CN116288210A - 一种磁控溅射镀膜装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种磁控溅射镀膜装置，包括底，所述圆盘型支撑底座的顶端呈环形阵列开设有多个固定槽，且多个固定槽内均固定安装有翻转传动组件，所述圆盘型支撑底座顶端的中心固定安装有伺服电机，且伺服电机的电机轴穿过圆盘型支撑底座的一端固定连接有X型支架，所述X型支架上构造有驱动齿环，且驱动齿环啮合连接于多个翻转传动组件，所述翻转传动组件包括固定座，所述固定座内转动安装有传动轴，且传动轴的顶端固定安装有支撑组件，所述传动轴的底端固定安装有啮合于驱动齿环的传动齿轮，所述支撑组件包括安装座一。该磁控溅射镀膜装置，简化了加工步骤，无需反复抽真空，大大降低了生产成本，并提高了产品的生产效率，还可适用于不同尺寸的工件，适用范围较大，实用性较强。

Description

一种磁控溅射镀膜装置
技术领域
本发明属于表面镀膜技术领域，具体涉及一种磁控溅射镀膜装置。
背景技术
磁控溅射镀膜是指将涂层材料做为靶阴极，利用氩离子轰击靶材，产生阴极溅射，把靶材原子溅射到工件上形成沉积层的一种镀膜技术.
目前，在对板状工件进行磁控溅射镀膜生产时，有很多情况下是要在真空腔室中对板状工件的双面均进行镀膜。现有的方法是镀完一面后，解除真空腔室的真空状态，打开真空腔室，把板状工件取下来，反转装夹后再放回真空腔室，然后再抽真空并进行第二面的镀膜。
可由于这种方式由于需要增加一次抽真空的步骤，大大提高生产成本的同时，由于抽真空所耗费时间，从而导致产品的生产效率降低，实用性较低。
发明内容
本发明的目的在于提供一种磁控溅射镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种磁控溅射镀膜装置，包括圆盘型支撑底座；
所述圆盘型支撑底座的顶端呈环形阵列开设有多个固定槽，且多个固定槽内均固定安装有翻转传动组件，所述圆盘型支撑底座顶端的中心固定安装有伺服电机，且伺服电机的电机轴穿过圆盘型支撑底座的一端固定连接有X型支架，所述X型支架上构造有驱动齿环，且驱动齿环啮合连接于多个翻转传动组件；
所述翻转传动组件包括固定安装于固定槽内的固定座，所述固定座内转动安装有传动轴，且传动轴的顶端固定安装有支撑组件，所述传动轴的底端固定安装有啮合于驱动齿环的传动齿轮，通过伺服电机带动安装有驱动齿环的X型支架转动，从而通过驱动齿环驱动多根传动轴底部安装的传动齿轮转动，进而驱动传动轴上顶部安装的支撑组件自转，从而完成对于工件的翻转，无需反复抽真空，简化了加工步骤，大大降低了生产成本，并提高了产品的生产效率，实用性较强。
优选的，所述支撑组件包括安装座一，所述安装座一的两侧均构造有支撑臂，且两个支撑臂的相向面顶部之间构造有安装座二。
优选的，所述安装座二顶端的中心固定安装有电动推杆，且安装座二的底端居中开设有通孔。
优选的，所述电动推杆的活塞杆活动设置有于通孔内，且电动推杆的活塞杆穿过通孔的一端固定安装有上夹持板，通过电动推杆推动上夹持板朝向下夹持板移动，从而将工件的另一端抵入上夹持板底部的定位槽内，实现对于工件的夹持固定，可适用于不同尺寸的工件。
优选的，两个所述支撑臂相向面底部之间构造有下夹持板，且下夹持板和下夹持板的相向面均居中开设有定位槽，通过下夹持板和下夹持板上定位槽可对工件进行限位，故而可有效避免因设备震动而导致的滑脱现象。
优选的，所述上夹持板的两端均居中构造有导向键，且两个支撑臂的相向面顶部均居中开设有导向槽，所述导向键滑动设置于导向槽内，当上夹持板受电动推杆影响而上下滑动时，其带动两个导向键同步位移，通过使两个导向键分别于两个导向槽内移动，即可提高上夹持板上下滑动时的稳定性。
优选的，所述安装座一和安装座二同轴设置，且安装座一固定安装于传动轴的外缘面顶部，由于安装座一和安装座二是同轴设置，故而极大的避免了因转动时的因偏心而出现的摆动现象。
