CN116241697A - 电气真空比例阀 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种电气真空比例阀，包括阀体、推动装置、压力检测装置及控制装置，阀体具有正压腔、第一气体通道及第二气体通道，第一气体通道与正压腔相连通，第二气体通道具有进气腔及出气腔，气体从第一气体通道进入到正压腔内，压力检测装置包括气体压力传感器及真空压力传感器，气体压力传感器检测正压腔内的压力，真空压力传感器检测进气腔内的压力，控制装置通信连接压力检测装置，压力检测装置将检测数据通信反馈给控制装置，控制装置调节气体的进出，从而使得推动装置上下位移，以调节进气腔内的气体进入到出气腔被排出的量，从而使进气腔的真空压力保持在设定值，保证比例阀的负压性能稳定。

Description

电气真空比例阀

技术领域

本申请涉及阀门技术领域，特别是涉及一种电气真空比例阀。

背景技术

随着阀门技术领域的发展，比例阀的应用场景越来越广泛，市场对性能更优的比例阀需求也在持续增长，市场对控制精度高、稳定性强的比例阀需求日益旺盛。

但传统的比例阀没有控制部分来控制工作端进行调压工作，当负压源或正压源产生波动后，导致负压波动，无法准确保持负压稳定在预估值，调节压力大小的精度较低，比例阀调压功能不稳定。

发明内容

基于此，有必要针对比例阀调节压力不稳定的问题，提供一种电器真空比例阀。

本申请提供的一种电气真空比例阀采用如下的技术方案：

一种电气真空比例阀，包括阀体、推动装置、压力检测装置及控制装置，所述阀体，具有正压腔、第一气体通道及第二气体通道，所述第一气体通道与所述正压腔相连通，所述第二气体通道具有进气腔及出气腔；所述推动装置，设置于所述正压腔的下侧，并贯穿所述第二气体通道设置于所述进气腔及所述出气腔之间；所述压力检测装置，包括气体压力传感器及真空压力传感器，所述气体压力传感器连通所述正压腔，所述真空压力传感器连通所述进气腔；所述控制装置，通信连接所述压力检测装置，所述控制装置响应于所述压力检测装置的信号以控制所述第一气体通道的气体的输入或排出。

通过采用上述技术方案，当没有气体输入至正压腔时，进气腔及出气腔被设置于进气腔与出气腔之间的推动装置隔绝开而不连通；当有气体输入至正压腔时，气体从第一气体通道进入正压腔内，使得正压腔内的压强增大，从而使得推动装置向下移动，此时进气腔与出气腔相连通，气体从进气腔进入到出气腔被排出，从而形成第二气体通道。气体压力传感器用于检测正压腔内的压力，真空压力传感器用于检测进气腔内的真空度，气体压力传感器及真空压力传感器的检测数据能够传输给控制装置，控制装置接收到检测数据后，可以控制先导气输入的多少以调节正压腔内压强大小，从而使得推动装置上下移动以使得进气腔内的气体流通至出气腔被排出，最终使得进气腔的真空度处于设定值。若检测到进气腔的真空度无法达到设定值，控制装置可以控制第一气体通道的气体的输入及输出，以调节进气腔的真空度与设定值相符。

在本申请一实施例中，所述控制装置包括供气电磁阀及排气电磁阀，所述供气电磁阀设置于所述第一气体通道的进气口处，所述排气电磁阀设置于所述第一气体通道的排气口处。

通过采用上述技术方案，若进气腔内的压强低于设定值，供气电磁阀可以打开，气体可以输入至正压腔以增大正压腔内的压强，使得推动装置向下移动，第二气体通道的气体流通更迅速，从而提高进气腔内的真空度至设定值；若进气腔内的压强高于设定值，排气电磁阀可以打开，气体可以从正压腔被排出以减小正压腔内的压强，使得推动装置向上移动，第二气体通道的气体流速变缓，从而降低进气腔内的真空度至设定值。

在本申请一实施例中，所述控制装置还包括控制回路，所述控制回路与所述供气电磁阀及所述气体压力传感器通信连接，所述控制回路与所述排气电磁阀及所述真空压力传感器通信连接，以形成反馈控制闭环。

通过采用上述技术方案，气体通过第一气体通道进入到正压腔后，气体压力传感器检测到正压腔内的压力后，将压力检测数据反馈给控制回路，压力检测数据无法达到设定值时，控制回路控制供气电磁阀打开以通入气体至正压腔内调节正压腔的压力，气体压力传感器将调节后的正压腔内的压力检测数据反馈给控制回路，当压力检测数据与设定值相符合时，控制回路控制供气电磁阀关闭，保证正压腔内的压力稳定。真空压力传感器同时实时检测进气腔内的真空度，将真空度的检测数据反馈给控制回路，真空度的检测数据无法达到设定值时，控制回路控制供气电磁阀及排气电磁阀的开闭，以往正压腔内通入气体或排出正压腔内部分气体，调节正压腔内的压力大小，从而使得进气腔内的真空度保持在设定值，保证比例阀的稳定性。

