CN116295972A - 基于丝瓜瓤结构的全可降解柔性压力传感器及制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提出了一种基于丝瓜瓤生物结构的全可降解柔性压力传感器及制备方法。该传感器从下至上依次为下可降解柔性封装层、下导电电极、丝瓜瓤结构复合导电层、上导电电极、上可降解柔性封装层,本发明将天然丝瓜瓤柔性三维骨架与可降解导电材料相结合,充分利用了丝瓜瓤结构复合导电层中不同导电网络之间、单根导电纤维、导电材料本身的多级形变,实现在不同压力范围内力敏机理切换,扩大了压力检测范围并在较宽范围内保持良好的线性响应。本发明提出的器件结构利用了天然植物的形貌结构,制作简单且成本低廉,器件本身可在自然条件下全可降解,环境友好,并能够在较宽范围内对外界静、动态压力有良好响应。
Description
技术领域
本发明属于压力敏感材料领域,涉及成膜技术、能量转换技术,具体涉及一种宽量程柔性压力传感器及制备方法。
背景技术
在传感器测量的常见物理量中,压力是重要的参量之一,在货物称重识别、建筑结构稳定性监测、管道压力监测、道路交通检测、脉搏血压监测、电子皮肤触压觉等方面都存在着大量的检测需求。压力传感器是能够将外部感知的压力信号转换为电学信号的感知功能敏感元件,在电子皮肤、人机交互、人工智能和可植入医疗等领域中发挥着重要的作用。传统的压力传感器如利用应变效应的金属应变片压力传感器以及利用压阻效应的半导体应变片压力传感器在测量范围和温度稳定性上具有一定的局限性,并且难以满足日益增长的医疗保健方面应用提出的生物无害性、良好柔韧性及复杂可变表面稳定测量的需求,弹性较低的压敏材料不仅增加了佩戴者的不适感而且不能良好贴合测量表面导致精度损失。
近年来,随着物联网的快速发展和5G网络时代的到来,电子技术在工业,医疗、军事等领域得到空前的发展。为了满足不同领域对柔性压力传感器的需求,优化现有柔性压力传感器的性能和开发新原理、新结构、新材料的传感器一直是柔性压力传感领域的研究热点。与此同时,电子产品的广泛使用导致全球每年有2000-5000万吨消费电子产品被丢弃。考虑到电子垃圾带来的巨额垃圾处理成本以及环境污染等问题,开发生物可降解的柔性压力传感器成为了全球科研工作者竞相追逐的目标。
当前常用的柔性电阻式压力传感器主要采用了复合薄膜和多孔气凝胶敏感结构,此类器件具有宽域检测能力弱、制备工艺复杂、成本高、不可降解等不足,制约了其实用化和商业化。而通过溶液浸渍法将可降解导电材料复合到天然丝瓜瓤柔性骨架上,充分利用了丝瓜瓤结构复合导电层中不同导电网络之间、单根导电纤维、导电材料本身的多级形变,依托丝瓜瓤骨架比表面积大、形变量大、形变恢复能力强等特点,能够在较宽的压力检测范围中具有良好的响应,具有工艺简单、成本低廉、宽量程、可生物降解等优点,为柔性压力传感器的研究提供了新的方向。
同传统的压力传感器相比,该传感器充分利用了自然界中的生物结构,创新性地在导电层引入多级微纳结构从而大幅度提升了传感器的压力检测范围和灵敏度,同时在器件各个组分的制备过程中均采取了可降解材料,环境友好,无毒无害,整个制备过程操作简单,成本低廉,可在自然环境下完全降解,并具有良好的穿戴舒适度和生物适应性。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点,本发明的目的在于提供一种基于丝瓜瓤结构的有机全可降解柔性压力传感器及制备方法。
为实现上述发明目的,本发明技术方案如下:
一种基于丝瓜瓤结构的全可降解柔性压力传感器,从下至上依次包括下可降解柔性封装层5、下导电电极4、丝瓜瓤结构复合导电层3、上导电电极2、上可降解柔性封装层1,丝瓜瓤结构复合导电层3将天然丝瓜瓤作为柔性骨架与导电材料复合后用作器件的核心压敏结构层,上导电电极2、下导电电极4各引出一根引线用于接收测量信号,上可降解柔性封装层1、下可降解柔性封装层5用于器件的封装固定;
