CN116344410A - 一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法及装置 - Google Patents

一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法及装置 Download PDF

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CN116344410A CN202310471397.1A CN202310471397A CN116344410A CN 116344410 A CN116344410 A CN 116344410A CN 202310471397 A CN202310471397 A CN 202310471397A CN 116344410 A CN116344410 A CN 116344410A
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Abstract

本发明提供一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法及装置，所述方法包括：采集晶圆相对于末端执行器的实时图像；利用图像处理算法提取所述实时图像中的晶圆边缘和末端执行器的叉型搬运部边缘，并得到所述叉型搬运部边缘的暴露长度，据以判断所述晶圆是否发生滑片。本申请有效地解决了现有技术中无法及时检测到晶圆的轻微滑片，易造成碰撞等安全事故，经济损失较大等问题。本申请提供的一种晶圆搬运中滑片的实时检测装置不仅结构简单，且操作方便，能够及时快速地检测出晶圆搬运过程中晶圆滑片的发生与否，避免了晶圆滑片导致的安全事故，减少了经济损失。

Description

一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法及装置
技术领域
本申请涉及半导体技术领域，特别是涉及一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法及装置。
背景技术
芯片制造就是利用薄膜沉积、光刻、刻蚀等工艺在硅片上雕刻复杂电路和电子元器件，同时利用离子注入等技术把需要的部分改造成有源器件。半导体芯片制造流程复杂，生产工序达上千道，制作过程技术要求较高，而不同生产工序之间的晶圆搬运则是采用晶圆搬运机器人完成。在现有的实际工艺中，通常会遇到在晶圆传运过程中，发生中途滑片的安全事故，并且都是在发生事故后才能够触发报警，以使设备自动后知后觉地停机操作。但是，此时所造成的安全事故已经不可挽回，并且会带来极大的成本损失。
造成晶圆搬运时滑片发生的原因主要有两种：第一种，由于真空吸附盘磨损较大，对晶圆的吸附力下降，在晶圆搬运过程中当变向时加速度过快会导致晶圆出现滑动情况；第二种，由于真空泵工作时偶尔不稳定，导致吸附力变化，在晶圆搬运过程中当变向时加速度过快也会导致晶圆出现滑动情况。而现有对晶圆滑片的检测手段较少，通常多采用气压传感器进行检测，一般都是当晶圆发生较大位移的滑片时，造成真空吸附盘暴露，进而导致气压传感器报警。但是轻微的滑片，现有技术手段基于气压传感器无法检测出来；一直到放入晶圆盒时，晶圆的边缘与晶圆盒碰撞才会报警，而此时已经造成了不可挽回的安全事故。
综上所述，现有技术手段无法及时检测到晶圆的轻微滑片，会造成碰撞等安全事故。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本申请的目的在于提供一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法及装置，用于解决现有技术中无法及时检测到晶圆的轻微滑片易造成碰撞等安全事故的技术问题。