在本申请一实施例中，所述电气真空比例阀还包括设置于所述正压腔上侧的先导装置，所述先导装置的上侧设置有所述供气电磁阀及所述排气电磁阀，所述第一气体通道穿设于所述先导装置上。

通过采用上述技术方案，第一气体通道通过先导装置，气体先经过先导装置，再进入到正压腔内，供气电磁阀可以控制第一气体通道中的气体是否进入正压腔中，排气电磁阀可以控制正压腔内的气体的排出。

在本申请一实施例中，所述先导装置具有第一通孔、第二通孔及第三通孔，所述第一通孔连通所述第一气体通道及所述正压腔，所述第二通孔上侧设置有所述供气电磁阀，所述第三通孔上侧设置有所述排气电磁阀，所述第三通孔与外界大气相连通。

通过采用上述技术方案，第一气体通道的气体进入到正压腔内需要先通过第一通孔，供气电磁阀设置于第二通孔上侧，以控制第二通孔的开闭，从而控制气体输入至正压腔内；排气电磁阀设置于第三通孔上侧，以控制第三通孔的开闭，从而控制正压腔内的气体的排出。

在本申请一实施例中，所述阀体具有第三气体通道，所述第三气体通道两端分别连通所述进气腔及所述真空压力传感器。

通过采用上述技术方案，真空压力传感器可以实时检测进气腔内的真空度，将检测数据反馈给控制回路，以调节推动装置上下移动，最终实现第一气体通道的真空度达到设定值且真空压力传感器实时检测的真空度保持稳定。

在本申请一实施例中，所述阀体具有第一大气通孔，所述第一大气通孔连通所述第一气体通道及外界大气。

通过采用上述技术方案，正压腔内的气体可以通过第一大气通孔被排出至外界大气中，第一大气通孔与第三通孔相连通，正压腔内的气体排出时先通过第一通孔，再通过第三通孔，最后通过第一大气通孔被排出。

在本申请一实施例中，所述先导装置具有检测通道，所述气体压力传感器通过所述检测通道连通所述正压腔。

通过采用上述技术方案，检测通道的分别与气体压力传感器及正压腔相连通，使得气体压力传感器可以实时检测到正压腔内的压力，及时发现正压腔内的压力变化，从而及时反馈给控制回路，控制供气电磁阀及排气电磁阀的开闭。

在本申请一实施例中，所述进气腔及所述出气腔通过阀口相连通，所述阀口可通过所述推动装置实现开闭。

通过采用上述技术方案，当推动装置与阀口相抵接时，阀口被关闭，此时进气腔与出气腔不连通；当推动装置向下移动时与阀口相离时，阀口被打开，此时进气腔与出气腔相连通；随着推动装置向下位移增大，阀口被打开得更大，更多的气体通过阀口从进气腔进入到出气腔被排出，保证进气腔的真空度稳定。

综上所述，本申请提供的技术方案至少有以下一种技术效果：

1.通过增加压力检测装置及控制装置组合，实时检测正压腔的压力及进气腔内的真空度，并将检测数据同步反馈给控制装置，控制装置控制气体的进入正压腔及排出正压腔，以调节推动装置上下位移，调节阀口开闭的大小，最终使得进气腔的真空度稳定保持在设定值，提高比例阀的稳定性。

2.通过在正压腔上侧设置先导装置，并在先导装置上侧设置供气电磁阀及排气电磁阀，以控制气体进入正压腔及排出正压腔。

3.通过设置检测通道连通气体压力传感器及正压腔，设置第三气体通道连通真空压力传感器及进气腔，实现正压腔的压力及进气腔的真空度的实时检测，以便于实时调节进气腔得的真空度。

附图说明

图1为本申请气控真空比例阀的第一截面图；

图2为本申请一些实施例中的部分结构示意图；

图3为本申请一些实施例中的整体结构示意图；

图4为本申请一些实施例中的先导装置的示意图。

附图标记说明：

10、阀体；20、推动装置；30、检测装置；40、控制装置；50、先导装置；60、密封盖；11、正压腔；12、第一气体通道；13、第二气体通道；14、第三气体通道；15、第一大气通孔；16、负压腔；17、大气腔；18、第二大气通孔；21、第一活塞；22、膜片组件；23、阀芯；24、第二活塞；25、弹簧；31、气体压力传感器；32、真空压力传感器；41、供气电磁阀；42、排气电磁阀；43、控制回路；44、显示面板；45、电源开关；51、第一通孔；52、第二通孔；53、第三通孔；54、检测通道；131、进气腔；132、出气腔；133、阀口；221、弹性膜片；222、膜片固定板。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