丝瓜瓤柔性骨架的形变程度与施加于表面的压力大小具有线性关系,使包裹在柔性骨架上的导电材料与两导电电极之间构成的导电通路数量与外界压力大小也存在线性关系,通过检测传感器输出电学参量的变化来反映外界所施加的静、动态压力的大小。
作为优选方式,丝瓜瓤结构复合导电层3为将天然丝瓜瓤经过预处理后通过溶液浸渍法与导电材料进行复合得到,丝瓜瓤柔性骨架为弹性可变形多孔块体,随所施加压力改变而收缩或回弹;丝瓜瓤结构复合导电层3复合了具有压阻效应的导电材料;
上导电电极2、下导电电极4分别为在上可降解柔性封装层1、下可降解柔性封装层5表面经丝网印刷制备得到的电极。
作为优选方式,当器件表面施加静、动态压力时,丝瓜瓤结构复合导电层发生形变,随着压力的增加,丝瓜瓤结构复合导电层3中不同导电网络之间、单根导电纤维和导电材料本身均会发生变化,上、下导电电极之间的导电通路数量、导电通路直径和导电材料本身电阻率发生变化,随压力增大依次成为器件电阻改变的主要原因,开始受压时先是丝瓜瓤结构导电复合层的层间空隙变小,导电通路数量增加,压力增大到一定范围,空隙形变趋于稳定,导电通路数量几乎不变,此时在压力的作用下单根导电纤维的直径改变成为器件电阻改变的主要原因,随着压力进一步增加,层间空隙和导电纤维直径改变量均不明显著,此时导电材料的电阻率发生改变来改变器件的电阻。在外加工作电压的情况下输出变化的电流信号,实现对压力信号的检测。
在外加工作电压的情况下输出变化的电流信号,实现对压力信号的检测。
作为优选方式,丝瓜瓤结构复合导电层3为基于丝瓜瓤柔性骨架复合具有压阻效应的导电材料的弹性可变形多孔块体;
并且/或者丝瓜瓤柔性骨架为天然丝瓜瓤经过去离子水反复浸泡干燥并压实制得;
并且/或者丝瓜瓤结构复合导电层3呈边长0.5-3cm的正方形,厚度为0.5-1.5cm。
作为优选方式,上导电电极2、下导电电极4的材料选自石墨或玫棕酸二锂或菱锌矿二锂盐。
作为优选方式,丝瓜瓤结构复合导电层3中的柔性骨架选自天然丝瓜瓤;
并且/或者柔性骨架还包括网纹草、或植物纤维;
并且/或者柔性骨架内部有直径为100-300μm的三维网状脉络。
作为优选方式,丝瓜瓤结构复合导电层3的导电材料为碳素墨水、还原氧化石墨烯、碳纳米管、二维过渡金属碳或氮化物其中至少一种或者两种以上不同材料所组成的复合材料。
作为优选方式,所述上可降解柔性封装层1、下可降解柔性封装层5的材料选自纤维素或木质素或淀粉或蚕丝蛋白或胶原蛋白或聚乳酸或聚乙烯醇;并且/或者封装层经所述材料由溶液流延法制得。
作为优选方式,器件整体在自然环境下完全降解且产物生物友好,无毒无害。
本发明还提供一种所述的一种基于丝瓜瓤结构的全可降解柔性压力传感器的制备方法,包括如下步骤:
①将一根天然丝瓜瓤沿轴剪开,依次超声清洗,在加热台上60℃干燥2h,如此反复清洗干燥,使得丝瓜瓤的回弹性能趋于稳定,将预处理好的丝瓜瓤选取结构规整的区域切割成正方形结构作为复合导电层的柔性骨架;
②将玻璃衬底裁剪成基片,并依次在玻璃清洗液、去离子水、无水乙醇中超声,随后放在烘箱里面烘干备用;用去离子水稀释纳米纤维素水溶液并置于离心机中以5000转/分钟的转速离心处理,去除溶液中质量的粗纤维和杂质,离心结束后,留取上清液并利用流延法将纳米纤维素水溶液覆盖在玻璃基片上,并放置在烘箱中40℃烘干8h,冷却至室温后,将纳米纤维素薄膜从玻璃衬底上剥离,得到100-300μm的可降解柔性封装层;
③使用丝网印刷技术在纳米纤维素薄膜上印刷一层石墨电极并在电极表面接出引线,作为导电电极层;
⑤通过溶液浸渍方法将洁净的丝瓜瓤柔性骨架浸入碳素墨水溶液中,取出后干燥并重复1-5次,得到对压力敏感的丝瓜瓤结构复合导电层,施加压力将改变复合导电层的电阻值,从而改变输出电流;
⑤按顺序将叠放好的各层材料从边缘粘合固定进行封装,从下至上依次为可降解柔性封装层5,下导电电极4,丝瓜瓤结构复合导电层3,上导电电极2,上可降解柔性封装层1;
