照图2A和图2B，可以在基板101上形成包括驱动薄膜晶体管DTr的像素驱动电路。基板101可以由柔性材料制成。基板101可以由例如塑料或薄玻璃制成。为了防止外部光进入驱动薄膜晶体管DTr，可以在基板101上设置光阻挡层以与驱动薄膜晶体管DTr交叠。
可以在基板101与驱动薄膜晶体管DTr之间设置覆盖光阻挡层的缓冲层。缓冲层可以由无机绝缘膜、有机绝缘膜、或无机绝缘膜和有机绝缘膜的堆叠体构成，并且可以具有单层或多层结构。
覆盖驱动薄膜晶体管DTr的绝缘层110可以形成在基板101上。绝缘层110可以由无机绝缘膜、有机绝缘膜、或者无机绝缘膜和有机绝缘膜的堆叠体构成，并且可以具有单层或多层结构。
此外，阳极电极121可以形成在绝缘层110上，并且每个阳极电极121可以延伸通过绝缘层110以连接至各个驱动薄膜晶体管DTr。阳极电极121可以包括具有高反射率的金属材料，例如铝和钛的堆叠体结构(Ti/Al/Ti)、铝和氧化铟锡(ITO)的堆叠体结构(ITO/Al/ITO)、APC合金、以及APC合金和ITO的堆叠体结构(ITO/APC/ITO)。APC合金是指银(Ag)、钯(Pb)和铜(Cu)的合金。
可以在绝缘层110上设置覆盖每个阳极电极121的两个相反边缘的每一者的堤130。堤130用于限定每个子像素的发光区域。形成有堤130的区域不发光，因此可以定义为非发光区域。堤130可以由由丙烯酸树脂、环氧树脂、酚醛树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺树脂等制成的有机绝缘膜构成。
然后，有机发光层123和第一阴极电极125a可以顺序堆叠在由堤130的开口限定的子像素SP_R、SP_W、SP_B和SP_G的发光区域EA_R、EA_W、EA_B和EA_G中。
有机发光层123和第一阴极电极125a可以不被图案化，而是可以在整个显示区域上连续延伸。第一阴极电极125a可以用作共同连接至显示区域的所有有机发光元件120的共同电极。有机发光层123可以包括空穴传输层、发光层和电子传输层的堆叠结构。或者，有机发光层123可以被配置为包括空穴传输层、发光层和电子传输层，以及空穴阻挡层、空穴注入层、电子阻挡层和电子注入层。发光层经由电子和空穴的复合发光，并且可以基于发光层的带隙发射蓝光、绿光、红光或紫外光。或者，发光层可以由复数个发光层的堆叠体构成，并且可以发射白光。在本实施方案中，有机发光层123可以发射白光。
第一阴极电极125a可以使用物理气相沉积工艺例如溅射工艺形成。第一阴极电极125a可以由透明导电材料制成。第一阴极电极125a可以由透明金属氧化物，例如氧化铟锡(ITO)或氧化铟锌(IZO)制成。例如，第一阴极电极125a可以由氧化铟锌(IZO)制成并且可以具有在
Figure BDA0003960902200000101
至/>
Figure BDA0003960902200000102
的范围内(例如/>
Figure BDA0003960902200000103
)的厚度。
参照图3A和图3B，覆盖第一阴极电极125a的阻挡层141和覆盖阻挡层141的掩模层143可以顺序地形成在基板101的整个面上。首先，可以形成阻挡层141以填充发光区域EA_R、EA_W、EA_B和EA_G的空间，并覆盖堤130。阻挡层141可以形成为具有平坦的顶面。随后，可以通过在阻挡层141上施加光刻胶材料形成掩模层143。
阻挡层141可以由其中碳-碳键连续排列成链结构(碳-碳主链)并且在其官能团处包含大量氟(F)的含氟聚合物制成。
根据本公开的一个实例，以下[化学式1]示出了在官能团处包含大量氟(F)的含氟聚合物材料的化学结构式。
[化学式1]
Figure BDA0003960902200000111
如以上[化学式1]所示，根据本公开的用作阻挡层141的材料的含氟聚合物在其官能团处包含大量氟(F)。在官能团处包含大量氟(F)的含氟聚合物具有正交性。