参阅图1，图1为本申请气控真空比例阀的第一截面图。本申请一实施例提供的真空电气比例阀，包括阀体10、推动装置20、压力检测装置30及控制装置40，阀体10具有正压腔11、第一气体通道12及第二气体通道13，第一气体通道12与正压腔11相连通，第二气体通道13具有进气腔131及出气腔132。气体从第一气体通道12进入到正压腔11内，压力检测装置30包括气体压力传感器31及真空压力传感器32，气体压力传感器31检测正压腔11内的压力，真空压力传感器32检测进气腔131内的压力，控制装置40通信连接压力检测装置30，压力检测装置30将检测数据通信反馈给控制装置40，控制装置40调节气体的进出，从而使得推动装置20上下位移，以调节进气腔131内的气体进入到出气腔132被排出的量，从而使进气腔131的真空压力保持在设定值，保证比例阀的负压性能稳定。

请继续参阅图1，阀体10还具有第一大气通孔15，具体地，第一大气通孔15连通第一气体通道12及外界大气，第一气体通道12与正压腔11相连通，第一气体通道12连通正压源，正压源启动时往第一气体通道12输入气体进入正压腔11内。

阀体10还具有第二气体通道13，具体地，第二气体通道13具有进气腔131及出气腔132，进气腔131连接需要减压的装置，出气腔132连接负压源。

具体到实施例中，第二气体通道13具有阀口133，阀口133设置于进气腔131与出气腔132之间，进气腔131及出气腔132通过阀口133相连通。若阀口133打开，需要减压的装置中的气体被抽吸至进气腔131中，再通过阀口133进入出气腔132被排出。

阀体10还具有负压腔16、大气腔17、第三气体通道14及第二大气通孔18，具体地，负压腔16设置于正压腔11下侧，大气腔17设置于负压腔16下侧，正压腔11与负压腔16相互不连通，负压腔16与大气腔17相互不连通，大气腔17通过第二大气通孔18连通外界大气压，负压腔16与进气腔131通过第三气体通道14相连通，故而进气腔131内压力发生变化时负压腔16内的压力也会同步发生变化。

推动装置20包括第一活塞21，具体地，第一活塞21设置于正压腔11与负压腔16之间，将正压腔11与负压腔16隔绝开，且第一活塞21能够在正压腔11与负压腔16之间上下移动。

推动装置20还包括膜片组件22、阀芯23、第二活塞24及弹簧25，具体地，膜片组件22设置于第一活塞21下侧，并与第一活塞21相抵接，阀芯23设置于膜片组件22下侧，并与膜片组件22相抵接，阀芯23远离膜片组件22的一端固定连接第二活塞24，第二活塞24的外围设置有弹簧25，弹簧25处于伸长状态，给第二活塞24提供一个向上的力，活塞与阀口133紧密相抵使得进气腔131与出气腔132不连通。

具体到实施例中，膜片组件22包括弹性膜片221及膜片固定板，弹性膜片221受到力的作用可以弹性变形，将作用力撤回后，弹性膜片221能够复原，膜片固定板设置于弹性膜片221的上下两侧，与弹性膜片221相抵接，第一活塞21与膜片固定板抵接，阀芯23与膜片固定板固定连接。

当正压腔11内气体压力增大时，驱动第一活塞21向下移动，使得膜片固定板向下移动，以带动弹性膜片221向下变形，从而使得阀芯23向下移动，最终带动第二活塞24向下移动，此时弹簧25被压缩，第二活塞24与阀口133相离，进气腔131内的气体通过阀口133进入到出气腔132被排出。

压力检测装置30包括气体压力传感器31及真空压力传感器32，具体地，气体压力传感器31连通正压腔11，真空压力传感器32通过第三气体通道14连通进气腔131，气体压力传感器31能够到检测正压腔11内的气体压力，真空压力传感器32可以检测到进气腔131的真空压力。