⑥把封装好的器件固定在推拉力计的载物台上,将电学参数测试仪的两个探头分别与两个引出电极连接,通过圆形压力探头给器件施加压力;
⑦随着施加压力大小的不同,压力传感器件的输出电信号响应发生改变,通过电学参数测试仪检测器件的输出电流信号,从而实现对外界静、动态压力的检测。
本发明的工作原理如下:
在压力作用下,丝瓜瓤结构复合导电层3由于其本身的弹性可变性多孔块体结构首先发生形变,其孔隙改变使得附着在丝瓜瓤柔性骨架上的导电材料接触情况发生改变,导电通路数量发生变化导致器件电阻值发生变化;当压力继续增大时,丝瓜瓤柔性骨架的孔隙改变得到饱和,导电通路数量不再变化,而单根丝瓜瓤结构复合导电纤维发生二级形变,根据电阻的定义:
其中,ρ是电阻率,L是长度,S是横截面积。在压力的作用,单根复合导电纤维的横截面积发生改变,器件的电阻值发生变化。
压力继续增大,丝瓜瓤结构复合导电层形变完全,内部具有压阻效应的导电材料开始在压力的作用下改变其自身电阻值,最终导致器件电阻值发生变化,实现从低到高宽量程的压力检测机制。
本发明给出了一种基于丝瓜瓤结构的有机全可降解柔性压力传感器及制备方法,该柔性压力传感器制备工艺简单、质量轻、测量范围宽、成本低、可完全降解,拥有良好的线性响应输出。
同传统的压力传感器相比,本发明具备良好的柔性,能够较好的贴合人体皮肤表面共形检测压力变化,且该柔性压力传感器全可降解,具有环境友好的特点和生物植入的潜在应用价值;另外,该器件敏感结构将丝瓜瓤柔性骨架与导电材料相结合,充分利用了丝瓜瓤骨架的多级形变以及导电材料自身的压阻效应,在不同压力范围内实现压力敏感机理切换,扩大了压力检测范围并在较宽范围内保持良好的线性响应。本发明提出的基于丝瓜瓤结构的有机全可降解柔性压力传感器制作简单、体积小、成质量轻、生物无害、全可降解并且能够在静、动态变化的表面采集外界压力并转换成电流输出实时反应压力的大小变化,在电子皮肤、人机交互、人工智能和可植入医疗等领域中有很大的应用价值。
附图说明
图1为本发明的三维结构示意图。
图2为本发明基于丝瓜瓤结构的有机全可降解柔性压力传感器的一种制备工艺流程图。
图3为本发明器件受到外界压力时电阻改变的示意图。
图4为本发明丝瓜瓤结构复合导电层SEM形貌图。其中(a)复合导电层的弹性多孔块体的整体形貌;(b)导电材料碳素墨水在丝瓜瓤柔性骨架上很好地附着。
图5为本发明不同压力条件下器件的电压-电流曲线图。
图6为本发明器件的灵敏度线性拟合图。
图7为本发明器件的响应/恢复时间特性曲线图。
图8为本发明的传感器手指按压随时间响应曲线。
1为上可降解柔性封装层;2为上导电电极;3为丝瓜瓤结构复合导电层,4为下导电电极,5为下可降解柔性封装层。
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式,本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用,本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用,在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。
实施例1
如图1所示,本实施例提供基于丝瓜瓤结构的全可降解柔性压力传感器,从下至上依次包括下可降解柔性封装层5、下导电电极4、丝瓜瓤结构复合导电层3、上导电电极2、上可降解柔性封装层1,丝瓜瓤结构复合导电层3将天然丝瓜瓤作为柔性骨架与导电材料复合后用作器件的核心压敏结构层,上导电电极2、下导电电极4各引出一根引线用于接收测量信号,上可降解柔性封装层1、下可降解柔性封装层5用于器件的封装固定;
丝瓜瓤柔性骨架的形变程度与施加于表面的压力大小具有线性关系,使包裹在柔性骨架上的导电材料与两导电电极之间构成的导电通路数量与外界压力大小也存在线性关系,通过检测传感器输出电学参量的变化来反映外界所施加的静、动态压力的大小。
