CN116277560A - 晶棒切割系统及金刚线寿命检测方法 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种晶棒切割系统，包括：至少两根切割棍，金刚线缠绕在两根切割棍上，在两根切割棍间组成切割线网；喷淋装置，向切割线网喷淋冷却液；接液槽，接收冷却液；将切割线网划分为至少两个区域，接液槽对应设置有至少两个容纳腔，容纳腔对应接收经过区域的冷却液；各个容纳腔中分别设置有温度传感器；系统还包括处理单元，处理单元接收各个容纳腔中冷却液的温度，当任一容纳腔中冷却液温度超出预设温度范围时，判断切割线网中至少存在部分金刚线发生过度磨损。本申请还提供一种金刚线寿命检测方法，根据本申请提供的晶棒切割系统和金刚线寿命检测方法，可以在晶棒切割过程中及时发现金刚线发生过度磨损的状况。

Description

晶棒切割系统及金刚线寿命检测方法

技术领域

本申请属于硅棒加工技术领域，尤其涉及一种晶棒切割系统及金刚线寿命检测方法。

背景技术

金刚线在切片机中用来切割硅片，但是目前对金刚线的寿命评价是基于切割效果来评价，即1.5米金刚线本来可以切割80%的深度，但是现在按预设的切割参数，只切了60%，说明金刚线的质量较差、使用寿命较短。

然而，相关技术中，往往是基于一段金刚线的使用寿命来对后续同匝的金刚线的寿命进行判断，是一种笼统的判断方法，对金刚线寿命的判断精度较低，对已经切割磨损完的金刚线没有意义，但对那段被切割的硅棒而言，切割表面的形貌控制的可能略差，影响切片质量。

因此，有必要提供一种技术方案，解决相关技术中存在的金刚线寿命检测不及时导致晶棒切割质量难以把控的问题。

发明内容

本申请的目的在于提供一种技术方案，解决相关技术中存在的金刚线寿命检测不及时导致晶棒切割质量难以把控的问题。

基于以上目的，本申请提供一种晶棒切割系统，包括：

至少两根切割棍，金刚线缠绕在两根切割棍上，在两根切割棍间组成切割线网，通过切割线网在两根切割棍之间的往复运动实现对晶棒的切割；

喷淋装置，在切割线网切割晶棒时，喷淋装置向切割线网喷淋冷却液；

接液槽，接收冷却液；

切割棍分为至少两个部分，按照每部分切割棍上所缠绕的金刚线，将切割线网划分为至少两个区域，接液槽对应设置有至少两个容纳腔，容纳腔对应接收经过区域的冷却液；

晶棒切割系统还包括与容纳腔数量对应的温度传感器，温度传感器用于检测各个容纳腔中冷却液的温度；

晶棒切割系统还包括处理单元，处理单元接收各个温度传感器获取的容纳腔中冷却液的温度，当任一容纳腔中冷却液温度超出预设温度范围时，判断切割线网中至少存在部分金刚线发生过度磨损。