为实现上述目的及其他相关目的，本申请的第一方面提供一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法，所述方法包括：采集晶圆相对于末端执行器的实时图像；利用图像处理算法提取所述实时图像中的晶圆边缘和末端执行器的叉型搬运部边缘，并得到所述叉型搬运部边缘的暴露长度，据以判断所述晶圆是否发生滑片。
于本申请的第一方面的一些实施例中，采集晶圆相对于末端执行器的实时图像，具体包括：采集初始取片位置处晶圆相对于末端执行器的初始图像；和/或，采集预备运片位置处晶圆相对于末端执行器的预备图像；实时采集晶圆搬运过程中晶圆相对于末端执行器的中间图像；采集最终放片位置处晶圆相对于末端执行器的最终图像；其中，所述初始取片位置为所述末端执行器从第一晶圆盒内获取晶圆的位置；所述预备运片位置为所述末端执行器将晶圆从第一晶圆盒内搬运至开始搬运时的位置；所述最终放片位置为所述末端执行器将晶圆搬运至第二晶圆盒内后进行放置晶圆的位置；所述实时图像包括所述初始图像、预备图像、中间图像以及最终图像。
于本申请的第一方面的一些实施例中，所述利用图像处理算法提取所述实时图像中的晶圆边缘和末端执行器的叉型搬运部边缘，并得到所述叉型搬运部边缘的暴露长度，具体包括：利用图像处理算法提取所述初始图像和/或所述预备图像中的晶圆边缘和叉型搬运部边缘，并得到所述叉型搬运部边缘的标准暴露长度；利用图像处理算法提取所述中间图像中的晶圆边缘和叉型搬运部边缘，并得到所述叉型搬运部边缘的实时暴露长度；利用图像处理算法提取所述最终图像中的晶圆边缘和叉型搬运部边缘，并得到所述叉型搬运部边缘的最终暴露长度；其中，所述叉型搬运部边缘的暴露长度包括：所述标准暴露长度、所述实时暴露长度及所述最终暴露长度。
于本申请的第一方面的一些实施例中，根据所述叉型搬运部边缘的暴露长度，以判断所述晶圆是否发生滑片，具体包括：计算所述叉型搬运部边缘的实时暴露长度和/或最终暴露长度相对于所述标准暴露长度的变化范围；当所述变化范围不低于预设阈值时，判断晶圆发生滑片；否则，判断晶圆未发生滑片。
于本申请的第一方面的一些实施例中，所述叉型搬运部边缘的暴露长度包括所述叉型搬运部两边的暴露长度；当所述叉型搬运部两边中任意一边的暴露长度的变化范围不低于所述预设阈值时，则判定所述晶圆发生滑片；所述叉型搬运部边缘的实时暴露长度和/或最终暴露长度相对于所述标准暴露长度的变化范围为：所述实时暴露长度与所述标准暴露长度的差值的绝对值，和/或，所述最终暴露长度与所述标准暴露长度的差值的绝对值。
于本申请的第一方面的一些实施例中，所述方法还包括：当检测到晶圆发生滑片时，发出报警信号。
于本申请的第一方面的一些实施例中，所述末端执行器的叉型搬运部上设有吸附部件。
为实现上述目的及其他相关目的，本申请的第二方面提供一种晶圆搬运中滑片的实时检测装置，所述装置包括：晶圆搬运单元，包括末端执行器，所述末端执行器的转轴连接部上设有驱动部件；所述晶圆搬运单元用于从初始取片位置获取晶圆，并向最终放片位置放置晶圆；光学检测单元，设于所述驱动部件上，并与所述末端执行器共同运动；所述光学检测单元用于采集晶圆相对于末端执行器的实时图像；图像处理单元，电性连接所述光学检测单元，用于利用图像处理算法提取所述实时图像中的晶圆边缘和末端执行器的叉型搬运部边缘，并得到所述叉型搬运部边缘的暴露长度，据以判断所述晶圆是否发生滑片；其中，所述图像处理单元输出晶圆状态信号；所述晶圆状态信号包括晶圆滑片信号和晶圆未滑片信号。
于本申请的第二方面的一些实施例中，所述装置还包括：控制单元，电性连接并控制所述驱动部件；所述控制单元还通信连接所述图像处理单元，用于接收所述图像处理单元输出的晶圆状态信号并向外传送指令；其中，当所述控制单元接收到所述晶圆滑片信号时，向外传送报警指令；当所述控制单元接收到所述晶圆未滑片信号时，向外传送正常指令。
于本申请的第二方面的一些实施例中，所述装置还包括：报警单元，电性连接所述控制单元，用于接收所述报警指令以发出报警信号。