在一些实施例中,丝瓜瓤结构复合导电层3为将天然丝瓜瓤经过预处理后通过溶液浸渍法与导电材料进行复合得到,丝瓜瓤柔性骨架为弹性可变形多孔块体,随所施加压力改变而收缩或回弹;丝瓜瓤结构复合导电层3复合了具有压阻效应的导电材料;
上导电电极2、下导电电极4分别为在上可降解柔性封装层1、下可降解柔性封装层5表面经丝网印刷制备得到的电极。
当器件表面施加静、动态压力时,丝瓜瓤结构复合导电层发生形变,随着压力的增加,丝瓜瓤结构复合导电层3中不同导电网络之间、单根导电纤维和导电材料本身均会发生变化,上、下导电电极之间的导电通路数量、导电通路直径和导电材料本身电阻率发生变化,随压力增大依次成为器件电阻改变的主要原因,在外加工作电压的情况下输出变化的电流信号,实现对压力信号的检测。
优选的,丝瓜瓤结构复合导电层3为基于丝瓜瓤柔性骨架复合具有压阻效应的导电材料的弹性可变形多孔块体;
优选的,丝瓜瓤柔性骨架为天然丝瓜瓤经过去离子水反复浸泡干燥并压实制得;
优选的,丝瓜瓤结构复合导电层3呈边长0.5-3cm的正方形,厚度为0.5-1.5cm。
优选的,上导电电极2、下导电电极4的材料选自石墨或玫棕酸二锂或菱锌矿二锂盐。
优选的,丝瓜瓤结构复合导电层3中的柔性骨架选自天然丝瓜瓤;
优选的,柔性骨架还包括网纹草、或植物纤维;
优选的,柔性骨架内部有直径为100-300μm的三维网状脉络。
优选的,丝瓜瓤结构复合导电层3的导电材料为碳素墨水、还原氧化石墨烯、碳纳米管、二维过渡金属碳或氮化物其中至少一种或者两种以上不同材料所组成的复合材料。
优选的,所述上可降解柔性封装层1、下可降解柔性封装层5的材料选自纤维素或木质素或淀粉或蚕丝蛋白或胶原蛋白或聚乳酸或聚乙烯醇;并且/或者封装层经所述材料由溶液流延法制得。
器件整体在自然环境下完全降解且产物生物友好,无毒无害。
实施例2
如图2所示,本实施例提供一种基于丝瓜瓤结构的有机全可降解柔性压力传感器的制备方法,包括如下步骤:
①将一根天然丝瓜瓤沿轴剪开,依次用去离子水、无水乙醇等超声清洗,在加热台上60℃干燥2h,如此反复清洗干燥5次,使得丝瓜瓤的回弹性能趋于稳定。将预处理好的丝瓜瓤选取结构规整的区域切割成边长为0.5-2cm的正方形结构作为复合导电层的柔性骨架。
②将玻璃衬底裁剪成面积大小为5*5cm的基片,并依次在玻璃清洗液、去离子水、无水乙醇中各超声10min,随后放在烘箱里面烘干备用;用去离子水稀释商用纳米纤维素水溶液并置于离心机中以5000转/分钟的转速离心处理,去除溶液中质量较大的粗纤维和杂质,离心结束后,留取上清液并利用流延法将纳米纤维素水溶液覆盖在玻璃基片上,并放置在烘箱中40℃烘干8h,冷却至室温后,将纳米纤维素薄膜从玻璃衬底上剥离,得到100-300μm的可降解柔性封装层。
③使用丝网印刷技术在纳米纤维素薄膜上印刷一层边长为0.5-2cm、厚度为100-500um的石墨电极并在电极表面接出引线,作为导电电极层。
⑤通过溶液浸渍方法将洁净的丝瓜瓤柔性骨架浸入粒径约为50-70nm的碳素墨水溶液中,取出后干燥并重复1-5次,得到对压力敏感的丝瓜瓤结构复合导电层,施加压力将改变复合导电层的电阻值,从而改变输出电流;
⑤按顺序将叠放好的各层材料从边缘粘合固定进行封装,从下至上依次为可降解柔性封装层5,下导电电极4,丝瓜瓤结构复合导电层3,上导电电极2,上可降解柔性封装层1。
⑥把封装好的器件固定在推拉力计的载物台上,将电学参数测试仪的两个探头分别与两个引出电极连接,通过圆形压力探头给器件施加压力;
⑦随着施加压力大小的不同,压力传感器件的输出电信号响应发生改变,通过电学参数测试仪检测器件的输出电流信号,从而实现对外界静、动态压力的检测。
以上是本发明提出的一种基于丝瓜瓤结构的宽量程可降解柔性压力传感器的制备详细说明,该柔性压力传感器的尺寸大小为2cm*2cm*0.5cm。任何在上述实施方式的精神和原则之内所做的修改、等同替换和改进等,均应包含在技术方案的保护范围内。