进一步的，处理单元选择其中一个容纳腔中冷却液的温度为基准温度，分别获取其余容纳腔中冷却液温度相对基准温度的偏差，

将偏差与基准温度对比，当偏差在基准温度的占比大于或等于预设阈值，判断切割线网中至少存在部分金刚线发生过度磨损。

进一步的，处理单元选择最接近切割线网进线处的容纳腔的冷却液温度作为基准温度。

进一步的，预设温度范围和预设阈值均与以下参数的一种或多种相关：

进刀速度、金刚线线速度、晶棒切割系统的正反向供线速度以及对晶棒的切割深度。

进一步的，处理单元实时记录各个容纳腔中冷却液的温度变化；

处理单元将各个容纳腔中的冷却液温度拟合，获得温度曲线；

当任一容纳腔中冷却液温度偏离温度曲线时，判断该容纳腔所对应的切割线网区域中存在金刚线发生过度磨损。

进一步的，系统还包括储线装置，储线装置用于在切割线网的进线处收放线，并在切割线网的出线处收放线，以使切割线网在切割棍间进行往复运动；

当处理单元判断切割线网中至少存在部分金刚线发生过度磨损时，处理单元控制储线装置提高正反向供线的差值，以将过度磨损的金刚线置换。

本申请还提供一种金刚线寿命检测方法，方法包括以下步骤：

金刚线缠绕在两根切割棍上，在两根切割棍间组成切割线网，切割棍分为至少两个部分，按照每部分切割棍上所缠绕的金刚线，将切割线网划分为至少两个区域；

在切割线网切割晶棒时，向切割线网喷淋冷却液；

在切割线网下方设置接液槽，接液槽中设置至少两个容纳腔，容纳腔对应接收经过区域的冷却液；

检测各个容纳腔中的冷却液温度，当任一容纳腔中冷却液的温度超出预设温度范围时，判断切割线网中至少存在部分金刚线发生过度磨损。

进一步的，以任一容纳腔中冷却液的温度作为基准温度，分别获取其余容纳腔中冷却液的温度相对基准温度的偏差；

将偏差与基准温度对比，当偏差在基准温度的占比大于或等于预设阈值，判断切割线网中至少存在部分金刚线发生过度磨损。

进一步的，选择最接近切割线网进线处的容纳腔，将该容纳腔中冷却液的温度作为基准温度。

进一步的，方法还包括：

实时记录各个容纳腔中冷却液的温度变化；

处理单元将各个容纳腔中的冷却液温度拟合，获得温度曲线；

当任一容纳腔中冷却液温度偏离温度曲线时，判断该容纳腔所对应的切割线网区域中存在金刚线发生过度磨损。

综上，本申请实施例提供一种晶棒切割系统和金刚线寿命检测方法，通过检测切割线网各个区域的温度以此来判断金刚线是否发生过度磨损，可以在晶棒切割过程中及时发现金刚线发生过度磨损的状况，及时将过的磨损的金刚线置换，从而可以确保晶棒的切片质量。

附图说明

图1为本申请实施例提供的晶棒切割系统示意图；

图2为本申请实施例提供的切割线网及接液槽示意图；

图3为本申请实施例提供的根据各个容纳腔中冷却液温度拟合的温度曲线示意图；

图4为本申请一种实施例提供的金刚线寿命检测方法流程图；

图5为本申请另一种实施例提供的金刚线寿命检测方法流程图。

具体实施方式

以下将结合附图所示的具体实施方式对本申请进行详细描述，但这些实施方式并不限制本申请，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本申请的保护范围内。

如图1所示，本申请实施例提供一种晶棒切割系统100，包括：至少两根切割棍11，喷淋装置13以及接液槽14。

其中，金刚线缠绕在两根切割棍11上，在两根切割棍11之间形成切割线网12。通过切割线网12在两根切割棍11之间往复运动实现对晶棒200的切割。

在切割线网12切割晶棒200时，可以通过喷淋装置13向切割线网12喷淋冷却液，以对金刚线进行降温，确保晶棒200的切割质量。接液槽14设置在切割线网12的下方，可以承接经过切割线网12的冷却液。

作为一种可选的实现方式，在本申请实施例提供的晶棒切割系统100中，切割棍11可以至少分为两个部分，按照每部分切割棍11上所缠绕的金刚线，可以将切割线网12分为至少两个区域。接液槽14对应设置有至少两个容纳腔，各个容纳腔之间相互独立，以容纳经过切割线网12对应区域的冷却液，以使得温度传感器15可以获得经过切割线网12对应区域的冷却液的温度。

需要说明的是，基于切割线网12的进线处和出线处分别位于切割棍11的轴向两端，因此，多个区域安切割棍的轴向方向排布，多个容纳腔也按切割棍的轴向方向排布，以使得每个容纳腔中冷却液的温度可以反映一段金刚线的使用状态。

此外，关于切割线网12始终往复运动，始终是个变量状态的问题，基于每个容纳腔对应的每个切割线网区域的变化量一致的特点，且在单位时间内金刚线正向运动，为了便于检测评估，忽略单位时间内金刚线往复循环的运动状态，视为金刚线仅仅做一个正向运动。

作为一种可选的实现方式，在本申请实施例中，晶棒切割系统100包括与容纳腔数量对应的温度传感器15，可以分别在各个容纳腔中设置，以分别获取各个容纳腔中冷却液的温度。

作为另一种可选的实现方式，可以在各个容纳腔的底部分别设置用以回收冷却液的回液管路，可以将温度传感器15分别设置在各个回液管路中，以使温度传感器15可以获得经过切割线网12对应区域的冷却液的温度。