综上所述，本申请提供的一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法及装置，具有以下有益效果：本申请有效地解决了现有技术中无法及时检测到晶圆的轻微滑片，易造成碰撞等安全事故，经济损失较大等问题。本申请提供的一种晶圆搬运中滑片的实时检测装置不仅结构简单，且操作方便，能够及时快速地检测出晶圆搬运过程中晶圆滑片的发生与否，避免了晶圆滑片导致的安全事故，减少了经济损失。
附图说明
图1显示为本申请于一实施例中的一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法的流程示意图。
图2A显示为本申请于一实施例中的晶圆相对于末端执行器的实时图像的示意图。
图2B显示为本申请于一实施例中的晶圆相对于末端执行器的实时图像的局部示意图。
图3A、3B、3C、3D、3E分别显示为本申请于一实施例中的晶圆搬运单元依据晶圆搬运轨迹依次处于原始启动位置、初始运片位置、预备运片位置、最终放片位置及预备回归位置处的状态示意图。
图4显示为本申请于一实施例中的一种晶圆搬运中滑片的实时检测装置的部分示意图。
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
需要说明的是，在下述描述中，参考附图，附图描述了本申请的若干实施例。应当理解，还可使用其他实施例，并且可以在不背离本申请的精神和范围的情况下进行机械组成、结构、电气以及操作上的改变。下面的详细描述不应该被认为是限制性的，并且本申请的实施例的范围仅由公布的专利的权利要求书所限定。这里使用的术语仅是为了描述特定实施例，而并非旨在限制本申请。
在通篇说明书中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“固持”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
再者，如同在本文中所使用的，单数形式“一”、“一个”和“该”旨在也包括复数形式，除非上下文中有相反的指示。本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的实施例能够以除了在这里图示或描述的内容以外的顺序实施。应当进一步理解，术语“包含”、“包括”表明存在所述的特征、操作、元件、组件、项目、种类、和/或组，但不排除一个或多个其他特征、操作、元件、组件、项目、种类、和/或组的存在、出现或添加。此处使用的术语“或”和“和/或”被解释为包括性的，或意味着任一个或任何组合。因此，“A、B或C”或者“A、B和/或C”意味着“以下任一个：A；B；C；A和B；A和C；B和C；A、B和C”。仅当元件、功能或操作的组合在某些方式下内在地互相排斥时，才会出现该定义的例外。
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，通过下述实施例并结合附图，对本发明实施例中的技术方案的进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定发明。
为解决现有问题，本申请提出一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法及装置，用于解决现有技术中无法及时检测到晶圆的轻微滑片易造成碰撞等安全事故的技术问题。
如图1所示，展示为本申请于一实施例中的一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法的流程示意图，所述方法包括以下步骤：
步骤S1：采集晶圆相对于末端执行器的实时图像。
于本申请一实施例中，步骤S1具体包括：
a、采集初始取片位置处晶圆相对于末端执行器的初始图像；和/或，采集预备运片位置处晶圆相对于末端执行器的预备图像；
b、实时采集晶圆搬运过程中晶圆相对于末端执行器的中间图像；
