CN116324552A - 光纤单元、具有此光纤单元的激光系统以及评估有用光耦合输入到此光纤单元中的耦合输入品质的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种光纤单元(5)，该光纤单元具有：光纤(13)，该光纤具有设置用于引导有用光通过该光纤(13)的光引导区域(15)、以及在作为一个光纤端(17，19)的耦合输入端(21)处具有第一光纤端面(25)和在作为另一光纤端(17，19)的耦合输出端(33)处具有第二光纤端面(27)，该第一光纤端面用于将激光耦合输入到该光引导区域(15)中，该第二光纤端面用于将激光从该光引导区域(15)耦合输出，其中，在选自该耦合输入端(21)和该耦合输出端(23)中的第一光纤端(17，19)处，第一端件(29)如此布置，使得激光能穿过该第一端件(29)被耦合输入到该光引导区域(15)中或从该光引导区域(15)耦合输出。在此，设置，该第一端件(19)具有反射元件(11)，该反射元件设置用于将沿着传播方向传播通过该光引导区域(15)的有用光的部分从该传播方向偏转。

Description

光纤单元、具有此光纤单元的激光系统以及评估有用光耦合 输入到此光纤单元中的耦合输入品质的方法
技术领域
本发明涉及一种光纤单元、一种具有这种光纤单元的激光系统、以及一种用于评估有用光耦合输入到这种光纤单元中的耦合输入品质的方法。
背景技术
本文讨论的这种类型的光纤单元具有光纤，该光纤具有用于引导有用光通过光纤的光引导区域、以及在称为耦合输入端的光纤端处具有用于将激光耦合输入到光引导区域中的第一光纤端面。在称为耦合输出端的光纤端处，光纤单元具有用于将激光从光引导区域耦合输出的第二光纤端面。在选自耦合输入端和耦合输出端中的第一光纤端处，如此布置第一端件，使得激光可以穿过该第一端件耦合输入到光引导区域中或从光引导区域耦合输出。
在这种光纤单元的情况下，原则上要求通过耦合输入端以尽可能高的射束质量和尽可能低的损耗将激光耦合输入到光纤单元中。在此，耦合输入的耦合输入品质被证明难以被适当地评估、尤其是监测。已经提出通过检测从光纤单元侧向出现的泄漏光来监测耦合输入品质。然而，在此通常会形成功率高原(Leistungsplateau)，使得即使射束质量很差时，检测器处仍测量到高功率。这阻碍了耦合输入的最佳调整。还已经提出，在光纤单元具有光纤包层的情况下，检测在光纤包层中传播的包层光。然而，这也不允许对耦合输入品质的最佳评估，而且仅当耦合输入到光纤单元中的激光具有在光纤包层中传播的更高模式时才是合适的。
发明内容
本发明的任务在于提供一种光纤单元、一种具有这种光纤单元的激光系统、以及一种用于评估有用光耦合输入到光纤单元中的耦合输入品质的方法，其中，所提及的缺点至少被减轻、优选地被避免。
该任务通过所提供的本技术教导来实现，尤其是独立权利要求的教导以及从属权利要求和说明书中披露的实施例的技术教导来实现。
该任务尤其通过一种光纤单元来实现，该光纤单元如此开发，使得第一端件具有反射元件，该反射元件设置用于将沿传播方向传播通过光引导区域的有用光的部分从传播方向偏转。以这种方式可以对耦合输入品质进行稳定且可再现的评估，因而尤其可以确保有用光的受调节的功率以及恒定的射束质量。尤其避免了功率高原的形成，因而相应的测量实际上也对射束质量敏感。
光纤端面在此应理解为尤其是指假想的或物理的面，其在其最长延伸方向、即其纵向方向中界定光纤，该最长延伸方向尤其与在光纤中传播的有用光的传播方向重合。光纤端面也可以是由多个端面构成的一种端面排列的部分面。在优选构型中，光纤端面是光纤端棱面。
传播方向尤其是激光从激光辐射源出发而传播所沿的方向。表述“在传播方向上在元件前方”是指在传播方向上传播的有用光的光子在该表述所涉及的元件之前的时刻所经过的位置。相应地，表述“在传播方向上在元件后方”是指在传播方向上传播的光子在所涉及的元件之后的时刻所经过的位置。
端件尤其与所分配的光纤端连接，尤其是固定在光纤端上，优选地通过焊接或粘接。
有用光在此尤其应理解为按预期
Figure BDA0004165614240000021
在从激光辐射源前进穿过光引导区域直至光目标位置的预确定的射束路径上传播的光。在此，光目标位置尤其是有用光按预期被应用的位置，例如以激光照射在工件上或照射在工件处、例如焊接或切割。有用光尤其是这样的光，其按预期沿着传播方向传播穿过光引导区域。有用光尤其是在不受干扰的传播的情况下将穿过光引导区域的所有光子或光线的总和，而不管它们在传播方向上是仍布置在光引导区域的前方、在光引导区域中还是在光引导区域的后方和/或分叉。因此，对于将光鉴定为有用光的部分而言，光是否已经真正穿过光引导区域是无关紧要的；相反，例如，如果光没有通过反射元件偏转，光将按预期穿过光引导区域，就足够了。有用光尤其的部分可以在传播方向上在光引导区域的前方或光引导区域的后方被偏转。有用光尤其是这样的光：在光纤单元被用于激光加工机中的情况下，该光尤其从激光加工机的激光辐射源出发而沿着穿过光引导区域的射束路径传播到作为光目标位置的工件。有用光尤其不是包层光也不是泄漏光。