本申请实施例提供的晶棒切割系统100还包括处理单元16。处理单元16可以与温度传感器15通讯连接，以获取温度传感器15所检测得的各个容纳腔中冷却液的温度。当任一容纳腔中冷却液温度超出预设温度范围时，处理单元16可以判断切割线网12中至少存在部分金刚线发生过度磨损，此时发生过度磨损部分的金刚线对晶棒200的切割运动以干磨为主，切割效率不高，且会产生较多热量，对晶棒200切割表面的形貌控制略差，影响切片质量。处理单元16可以通过控制晶棒切割系统100的正反向供线速度差值来快速将发生过度磨损的金刚线替换，从而确保晶棒200的切割质量。具体的，可以提高正向供线速度，和/或降低反向供线速度，以使得在单位时间内，过的磨损的金刚线可以加快运动出切割线网12的范围。

作为一种可选的实现方式，预设温度范围与以下参数中的一种或多种相关：进刀速度、金刚线线速度、所述晶棒切割系统100的正反向供线速度以及对晶棒200的切割深度。

作为一种可选的实现方式，在本申请实施例中，接液槽14至少设置有两个容纳腔，处理单元16可以选择其中一个容纳腔中冷却液的温度为基准温度，分别获取其余容纳腔中冷却液温度相对基准温度的偏差，将偏差与基准温度对比，当偏差在基准温度的占比大于或等于预设阈值，判断切割线网12中至少存在部分金刚线发生过度磨损。

如图2所示，作为一种可选的实现方式，可以进一步对切割线网12的区域进行精细划分，对应切割线网12的区域设置更多的容纳腔，对各个容纳腔中冷却液温度进行检测，从而在利用各个容纳腔中冷却液温度表征对应区域切割线网12温度时更为准确。

作为一种可选的实现方式，在本申请实施例中，接液槽14中设置有四个容纳腔，与切割线网12中的四个区域分别对应。其中，切割线网12的四个区域分别负责对晶棒200的各个部分进行切割。

本申请实施例提供的晶棒切割系统100中，参考切割线网12的进线处，从进线处起逐渐远离，将切割线网12依次分为第一区域121、第二区域122、第三区域123以及第四区域124。接液槽14中设置有四个容纳腔，与切割线网12中的四个区域分别对应。可以理解的，第一容纳腔141用于承接经过切割线网12第一区域121的冷却液，第一容纳腔141中冷却液温度可以用于表征切割线网12第一区域121中金刚线的温度。类似的，第二容纳腔142用于承接经过切割线网12第二区域122的冷却液，第二容纳腔142中冷却液温度可以用于表征切割线网12第二区域122中金刚线的温度。第三容纳腔143用于承接经过切割线网12第三区域123的冷却液，第三容纳腔143中冷却液温度可以用于表征切割线网12第三区域123中金刚线的温度。第四容纳腔144用于承接经过切割线网12第四区域124的冷却液，第四容纳腔144中冷却液温度可以用于表征切割线网12第四区域124中金刚线的温度。

如图2所示，可以以第二容纳腔142中冷却液温度为基准温度，若要判断第三区域123中是否存在金刚线发生过度磨损，则可以计算第三容纳腔143中冷却液温度相对基准温度的偏差，将偏差与基准温度对比，当偏差在基准温度的占比大于或等于预设阈值，则可以认为第三区域123中存在金刚线发生过度磨损。

具体的，假设第二容纳腔142中冷却液温度表示为T_b，第三容纳腔143中冷却液温度表示为T_c，预设阈值可以设置为0.1。则第三容纳腔143中冷却液温度T_c相对第二容纳腔142中冷却液温度表示为T_b的偏差可以表示为ΔT= T_c-T_b，当ΔT/T_b大于或等于0.1时，可以认为第三区域123中存在金刚线发生过度磨损。

类似的，若要判断第一区域121中是否存在金刚线发生过度磨损，可以计算第一容纳腔141中冷却液温度与基准温度的偏差，并将偏差与基准温度对比。以此类推，第四区域124中是否存在金刚线发生过度磨损也可以通过以上方式进行判断。

根据以上说明，本申请以选择其中一个容纳腔中冷却液温度为基准温度，计算其余容纳腔中冷却液温度相对基准温度的偏差，并将偏差与基准温度对比，以此来判断切割线网12中是否至少存在部分金刚线发生过度磨损，通过这种方式，可以排除金刚线线速度、晶棒切割系统100的进刀速度、晶棒切割系统100的正反向供线速度以及对所述晶棒200的切割深度的差异，避免频繁调整预设温度范围。