该基于丝瓜瓤结构的宽量程可降解柔性压力传感器原理如图3所示。在压力作用下,丝瓜瓤结构复合导电层3由于其本身的弹性可变性多孔块体结构首先发生形变,其孔隙改变使得附着在丝瓜瓤柔性骨架上的导电材料接触情况发生改变,导电通路数量发生变化导致器件电阻值发生变化;当压力继续增大时,丝瓜瓤柔性骨架的孔隙改变得到饱和,导电通路数量不再变化,而单根丝瓜瓤结构复合导电纤维发生二级形变,在压力的作用,单根复合导电纤维的横截面积发生改变,器件的电阻值发生变化。压力继续增大,丝瓜瓤结构复合导电层形变完全,内部具有压阻效应的导电材料开始在压力的作用下改变其自身电阻值,最终导致器件电阻值发生变化。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效,而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下,对上述实施例进行修饰或改变。因此,凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变,仍应由本发明的权利要求所涵。
Claims (10)
1.一种基于丝瓜瓤结构的全可降解柔性压力传感器,其特征在于:从下至上依次包括下可降解柔性封装层(5)、下导电电极(4)、丝瓜瓤结构复合导电层(3)、上导电电极(2)、上可降解柔性封装层(1),丝瓜瓤结构复合导电层(3)将天然丝瓜瓤作为柔性骨架与导电材料复合后用作器件的核心压敏结构层,上导电电极(2)、下导电电极(4)各引出一根引线用于接收测量信号,上可降解柔性封装层(1)、下可降解柔性封装层(5)用于器件的封装固定;
丝瓜瓤柔性骨架的形变程度与施加于表面的压力大小具有线性关系,使包裹在柔性骨架上的导电材料与两导电电极之间构成的导电通路数量与外界压力大小也存在线性关系,通过检测传感器输出电学参量的变化来反映外界所施加的静、动态压力的大小。
2.根据权利要求1所述的一种基于丝瓜瓤结构的全可降解柔性压力传感器,其特征在于:
丝瓜瓤结构复合导电层(3)为将天然丝瓜瓤经过预处理后通过溶液浸渍法与导电材料进行复合得到,丝瓜瓤柔性骨架为弹性可变形多孔块体,随所施加压力改变而收缩或回弹;丝瓜瓤结构复合导电层(3)复合了具有压阻效应的导电材料;
上导电电极(2)、下导电电极(4)分别为在上可降解柔性封装层(1)、下可降解柔性封装层(5)表面经丝网印刷制备得到的电极。
3.根据权利要求1所述的一种基于丝瓜瓤结构的全可降解柔性压力传感器,其特征在于:当器件表面施加静、动态压力时,丝瓜瓤结构复合导电层发生形变,随着压力的增加,丝瓜瓤结构复合导电层(3)中不同导电网络之间、单根导电纤维和导电材料本身均会发生变化,上、下导电电极之间的导电通路数量、导电通路直径和导电材料本身电阻率发生变化,随压力增大依次成为器件电阻改变的主要原因,在外加工作电压的情况下输出变化的电流信号,实现对压力信号的检测。
4.根据权利要求1所述的一种基于丝瓜瓤结构的全可降解柔性压力传感器,其特征在于:丝瓜瓤结构复合导电层(3)为基于丝瓜瓤柔性骨架复合具有压阻效应的导电材料的弹性可变形多孔块体;
并且/或者丝瓜瓤柔性骨架为天然丝瓜瓤经过去离子水反复浸泡干燥并压实制得;
并且/或者丝瓜瓤结构复合导电层(3)呈边长0.5-3cm的正方形,厚度为0.5-1.5cm。
5.根据权利要求1所述的一种基于丝瓜瓤结构的全可降解柔性压力传感器,其特征在于:上导电电极(2)、下导电电极(4)的材料选自石墨或玫棕酸二锂或菱锌矿二锂盐。
6.根据权利要求1所述的一种基于丝瓜瓤结构的全可降解柔性压力传感器,其特征在于:丝瓜瓤结构复合导电层(3)中的柔性骨架选自天然丝瓜瓤;
并且/或者柔性骨架还包括网纹草、或植物纤维;
并且/或者柔性骨架内部有直径为100-300μm的三维网状脉络。