参照图4A和图4B，第一开口OP1和第二开口OP2可以在曝光和显影工艺中形成在掩模层143中。第一开口OP1可以形成在绿色子像素SP_G中。第一开口OP1可以具有比绿色发光区域EA_G的面积尺寸更大的面积尺寸。第二开口OP2可以形成在红色子像素SP_R与白色子像素SP_W之间的边界区域中，以及白色子像素SP_W与蓝色子像素SP_B之间的边界区域中。当掩模层143在随后的剥离工艺中被去除时，第二开口OP2有利于有机溶剂的侵入，从而防止掩模层143残留。第二开口OP2可以在堤130上延伸并且可以连接至第一开口OP1。在一个实施方案中，第一开口OP1和第二开口OP2可以不彼此连接，以及第二开口OP2可以被分为彼此间隔开的复数个开口。
参照图5A和图5B，使用具有第一开口OP1和第二开口OP2的掩模层143作为蚀刻掩模来进行蚀刻工艺。因此，可以去除阻挡层141的通过第一开口OP1和第二开口OP2而暴露的部分。阻挡层141的在第一开口OP1和第二开口OP2下方的部分可以被完全去除以暴露第一阴极电极125a。第一阴极电极125a可以在绿色子像素SP_G中、在红色子像素SP_R与白色子像素SP_W之间的边界区域中、以及在白色子像素SP_W与蓝色子像素SP_B之间的边界区域中暴露。
蚀刻工艺可以为使用基于氟(F)的有机溶剂的湿法蚀刻工艺。各向同性湿法蚀刻工艺可以允许水平蚀刻掉阻挡层141的一部分以形成其中掩模层143水平且向外地突出超过阻挡层141的底切结构。
剥离工艺可以使用基于氟(F)的有机溶剂来执行。基于氟(F)的有机溶剂可以包括其中碳-碳键连续排列成链结构(碳-碳主链)并且在其官能团处包含大量氟(F)的单分子或聚合材料。
以下[化学式2]示出了根据一个实例的基于氟(F)的有机溶剂的化学结构式。
[化学式2]
Figure BDA0003960902200000121
如以上[化学式2]所示，根据本公开的一个实例的基于氟(F)的有机溶剂在官能团处包含大量的氟(F)。在官能团处包含大量氟(F)的基于氟(F)的有机溶剂可以侵入阻挡层141中并选择性地去除阻挡层141，该阻挡层141由在官能团处包含大量氟(F)的含氟聚合物材料制成。
参照图6A和图6B，第二阴极电极125b可以形成在第一阴极电极125a的部分区域上和掩模层143上。第二阴极电极125b可以使用物理气相沉积工艺例如溅射工艺形成。第二阴极电极125b通过掩模层143的第一开口OP1形成在绿色子像素SP_G的第一阴极电极125a上。第二阴极电极125b通过掩模层143的第二开口OP2形成在红色子像素SP_R与白色子像素SP_W之间的边界区域中和蓝色子像素SP_B与白色子像素SP_W之间的边界区域中的第一阴极电极125a上。第二阴极电极125b可以由透明金属氧化物制成，例如氧化铟锡(ITO)或氧化铟锌(IZO)。例如，第二阴极电极125b可以由氧化铟锌(IZO)制成并且可以具有在
Figure BDA0003960902200000122
至
Figure BDA0003960902200000123
Figure BDA0003960902200000124
的范围内(例如/>
Figure BDA0003960902200000125
)的厚度。
设置在绿色子像素SP_G中的第一阴极电极125a和第二阴极电极125b可以构成阴极电极125_G。设置在红色子像素SP_G中的第一阴极电极125a可以构成阴极电极125_R。设置在白色子像素SP_W中的第一阴极电极125a可以构成阴极电极125_W。设置在蓝色子像素SP_B中的第一阴极电极125a可以构成阴极电极125_B。设置在红色子像素SP_R与白色子像素SP_W之间的边界区域和白色子像素SP_W与蓝色子像素SP_B之间的边界区域的每一者中的第一阴极电极125a和第二阴极电极125b可以构成虚拟阴极电极125_S。
