CN116296126A - 用于检测半导体设备中的气体泄漏的装置、方法和计算机可读介质 - Google Patents

Abstract

提出了一种用于检测半导体设备中的气体泄漏的装置，包括：接收单元，其用于接收表示从沿着所述半导体设备的气路的第一位置处采集的声音的第一信号；泄漏确定单元，其用于基于所述第一信号确定在所述第一位置附近所述气路是否存在泄漏；以及警报单元，其用于响应于确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏，发出警报。能够在气体泄漏检测中避免检测人员的不适感和主观性，并且能够实现对微小泄漏的检测。

Description

用于检测半导体设备中的气体泄漏的装置、方法和计算机可 读介质

技术领域

本发明涉及气体泄漏检测，更具体地，涉及对半导体设备中的气路的气体泄漏检测。

背景技术

诸如模机、焊线机、切割机等的半导体设备中有大量采用气缸作为动力源的气动机构，因此在这些半导体设备中存在大量的气路连接装置，例如气泵、气阀。在维护或维修这些半导体设备时需要检测气路中的漏点。由于在对这些半导体设备时进行检测时需要这些半导体设备的气缸保持在运行状态，气动机构会对检测人员造成潜在危险。因此，在检测时，需要用透明罩挡住半导体设备。

通常，检测人员在检测泄漏的过程中需要隔着透明罩俯身聆听漏气声音，检测人员若长时间保持这种姿势会造成疲劳和损伤。此外，人耳判断会被透明罩妨碍，并且人耳的灵敏度不同使得人耳判断具有主观性，因此难以保证检测的准确性。或者，可以将缠绕有飘带的直杆伸入到透明罩中检测泄漏。在这种方式中，直杆可能难以将飘带递送到每个待检测位置，并且一些微小的泄漏可能难以造成飘带扰动从而难以被检测到。

因此，针对半导体设备，仍然期望提供改进的气体泄漏检测。

发明内容

本发明提供了改进的用于半导体设备的气体泄漏检测，其能够在泄漏检测中避免检测人员的不适感和主观性，并且能够实现对微小泄漏的检测。

根据本发明的一个方面，提出了一种用于检测半导体设备中的气体泄漏的装置，包括：接收单元，其用于接收表示从沿着所述半导体设备的气路的第一位置处采集的声音的第一信号；泄漏确定单元，其用于基于所述第一信号确定在所述第一位置附近所述气路是否存在泄漏；以及警报单元，其用于响应于确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏，发出警报。

根据本发明的另一方面，提出了一种用于检测半导体设备中的气体泄漏的方法，包括：接收表示从沿着所述半导体设备的气路的第一位置处采集的声音的第一信号；基于所述第一信号确定在所述第一位置附近所述气路是否存在泄漏；以及响应于确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏，发出警报。

根据本发明的又一方面，提出了一种存储有指令的计算机可读介质，所述指令当由处理器运行时令所述处理器执行根据本发明的任意实施例的方法。

对于半导体设备中的气路而言，在存在泄漏和在不存在泄漏时，气路附近的声音是不同的。当前的声学传感器能够在大的频率上以高灵敏度采集声音，使得表示所采集声音的信号能够体现出微小的声音差异。因此，通过分析表示所采集声音的信号，能够识别出信号中的微小差异，从而能够检测到通常无法检测到的微小泄漏。在此过程中，信号分析可以由诸如计算机的计算设备自动完成，而无需借助检测人员的人耳判断，从而方便了检测人员的操作并避免了人耳检测的主观误差。

本领域技术人员在阅读和理解以下详细描述之后将认识到本发明的其他优点。

附图说明

图1示出了根据本发明的一个实施例的用于检测半导体设备中的气体泄漏的装置100的框图；

图2示出了根据本发明的一个实施例的所显示的信号图200；并且

图3示出了根据本发明的一个实施例的用于检测半导体设备中的气体泄漏的方法300的流程图。

具体实施方式

图1示出了根据本发明的一个实施例的用于检测半导体设备中的气体泄漏的装置100的框图。

装置100包括接收单元110，其用于接收表示从沿着半导体设备的气路的第一位置处采集的声音的第一信号。

诸如麦克风的声学传感器10能够用于在沿着气路的第一位置处采集声音。例如，声学传感器10可以是微机电系统(MEMS)麦克风，其具有微型化、性能稳定等优点。这样的优点可以便于将麦克风递送到沿着气路的不同位置以准确地采集到相应位置处的声音。麦克风例如可以通过模数转换器(A/D)生成表示所采集声音的数字信号作为第一信号。