根据本发明的一种扩展方案设置，光纤具有包层区域(Mantelbereich)，所述包层区域在周向方向上围绕光引导区域。光引导区域尤其是光纤包层、或光纤包层的部分。这样的包层区域可以有利地增加光纤内的光引导效率。尤其取决于耦合输入到光纤中的激光的模式，在包层区域中可能出现包层光。重要的是，无论包层区域中是否出现包层光，根据这里提出的教导，用于评估耦合输入品质的不是包层光，而是传播穿过光引导区域的有用光部分。
根据本发明的一种扩展方案设置，在选自耦合输出端和耦合输入端中的第二光纤端处如此布置有第二端件，使得激光可以穿过第二端件耦合输入到光引导区域中或从光引导区域耦合输出。在此，第二光纤端不同于第一光纤端。换句话说，例如，如果第一光纤端是耦合输出端，则第二光纤端是耦合输入端，反之亦然。根据此处提出的扩展方案，光纤因此有利地在两个光纤端部处均具有相应的端件。使得，取决于端件的构型，改进了光纤关于激光的耦合输入和耦合输出和/或光纤与其他元件的机械连接的可用性。
根据本发明的一种扩展方案设置，第一端件布置在耦合输出端处。反射元件设置用于将有用光的反射与传播方向相反地耦合输入返回到光引导区域中。因此在光纤的光纤输出端处产生反射，该反射再次耦合输入到光纤中、在光纤中与传播方向相反地返回、并且最终可以在空间上在传播方向上在光纤耦合输入的前方作为背向反射被测量。所述背向反射然后可以有利地用于在功率方面调整耦合输入。在此，有利的是在耦合返回的光的功率测量期间不形成功率高原。因此可以以非常高的准确度可再现地确定耦合输入品质。该测量尤其对于变差的射束质量也敏感。
这种背向反射的检测有利地使得有可能尤其通过纯无源准直模块来实现用于优化耦合输入状态的调整模式、通过背向反射间接地对预期的耦合输出激光模式进行模式监测、以及通过测量背向反射来进行激光功率调节。
替代地，优选设置，第一端件布置在耦合输入端处，其中反射元件设置用于将有用光的反射以第一确定的角度从有用光的射束轴偏转。在这种情况下，相应地在光纤输入端处产生反射；反射尤其因此不耦合输入到光引导区域中。因此，这种构型对于反射元件的高准确度定位不太敏感，但是进而对于检测耦合输入品质也不太敏感。然而，通过这种构型，可以高精度地且可再现地检测耦合输入品质，同时也避免了功率高原的形成。
根据另一种优选的构型设置，第一端件布置在耦合输出端处，其中第一反射元件设置用于将有用光的反射与传播方向相反地耦合输入返回到光引导区域中。第二端件布置在耦合输入端处并且具有另外的第二反射元件，其中该另外的反射元件设置用于将有用光的反射以第一确定的角度从有用光的射束轴偏转。这种构型结合了上述两种构型并且因此有利地使得耦合输入品质的尤其全面且准确的评估成为可能。如果还附加地设置有测量反射元件，或者如果第二反射元件充当测量反射元件，其中测量反射元件设置用于，将通过光引导区域引导返回的光从该有用光的射束路径以第二确定的角度引导离开、尤其到测量装置的方向中，有利地也可以附加地实施过程监测，如下所述。在优选的构型中，通过光引导区域引导返回并被测量反射元件引导离开的光是过程光，这允许对使用有用光执行的工作过程进行评估；然而，被引导返回的光替代地或附加地也可以是第一反射元件的反射，于是使得其引导离开到测量仪器被有利地集成到光纤单元中。“引导离开(Wegleiten)”尤其应理解为——尤其是在部分透明的转向元件或测量反射元件的情况下并且取决于有用光的未受干扰的射束路径——“透射”或“偏转”。
根据本发明的一种扩展方案设置，第一端件布置在耦合输出端处，其中反射元件设置用于将有用光的反射与传播方向相反地耦合输入返回到光引导区域中。第二端件布置在耦合输入端并且具有测量反射元件，该测量反射元件设置用于将有用光的反射以第二确定的角度从有用光的射束轴偏转到尤其测量装置的方向中，所述反射通过光引导区域引导返回。为了能够检测有用光的反射(所述反射通过光引导区域引导返回)，为了评估耦合输入品质，所述反射必须被引导到测量装置上。在此处描述的构型的情况下，这种偏转以测量反射元件的形式有利地集成到光纤单元本身中，因此不需要另外的、附加地的光学结构，例如镜或类似物。此外，该测量反射元件可以有利地在光纤单元的出厂状态下被固定地且稳定地调整，使得光纤单元可以尤其简单地用于耦合输入品质的评估，而无需附加地的调整开销。
然而，测量反射元件替代地或附加地还可以有利地用于实施对利用有用光执行的工作过程的过程监测。在此，尤其入射的光功率与返回的光功率的比率可以用作对于过程的反应的度量。测量反射元件然后有利地设置用于将通过光引导区域引导返回的过程光引导离开，尤其到测量装置的方向中。