控制装置40包括供气电磁阀41、排气电磁阀42及控制回路43，供气电磁阀41设置于第一气体通道12的进气口处，排气电磁阀42设置于第一气体通道12的排气口处。

控制回路43与供气电磁阀41及气体压力传感器31通信连通，气体通过第一气体通道12进入到正压腔11后，气体压力传感器31检测到正压腔11内的压力后，将压力检测数据反馈给控制回路43，压力检测数据无法达到设定值时，控制回路43控制供气电磁阀41打开以通入气体至正压腔11内调节正压腔11的压力，气体压力传感器31将调节后的正压腔11内的压力检测数据反馈给控制回路43，当压力检测数据与设定值相符合时，控制回路43控制供气电磁阀41关闭，保证正压腔11内的压力稳定。

控制回路43与排气电磁阀42及真空压力传感器32通信连通，真空压力传感器32与气体压力传感器31共同配合，真空压力传感器32实时检测进气腔131内的真空度，将真空度的检测数据反馈给控制回路43。真空度的检测数据无法达到设定值时，控制回路43控制供气电磁阀41及排气电磁阀42的开闭，以往正压腔11内通入气体或排出正压腔11内部分气体，调节正压腔11内的压力大小，从而使得进气腔131内的真空度保持在设定值，保证比例阀的稳定性。

若进气腔131内的压强低于设定值，供气电磁阀41打开，气体可以输入至正压腔11以增大正压腔11内的压强，使得推动装置20向下移动，第二气体通道13的气体流通更迅速，从而提高进气腔131内的真空度至设定值；若进气腔131内的压强高于设定值，排气电磁阀42可以打开，气体可以从正压腔11被排出以减小正压腔11内的压强，使得推动装置20向上移动，第二气体通道13的气体流速变缓，从而降低进气腔131内的真空度至设定值。

参阅图2及图3，图2为本申请一些实施例中的部分结构示意图，图3为本申请一些实施例中的整体结构示意图。控制装置40还包括显示面板44及电源开关45，具体地，显示面板44与控制回路43相连通，电源开关45能够打开或关闭控制回路43，以控制压力检测装置30、供气电磁阀41及排气电磁阀42的开闭。

当电源开关45打开时，气体压力传感器31及真空压力传感器32检测到的压力数据传输给控制回路43，进而由显示面板44将压力数据显示出来，根据在显示面板44上设定负压值，控制回路43通过开闭供气电磁阀41和排气电磁阀42调节正压腔11的压力，经过气体压力传感器31的检测并将检测数据反馈给控制回路43，经程序判断后正压力推动反复调节，直至正压腔11内达到合理的正压值。

正压腔11内的压力推动第一活塞21、膜片组件22、阀芯23及第二活塞24向下移动，从而调节阀口133开合度，进气腔131内的气体进入到出气腔132被排出，以输出负压，负压经过真空压力传感器32检测并将数据反馈给控制回路43，经程序判断后反复调节，直至进气腔131内达到合理的负压值。

显示面板44能够显示上述状态的数据，压力数据可视化，以便于进行压力的设定及调节。

电气真空比例阀还包括设置于正压腔11上侧的先导装置50，具体地，先导装置50的上侧设置有供气电磁阀41及排气电磁阀42，第一气体通道12先经过先导装置50，再与正压腔11实现连通，供气电磁阀41可以控制第一气体通道12中的气体是否进入正压腔11中，排气电磁阀42可以控制正压腔11内的气体的排出。

具体到实施例中，阀体10靠近先导装置50的一面设置有密封胶圈（图未示），先导装置50靠近阀体10的一面设置有多条不连通的气体流道，密封胶圈将多条气体流道分隔成不同部分，进一步使得气体流道之间的气体相互不流通。

参阅图4，图4为本申请一些实施例中的先导装置50的示意图。先导装置50具有第一通孔51、第二通孔52及第三通孔53，具体地，气体从第一气体通道12进入到正压腔11中，首先需要经过第二通孔52，从先导装置50的下侧流至先导装置50的上侧，再从第一通孔51进入到才能进入到正压腔11内，第三通孔53与第一大气通孔15相连通，故而第三通孔53能够连通外界大气，正压腔11内的气体排出时，需要先经过第一通孔51进入到先导装置50的上侧，再从第二通孔52进入到先导装置50的下侧，再通过第一大气通孔15排出外界。上述气体通过第一通孔51、第二通孔52及第三通孔53的过程都会经过先导装置50靠近阀体10的一面设置有的气体流道。

第二通孔52的上侧设置有供气电磁阀41第二通孔52的开闭，从而控制气体进入到正压腔11内，第三通孔53的上侧设置有排气电磁阀42控制第三通孔53的开闭，从而控制正压腔11内气体的排出。

先导装置50还具有检测通道54，检测通道54连通气体压力传感器31及正压腔11，使得气体压力传感器31能够实时检测到正压腔11内的气体压力，以及时将检测数据传输给控制回路43，从而控制供气电磁阀41及排气电磁阀42的开闭，最终调节正压腔11内的压力至设定值。