c、采集最终放片位置处晶圆相对于末端执行器的最终图像；
其中，所述初始取片位置为所述末端执行器从第一晶圆盒内获取晶圆的位置；所述预备运片位置为所述末端执行器将晶圆从第一晶圆盒内搬运至开始搬运时的位置；所述最终放片位置为所述末端执行器将晶圆搬运至第二晶圆盒内后进行放置晶圆的位置。
所述预备运片位置可以理解为所述末端执行器将晶圆从获取晶圆的第一晶圆盒内搬运至正对第一晶圆盒开口区的第一晶圆盒的外部位置。
具体的，所述实时图像包括所述初始图像、预备图像、中间图像以及最终图像。
于本申请一实施例中，所述末端执行器的叉型搬运部上设有吸附部件。
本申请以吸附式末端执行器为例进行晶圆滑片的说明，并不仅限于此。
如图2A所示，展示为本申请于一实施例中的晶圆相对于末端执行器的实时图像的示意图。其中，所述末端执行器100包括叉型搬运部110和转轴连接部120；所述叉型搬运部110上设有吸附部件111，用于吸附晶圆200以实现对晶圆的搬运移动。
另外，本申请也可仅采集固定位置(例如：初始取片位置、预备运片位置、最终放片位置中任意一者或多者的组合)处的实时图像以进行分析，减少对搬运过程中的采集与分析，可以提高晶圆滑片的检测效率。
如图3A、3B、3C、3D、3E所示，分别展示为本申请于一实施例中的晶圆搬运单元依据晶圆搬运轨迹依次处于原始启动位置、初始运片位置、预备运片位置、最终放片位置及预备回归位置处的状态示意图。
本申请以图中下方四个晶圆盒为获取晶圆的位置，图中上方两个晶圆盒为放置晶圆的位置，即晶圆从图中下方搬运至上方为例进行说明。其中，图3A中的晶圆搬运单元310处于原始启动位置，此时末端执行器100与移动组件311处于重叠位置；图3B中的末端执行器100在移动组件311的带动下伸展至初始运片位置处，且所述末端执行器100的中轴线与晶圆200所在中心线重合，以获取晶圆；图3C中的末端执行器100在移动组件311的带动下从晶圆盒内的初始运片位置处沿着晶圆200所在中心线移动至预备运片位置处，以开始进行晶圆搬运；图3D中的末端执行器100在移动组件311的带动下转动至最终放片位置处，且所述末端执行器100的中轴线与晶圆200所在中心线重合，以放置晶圆；图3E中的末端执行器100在移动组件311的带动下从晶圆盒内的最终放片位置处沿着晶圆200所在中心线移动至预备回归位置处，以开始进行下一次的晶圆搬运或者回到原始启动位置。
需说明的是，所述初始取片位置为末端执行器100移动至晶圆盒内获取晶圆且所述末端执行器100的中轴线与晶圆200所在中心线重合的位置；所述预备运片位置为末端执行器100沿晶圆200所在中心线携带晶圆200移出晶圆盒至正对晶圆盒出口处的位置；所述最终放片位置为末端执行器100转动至晶圆盒内放置晶圆且所述末端执行器100的中轴线与晶圆200所在中心线重合的位置；所述预备回归位置为末端执行器100沿晶圆200所在中心线移出晶圆盒至正对晶圆盒出口处的位置。
步骤S2：利用图像处理算法提取所述实时图像中的晶圆边缘和末端执行器的叉型搬运部边缘，并得到所述叉型搬运部边缘的暴露长度，据以判断所述晶圆是否发生滑片。
需说明的是，结合图2A可知，所述叉型搬运部边缘的暴露长度是指所述叉型搬运部边缘的两边相对于晶圆边缘的暴露长度，如d1、d2所对应长度。
另外，本申请还可利用图像处理算法提取所述实时图像中的晶圆边缘和末端执行器的叉型搬运部边缘及转轴连接部边缘，通过计算所述晶圆边缘的圆弧部分相对所述叉型搬运部边缘和转轴连接部边缘的相接直线处的位移，据以判定所述晶圆是否发生滑片。结合图2B所示，以所述晶圆200边缘和所述叉型搬运部110边缘在一侧的相交点为起点，以预设长度为间隔长度设置多个预设定点，计算多个预设定点到所述叉型搬运部边缘和转轴连接部边缘的相接直线处的对应的多个实时垂直距离；将多个实时垂直距离与多个标准垂直距离进行比较以判定所述晶圆200是否发生滑片。其中，当多个实时垂直距离中有任意一个实时垂直距离与对应的标准垂直距离的差值超过预设范围时，则判断晶圆发生滑片；否则，判断晶圆未发生滑片。其中，所述标准垂直距离为所述晶圆处于标准状态即未发生滑片时，晶圆边缘上多个预设定点到到所述叉型搬运部边缘和转轴连接部边缘的相接直线处的对应的多个标准垂直距离。