根据本发明的一种扩展方案设置，第一端件具有用于对有用光进行射束整形的光学射束整形元件，其中在第一端件处除了光学射束整形元件之外还布置了反射元件。这样的射束整形元件例如可以是透镜、尤其是准直透镜或发散透镜，衍射光学元件，波片，轴棱镜或楔形件。因此，在此处提出的构型的情况下，不使用射束整形元件的背向反射，而是提供单独的反射元件，尤其是专门为了产生背向反射而设置的。射束整形元件通常具有高品质的抗反射涂层。相反，反射元件优选地至少在一个面上具有品质降低的抗反射涂层，以便能够将比射束整形元件更大比例的有用光反射回去。
根据本发明的一种扩展方案设置，反射元件不可拆解地
Figure BDA0004165614240000051
固定在第一端件处。因此可以确保用于耦合输入品质的可再现评估的稳定构造。反射元件特别优选单件式地(monolithisch)、尤其是热稳定地与第一端件连接。反射元件尤其以失调稳定地、即尤其稳定地防止失调与第一端件连接。此处通过反射元件和第一端件所实施的内容优选地经过必要修正后也适用于第二端件和另外的第二反射元件。不可拆解的固定优选是通过焊接或粘接、尤其是激光焊接、尤其是超短脉冲玻璃焊接来实现。优选地，不可拆解的连接是水密和/或气密的。
在优选构型中，反射元件以通过紧固管介导的方式固定在端件处。反射元件尤其可以通过球锥连接与紧固管连接。在此，紧固管优选地具有圆锥形内面，其中反射元件具有球段形外面，反射元件通过该外面支承在紧固管的圆锥形内面上。以这种方式，反射元件可以在固定之前相对于紧固管定向，尤其调整。紧固管优选是玻璃管。
根据本发明的一种扩展方案设置，反射元件构造为选自由以下组成的组的元件：平面平行板、窗和射束整形元件。射束整形元件优选地尤其是透镜、尤其是准直透镜或耦合输出透镜或发散透镜，衍射光学元件，波片，轴棱镜或楔形件。如果反射元件是平面平行板或窗，则优选地附加于射束整形元件设置该反射元件。如果反射元件是射束整形元件，则在有利的构型中，产生背向反射的功能尤其可以由无论如何都会设置的射束整形元件伴随地执行。光纤单元因此可以构造得尤其紧凑。
根据本发明的一种扩展方案设置，光纤构造为具有空芯的光子晶体光纤(HollowCore Photonic Crystal Fiber，HC-PCF)。替代地，光纤优选构造为光子带隙光纤。替代地，光纤优选构造为抗谐振光纤(抗谐振耦合光纤)。尤其光纤优选构造为管状光纤。替代地，光纤优选构造为抑制耦合光纤，尤其是Kagomé光纤。这种光纤尤其适用于引导超短脉冲，因此适用于超短脉冲应用，比如超短脉冲焊接。优选地，同时，反射元件不可拆解地、尤其是单件式地、尤其是热稳定地固定在端件处。
特别优选的是以下光纤单元构型，其中光纤构造成空芯光纤，其中同时，反射元件不可拆解地、尤其是单件式地、尤其是热稳定地固定在端件处。
根据本发明的一种扩展方案设置，选自第一端件和第二端件中的至少一个端件构造为端盖。在优选构型中，端件构造为空心的端盖。这种构型与构造为空芯光纤的光纤或某种适用于超短脉冲应用的其他光纤相结合是尤其有利的，因为空心的端盖于是可以用于将非常高的激光强度耦合输入到光引导区域中而没有损害或甚至破坏的风险。这样的端盖(Endkappe)优选是玻璃元件，在空心的端盖的情况下是空心的玻璃元件，尤其是玻璃管，优选地具有由玻璃制成的端面的盖板，该玻璃元件优选地与同样具有玻璃或由玻璃组成的光纤连接、尤其是内聚性连接、优选焊接或粘接、特别优选地超短脉冲玻璃焊接。端盖尤其可以构造为套圈。在优选的构型中，端件也可以构造为具有补充件的端盖。在此，也对实际的端盖施加或对端盖装配补充件，其中该补充件具有或承载该反射元件。该补充件尤其可以是管，尤其是玻璃管。在优选的构型中，补充件内聚性与端盖连接，尤其是通过焊接或粘接，特别优选地通过超短脉冲玻璃焊接。
替代地，端件可以优选地构造为插头，尤其是光纤插头或光纤插头连接器、或者LLK插头或LLK插头连接器。这构成了光纤单元的尤其紧凑的构型。
根据本发明的一种扩展方案设置，反射元件在关于有用光的传播方向在前面的端面处设置有具有第一反射率的第一抗反射涂层。反射元件在关于有用光的传播方向在后面的端面处设置有具有第二反射率的第二抗反射涂层。第一反射率大于第二反射率。因此，一方面可以有利地产生足够强而能控制耦合输入的背向反射，但同时另一方面可以防止反射元件具有总体不必要地低的透射率并且因此不利地衰减有用光。换言之，在有利的构型中，尤其实现了一方面产生有意义的背向反射与另一方面以尽可能小的衰减透射有用光之间的权衡。根据一种优选构型设置，前端面处的反射率尤其与通常使用的抗反射涂层相比增加，以便产生所定义的、可用于对耦合输入品质进行有意义的测量的背向反射。相反，在后端面处，反射元件优选地具有通常用于抗反射涂层的反射率，因而有利地使功率损失最小化，尤其是避免了不必要的功率损失。优选地，第一反射率为至少0.1％到至多2％，优选至少0.3％到至多2％，优选至少0.1％到至多1％，优选至少0.5％到至多1％，优选至少0.1％到至多0.5％。第二反射率优选至多0.2％，优选至多0.1％。