在切割时，切割线网12中各个区域的金刚线具有相同的线速度，基本相同的切割深度，且同一时刻晶棒切割系统100的进刀速度相同，若金刚线存在局部过度磨损的现象，通过将各个容纳腔中冷却液温度相互比对，可以很容易的筛选出温度明显与其余区域存在较大偏差的区域，进而可以判断切割线网12中存在至少部分金刚线发生过度磨损。

作为一种可选的实现方式，在本申请实施例中，选择最接近切割线网12进线处的容纳腔中冷却液温度作为基准温度。如图2所示，在本申请实施例中，第一区域121最接近切割线网12的进线处，因此，本申请对应选择第一容纳腔141中的冷却液温度作为基准温度。切割线网12中，第一区域121最接近进线处，相对于其余区域，第一区域121处的金刚线磨损程度最低，可以认为第一容纳腔141处检测得的冷却液温度为正常金刚线切割晶棒200情况下冷却液经过切割线网12的温度，以第一容纳腔141处的冷却液温度作为基准温度，可以提供较为准确的判断标准。

此外，根据晶棒切割系统100的供线模式，可以视为一段金刚线从进线处逐渐远离，依次经历第一区域121、第二区域122、第三区域123以及第四区域124。通常情况下，对应的第一容纳腔141至第四容纳腔144中冷却液温度可以构成光滑曲线，且第一容纳腔141至第四容纳腔144中冷却液温度逐步升高，以第一容纳腔141中冷却液温度作为基准温度，在计算其余容纳腔中冷却液温度相对基准温度的偏差时，计算得的偏差结果较大，偏差相对基准温度的占比计算更为精确，进而对切割线网12中是否至少存在部分金刚线发生过度磨损的判断结果更为准确。

作为一种可选的实现方式，本申请以选择其中一个容纳腔中冷却液温度为基准温度，计算其余容纳腔中冷却液温度相对基准温度的偏差，并将偏差与基准温度对比，以此来判断切割线网12中是否至少存在部分金刚线发生过度磨损。在进行判断时，需要获取偏差在基准温度的占比，当占比大于或等于预设阈值时，可以认为切割线网12中至少存在部分金刚线发生过度磨损。

作为一种可选的实现方式，当占比小于预设阈值时，还需要判断任一容纳腔中冷却液温度是否超出预设温度范围，若任一容纳腔中冷却液温度处于预设温度范围，则可以认为切割线网12中金刚线均处于正常状态，若任一容纳腔中冷却液温度超出预设温度范围，则可以认为切割线网12中金刚线均发生过度磨损。

例如，本申请以第二容纳腔142为例，当占比小于预设阈值时，判断第二容纳腔142中冷却液温度是否超出预设温度范围，若第二容纳腔142中冷却液温度处于预设温度范围内，则可以认为切割线网12中金刚线均处于正常状态。若第二容纳腔142中冷却液温度超出预设温度范围，则可以认为切割线网12中金刚线均发生过度磨损。通过这种方式，辨别出因整匝金刚线存在质量问题而导致整体切割线网12中均发生过度磨损，进而造成温度传感器15检测得的温度发生整体升高的现象。从而可以排除偏差相对基准温度的占比小于预设阈值的情况下，整匝金刚线存在质量问题的可能性，避免了误判。

作为一种可选的实现方式，预设阈值与以下参数的一种或多种相关：进刀速度、金刚线线速度、晶棒切割系统100的正反向供线速度以及对晶棒200的切割深度。

例如，在对晶棒200进行切割时，随着切割深度的加深，金刚线与晶棒200之间的接触面积会出现先增后减的变化，在其余加工参数不变的情况下，随着切割深度的增加，接触面积的变化会引起切割时热量发生效率的变化。作为一种可选的实现方式，可以将晶棒200的切割过程分为至少三个阶段。第一阶段为初切阶段，当切割深度达到第一距离时进入第二阶段，当切割深度达到第二距离时进入第三阶段，其中，第一距离小于晶棒200半径，第二距离大于晶棒200半径。根据阶段的不同，可以在各个阶段相应设置预设温度范围和预设阈值。