在生成第一信号后，诸如计算机的计算设备可以将该数字信号接收在其存储器或缓存中。计算机中的应用程序可以接收该数字信号以便于后续分析。因此，接收单元110可以表示诸如计算机的设备内的硬件接收部件，也可以表示应用程序中的用于接收信号的软件模块。

在一个实施例中，装置100不包括声音传感器10，并且声音传感器10可以是能够通过其他途径获得的任何声音传感器，例如，声音传感器10可以是作为计算机的外接设备的麦克风。

在另一个实施例中，声音传感器10可以被包括在装置100中作为装置100的一部分。

采集声音的第一位置可以是气路中的连接装置附近的位置，例如，第一位置可以是沿着气路的在气泵、气阀附近的位置。这些连接装置通常是泄漏最频繁发生的部件。例如，由于气泵或气阀未被拧紧，可能导致气体泄漏。因此，需要在气泵、气阀等连接装置附近的位置处采集声音以在泄漏检测中使用。

或者，第一位置可以是沿着气路管道的其他位置。管道壁的损坏也是导致气体泄漏的潜在原因之一。因此，可能也需要在管道壁附近的位置采集声音以在泄漏检测中使用。

在半导体设备的实际维护或检修中，需要在多个位置处进行泄漏检测，例如，需要针对每个连接装置和每个管道壁依次进行检测。因此，需要分别在不同位置处采集声音。声音传感器10可以被附接到杆20上，以方便将声音传感器10递送到不同位置处，从而针对不同位置依次进行采集声音。例如，可以由检测人员手持杆20，并且检测人员能够手动地将声音传感器10递送到不同位置。或者杆20可以被机器人臂夹持，通过机器人臂的受控移动，能够以自动化方式实现针对多个位置的声音采集。

优选地，杆20是可弯曲杆，使得杆20可以在笔直状态和具有各种弯曲形状的弯曲状态之间进行变化。

例如，可以采用诸如铝的软质金属制作可弯曲杆20。这些软质金属可以实现杆的可弯曲定型，从而使检测人员能够轻松地将可弯曲杆20调试到各种所需的形状。这在需要将声音传感器10通过杆20伸入到透明罩内的情况下是有利的。灵活的形状能够方便声音传感器10被递送到透明罩内的各个位置处。

或者，可以通过多个关节形成可弯曲杆20。例如，可以通过铰链关节实现可弯曲杆20的弯曲变形。还可以通过球形关节实现可弯曲杆20的在三个自由度上的变形，从而能够以更高的灵活度将声音传感器10递送到各个位置处。

在一个实施例中，装置100不包括杆20。检测人员可以用任何能够固定声音传感器10的杆状物体(例如螺丝刀)来充当杆20。

在另一个实施例中，杆20可以被包括在装置100中作为装置100的一部分。

代替使用杆20将声学传感器10递送到不同位置，声学传感器10还可以包括多个子传感器，多个子传感器分别被布置在需要检测泄漏的多个位置处。例如可以将多个子传感器分别布置在各个连接装置和各个管道壁附近。每个子传感器可以被唯一地编号，每个编号对应于一个具体位置。例如，1号子传感器被布置在气泵附近、2号子传感器被布置在气阀附近、并且3号传感器被布置在管道壁附近。通过这三个子传感器，分别针对气泵、气阀和管道壁进行声音采集。