该任务还通过提供一种具有设置用于发射有用光的激光辐射源的激光系统来实现。该激光系统另外具有根据本发明的光纤单元或根据上述实施例之一的光纤单元。该激光系统还具有设置用于将有用光耦合输入到光纤单元中的耦合装置。该激光系统还具有测量装置，该测量装置设置用于检测有用光的被反射元件偏转的部分。尤其结合激光系统实现了已经结合该光纤单元解释的优点。尤其借助于检测有用光的被反射元件偏转的部分的测量装置，可以可再现地并且稳定地检测耦合输入品质，尤其还考虑射束质量，尤其不形成功率高原。
相应地，在优选构型中，测量装置设置用于基于有用光的所检测的部分来评估有用光耦合输入到光纤单元中的耦合输入品质。尤其由此实现已经描述的这些优点。
测量装置优选地具有光测量装置，该光测量装置设置用于检测有用光的所检测的部分的光功率和/或模式轮廓(Modenprofil)、和/或与以下角度的角度偏差：有用光的所检测的部分的射束路径按预期应与传播方向包围所述预确定的角度。
尤其如果反射元件布置在耦合输出端处，使得有用光的反射与传播方向相反地耦合输入返回到光引导区域中并且随后在光纤输入端的前方被光测量装置检测，则该光测量装置优选地设置用于检测该反射的光功率和/或模式轮廓。尤其可以以此方式实现用于优化耦合输入状态的调整模式、模式监测和/或激光功率调节。反射元件优选地如此布置、尤其优选地牢固且稳定地固定、尤其单件式地固定在耦合输出端处，使得反射被精确地耦合输入到光引导区域中，使得反射再次通过光纤传输回到耦合输入端。借助于对反射的测量，尤其耦合输入然后可以被调整，优选地被优化。
尤其如果反射元件被布置在耦合输入端处并且因此反射在光纤的前方产生且不通过光纤返回，则光测量装置优选地设置用于检测与预确定的角度的角度偏差，其中，有用光的所检测的部分的射束路径按预期应与传播方向包围该预确定的角度。在此假定，在耦合输入被正确调整并且反射元件固定地、稳定地、尤其是单件式地布置在耦合输入端处的情况下，将产生其扩展方向(即射束路径)相对于传播方向具有明确定义角度的反射。如果耦合输入是不调整的，则出现与该预确定的、明确定义的角度的角度偏差，使得可以基于检测此角度偏差来评估耦合输入品质。
光测量装置优选地构造为摄像机。这允许准确测量摄像机图像平面中的反射位置。
替代地，光测量装置优选地构造为光电二极管，优选地具有设置在前方的光阑，或者构造为象限二极管。以这种方式，可以非常准确地评估反射的位置并且因此评估耦合输入品质——尤其是在合适的情况下，比使用摄像机更成本有利。
如果反射元件布置在耦合输出端处并且光纤单元本身不具有测量反射元件或用于背向反射的耦合输出的另外的反射元件，则测量装置优选地具有单独的测量镜、部分透明的镜、或某种其他合适的光学转向元件，以便将该反射引导到光测量装置上。
也可以使用附加的光学转向元件、尤其是分束器来代替测量反射元件，以便将在传播方向上入射的有用光的另一部分在耦合输入侧引导离开到光测量装置的方向中，或者为此目的以部分透明地构造调整镜。
部分透明的调整镜附加地或替代地还可以用于将来自反射元件的反射透射到光测量装置。
根据本发明的一种扩展方案设置，测量装置具有控制装置，其中，耦合装置具有可操控的调整装置，该可操控的调整装置设置用于调整有用光到光纤单元中的耦合输入。该控制装置与调整装置有效连接并且设置用于取决于有用光的所检测的部分来操控调整装置。以这种方式，耦合输入的尤其是自动的或自动化的、优选地也是永久的调整(其中调整尤其实时进行)、因此尤其是有利地能够实现耦合输入品质的重新调整。在优选的构型中，调整装置具有两个机动的镜保持件，这些保持件可以借助控制装置如此操控，使得有用光到光纤单元中的耦合输入被优化。替代地或附加地，调整装置优选地可以具有可调整的、即尤其是可调节的耦合输入透镜。
根据本发明的一种扩展方案设置，测量装置另外设置用于检测有用光的另一部分，所述另一部分在耦合输入到光纤单元中之前从有用光的射束路径被引导离开。测量装置还设置用于基于有用光的所检测的部分或过程光以及有用光的被检测的另一部分来评估借助激光系统、通过使用有用光执行的加工过程。以此方式，尤其可以执行过程监测，其中辐照的光功率与返回光功率的比率优选地被视为对于过程的反应的度量。此外，如果预期有返回光但没有检测到返回光，则可以优选地执行快速关机。尤其可以以此方式实现光纤断裂监测。此处描述的过程监测被证明与单件式地、尤其是热稳定地固定的反射元件相结合是尤其有利的，因为过程监测因此可以尤其稳定且可再现地进行。