再次，参照图1A和图1B，在去除掩模层的剥离工艺中，阻挡图案140可以分别形成在阴极电极125_R、阴极电极125_W和阴极电极125_B上。用于去除掩模层143的剥离工艺可以使用基于氟(F)的有机溶剂来进行。在这点上，可以对将包括掩模层143和在其上形成的阻挡层141的基板101浸入在基于氟的有机溶剂中的浸入时间进行控制，使得阻挡层141不是被完全去除而是保留。因此，阻挡图案140可以形成在阴极电极125_R、阴极电极125_W和阴极电极125_B中的每一者上。
剥离工艺可以使用基于氟(F)的有机溶剂来进行。基于氟(F)的有机溶剂可以包括其中碳-碳键连续排列成链结构(碳-碳主链)并且在其官能团处包含大量氟(F)的单分子或聚合材料。
接下来，可以在基板101上形成覆盖阴极电极125和阻挡图案140的封装层(未示出)。封装层可以由无机绝缘层、有机绝缘层或其堆叠结构构成。封装层可以具有例如三层堆叠结构，例如无机绝缘层/有机绝缘层/无机绝缘层。封装层用于防止湿气、氧气或颗粒进入有机发光显示设备。
然后，可以在封装层上形成滤色器(未示出)。可以在红色子像素SP_R中形成红色滤色器，可以在蓝色子像素SP_B中形成蓝色滤色器，可以在绿色子像素SP_G中形成绿色滤色器。
在上述实施方案中，已经描述了其中设置在绿色子像素SP_G中的阴极电极125_G的厚度大于分别设置在其他子像素的子像素SP_R、SP_W和SP_B中的阴极电极125_R、125_W和125_B的每一者的厚度的实例。然而，在一个实施方案中，设置在绿色子像素SP_G中的阴极电极125_G的厚度和设置在白色子像素SP_W中的阴极电极125_W的厚度中的每一者可以大于分别设置在红色子像素SP_R和蓝色子像素SP_B中的阴极电极125_R和125_B的每一者的厚度。此外，设置在绿色子像素SP_G中的阴极电极125_G的厚度可以等于设置在白色子像素SP_W中的阴极电极125_W的厚度。
在根据本公开的一个实施方案的有机发光显示设备中，设置在绿色子像素SP_G中的阴极电极125_G的厚度和设置在白色子像素SP_W中的阴极电极125_W的厚度中的每一者可以大于分别设置在红色子像素SP_R和蓝色子像素SP_B中的阴极电极125_R和125_B的每一者的厚度，使得可以提高绿色子像素SP_G和白色子像素SP_W中的每一者的发光效率。
已经如上描述了其中每个像素包括4个子像素，例如红色子像素SP_R、白色子像素SP_W、蓝色子像素SP_B和绿色子像素SP_G的有机发光显示设备。然而，本公开不限于此。在一个实施方案中，有机发光显示设备可以不包括白色子像素SP_W，但可以包括红色子像素SP_R、蓝色子像素SP_B和绿色子像素SP_G。
根据本公开的实施方案的显示设备以及制造其的方法可以描述如下。
本公开的第一方面提供了有机发光显示设备，其包括：包括第一子像素、第二子像素、第三子像素和第四子像素的像素；其中第一子像素至第四子像素中的每一者包括有机发光元件，有机发光元件包括阳极电极、设置在阳极电极上的有机发光层和设置在有机发光层上的阴极电极，其中设置在第四子像素中的阴极电极的厚度大于设置在第一子像素至第三子像素的每一者中的阴极电极的厚度。
在第一方面的一个实施方案中，第一子像素发射红光，第二子像素发射白光，第三子像素发射蓝光，第四子像素发射绿光。
在第一方面的一个实施方案中，阴极电极由氧化铟锌(IZP)制成，其中设置在第四子像素中的阴极电极的厚度在
Figure BDA0003960902200000141
至/>
Figure BDA0003960902200000142
的范围内，而设置在第一子像素至第三子像素的每一者中的阴极电极的厚度在/>
Figure BDA0003960902200000143
至/>
Figure BDA0003960902200000144
的范围内。