例如，以所述晶圆200边缘和所述叉型搬运部110边缘相交的左侧交点为第一预设定点，预设长度为5～10mm，在所述晶圆边缘的圆弧段确定6～10个预设定点，进而计算其到叉型搬运部边缘和转轴连接部边缘的相接直线处的对应的多个实时垂直距离，以判定晶圆滑片与否。
于本申请一实施例中，所述利用图像处理算法提取所述实时图像中的晶圆边缘和末端执行器的叉型搬运部边缘，并得到所述叉型搬运部边缘的暴露长度，具体包括：
1)利用图像处理算法提取所述初始图像和/或所述预备图像中的晶圆边缘和叉型搬运部边缘，并得到所述叉型搬运部边缘的标准暴露长度；
需说明的是，由于末端执行器将晶圆从第一晶圆盒内的初始取片位置搬运至第一晶圆盒外的预备运片位置时，晶圆发生滑片的概率极低，所以可以选择两处位置中的任意一处实时图像以进行所述叉型搬运部边缘的标准暴露长度的计算。
2)利用图像处理算法提取所述中间图像中的晶圆边缘和叉型搬运部边缘，并得到所述叉型搬运部边缘的实时暴露长度；
3)利用图像处理算法提取所述最终图像中的晶圆边缘和叉型搬运部边缘，并得到所述叉型搬运部边缘的最终暴露长度；
其中，所述叉型搬运部边缘的暴露长度包括：所述标准暴露长度、所述实时暴露长度及所述最终暴露长度中任意一种或多种组合。
于本申请一实施例中，根据所述叉型搬运部边缘的暴露长度，以判断所述晶圆是否发生滑片，具体包括：
a、计算所述叉型搬运部边缘的实时暴露长度和/或最终暴露长度相对于所述标准暴露长度的变化范围；
需说明的是，所述叉型搬运部边缘的暴露长度包括所述叉型搬运部两边的暴露长度，如图2A所示，d1、d2分别表示所述叉型搬运部两边的暴露长度；当所述叉型搬运部两边中任意一边的暴露长度的变化范围不低于所述预设阈值时，则判定所述晶圆发生滑片。
所述叉型搬运部边缘的实时暴露长度和/或最终暴露长度相对于所述标准暴露长度的变化范围为：所述实时暴露长度与所述标准暴露长度的差值的绝对值，和/或，所述最终暴露长度与所述标准暴露长度的差值的绝对值。
b、当所述变化范围不低于预设阈值时，判断晶圆发生滑片；否则，判断晶圆未发生滑片。
例如，当所述实时暴露长度与所述标准暴露长度的差值的绝对值≥预设阈值时，和/或，当所述最终暴露长度与所述标准暴露长度的差值的绝对值≥预设阈值时，判断晶圆发生滑片；否则，判断晶圆未发生滑片。
于本申请一实施例中，所述方法还包括：当检测到晶圆发生滑片时，发出报警信号。
综上所述，本申请提供是一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法，基于机器视觉的识别能力和待检测的偏差值，将所述预设阈值设为1mm，不仅可以提高晶圆搬运过程中滑片检测的实时性和准确度；而且可以解决现有技术中较难识别到晶圆的轻微滑片的问题。另外，本申请在检测到晶圆发生轻微滑片时，可以及时发出报警信号以避免造成碰撞等安全事故，可以减少不必要的经济损失。
如图4所示，展示为本申请于一实施例中的一种晶圆搬运中滑片的实时检测装置的结构示意图。所述一种晶圆搬运中滑片的实时检测装置包括：
晶圆搬运单元310，包括末端执行器100，所述末端执行器100的转轴连接部120上设有驱动部件121；所述晶圆搬运单元310用于从初始取片位置获取晶圆200，并向最终放片位置放置晶圆200；
其中，所述晶圆搬运单元310还包括移动组件311，所述移动组件311和所述末端执行器100的转轴连接部120转动连接，据以实现所述移动组件311在控制单元的控制下驱动所述末端执行器100运动。所述驱动部件121优选转轴电机。
光学检测单元320，设于所述驱动部件121上，并与所述末端执行器100共同运动；所述光学检测单元320用于采集晶圆200相对于末端执行器100的实时图像；