最后，该任务还通过提供一种用于评估来自激光辐射源的有用光耦合输入到光纤单元中的耦合输入品质的方法来实现，其中在该方法的范畴中使用根据本发明的激光系统或根据上述实施例之一的激光系统。尤其结合在此情况下的方法实现了已经结合激光系统描述的优点。
在该方法的范畴中，尤其检测有用光的被光纤单元的反射元件偏转的部分，其中基于有用光的所检测的部分来评估耦合输入品质。
优选地，如果有用光的所检测的部分的强度低于预确定的阈值，则禁止有用光的发射。
优选地，在此，检测有用光的所检测的部分的光功率和/或模式轮廓，和/或检测与以下角度的角度偏差：有用光的所检测的部分的射束路径按预期应与传播方向包围所述预确定的角度。
优选地，有用光到光纤单元中的耦合输入基于有用光的所检测的部分被自动调整。
优选地，检测有用光的另一部分，所述另一部分在耦合输入到光纤单元之前从有用光的射束路径被引导离开。在此，优选地基于有用光的所检测的部分或过程光并且基于有用光的被检测的另一部分来评估借助激光系统、通过使用有用光执行的加工过程。
附图说明
下文参考附图更详细地说明本发明，在附图中：
图1示出了具有光纤单元第一实施例的激光系统的第一实施例的示意图；
图2示出了具有光纤单元第二实施例的激光系统的第二实施例的示意图；
图3示出了具有光纤单元第三实施例的激光系统的第三实施例的示意图；
图4示出了激光系统的第四实施例的示意图，作为示例该激光系统在此具有光纤单元第一实施例；以及
图5示出了具有光纤单元第四实施例的激光系统的第五实施例的示意图。
具体实施方式
图1示出了激光系统1的第一实施例的示意图，该激光系统具有用于发射有用光的激光辐射源3以及光纤单元5的第一实施例。激光辐射源3尤其构造为激光器，优选地为超短脉冲激光器。激光系统1另外具有用于将有用光耦合输入到光纤单元5中的耦合装置7。激光系统1还具有测量装置9，该测量装置设置用于检测有用光的由光纤单元5的反射元件11偏转的部分。测量装置9优选地设置用于基于所检测的有用光的反射来评估有用光耦合输入到光纤单元5中的耦合输入品质。
光纤单元5具有光纤13，该光纤具有设置用于引导有用光通过光纤13的光引导区域15、以及在作为耦合输入端21的第一光纤端17处具有第一光纤端面25、和在作为耦合输出端23的第二光纤端19处具有第二光纤端面27，第一光纤端面用于将激光耦合输入到光引导区域15中，第二光纤端面用于将激光从光引导区域耦合输出15。
在选自耦合输入端21和耦合输出端23中的第一光纤端17、19处，第一端件29如此布置，使得激光可以穿过第一端件29耦合输入到光引导区域15中或从光引导区域耦合输出15。第一端件29具有反射元件11，该反射元件设置用于将沿其传播方向传播通过光引导区域15的有用光的部分从传播方向偏转。有用光的此偏转的部分最终可以被测量装置9检测并且有利地被用于评估耦合输入品质。在此，尤其能够实现对耦合输入品质的非常稳定且可再现的评估，其中尤其也检测射束质量，其中尤其避免了功率高原的形成。
在优选构型中，光纤13具有包层区域33，所述包层区域在周向方向上围绕光引导区域15，所述包层区域在此仅示意性地说明。
在这里所示的实施例的情况下，第一端件29布置在耦合输出端23处。反射元件11设置用于将有用光的反射与传播方向相反地耦合输入返回到光引导区域15中。
第一端件29另外具有光学射束整形元件35，这里为透镜的形式，尤其是准直透镜。光学射束整形元件35设置用于有用光的射束整形，尤其是用于将有用光从光引导区域耦合输出15并且用于将有用光准直。除了射束整形元件35之外，反射元件11也被布置在第一端件29处。
反射元件11优选地不可拆解地固定在第一端件29处，尤其是通过焊接或粘接，优选地是水密和/或气密性的，其中优选地，反射元件11以通过紧固管37介导的方式固定在第一端件29处。
此处的反射元件11优选地构造为平面平行板。替代地，反射元件11可以构造为窗。
光纤13优选构造为具有空芯的光子晶体光纤、光子带隙光纤、抗谐振光纤(尤其是管状光纤)、或抑制耦合光纤(尤其是Kagomé光纤)。
在这里所示的第一实施例的情况下，端件29优选地构造为端盖，尤其是空心的端盖。尤其端件29构造成具有补充件的端盖，其中尤其紧固管37是此补充件。替代地，能够将端件29构造为插头，尤其是光纤插头或光纤插头连接器，或者LLK插头或LLK插头连接器。
反射元件11优选地在关于有用光的传播方向在前面的端面39处设置有具有第一反射率的第一抗反射涂层。反射元件11在关于有用光的传播方向在后面的端面41处设置有具有第二反射率的第二抗反射涂层。第一反射率大于第二反射率。优选地，前端面39处的反射率尤其与通常使用的抗反射涂层相比增加，以便产生所定义的、可用于对耦合输入品质进行有意义的测量的背向反射。相反，在后端面41处，反射元件11优选地具有通常用于抗反射涂层的反射率，因而有利地使功率损失最小化，尤其是避免了不必要的功率损失。优选地，第一反射率为至少0.1％到至多2％，优选至少0.3％到至多2％，优选至少0.1％到至多1％，优选至少0.5％到至多1％，优选至少0.1％到至多0.5％。第二反射率优选至多0.2％，优选至多0.1％。