在一个实施例中，接收单元110接收到的第一信号可以是所采集的声音的原始声波信号。原始声波信号表示随时间变化的声音强度。

在另一个实施例中，接收单元110接收到的第一信号可以是所采集的声音的音调信号。音调信号的每个信号值表示在预定时间段(例如1s)内采集的声音的能量。

例如1s的预定时间段内采集的声音的能量可以通过计算该1s时间段内的原始声波信号的均方根得到，该能量的值可以作为针对该1s时间段的音调信号的幅度。通过针对连续的1s时间段计算能量值，可以得到随时间变化的音调信号。

例如1s的预定时间段内采集的声音的能量还可以通过计算频谱信号的均方根得到，该能量的值可以作为针对该1s时间段的音调信号的幅度。频谱信号可以通过对该1s时间段内的原始声波信号进行傅里叶变换得到。同样，通过针对连续的1s时间段计算能量值，可以得到随时间变化的音调信号。

装置100还包括泄漏确定单元120，其用于基于所接收的第一信号确定在第一位置附近气路是否存在泄漏。

泄漏确定单元120可以通过检测第一信号的幅度是否超过幅度阈值来确定是否存在泄漏。在泄漏发生时，会产生气流声音，因此预期在泄漏发生时的声音强度会大于在没有泄漏发生时的声音强度。更大的声音强度体现在声波信号或音调信号具有更大的幅度。因此，当第一信号的幅度超过特定幅度阈值时，说明存在泄漏。具体的幅度阈值可以根据专业人员的经验来确定。该阈值还可以通过在检测到和没检测到泄漏的情况下所获得的实际测量值而不断优化。

当然，不能仅通过第一信号短暂超过阈值就判断存在泄漏。假如在检测泄漏时，突然发生物体掉落事件，此时，因物体掉落会产生一个声音尖峰，其可能导致第一信号突然突破阈值，这种情况不应被确定为泄漏发生。因此，需要在第一预定时间窗口(例如20秒)中持续检测到信号突破阈值才能够确定泄漏发生。此外，由于声波信号或音调信号通常呈现为往复震荡波形，很难在一个预定时间窗口中检测到始终超过阈值的信号。若存在泄漏，震荡的声波信号或音调信号可能体现为反复突破阈值。因此，需要在第一预定时间窗口中检测到第一信号突破阈值达到第一预定次数，才能够确定泄漏发生。

在该实施例中，使用音调信号是有利的，因为其可以大大减少阈值比较的次数。例如，在麦克风的采样频率为44kHz的情况下，在1s时间段上，原始声波信号具有44000个信号值。以20s的时间窗口为例，在该时间窗口中将产生880000个信号值。而音调信号的信号值(如上所述，其表示预定时间段内，例如1s时间段内，声音的能量)的数量可以被大幅度减少。例如，在针对每1s时间段计算能量值的实施例中，能够将1s内的44000个原始声波信号值计算为针对该1s时间段的一个音调信号值。针对20s的时间窗口，可以产生20个音调信号值。因此，针对该20s的时间窗口，利用原始声波信号，需要进行880000次阈值比较；而利用音调信号，仅需要进行20次阈值比较，这可以大大减少计算资源。

在理想情况下，表示泄漏和非泄漏之间的分界的幅度阈值应当是一致的。然而，对于半导体设备，其在工作中时本身也会产生一些声音作为环境声音。例如，上文已经提到过，在对半导体设备时进行检测时通常需要半导体设备的气缸保持在运行状态，此时会致动气动机构，从而产生声音。不同的半导体设备所产生的环境声音可能是不同的。例如，具有更多气动机构的半导体设备与具有更少气动机构的半导体设备相比，会产生更大的环境声音。

当由麦克风采集在第一位置处的声音时，除了可能存在的因泄漏产生的声音之外，麦克风还可能采集到了因半导体设备的工作而产生的环境声音。由于不同半导体设备产生的环境声音不同，不能将统一的泄漏阈值应用于不同的半导体设备。而且，在一些情况下，仅仅是环境声音的信号幅度就可能已经超过幅度阈值。因此，需要考虑环境声音来为不同的半导体设备调整相应的幅度阈值。