请继续参阅图3，电气真空比例阀还包括密封盖60，具体地，密封盖60设置于先导装置50的上侧，显示面板44及电源开关45设置于密封盖60上，密封盖60能够将先导装置50及设置于先导装置50上侧的压力检测装置30、供气电磁阀41、排气电磁阀42及控制回路43密封于密封盖60及先导装置50之间。

具体到实施例中，密封盖60的形状根据先导装置50的形状变换设计，使得密封盖60能够与先导装置50固定设置在一起形成一个密封的腔室。

本申请提供的电器真空比例阀的实施原理为：在显示面板44上设定负压值，控制回路43控制供气电磁阀41及排气电磁阀42的开闭以调节正压腔11内的压力，气体压力传感器31检测正压腔11内的压力并将检测数据反馈给控制回路43，经过控制回路43判断后，控制供气电磁阀41及排气电磁阀42反复调节输入或输出气体，正压腔11内的压力使得推动装置20向下移动，调节阀口133开合的程度，使得需要实现负压的装置内的气体进入到进气腔131中，进气腔131内的气体通过阀口133流至出气腔132中被排出，以输出负压，真空压力传感器32通过第三气体通道14检测到负压后，将检测数据反馈给控制回路43，控制装置40与压力检测装置30相互配合形成反馈回路，反复调节，直到达到设定的负压值，电气真空比例阀工作的整个过程负压稳定，使得比例阀控制负压更加精准，比例阀减压性能更优。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (9)

1.一种电气真空比例阀，其特征在于，包括：

阀体(10)，具有正压腔(11)、第一气体通道(12)及第二气体通道(13)，所述第一气体通道(12)与所述正压腔(11)相连通，所述第二气体通道(13)具有进气腔(131)及出气腔(132)；

推动装置(20)，设置于所述正压腔(11)的下侧，并贯穿所述第二气体通道(13)设置于所述进气腔(131)及所述出气腔(132)之间；

压力检测装置(30)，包括气体压力传感器(31)及真空压力传感器(32)，所述气体压力传感器(31)连通所述正压腔(11)，所述真空压力传感器(32)连通所述进气腔(131)；

控制装置(40)，通信连接所述压力检测装置(30)，所述控制装置(40)响应于所述压力检测装置(30)的信号以控制所述第一气体通道(12)的气体的输入或排出。

2.根据权利要求1所述的电气真空比例阀，其特征在于，所述控制装置(40)包括供气电磁阀(41)及排气电磁阀(42)，所述供气电磁阀(41)设置于所述第一气体通道(12)的进气口处，所述排气电磁阀(42)设置于所述第一气体通道(12)的排气口处。

3.根据权利要求2所述的电气真空比例阀，其特征在于，所述控制装置(40)还包括控制回路(43)，所述控制回路(43)与所述供气电磁阀(41)及所述气体压力传感器(31)通信连接，所述控制回路(43)与所述排气电磁阀(42)及所述真空压力传感器(32)通信连接，以形成反馈控制闭环。

4.根据权利要求2所述的电气真空比例阀，其特征在于，还包括设置于所述正压腔(11)上的先导装置(50)，所述先导装置(50)的上侧设置有所述供气电磁阀(41)及所述排气电磁阀(42)，所述第一气体通道(12)穿设于所述先导装置(50)上。

5.根据权利要求4所述的电气真空比例阀，其特征在于，所述先导装置(50)具有第一通孔(51)、第二通孔(52)及第三通孔(53)，所述第一通孔(51)连通所述第一气体通道(12)及所述正压腔(11)，所述第二通孔(52)上侧设置有所述供气电磁阀(41)，所述第三通孔(53)上侧设置有所述排气电磁阀(42)，所述第三通孔(53)与外界大气相连通。

6.根据权利要求1所述的电气真空比例阀，其特征在于，所述阀体(10)具有第三气体通道(14)，所述第三气体通道(14)两端分别连通所述进气腔(131)及所述真空压力传感器(32)。

7.根据权利要求1所述的电气真空比例阀，其特征在于，所述阀体(10)具有第一大气通孔(15)，所述第一大气通孔(15)连通所述第一气体通道(12)及外界大气。

8.根据权利要求1所述的电气真空比例阀，其特征在于，所述先导装置(50)具有检测通道(54)，所述气体压力传感器(31)通过所述检测通道(54)连通所述正压腔(11)。

9.根据权利要求1所述的电气真空比例阀，其特征在于，所述进气腔(131)及所述出气腔(132)通过阀口相连通，所述阀口可通过所述推动装置(20)实现开闭。

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