测量装置9优选地具有光测量装置43，该光测量装置设置用于检测有用光的所检测的部分的光功率和/或模式轮廓。在优选构型中，光测量装置43构造为摄像机或光电二极管。
此外，测量装置9优选地具有控制装置45。耦合装置7优选地具有可操控的调整装置47，用于将有用光的耦合输入调整到光纤单元5中。控制装置45与调整装置47有效连接并且设置用于取决于有用光的所检测的部分来操控调整装置47。在优选构型中，调整装置47具有两个机动的镜保持件49，这两个机动的镜保持件可以由控制装置45操控以用于耦合输入的自动调整。替代地，耦合输入透镜50也可以构造为可设定的，尤其是可调整的，并且可由控制装置45控制以实现耦合输入的自动调整。
在这里所示的实施例的情况下，测量装置9另外还具有光学转向元件51，以便将有用光的被反射元件11反射回的部分转向到光测量装置43上。在尤其简单的构型中，转向元件51可以构造为测量镜，其中转向元件51的前侧和后侧的适当涂层确保了有用光可以穿过测量镜而在传播方向上几乎无减少，但是背向反射以足够的强度被引导到光测量装置43上。特别优选地99％的有用光在传播方向上透射，并且1％比例的背向反射被反射到光测量装置43上。在替代构型中，转向元件51也可以构造为薄膜偏振器，其中λ/2板(这里未示出)在返回路径上使背向反射的偏振旋转。
图2示出了具有光纤单元5的第二实施例的激光系统1的第二实施例的示意图。相同和功能上相同的元件在所有附图中具有相同的附图标记，因此在此程度上分别参考前述描述。
在光纤单元5的此第二实施例的情况下，反射元件11构造为射束整形元件35，尤其为透镜，在此尤其为发散透镜。于是不需要单独的反射元件11，使得这种构型尤其紧凑。射束整形元件35也可以替代地构造为准直透镜、衍射光学元件、波片、轴棱镜或楔形件。
此外，第二端件31布置在选自耦合输入端21和耦合输出端23中的第二光纤端17、19处，这里是在耦合输入端21处。激光可以穿过第二端件31耦合输入到光引导区域15中。
转向元件51在此通过被保持在第二镜保持件49中的部分透明的调整镜尤其紧凑地形成。然而，它也可以与后者分开设置或附加于后者设置。
转向元件51可以附加地用于通过用于过程监测目的的附加光测量装置来检测对耦合输入功率的度量。结合图3更详细地解释过程监测。
图3示出了具有光纤单元5的第三实施例的激光系统1的第三实施例的示意图。如同第一实施例的情况，这里第一端件29布置在耦合输出端23处，并且反射元件11设置用于将有用光的反射与传播方向相反地耦合输入返回到光引导区域15中。然而，此外，第二端件31布置在耦合输入端21处并且第二端件31具有测量反射元件53，该测量反射元件设置用于将有用光的反射以确定的角度(在此称为第二角度)从有用光的射束轴A偏转、尤其偏转到测量装置43的方向中，所述反射通过光引导区域引导返回15。尤其是不需要光学转向元件51，因此这种构型尤其紧凑。
此外，测量反射元件53附加地可以将入射的有用光在传播方向上的反射偏转到耦合侧的另外一个光测量装置55的方向。
然而，测量反射元件53也可以用于通过由光测量装置43来检测过程光而执行过程监测。同时，可以通过附加的光测量装置55来检测对耦合输入功率的度量，其中，所检测的过程光功率与耦合输入功率的比较结果可以用于评估工作过程。附加的光测量装置55优选地是测量装置9的部分，其中相应地，测量装置9另外设置用于评估工作过程。因此，一方面光测量装置43的测量值与另一方面附加的光测量装置55的测量值之间的比较也可以用于光纤断裂监测。
图4示出激光系统1的第四实施例的示意图，其中该激光系统再次具有根据图1的光纤单元5的第一实施例。同样在该第四实施例的情况下，第一端件29布置在耦合输出端23处，其中反射元件11设置用于将有用光的反射与传播方向相反地耦合输入返回到光引导区域15中。然而，这里光学转向元件51如此构型，使得除了将背向反射转向到光测量装置43上的功能之外，它另外还实现了以下功能：将入射的有用光的在传播方向上反射在耦合输入侧偏转到附加的光测量装置55的方向中。因此，在该实施例中也可以实现过程监测和光纤断裂监测的附加功能。