作为一种可选的实现方式，当晶棒切割系统100的加工参数发生改变时，对应调整预设温度范围和预设阈值。其中，晶棒切割系统100发加工参数包括：进刀速度、金刚线线速度、晶棒切割系统100的正反向供线速度以及对晶棒200的切割深度。

如图3所示，作为一种可选的实现方式，处理单元16还可以实时记录各个容纳腔中冷却液的温度变化。处理单元16将各个容纳腔中的冷却液温度拟合，获得温度曲线。如图3所示，示例性的示出了正常情况下各个容纳腔中冷却液温度变化的趋势，在图3中以拟合的实线表示。

示例性的，在本申请实施例中，冷却液的初始温度为20℃，在金刚线处于正常状况下，可以获得第一至第四腔体内冷却液温度分别为22.2℃、22.5℃、22.9℃、23.4℃，可以看到，根据各个容纳腔中的冷却液温度可以拟合出一条较平滑的曲线。

当任一容纳腔中冷却液温度偏离温度曲线时，判断该容纳腔所对应的切割线网12区域中存在金刚线发生过度磨损。如图3所示，其示出了当第三容纳腔143中冷却液温度偏离温度曲线的状况，此时根据各个容纳腔中冷却液温度拟合获得的曲线以虚线表示。可以看到，第三容纳腔143中冷却液的温度在23.2℃，明显偏离正常情况下的温度曲线，因此，此时第三容纳腔143所对应的切割线网12的区域中至少存在部分金刚线发生过度磨损。

作为一种可选的实现方式，本申请实施例提供的晶棒切割系统100还包括储线装置，储线装置用于在切割线网12的进线处收放线，并在切割线网12的出线处收放线，以使切割线网12在切割棍11间进行往复运动。当处理单元16判断切割线网12中至少存在部分金刚线发生过度磨损时，处理单元16控制储线装置提高正反向供线的差值，以将过度磨损的金刚线置换。

如图4所示，本申请还提供一种金刚线寿命检测方法，包括以下步骤：

S1、金刚线缠绕在两根切割棍11上，在两根切割棍11间组成切割线网12，切割棍11分为至少两个部分，按照每部分切割棍11上所缠绕的金刚线，将切割线网12划分为至少两个区域；

S2、在切割线网12切割晶棒200时，向切割线网12喷淋冷却液；

S3、在切割线网12下方设置接液槽14，接液槽14中设置至少两个容纳腔，容纳腔对应接收经过区域的冷却液；

S4、检测各个容纳腔中的冷却液温度，当任一容纳腔中冷却液的温度超出预设温度范围时，判断切割线网12中至少存在部分金刚线发生过度磨损。

如图5所示，作为一种可选的实现方式，本申请实施例提供的金刚线寿命检测方法还包括：

S401、以任一容纳腔中冷却液的温度作为基准温度，分别获取其余容纳腔中冷却液的温度相对基准温度的偏差；

S402、将偏差与基准温度对比，当偏差在基准温度的占比大于或等于预设阈值，判断切割线网12中至少存在部分金刚线发生过度磨损。

作为一种可选的实现方式，本申请实施例提供的金刚线寿命检测方法还包括：

选择最接近切割线网12进线处的容纳腔，将该容纳腔中冷却液的温度作为基准温度。

作为一种可选的实现方式，本申请实施例提供的金刚线寿命检测方法还包括：

实时记录各个容纳腔中冷却液的温度变化；

处理单元16将各个容纳腔中的冷却液温度拟合，获得温度曲线；

当任一容纳腔中冷却液温度偏离温度曲线时，判断该容纳腔所对应的切割线网12区域中存在金刚线发生过度磨损。

综上，本申请实施例提供一种晶棒切割系统100和金刚线寿命检测方法，通过检测切割线网12各个区域的温度以此来判断金刚线是否发生过度磨损，可以在晶棒200切割过程中及时发现金刚线发生过度磨损的状况，及时将过的磨损的金刚线置换，从而可以确保晶棒200的切片质量。

以上所揭露的仅为本申请的较佳实施例而已，然其并非用以限定本申请之权利范围，本领域普通技术人员可以理解：在不脱离本申请及所附的权利要求的精神和范围内，改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，仍属于发明所涵盖的范围。

Claims (10)