需说明的是，所述光学检测单元320包括光学传感器，可以是CCD图像传感器、CMOS图像传感器及CIS图像传感器中任意一种。所述光学检测单元320与所述末端执行器100所在水平线有一定的倾斜角度。所述光学检测单元320采集图像的视角与所述末端执行器100的叉型搬运部110的操作视角相同，两者在所述驱动部件121的驱动下共同运动，实现对晶圆精准搬运与自动化操作的同时，具有更高的操作效率。所述光学检测单元320可快速检测出处于异常位置的晶圆，检测效率更高、实时性更强，可以避免进一步的安全事故。
图像处理单元(未图示)，电性连接所述光学检测单元，用于利用图像处理算法提取所述实时图像中的晶圆边缘和末端执行器的叉型搬运部边缘，并得到所述叉型搬运部边缘的暴露长度，据以判断所述晶圆是否发生滑片；
其中，所述图像处理单元输出晶圆状态信号；所述晶圆状态信号包括晶圆滑片信号和晶圆未滑片信号。
所述图像处理单元能够接收所述光学检测单元320采集的实时图像，并利用图像处理算法提取所述实时图像中的晶圆边缘和末端执行器100的叉型搬运部边缘，根据所述叉型搬运部边缘的暴露长度，据以判断所述晶圆200是否发生滑片。所述图像处理单元可以是处理器等常规结构。
于本申请一实施例中，所述一种晶圆搬运中滑片的实时检测装置还包括：控制单元(未图示)，电性连接并控制所述驱动部件121；所述控制单元还通信连接所述图像处理单元，用于接收所述图像处理单元输出的晶圆状态信号并向外传送指令；其中，
当所述控制单元接收到所述晶圆滑片信号时，向外传送报警指令；
当所述控制单元接收到所述晶圆未滑片信号时，向外传送正常指令。
需说明的是，所述正常指令是指所述装置按照正常流程继续执行对应操作。
于本申请一实施例中，所述一种晶圆搬运中滑片的实时检测装置还包括：报警单元(未图示)，电性连接所述控制单元，用于接收所述报警指令以发出报警信号。
需说明的是，本申请提供的一种晶圆搬运中滑片的实时检测装置，可以对获取晶圆之前或放置晶圆之后的晶圆相对于末端执行器的位置进行分析，对采集到的晶圆相对于末端执行器的实时图像通过图像处理算法进行分析，以及时判断所述晶圆是否发生滑片，可及时避免碰撞等安全事故的发生。
综上所述，本申请一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法及装置，所述方法包括：采集晶圆相对于末端执行器的实时图像；利用图像处理算法提取所述实时图像中的晶圆边缘和末端执行器的叉型搬运部边缘，并得到所述叉型搬运部边缘的暴露长度，据以判断所述晶圆是否发生滑片。本申请有效地解决了现有技术中无法及时检测到晶圆的轻微滑片，易造成碰撞等安全事故，经济损失较大等问题。本申请提供的一种晶圆搬运中滑片的实时检测装置不仅结构简单，且操作方便，能够及时快速地检测出晶圆搬运过程中晶圆滑片的发生与否，避免了晶圆滑片导致的安全事故，减少了经济损失
本申请有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。

Claims (10)

1.一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法，其特征在于，所述方法包括：
采集晶圆相对于末端执行器的实时图像；
利用图像处理算法提取所述实时图像中的晶圆边缘和末端执行器的叉型搬运部边缘，并得到所述叉型搬运部边缘的暴露长度，据以判断所述晶圆是否发生滑片。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法，其特征在于，所述采集晶圆相对于末端执行器的实时图像，具体包括：
采集初始取片位置处晶圆相对于末端执行器的初始图像；和/或，采集预备运片位置处晶圆相对于末端执行器的预备图像；
实时采集晶圆搬运过程中晶圆相对于末端执行器的中间图像；
采集最终放片位置处晶圆相对于末端执行器的最终图像；