图5示出了具有光纤单元5的第四实施例的激光系统1的第五实施例的示意图。在该实施例的情况下，第一端件29布置在耦合输入端21处，并且反射元件11设置用于将有用光的反射以确定的角度(这里称为第一角度)从射束轴A偏转。第二端件31布置在耦合输出端23处并且仅具有射束整形元件35，尤其是准直透镜，但不具有反射元件11。光测量装置43在此优选构造为摄像机或光电二极管，特别优选地构造为具有设置在前方的光阑57的光电二极管、或构造为象限二极管，并且尤其设置用于检测空间偏差和角度偏差，其中，如果耦合输入正确地调整，则有用光的所检测的部分的射束路径应按预期与传播方向、在此是与射束轴A形成预确定的角度。因此可以尤其通过检测与预确定的角度的角度偏差来确定耦合输入的错误调整。优选地，在第一端件29处还附加地布置有另外的光阑59。
在用于评估来自激光辐射源3的有用光耦合输入到光纤单元5中的耦合输入品质的方法的范畴中，优选地使用根据上述实施例之一的激光系统1，其中，如果有用光的所检测的部分的强度低于预确定的阈值，则优选地禁止有用光的发射。以此方式，尤其可以实现光纤断裂监测。

Claims (16)

1.一种光纤单元(5)，具有
-光纤(13)，所述光纤具有设置用于引导有用光通过所述光纤(13)的光引导区域(15)，并且在作为一个光纤端(17，19)的耦合输入端(21)处具有第一光纤端面(25)，并且在作为另一光纤端(17，19)的耦合输出端(23)处具有第二光纤端面(27)，所述第一光纤端面用于将激光耦合输入到所述光引导区域(15)中，所述第二光纤端面用于将激光从所述光引导区域(15)耦合输出，其中，
-在选自所述耦合输入端(21)和所述耦合输出端(23)的第一光纤端(17，19)处，第一端件(29)如此布置，使得激光能够穿过所述第一端件(29)被耦合输入到所述光引导区域(15)中或从所述光引导区域(15)耦合输出，
其特征在于，
-所述第一端件(19)具有反射元件(11)，所述反射元件设置用于将沿着传播方向传播通过所述光引导区域(15)的有用光的部分从所述传播方向偏转。
2.根据权利要求1所述的光纤单元(5)，其特征在于，所述光纤(13)具有包层区域(33)，所述包层区域在周向方向上围绕所述光引导区域(15)。
3.根据前述权利要求中任一项所述的光纤单元(5)，其特征在于，在选自所述耦合输出端(23)和所述耦合输入端(21)的第二光纤端(17，19)处，第二端件(31)如此布置，使得激光能够穿过所述第二端件(31)被耦合输入到所述光引导区域(15)中或从所述光引导区域(15)耦合输出。
4.根据前述权利要求中任一项所述的光纤单元(5)，其特征在于，
-所述第一端件(29)布置在所述耦合输出端(23)处，其中，所述反射元件(11)设置用于将所述有用光的反射与所述传播方向相反地耦合输入返回到所述光引导区域(15)中，或者，
-所述第一端件(29)布置在所述耦合输入端(21)处，其中所述反射元件(11)设置用于将所述有用光的反射以第一确定的角度从所述有用光的射束轴(A)偏转，或者，
-所述第一端件(29)布置在所述耦合输出端(23)处，其中所述反射元件(11)设置用于将所述有用光的反射与所述传播方向相反地耦合输入返回到所述光引导区域(15)中，其中所述第二端件(31)布置在所述耦合输入端(21)处并且具有另外的反射元件，其中所述另外的反射元件设置用于将所述有用光的反射以第一确定的角度从所述有用光的射束轴(A)偏转。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的光纤单元(5)，其特征在于，
-所述第一端件(29)布置在所述耦合输出端(23)处，其中所述反射元件(11)设置用于将所述有用光的反射与所述传播方向相反地耦合输入返回到所述光引导区域(15)中，其中，
-所述第二端件(31)布置在所述耦合输入端(21)处并且具有测量反射元件(53)，所述测量反射元件设置用于，将所述有用光的引导返回通过所述光引导区域(15)的反射以第二确定的角度从所述有用光的射束轴(A)偏转，尤其偏转到测量装置(43)的方向中。
6.根据前述权利要求中任一项所述的光纤单元(5)，其特征在于，所述第一端件(29)具有用于对所述有用光进行射束整形的光学射束整形元件(35)，其中，在所述第一端件(29)处除了所述光学射束整形元件(35)之外还布置有所述反射元件(11)。
7.根据前述权利要求中任一项所述的光纤单元(5)，其特征在于，所述反射元件(11)不可拆解地固定在所述第一端件(29)处，尤其是通过焊接或粘接，优选地是水密和/或气密的，其中优选地，所述反射元件(11)以通过紧固管(37)介导的方式固定在所述第一端件(29)处。
8.根据前述权利要求中任一项所述的光纤单元(5)，其特征在于，所述反射元件(11)构造为选自由以下组成的组的元件：平面平行板；窗；以及射束整形元件，尤其是透镜、尤其是准直透镜或发散透镜，衍射光学元件，波片，轴棱镜或楔形件。
9.根据前述权利要求中任一项所述的光纤单元(5)，其特征在于，所述光纤(13)构造为具有空芯的光子晶体光纤，光子带隙光纤，抗谐振光纤、尤其是管状光纤，或抑制耦合光纤、尤其是Kagomé光纤。