在一个实施例中，除了第一信号外，接收单元110还接收表示环境声音的环境信号，并且该环境信号与第一信号具有相同类型。例如，如果第一信号是原始声波信号，那么环境信号也是原始声波信号；并且如果第一信号是音调信号，那么环境信号也是音调信号。

在该实施例中，泄漏确定单元120还可以基于所述环境信号调整所述幅度阈值。例如，可以将环境信号的最大幅度(或平均幅度)与原始阈值相加，以形成经调整的阈值。

由于针对特定半导体设备，因其工作而产生的环境声音通常是稳定的且可以预期的，因此，可以针对该半导体设备仅执行一次阈值调整。该经调整的阈值可以被记录，并且在针对该类型的半导体设备的后续检测中，可以直接调用所记录的阈值。

除了因半导体设备的稳定工作产生的环境声音外，在进行泄漏检测时，还可能突然出现电话铃响等的意外的持续声音。不同于因半导体设备的稳定工作而产生的环境声音，这种意外的环境声音是不可预期的。因此，在这种声音出现时，难以通过阈值调整来进行补偿。

为了解决由这种非预期的环境声音带来的问题，在另一个实施例中，接收单元101还接收表示环境声音的环境信号，并且该环境信号与第一信号具有相同类型。例如，如果第一信号是原始声波信号，那么环境信号也是原始声波信号；并且如果第一信号是音调信号，那么环境信号也是音调信号。

在该实施例中，泄漏确定单元120首先对第一信号进行补偿。如上文解释的，在第一位置处采集的声音除了包括因可能存在的因泄漏产生的声音之外，还可能包括诸如电话铃声的非预期环境声音。此时，第一信号表示泄漏声音和环境声音两者的总和。因此，需要对第一信号进行补偿，以便能够得到仅表示泄漏声音的经补偿的第一信号。

例如，可以从第一信号减掉环境信号，以将由环境信号表示的环境声音从麦克风所采集的总声音中滤除。

可以由第二声学传感器采集环境声音，以生成环境信号。该第二声学传感器例如是另一麦克风，该麦克风例如可以位于在半导体设备检测中使用的透明罩外部，以采集诸如电话铃声、谈话声等非预期的环境声音。任选地，第二声学传感器可以被包括在装置100中以形成装置100的一部分。或者，第二声学传感器可以是独立于装置100的部件。例如，第二声学传感器可以是所使用的计算设备的系统麦克风。

可以考虑在外界环境声音传导到透明罩中时，透明罩对外界环境声音的衰减作用来生成环境信号，以使环境信号能够更准确地体现外部环境声音在透明罩内部的第一位置处被采集到时的强度。

之后，泄漏确定单元120可以将经补偿的第一信号与幅度阈值进行比较来确定在第一位置附近气路是否存在泄漏，如在上文的实施例中所描述的。

有时，存在一些声音，其既没有被认为是半导体设备在稳定工作时产生的声音，也没有被采集环境声音的麦克风采集到以进行补偿。例如，在透明罩内，可能存在因气动机构的临时故障(例如摩擦)而带来的故障声音。该声音可能导致在本没有泄漏的位置处，声音信号依然突破阈值。

因此，在确定第一位置处的第一信号的幅度超过阈值后，还需要确定在其他位置处的第二信号的幅度是否也超过阈值。第二信号表示在不同于第一位置的其他位置处采集的声音。在其他位置处采集的声音包含能够同样出现在第一位置的环境声音，例如上述的故障声音。与在第一位置处采集的声音不同的是，在其他位置处采集的声音不包含在第一位置处的可能的泄漏声音。因此，如果在其他位置处，例如，甚至在远离整个气路的位置处，所得到的第二信号的幅度仍然超过阈值，那么很有可能造成信号超过阈值的原因并非是气路泄漏，而是诸如故障声音的环境声音。在这种情况下，即便在第一位置处的第一信号的幅度超过阈值，也不能完全确定在第一位置附近气路是否存在泄漏，并且还需要进一步的检测。