本发明的技术效果和优点：该磁控溅射镀膜装置，得益于圆盘型支撑底座上安装的伺服电机和多个翻转传动组件以及安装有X型支架的驱动齿环的设置，通过多个支撑组件对待处理工件进行固定，并送入腔室内进行表面镀膜，单面镀膜完成后，启动伺服电机，通过伺服电机带动安装有驱动齿环的X型支架转动，从而通过驱动齿环驱动多根传动轴底部安装的传动齿轮转动，进而驱动传动轴上顶部安装的支撑组件自转，从而完成对于工件的翻转，无需反复抽真空，简化了加工步骤，大大降低了生产成本，并提高了产品的生产效率，实用性较强；
得益于支撑组件的设置，通过将工件设置于下夹持板上的定位槽内，并启动电动推杆推动上夹持板朝向下夹持板移动，从而将工件的另一端抵入上夹持板底部的定位槽内，实现对于工件的夹持固定，可适用于不同尺寸的工件，适用范围较大，实用性较强。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明的拆分示意图；
图3为本发明翻转传动组件的结构示意图；
图4为本发明支撑组件的结构示意图。
图中：1、圆盘型支撑底座；101、固定槽；2、翻转传动组件；201、固定座；202、传动轴；203、传动齿轮；3、伺服电机；4、X型支架；5、驱动齿环；6、支撑组件；601、安装座一；602、支撑臂；603、安装座二；604、下夹持板；605、定位槽；606、电动推杆；607、上夹持板；608、导向键。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
为完成对于工件的翻转，从而在不解除真空的状态下对其另一面进行表面镀膜，如图1、图2、图3所示，一种磁控溅射镀膜装置，包括圆盘型支撑底座1，所述圆盘型支撑底座1的顶端呈环形阵列开设有多个固定槽101，且多个固定槽101内均固定安装有翻转传动组件2，所述圆盘型支撑底座1顶端的中心固定安装有伺服电机3，且伺服电机3的电机轴穿过圆盘型支撑底座1的一端固定连接有X型支架4，所述X型支架4上构造有驱动齿环5，且驱动齿环5啮合连接于多个翻转传动组件2，通过伺服电机3带动X型支架4转动，从而驱动X型支架4上设置的驱动齿环5带动多个多个翻转传动组件2转动，实现动力的输送；
所述翻转传动组件2包括固定安装于固定槽101内的固定座201，所述固定座201内通过轴承转动安装有传动轴202，且传动轴202的顶端固定安装有支撑组件6，所述传动轴202的底端固定安装有啮合于驱动齿环5的传动齿轮203，通过多个支撑组件6对待处理工件进行固定，并送入腔室内进行表面镀膜，单面镀膜完成后，启动伺服电机3，通过伺服电机3带动安装有驱动齿环5的X型支架4转动，从而通过驱动齿环5驱动多根传动轴202底部安装的传动齿轮203转动，进而驱动传动轴202上顶部安装的支撑组件6自转，从而完成对于工件的翻转，无需反复抽真空，简化了加工步骤，大大降低了生产成本，并提高了产品的生产效率，实用性较强，并且为了避免连接电动推杆606的线束出现缠绕，可对伺服电机3选用正反转或是采用旋转接头的方式完成对于电动推杆606的送电。
为实现对于工件的夹持固定，并适用于不同尺寸的工件，如图1、图2、图3、图4所示，具体的，所述支撑组件6包括安装座一601，所述安装座一601的两侧均构造有支撑臂602，且两个支撑臂602的相向面顶部之间构造有安装座二603，所述安装座二603顶端的中心固定安装有电动推杆606，且安装座二603的底端居中开设有通孔，所述电动推杆606的活塞杆活动设置有于通孔内，且电动推杆606的活塞杆穿过通孔的一端固定安装有上夹持板607，两个所述支撑臂602相向面底部之间构造有下夹持板604，且下夹持板604和下夹持板604的相向面均居中开设有定位槽605；通过将工件设置于下夹持板604上的定位槽605内，并启动电动推杆606推动上夹持板607朝向下夹持板604移动，从而将工件的另一端抵入上夹持板607底部的定位槽605内，实现对于工件的夹持固定，可适用于不同尺寸的工件，适用范围较大，实用性较强，通过下夹持板604和下夹持板604上定位槽605可对工件进行限位，故而可有效避免因设备震动而导致的滑脱现象，稳定性较高；