在第一方面的一个实施方案中，有机发光显示装置还包括覆盖阴极电极并设置在第一子像素至第三子像素的每一者中的阻挡图案。
在第一方面的一个实施方案中，阻挡图案中的每一者由包含大量的氟(F)的含氟聚合物制成。
在第一方面的一个实施方案中，有机发光显示设备还包括设置在第一子像素与第二子像素之间的边界区域和第二子像素与第三子像素之间的边界区域的每一者中的虚拟阴极电极，其中虚拟阴极电极设置在彼此相邻的阻挡图案之间。
在第一方面的一个实施方案中，虚拟阴极电极的厚度等于设置在第四子像素中的阴极电极的厚度。
在第一方面的一个实施方案中，第二子像素的阴极的厚度和第四子像素的阴极的厚度中的每一者大于第一子像素的阴极的厚度和第三子像素的阴极的厚度中的每一者。
本公开的第二方面提供了有机发光显示设备，包括：包括第一子像素、第二子像素和第三子像素的像素，其中第一子像素至第三子像素中的每一者包括有机发光元件，所述有机发光元件包括阳极电极、设置在阳极电极上的有机发光层和设置在有机发光层上的阴极电极，其中有机发光显示设备包括覆盖阴极电极并设置在第一子像素和第二子像素的每一者中的阻挡图案。
在第二方面的一个实施方案中，阻挡图案中的每一者由包含大量的氟(F)的含氟聚合物制成。
在第二方面的一个实施方案中，设置在第三子像素中的阴极电极的厚度大于设置在第一子像素和第二子像素的每一者中的阴极电极的厚度。
在第二方面的一个实施方案中，第一子像素发射红光，第二子像素发射蓝光，第三子像素发射绿光。
在第二方面的一个实施方案中，阴极电极由氧化铟锌(IZO)制成，其中设置在第三子像素中的阴极电极的厚度在
Figure BDA0003960902200000151
至/>
Figure BDA0003960902200000152
的范围内，而设置在第一子像素和第二子像素的每一者中的阴极电极的厚度在/>
Figure BDA0003960902200000153
至/>
Figure BDA0003960902200000154
的范围内。
本公开的第三方面提供了制造有机发光显示设备的方法，所述方法包括：提供基板；在基板上形成复数个阳极电极以使复数个阳极电极分别设置在复数个子像素中；在复数个阳极电极上形成有机发光层；在有机发光层上形成第一阴极电极；在第一阴极电极上形成阻挡层；在阻挡层上形成掩模层；在掩模层中形成第一开口和第二开口，使得第一开口对应于复数个子像素中的一个子像素，并且第二开口中的每一者对应于复数个子像素的剩余子像素的相邻子像素之间的边界区域的每一者；将阻挡层的分别通过第一开口和第二开口而暴露的部分去除，以使第一阴极电极的部分区域暴露；在第一阴极电极的分别通过第一开口和第二开口而暴露的部分区域上形成第二阴极电极。
在第三方面的一个实施方案中，复数个子像素中的所述一个子像素发射绿光。
在第三方面的一个实施方案中，第一阴极电极和第二阴极电极中的每一者由氧化铟锌(IZO)制成，其中第一阴极电极的厚度在
Figure BDA0003960902200000155
至/>
Figure BDA0003960902200000156
的范围内，第二阴极电极的厚度在/>
Figure BDA0003960902200000157
至/>
Figure BDA0003960902200000158
的范围内。
在第三方面的一个实施方案中，阻挡层由包含大量的氟(F)的含氟聚合物制成。
在第三方面的一个实施方案中，所述方法还包括进行剥离工艺以去除掩模层并分别在复数个子像素的剩余子像素中形成阻挡图案。
在第三方面的一个实施方案中，使用基于氟的有机溶剂进行剥离工艺。
本公开的第四方面提供了有机发光显示设备，包括：像素，所述像素包括红色子像素、蓝色子像素和绿色子像素，其中红色子像素、蓝色子像素和绿色子像素中的每一者包括有机发光元件，有机发光元件包括阳极电极、设置在阳极电极上的有机发光层和设置在有机发光层上的阴极电极，其中设置在绿色子像素中的阴极电极的厚度大于设置在红色子像素和蓝色子像素的每一者中的阴极电极的厚度。