其中，所述初始取片位置为所述末端执行器从第一晶圆盒内获取晶圆的位置；所述预备运片位置为所述末端执行器将晶圆从第一晶圆盒内搬运至开始搬运时的位置；所述最终放片位置为所述末端执行器将晶圆搬运至第二晶圆盒内后进行放置晶圆的位置；
所述实时图像包括所述初始图像、预备图像、中间图像以及最终图像。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法，其特征在于，所述利用图像处理算法提取所述实时图像中的晶圆边缘和末端执行器的叉型搬运部边缘，并得到所述叉型搬运部边缘的暴露长度，具体包括：
利用图像处理算法提取所述初始图像和/或所述预备图像中的晶圆边缘和叉型搬运部边缘，并得到所述叉型搬运部边缘的标准暴露长度；
利用图像处理算法提取所述中间图像中的晶圆边缘和叉型搬运部边缘，并得到所述叉型搬运部边缘的实时暴露长度；
利用图像处理算法提取所述最终图像中的晶圆边缘和叉型搬运部边缘，并得到所述叉型搬运部边缘的最终暴露长度；
其中，所述叉型搬运部边缘的暴露长度包括：所述标准暴露长度、所述实时暴露长度及所述最终暴露长度。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法，其特征在于，根据所述叉型搬运部边缘的暴露长度，以判断所述晶圆是否发生滑片，具体包括：
计算所述叉型搬运部边缘的实时暴露长度和/或最终暴露长度相对于所述标准暴露长度的变化范围；
当所述变化范围不低于预设阈值时，判断晶圆发生滑片；否则，判断晶圆未发生滑片。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法，其特征在于，所述叉型搬运部边缘的暴露长度包括所述叉型搬运部两边的暴露长度；
当所述叉型搬运部两边中任意一边的暴露长度的变化范围不低于所述预设阈值时，则判定所述晶圆发生滑片；
所述叉型搬运部边缘的实时暴露长度和/或最终暴露长度相对于所述标准暴露长度的变化范围为：所述实时暴露长度与所述标准暴露长度的差值的绝对值，和/或，所述最终暴露长度与所述标准暴露长度的差值的绝对值。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法，其特征在于，所述方法还包括：当检测到晶圆发生滑片时，发出报警信号。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法，其特征在于，所述末端执行器的叉型搬运部上设有吸附部件。
8.一种晶圆搬运中滑片的实时检测装置，其特征在于，所述装置包括：
晶圆搬运单元，包括末端执行器，所述末端执行器的转轴连接部上设有驱动部件；所述晶圆搬运单元用于从初始取片位置获取晶圆，并向最终放片位置放置晶圆；
光学检测单元，设于所述驱动部件上，并与所述末端执行器共同运动；所述光学检测单元用于采集晶圆相对于末端执行器的实时图像；
图像处理单元，电性连接所述光学检测单元，用于利用图像处理算法提取所述实时图像中的晶圆边缘和末端执行器的叉型搬运部边缘，并得到所述叉型搬运部边缘的暴露长度，据以判断所述晶圆是否发生滑片；
其中，所述图像处理单元输出晶圆状态信号；所述晶圆状态信号包括晶圆滑片信号和晶圆未滑片信号。
9.根据权利要求8所述的一种晶圆搬运中滑片的实时检测装置，其特征在于，所述装置还包括：控制单元，电性连接并控制所述驱动部件；所述控制单元还通信连接所述图像处理单元，用于接收所述图像处理单元输出的晶圆状态信号并向外传送指令；其中，当所述控制单元接收到所述晶圆滑片信号时，向外传送报警指令；
当所述控制单元接收到所述晶圆未滑片信号时，向外传送正常指令。
10.根据权利要求9所述的一种晶圆搬运中滑片的实时检测装置，其特征在于，所述装置还包括：报警单元，电性连接所述控制单元，用于接收所述报警指令以发出报警信号。
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