只有在确定第一位置处的第一信号的幅度超过阈值，而第二位置处的第二信号的幅度未超过阈值时，才能够确保在第一位置处的第一信号的幅度超过阈值是因为气体泄漏导致的。

因此，在又一个实施例中，除了第一信号外，接收单元110还接收表示从远离第一位置的第二位置处采集的声音的第二信号，所述第二信号与所述第一信号具有相同类型。例如，如果第一信号是原始声波信号，那么第二信号也是原始声波信号；并且如果第一信号是音调信号，那么第二信号也是音调信号。

对第一信号的接收和对第二信号的接收可以同时完成，也可以顺序完成。例如，可以通过分布在不同位置处的声音传感器同时获得第一信号和第二信号，使得第一信号和第二信号可以被同时接收。或者可以先将声音传感器递送到第一位置以获得第一信号，从而完成对第一信号的接收；之后将声音传感器移动到第二位置以获得第二信号，再完成对第二信号的接收。

例如，可以使用上文描述的杆20使声音传感器从第一位置移动到第二位置。

在该实施例中，泄漏确定单元120检测第一信号和第二信号的幅度是否超过阈值。例如，可以检测第一信号的幅度是否在第一预定时间窗口内超过幅度阈值第一预定次数，并且可以检测第二信号的幅度是否在第二预定时间窗口内超过幅度阈值第二预定次数。基于第一信号的幅度在第一预定时间窗口内超过幅度阈值第一预定次数，并且第二信号的幅度在第二预定时间窗口内没有超过幅度阈值第二预定次数，泄漏确定单元120确定在第一位置附近气路存在泄漏。

第一预定时间窗口可以与第二预定时间窗口相同或不同。例如，在20s内确定第一信号的幅度超过阈值后，仅需要在2s内确定第二信号的幅度未超过阈值就可以确定不存在其他声音对第二位置造成影响，从而确定在第一位置附近气路存在泄漏。同样，第一预定次数可以与第二预定次数相同或不同。

代替上述阈值方法，泄漏确定单元120还可以通过机器学习算法来确定是否发生泄漏。该机器学习算法利用半导体设备的具体类型、是否发生泄漏的实例和对应于相应实例的第一信号等信息来训练机器学习模型，使得该机器学习模型可以用于基于实际获取的第一信号确定是否存在泄漏。

泄漏确定单元120可以表示诸如计算机处理器、专用集成电路的硬件部件，也可以表示应用程序中的用于确定泄漏的软件模块。

装置100还包括警报单元130。在泄漏确定单元120确定了存在泄漏后，警报单元130可以发出警报以提示检测人员存在泄漏的情况。

警报可以是视觉类型、听觉类型、触觉类型或任意可能想到类型的警报。例如，在检测到泄漏后，可以通过计算机屏幕或任何其他指示灯的闪烁来提醒检测人员；或者在检测到泄漏后，可以通过扬声器发出警报声音来提醒检测人员；或者在检测到泄漏后，可以通过手持式计算设备(例如手机、平板电脑)的震动来提醒检测员。

在另一个实施例中，检测人员可以不在检测现场。在检测到泄漏后，可以将警报以电子邮件或短消息的形式发送给检测人员以提醒检测人员完成后续的检修。

当然，警报也可以是上述各种类型警报的任意组合。

警报单元130可以表示诸如灯、扬声器的用于发出警报的硬件，也可以表示应用程序中的用于控制相应硬件发出警报的软件模块。

任选地，装置100还包括显示单元140，其可以将原始声波信号的声波图或音调信号的音调图显示在显示器上，以供检测人员查看。

在警报发出后，检测人员可以通过查看声波图或音调图而更直观地确认是否发生泄漏。

优选地，可以将阈值连同声波图或音调图一起显示。例如，可以将阈值示出为在声波图或音调图中的一条线，检测人员可以直观地观察到声波图或音调图中的信号幅度是否在第一预定时间窗口上多次超过表示阈值的线，从而更加直观地确认是否发生泄漏。

显示单元140可以表示诸如计算机的显示器、平板电脑的触摸屏的显示设备，也可以表示应用程序中的用于控制相应硬件显示图形的软件模块。

图2示出了根据本发明的一个实施例的所显示的信号图200，其能够帮助检测人员直观地判断在第一位置附近是否发生泄漏。在该实施例中，信号图200为音调图。在该音调图中，横轴是以s为单位的时间，纵轴表示音调信号的幅度值。