在第四方面的一个实施方案中，有机发光显示设备的像素进一步包括白色子像素，白色子像素包括有机发光元件，有机发光元件包括阳极电极、设置在阳极电极上的有机发光层和设置在有机发光层上的阴极电极。
在第四方面的一个实施方案中，设置在绿色子像素中的阴极电极的厚度大于设置在白色子像素中的阴极电极的厚度。
在第四方面的一个实施方案中，设置在绿色子像素中的阴极电极的厚度和设置在白色子像素中的阴极电极的厚度中的每一者大于分别设置在红色子像素和蓝色子像素中的阴极电极的每一者的厚度。
在第四方面的一个实施方案中，设置在绿色子像素中的阴极电极的厚度等于设置在白色子像素中的阴极电极的厚度。
在第四方面的一个实施方案中，设置在绿色子像素中的阴极电极的厚度在
Figure BDA0003960902200000161
至/>
Figure BDA0003960902200000162
的范围内，而设置在红色子像素和蓝色子像素的每一者中的阴极电极的厚度在/>
Figure BDA0003960902200000163
至/>
Figure BDA0003960902200000164
的范围内。
在第四方面的一个实施方案中，有机发光显示设备包括覆盖红色子像素和蓝色子像素中的每一者中的阴极电极的阻挡图案。
在第四方面的一个实施方案中，阻挡层由含氟聚合物制成。
本公开的保护范围应以权利要求的范围来解释，在与其等同范围内的所有技术思想应解释为包含在本公开的范围内。尽管已经参照附图更加详细地描述了本公开的实施方案，但是本公开不一定限于这些实施方案。在不脱离本公开的技术思想的范围内，可以以各种修改方式来实施本公开。因此，本公开中公开的实施方案不是旨在限制本公开的技术思想，而是描述本公开。本公开的技术思想的范围不受实施方案的限制。因此，应当理解，上述实施方案在所有方面是说明性和非限制性的。本公开的保护范围应以权利要求书来解释，在本公开范围内的所有技术思想均应解释为包含在本公开的范围内。

Claims (20)

1.一种有机发光显示设备，包括：
像素，所述像素包括第一子像素、第二子像素、第三子像素和第四子像素；
其中所述第一子像素至所述第四子像素中的每一者包括有机发光元件，所述有机发光元件包括阳极电极、设置在所述阳极电极上的有机发光层和设置在所述有机发光层上的阴极电极，
其中设置在所述第四子像素中的所述阴极电极的厚度大于设置在所述第一子像素至所述第三子像素的每一者中的所述阴极电极的厚度。
2.根据权利要求1所述的有机发光显示设备，其中所述第一子像素发射红光，所述第二子像素发射白光，所述第三子像素发射蓝光，以及所述第四子像素发射绿光。
3.根据权利要求1所述的有机发光显示设备，其中所述阴极电极由氧化铟锌制成，
其中设置在所述第四子像素中的所述阴极电极的厚度在
Figure FDA0003960902190000011
至/>
Figure FDA0003960902190000012
的范围内，而设置在所述第一子像素至所述第三子像素的每一者中的所述阴极电极的厚度在
Figure FDA0003960902190000013
至/>
Figure FDA0003960902190000014
的范围内。
4.根据权利要求1所述的有机发光显示设备，其中所述有机发光显示设备还包括阻挡图案，所述阻挡图案覆盖所述阴极电极并设置在所述第一子像素至所述第三子像素的每一者中。
5.根据权利要求4所述的有机发光显示设备，其中所述阻挡图案的每一者由含氟聚合物制成。
6.根据权利要求4所述的有机发光显示设备，其中所述有机发光显示设备还包括设置在所述第一子像素与所述第二子像素之间的边界区域以及在所述第二子像素与所述第三子像素之间的边界区域的每一者中的虚拟阴极电极，其中所述虚拟阴极电极设置在彼此相邻的所述阻挡图案之间。