10.根据前述权利要求中任一项所述的光纤单元(5)，其特征在于，选自所述第一端件(29)和所述第二端件(31)的至少一个端件(29，31)构造为-端盖，尤其是空心的端盖，
-具有补充件的端盖，或
-插头。
11.根据前述权利要求中任一项所述的光纤单元(5)，其特征在于，所述反射元件(11)在关于所述有用光的传播方向在前面的端面(39)处设置有具有第一反射率的第一抗反射涂层，其中，所述反射元件(11)在关于所述有用光的传播方向在后面的端面(41)处设置有具有第二反射率的第二抗反射涂层，其中，所述第一反射率大于所述第二反射率。
12.一种激光系统(1)，具有：
-用于发射有用光的激光辐射源(3)，
-根据权利要求1至11中任一项所述的光纤单元(5)，
-用于将所述有用光耦合输入到所述光纤单元(5)中的耦合装置(7)，以及
-测量装置(9)，所述测量装置设置用于检测所述有用光的被所述反射元件(11)偏转的部分，并且优选地基于所述有用光的所检测的部分来评估所述有用光耦合输入到所述光纤单元(5)中的耦合输入品质。
13.根据权利要求12所述的激光系统(1)，其特征在于，所述测量装置(9)具有光测量装置(43)，尤其是摄像机、光电二极管、或象限二极管，所述光电二极管优选具有设置在前方的光阑，其中，所述光测量装置(43)设置用于，检测所述有用光的所检测的部分的光功率和/或模式轮廓、和/或与预确定的角度的角度偏差，所述有用光的所检测的部分的射束路径按预期应与所述传播方向包围所述预确定的角度。
14.根据权利要求12或13中任一项所述的激光系统(1)，其特征在于，所述测量装置(9)具有控制装置(45)，其中，所述耦合装置(7)具有可操控的调整装置(47)，所述可操控的调整装置用于调整所述有用光到所述光纤单元(5)中的耦合输入，其中，所述控制装置(45)与所述调整装置(47)有效连接并且设置用于，取决于所述有用光的所检测的部分来操控所述调整装置(47)。
15.根据权利要求12至14中任一项所述的激光系统(1)，其特征在于，所述测量装置(9)附加地设置用于，检测所述有用光的另一部分，所述另一部分在耦合输入到所述光纤单元(5)之前从所述有用光的射束路径被引导离开，其中所述测量装置(9)还设置用于，基于所述有用光的所检测的部分或过程光以及所述有用光的被检测的另一部分来评估借助所述激光系统(1)通过使用所述有用光执行的加工过程。
16.一种用于评估激光辐射源(3)的有用光耦合输入到光纤单元(5)中的耦合输入品质的方法，其中使用根据权利要求12至15中任一项所述的激光系统(1)，其中，优选地，如果所述有用光的所检测的部分的强度低于预确定的阈值，则禁止所述有用光的发射。
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8254417B2 (en) * 2010-06-14 2012-08-28 Ipg Photonics Corporation Fiber laser system with controllably alignable optical components thereof
US8422024B2 (en) 2011-06-01 2013-04-16 Honeywell International Inc. High performance hollow-core optical-fiber filter for optical rotation sensing
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DE202017103758U1 (de) * 2017-06-23 2018-09-26 PT Photonic Tools GmbH System und Lichtleitkabel zur Übertragung eines Laserstrahls mit einer Hohlkernfaser
JP6975187B2 (ja) * 2019-01-31 2021-12-01 ファナック株式会社 レーザ制御装置、レーザ制御システム及びレーザ装置ならびにレーザ制御方法
US10630043B1 (en) * 2019-05-14 2020-04-21 Ii-Vi Delaware, Inc. Methods and devices for laser beam parameters sensing and control with fiber-tip integrated systems

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