在该图中，纵轴示出了从-4000到4000的幅度值范围，该值不具有任何实际单位，诸如检测人员的用户为了便于观察可以选择任何合适的取值范围，并且所测量的信号值可以被映射到该范围。例如，将所测量的最小信号值映射到-4000并且将所测量的最大信号值映射到4000，中间的信号值可以线性地映射到-4000到4000之间。

在该实施例中，2000被选为幅度阈值。可以看出，在350s-370s的时间窗口上，麦克风被递送到沿着气路的第一位置，此时，信号幅度在该时间窗口上多次突破2000的阈值，在370s后麦克风被移动到远离第一位置的第二位置，此时，信号幅度不再超过2000的阈值。因此，可以确定，在第一位置附近，气路存在泄漏。

图3示出了根据本发明的一个实施例的用于检测半导体设备中的气体泄漏的方法300的流程图。

在步骤310中，接收表示从沿着所述半导体设备的气路的第一位置处采集的声音的第一信号。

在步骤320中，基于所述第一信号确定在所述第一位置附近所述气路是否存在泄漏。

如在上文中参考装置的实施例详细描述的，可以通过检测所述第一信号的幅度在第一预定时间窗口中突破阈值达到第一预定次数，来确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏。

或者，如在上文中参考装置的另一个实施例详细描述的，可以将所述第一信号作为输入应用于机器学习算法，来确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏。

在步骤330中，响应于确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏，发出警报。

能够理解，根据本发明的方法具有与根据本发明的装置相同或相似的实施例。

图3中所示的方法能够由处理器执行相应的指令来实现。指令能够被存储在任意适当的计算机可读介质上。

以上仅仅参照图3所示的实施例描述了本发明的方法，能够理解上述实施例中所包括的各项操作不是限制性的，其可以根据需要而被删除、组合、变更、拆分和/或重新组合，以增加/修改/删除对应的功能。

以上参照各个实施例描述了本发明的装置和方法，其中提到的实施例可以包括特定的特征、结构或特性，但是不是每一个实施例都必然包括该特定的特征、结构或特性。此外，一些实施例可以具有一些或全部的针对其它实施例所描述的特征或者没有针对其它实施例所描述的特征。

不同的实施例或示例的各个特征可以与所包含的一些特征以及所排除的其它特征进行多种结合来适应多种不同的应用。附图和前述描述给出了实施例的示例。本领域技术人员将理解，所描述的元件中的一个或多个可以被组合成单个功能元件。或者，某些元件可以分成多个功能元件。来自一个实施例的元件可以添加到另一个实施例。例如，本文描述的过程的顺序可以改变并且不限于本文所述的方式。此外，任何流程图的操作不需要以所示的顺序实现；也不一定需要执行所有操作。此外，不依赖于其他操作的那些操作可以与其他操作并行地执行。实施例的范围决不受这些具体示例的限制。无论是否在说明书中明确给出，诸如操作顺序、产品组成和结构上的差异的许多变化是可能的。

Claims (15)

1.一种用于检测半导体设备中的气体泄漏的装置，包括：

接收单元，其用于接收表示从沿着所述半导体设备的气路的第一位置处采集的声音的第一信号；

泄漏确定单元，其用于基于所述第一信号确定在所述第一位置附近所述气路是否存在泄漏；以及

警报单元，其用于响应于确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏，发出警报。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述泄漏确定单元用于：

检测所述第一信号的幅度是否在第一预定时间窗口内超过幅度阈值第一预定次数；以及

响应于检测到所述第一信号的幅度在所述第一预定时间窗口内超过所述幅度阈值所述第一预定次数，确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏。