7.根据权利要求1所述的一种基于丝瓜瓤结构的全可降解柔性压力传感器,其特征在于:丝瓜瓤结构复合导电层(3)的导电材料为碳素墨水、还原氧化石墨烯、碳纳米管、二维过渡金属碳或氮化物其中至少一种或者两种以上不同材料所组成的复合材料。
8.根据权利要求1所述的一种基于丝瓜瓤结构的全可降解柔性压力传感器,其特征在于:所述上可降解柔性封装层(1)、下可降解柔性封装层(5)的材料选自纤维素或木质素或淀粉或蚕丝蛋白或胶原蛋白或聚乳酸或聚乙烯醇;并且/或者封装层经所述材料由溶液流延法制得。
9.根据权利要求1所述的一种基于丝瓜瓤结构的全可降解柔性压力传感器,其特征在于:器件整体在自然环境下完全降解且产物生物友好,无毒无害。
10.权利要求1至9任意一项所述的一种基于丝瓜瓤结构的全可降解柔性压力传感器的制备方法,其特征在于包括如下步骤:
①将一根天然丝瓜瓤沿轴剪开,依次超声清洗,在加热台上60℃干燥2h,如此反复清洗干燥,使得丝瓜瓤的回弹性能趋于稳定,将预处理好的丝瓜瓤选取结构规整的区域切割成正方形结构作为复合导电层的柔性骨架;
②将玻璃衬底裁剪成基片,并依次在玻璃清洗液、去离子水、无水乙醇中超声,随后放在烘箱里面烘干备用;用去离子水稀释纳米纤维素水溶液并置于离心机中以5000转/分钟的转速离心处理,去除溶液中质量的粗纤维和杂质,离心结束后,留取上清液并利用流延法将纳米纤维素水溶液覆盖在玻璃基片上,并放置在烘箱中40℃烘干8h,冷却至室温后,将纳米纤维素薄膜从玻璃衬底上剥离,得到100-300μm的可降解柔性封装层;
③使用丝网印刷技术在纳米纤维素薄膜上印刷一层石墨电极并在电极表面接出引线,作为导电电极层;
⑤通过溶液浸渍方法将洁净的丝瓜瓤柔性骨架浸入碳素墨水溶液中,取出后干燥并重复1-5次,得到对压力敏感的丝瓜瓤结构复合导电层,施加压力将改变复合导电层的电阻值,从而改变输出电流;
⑤按顺序将叠放好的各层材料从边缘粘合固定进行封装,从下至上依次为可降解柔性封装层(5),下导电电极(4),丝瓜瓤结构复合导电层(3),上导电电极(2),上可降解柔性封装层(1);
⑥把封装好的器件固定在推拉力计的载物台上,将电学参数测试仪的两个探头分别与两个引出电极连接,通过圆形压力探头给器件施加压力;
⑦随着施加压力大小的不同,压力传感器件的输出电信号响应发生改变,通过电学参数测试仪检测器件的输出电流信号,从而实现对外界静、动态压力的检测。
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CN202310308301.XA CN116295972A (zh) | 2023-03-27 | 2023-03-27 | 基于丝瓜瓤结构的全可降解柔性压力传感器及制备方法 |
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CN202310308301.XA CN116295972A (zh) | 2023-03-27 | 2023-03-27 | 基于丝瓜瓤结构的全可降解柔性压力传感器及制备方法 |
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Cited By (1)
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CN117067199A (zh) * | 2023-07-26 | 2023-11-17 | 睿尔曼智能科技(北京)有限公司 | 一种机械臂电子皮肤、机械臂及其碰撞检测系统 |
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- 2023-03-27 CN CN202310308301.XA patent/CN116295972A/zh active Pending
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