1.一种晶棒切割系统，包括：

至少两根切割棍，金刚线缠绕在两根所述切割棍上，在两根所述切割棍间组成切割线网，通过所述切割线网在两根所述切割棍之间的往复运动实现对所述晶棒的切割；

喷淋装置，在所述切割线网切割晶棒时，所述喷淋装置向所述切割线网喷淋冷却液；

接液槽，接收所述冷却液；

其特征在于：

所述切割棍分为至少两个部分，按照每部分切割棍上所缠绕的金刚线，将所述切割线网划分为至少两个区域，所述接液槽对应设置有至少两个容纳腔，所述容纳腔对应接收经过所述区域的冷却液；

所述晶棒切割系统还包括与所述容纳腔数量对应的温度传感器，所述温度传感器用于检测各个所述容纳腔中冷却液的温度；

所述晶棒切割系统还包括处理单元，所述处理单元接收各个所述温度传感器获取的容纳腔中冷却液的温度，当任一容纳腔中冷却液温度超出预设温度范围时，判断所述切割线网中至少存在部分金刚线发生过度磨损。

2.根据权利要求1所述的晶棒切割系统，其特征在于，

所述处理单元选择其中一个容纳腔中冷却液的温度为基准温度，分别获取其余容纳腔中冷却液温度相对所述基准温度的偏差，

将所述偏差与所述基准温度对比，当所述偏差在所述基准温度的占比大于或等于预设阈值，判断所述切割线网中至少存在部分金刚线发生过度磨损。

3.根据权利要求2所述的晶棒切割系统，其特征在于，

所述处理单元选择最接近所述切割线网进线处的容纳腔的冷却液温度作为基准温度。

4.根据权利要求2所述的晶棒切割系统，其特征在于，

所述预设温度范围和所述预设阈值均与以下参数的一种或多种相关：

进刀速度、金刚线线速度、所述晶棒切割系统的正反向供线速度以及对所述晶棒的切割深度。

5.根据权利要求1所述的晶棒切割系统，其特征在于，

所述处理单元实时记录各个所述容纳腔中冷却液的温度变化；

所述处理单元将各个所述容纳腔中的冷却液温度拟合，获得温度曲线；

当任一容纳腔中冷却液温度偏离所述温度曲线时，判断该容纳腔所对应的切割线网区域中存在金刚线发生过度磨损。

6.根据权利要求1至5任一项所述的晶棒切割系统，其特征在于，

所述系统还包括储线装置，所述储线装置用于在所述切割线网的进线处收放线，并在所述切割线网的出线处收放线，以使切割线网在切割棍间进行往复运动；

当所述处理单元判断所述切割线网中至少存在部分金刚线发生过度磨损时，所述处理单元控制所述储线装置提高正反向供线的差值，以将过度磨损的金刚线置换。

7.一种金刚线寿命检测方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

所述金刚线缠绕在两根切割棍上，在两根所述切割棍间组成切割线网，所述切割棍分为至少两个部分，按照每部分切割棍上所缠绕的金刚线，将所述切割线网划分为至少两个区域；

在所述切割线网切割晶棒时，向所述切割线网喷淋冷却液；

在所述切割线网下方设置接液槽，所述接液槽中设置至少两个容纳腔，所述容纳腔对应接收经过所述区域的冷却液；

检测各个容纳腔中的冷却液温度，当任一所述容纳腔中冷却液的温度超出预设温度范围时，判断所述切割线网中至少存在部分金刚线发生过度磨损。

8.根据权利要求7所述的金刚线寿命检测方法，其特征在于，

以任一容纳腔中冷却液的温度作为基准温度，分别获取其余容纳腔中冷却液的温度相对所述基准温度的偏差；

将所述偏差与所述基准温度对比，当所述偏差在所述基准温度的占比大于或等于预设阈值，判断所述切割线网中至少存在部分金刚线发生过度磨损。

9.根据权利要求8所述的金刚线寿命检测方法，其特征在于，

选择最接近所述切割线网进线处的容纳腔，将该容纳腔中冷却液的温度作为基准温度。

10.根据权利要求7所述的金刚线寿命检测方法，其特征在于，所述方法还包括：

实时记录各个所述容纳腔中冷却液的温度变化；

所述处理单元将各个所述容纳腔中的冷却液温度拟合，获得温度曲线；

当任一容纳腔中冷却液温度偏离所述温度曲线时，判断该容纳腔所对应的切割线网区域中存在金刚线发生过度磨损。

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