3.根据权利要求2所述的装置，

其中，所述接收单元还用于接收表示环境声音的环境信号，所述环境信号与所述第一信号具有相同类型，

其中，所述泄漏确定单元还用于：

基于所述环境信号调整所述幅度阈值。

4.根据权利要求1所述的装置，

其中，所述接收单元还用于接收表示环境声音的环境信号，所述环境信号与所述第一信号具有相同类型，

其中，所述泄漏确定单元用于：

通过所述环境信号对所述第一信号进行补偿；

检测经补偿的第一信号的幅度是否在第一预定时间窗口内超过幅度阈值第一预定次数；以及

响应于检测到所述经补偿的第一信号的幅度在所述第一预定时间窗口内超过所述幅度阈值所述第一预定次数，确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏。

5.根据权利要求1中的任一项所述的装置，

其中，所述接收单元还用于接收表示从远离所述第一位置的第二位置处采集的声音的第二信号，所述第二信号与所述第一信号具有相同类型，

其中，所述泄漏确定单元用于：

检测所述第一信号的幅度是否在第一预定时间窗口内超过幅度阈值第一预定次数；

检测所述第二信号的幅度是否在第二预定时间窗口内超过所述幅度阈值第二预定次数；以及

响应于检测到所述第一信号的幅度在所述第一预定时间窗口内超过所述幅度阈值所述第一预定次数并且所述第二信号的幅度在所述第二预定时间窗口内没有超过所述幅度阈值所述第二预定次数，确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏。

6.根据权利要求1-5中的任一项所述的装置，

其中，所述第一信号为原始声波信号，并且，所述装置还包括：

显示单元，其用于显示所述原始声波信号的声波图。

7.根据权利要求1-5中的任一项所述的装置，

其中，所述第一信号为音调信号，所述音调信号的每个信号值表示在预定时间段内采集的声音的能量，并且，所述装置还包括：

显示单元，其用于显示所述音调信号的音调图。

8.根据权利要求1-5中的任一项所述的装置，还包括：

声学传感器，其用于在从沿着所述半导体设备的所述气路的所述第一位置处采集声音以生成所述第一信号；以及

可弯曲杆，所述声音传感器被附接在所述可弯曲杆上使得所述声音传感器能够被递送到不同位置处。

9.根据权利要求1-5中的任一项所述的装置，还包括：

声学传感器，其包括多个子传感器，

其中，所述多个子传感器被布置在不同位置处，所述多个子传感器中的一个子传感器用于在从沿着所述半导体设备的所述气路的所述第一位置处采集声音以生成所述第一信号。

10.根据权利要求4所述的装置，还包括：

第二声学传感器，其用于采集所述环境声音以生成所述环境信号。

11.一种用于检测半导体设备中的气体泄漏的方法，包括：

接收表示从沿着所述半导体设备的气路的第一位置处采集的声音的第一信号；

基于所述第一信号确定在所述第一位置附近所述气路是否存在泄漏；以及

响应于确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏，发出警报。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，基于所述第一信号确定在所述第一位置附近所述气路是否存在泄漏包括：

检测所述第一信号的幅度是否在第一预定时间窗口内超过幅度阈值第一预定次数；以及

响应于检测到所述第一信号的幅度在所述第一预定时间窗口内超过所述幅度阈值所述第一预定次数，确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏。

13.根据权利要求11所述的方法，还包括：

接收表示从远离所述第一位置的第二位置处采集的声音的第二信号，所述第二信号与所述第一信号具有相同类型，

其中，基于所述第一信号确定在所述第一位置附近所述气路是否存在泄漏包括：

检测所述第一信号的幅度是否在第一预定时间窗口内超过幅度阈值第一预定次数；

检测所述第二信号的幅度是否在第二预定时间窗口内超过所述幅度阈值第二预定次数；以及

响应于检测到所述第一信号的幅度在所述第一预定时间窗口内超过所述幅度阈值所述第一预定次数并且所述第二信号的幅度在所述第二预定时间窗口内没有超过所述幅度阈值所述第二预定次数，确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏。

14.根据权利要求11-13中的任一项所述的方法，还包括：

显示所述第一信号的信号图。

15.一种存储有指令的计算机可读介质，所述指令当由处理器运行时令所述处理器执行根据权利要求11-14中的任一项所述的方法。

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