7.根据权利要求6所述的有机发光显示设备，其中所述虚拟阴极电极的厚度等于设置在所述第四子像素中的所述阴极电极的厚度。
8.根据权利要求1所述的有机发光显示设备，其中所述第二子像素的所述阴极电极的厚度和所述第四子像素的所述阴极电极的厚度中的每一者大于所述第一子像素的所述阴极电极的厚度和所述第三子像素的所述阴极电极的厚度中的每一者。
9.一种有机发光显示设备，包括：
包括第一子像素、第二子像素和第三子像素的像素，
其中所述第一子像素至所述第三子像素中的每一者包括有机发光元件，所述有机发光元件包括阳极电极、设置在所述阳极电极上的有机发光层和设置在所述有机发光层上的阴极电极，
其中所述有机发光显示设备包括覆盖所述阴极电极并设置在所述第一子像素和所述第二子像素的每一者中的阻挡图案。
10.根据权利要求9所述的有机发光显示设备，其中所述阻挡图案中的每一者由含氟聚合物制成。
11.根据权利要求9所述的有机发光显示设备，其中设置在所述第三子像素中的所述阴极电极的厚度大于设置在所述第一子像素和所述第二子像素的每一者中的所述阴极电极的厚度。
12.根据权利要求9所述的有机发光显示设备，其中所述第一子像素发射红光，所述第二子像素发射蓝光，以及所述第三子像素发射绿光。
13.根据权利要求9所述的有机发光显示设备，其中所述阴极电极由氧化铟锌制成，
其中设置在所述第三子像素中的所述阴极电极的厚度在
Figure FDA0003960902190000021
至/>
Figure FDA0003960902190000022
的范围内，而设置在所述第一子像素和所述第二子像素的每一者中的所述阴极电极的厚度在
Figure FDA0003960902190000023
至/>
Figure FDA0003960902190000024
的范围内。
14.一种有机发光显示设备，包括：
像素，所述像素包括红色子像素、蓝色子像素和绿色子像素；
其中所述红色子像素、蓝色子像素和绿色子像素中的每一者包括有机发光元件，所述有机发光元件包括阳极电极、设置在所述阳极电极上的有机发光层和设置在所述有机发光层上的阴极电极，
其中设置在所述绿色子像素中的所述阴极电极的厚度大于设置在所述红色子像素和所述蓝色子像素的每一者中的所述阴极电极的厚度。
15.根据权利要求14所述的有机发光显示设备，其中所述像素还包括白色子像素，所述白色子像素包括有机发光元件，所述有机发光元件包括阳极电极、设置在所述阳极电极上的有机发光层和设置在所述有机发光层上的阴极电极。
16.根据权利要求15所述的有机发光显示设备，其中设置在所述绿色子像素中的所述阴极电极的厚度大于设置在所述白色子像素中的所述阴极电极的厚度。
17.根据权利要求15所述的有机发光显示设备，其中设置在所述绿色子像素中的所述阴极电极的厚度和设置在所述白色子像素中的所述阴极电极的厚度中的每一者大于分别设置在所述红色子像素和所述蓝色子像素中的所述阴极电极的每一者的厚度。
18.根据权利要求15所述的有机发光显示设备，其中设置在所述绿色子像素中的所述阴极电极的厚度等于设置在所述白色子像素中的所述阴极电极的厚度。
19.根据权利要求14所述的有机发光显示设备，其中设置在所述绿色子像素中的所述阴极电极的厚度在
Figure FDA0003960902190000031
至/>
Figure FDA0003960902190000032
的范围内，而设置在所述红色子像素和所述蓝色子像素的每一者中的所述阴极电极的厚度在/>
Figure FDA0003960902190000033
至/>
Figure FDA0003960902190000034
的范围内。
20.根据权利要求14所述的有机发光显示设备，其中所述有机发光显示设备包括覆盖所述红色子像素和所述蓝色子像素中的每一者中的所述阴极电极的阻挡图案。
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