所述上夹持板607的两端均居中构造有导向键608，且两个支撑臂602的相向面顶部均居中开设有导向槽，所述导向键608滑动设置于导向槽内，所述安装座一601和安装座二603同轴设置，且安装座一601固定安装于传动轴202的外缘面顶部，当上夹持板607受电动推杆606影响而上下滑动时，其带动两个导向键608同步位移，通过使两个导向键608分别于两个导向槽内移动，即可提高上夹持板607上下滑动时的稳定性，并且由于安装座一601和安装座二603是同轴设置，故而极大的避免了因转动时的因偏心而出现的摆动现象。
工作原理，该磁控溅射镀膜装置，使用时，通过将工件设置于下夹持板604上的定位槽605内，并启动电动推杆606推动上夹持板607朝向下夹持板604移动，从而将工件的另一端抵入上夹持板607底部的定位槽605内，实现对于工件的夹持固定，而后即可将在该装置固定下的工件送入腔室内进行表面镀膜，当单面镀膜完成后，可启动伺服电机3，通过伺服电机3带动安装有驱动齿环5的X型支架4转动，从而通过驱动齿环5驱动多根传动轴202底部安装的传动齿轮203转动，进而驱动传动轴202上顶部安装的支撑组件6自转，完成对于工件的翻转，对其另一面进行表面镀膜，由于简化了加工步骤，无需反复抽真空，故而大大降低了生产成本，提高了产品的生产效率，使用方便。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种磁控溅射镀膜装置，包括圆盘型支撑底座(1)；
其特征在于：所述圆盘型支撑底座(1)的顶端呈环形阵列开设有多个固定槽(101)，且多个固定槽(101)内均固定安装有翻转传动组件(2)，所述圆盘型支撑底座(1)顶端的中心固定安装有伺服电机(3)，且伺服电机(3)的电机轴穿过圆盘型支撑底座(1)的一端固定连接有X型支架(4)，所述X型支架(4)上构造有驱动齿环(5)，且驱动齿环(5)啮合连接于多个翻转传动组件(2)；
所述翻转传动组件(2)包括固定安装于固定槽(101)内的固定座(201)，所述固定座(201)内转动安装有传动轴(202)，且传动轴(202)的顶端固定安装有支撑组件(6)，所述传动轴(202)的底端固定安装有啮合于驱动齿环(5)的传动齿轮(203)。
2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜装置，其特征在于：所述支撑组件(6)包括安装座一(601)，所述安装座一(601)的两侧均构造有支撑臂(602)，且两个支撑臂(602)的相向面顶部之间构造有安装座二(603)。
3.根据权利要求2所述的一种磁控溅射镀膜装置，其特征在于：所述安装座二(603)顶端的中心固定安装有电动推杆(606)，且安装座二(603)的底端居中开设有通孔。
4.根据权利要求3所述的一种磁控溅射镀膜装置，其特征在于：所述电动推杆(606)的活塞杆活动设置有于通孔内，且电动推杆(606)的活塞杆穿过通孔的一端固定安装有上夹持板(607)。
5.根据权利要求4所述的一种磁控溅射镀膜装置，其特征在于：两个所述支撑臂(602)相向面底部之间构造有下夹持板(604)，且下夹持板(604)和下夹持板(604)的相向面均居中开设有定位槽(605)。
6.根据权利要求5所述的一种磁控溅射镀膜装置，其特征在于：所述上夹持板(607)的两端均居中构造有导向键(608)，且两个支撑臂(602)的相向面顶部均居中开设有导向槽，所述导向键(608)滑动设置于导向槽内。
7.根据权利要求2所述的一种磁控溅射镀膜装置，其特征在于：所述安装座一(601)和安装座二(603)同轴设置，且安装座一(601)固定安装于传动轴(202)的外缘面顶部。
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