CN116160321A - 光学镜片平面面形补偿抛光方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种光学镜片平面面形补偿抛光方法，包括局部补偿抛光和全口径补偿抛光；局部补偿抛光：通过局部补偿器，使得镜片局部凸一点，用绝对平的抛光模来加工此时的镜片，该局部就自然被多去除了一些，再将镜片送去检测，在自由状态下，镜片的平面精度可能达到绝对平；全口径补偿抛光：通过全口径补偿器，使得镜片中心比其自由状态下再凸一点，用绝对平的抛光模来加工此时的镜片，中心就自然被多去除了一些，再将镜片送去检测，在自由状态下，镜片的平面精度可能达到绝对平。
Description
技术领域
本发明涉及一种抛光方法，具体的说是光学镜片平面面形补偿抛光方法。
背景技术
光学平面镜片，尤其是径厚比大的薄镜，在表面抛光过程中，其自身状态易受周围环境的影响，因此，抛光过程中要想获得微纳米高精度平面，困难度相当大。
发明内容
本发明旨在克服现有技术的缺陷，提供一种光学镜片平面面形补偿抛光方法，解决光学镜片局部及全部的高精度的抛光问题。
为了解决上述技术问题，本发明是这样实现的：
一种光学镜片平面面形补偿抛光方法，其特征在于：本申请的补偿抛光方法包括两部分：局部补偿抛光和全口径补偿抛光；
局部补偿抛光：假设一个绝对平的抛光模，其平面度误差为零，来加工光学镜片，获得镜片的一个平面精度值，精度未达到绝对平，如果镜片的某一个部位凸了一点，需要多磨削镜片的凸点处，通过局部补偿器，使得镜片局部凸一点，用绝对平的抛光模来加工此时的镜片，该局部就自然被多去除了一些，再将镜片送去检测，在自由状态下，镜片的平面精度可能达到绝对平；
全口径补偿抛光：假设一个绝对平的抛光模，其平面度误差为零，来加工光学镜片，获得镜片的一个平面精度值，精度未达到绝对平，如果这块镜片是凸的，需要多磨削镜片中间区域，通过全口径补偿器，使得镜片中心比其自由状态下再凸一点，用绝对平的抛光模来加工此时的镜片，中心就自然被多去除了一些，再将镜片送去检测，在自由状态下，镜片的平面精度可能达到绝对平。
所述的光学镜片平面面形补偿抛光方法，其特征在于：所述的局部补偿器，包括吸盘安装板、螺杆安装板、螺杆、螺母、弹簧和真空吸盘；螺杆安装板和吸盘安装板上下平行设置；所述螺杆有四根，它们的一端分别垂直穿过螺杆安装板和吸盘安装板并从吸盘安装板底部伸出，四根螺杆的顶端位于螺杆安装板上并通过螺母固定，四根螺杆的中部位于螺杆安装板和吸盘安装板之间并分别安装弹簧，四根螺杆的底端安装真空吸盘。
所述的光学镜片平面面形补偿抛光方法，其特征在于：所述的全口径补偿器，包括全口径补偿器本体、真空管路接头、压力环管路接头、真空气路、压力环气囊和真空吸盘；所述全口径补偿器本体内设有压力环气囊，真空气路连接压力环气囊并为其提供气体，真空气路顶端安装真空管路接头，压力环气囊顶端安装压力环管路接头；所述压力环气囊底部在未充气时与全口径补偿器本体底部持平，充气后，压力环气囊底部凸起并高于全口径补偿器本体底部；所述全口径补偿器本体底部边缘四周设有真空吸盘。
所述的光学镜片平面面形补偿抛光方法，其特征在于：所述压力环气囊有两个，第一压力环气囊和第二压力环气囊，分别位于全口径补偿器本体内的外圈和内圈；压力环管路接头有两个，第一压力环管路接头和第二压力环管路接头；第一压力环气囊和第二压力环气囊分别安装第一压力环管路接头和第二压力环管路接头。
本发明的有益效果是：光学镜片可以根据检测数据的结果进行凹凸规则形变；补偿器与镜片结合成整体，可以整体检测，可以获得补偿变形后的镜片精度；补偿器与镜片真空连接，无损连接，拆卸便捷。
附图说明
下面结合附图和实施方式对本发明作进一步的详细说明：
图1为局部补偿器示意图。
图2为局部补偿器立体图。
图3为全口径补偿器示意图。
图4为全口径补偿器仰视图。
图5为全口径补偿器立体图。
具体实施方式
一种光学镜片平面面形补偿抛光方法，本申请的补偿抛光方法包括两部分：局部补偿抛光和全口径补偿抛光；
局部补偿抛光：假设一个绝对平的抛光模，其平面度误差为零，来加工光学镜片，获得镜片的一个平面精度值，精度未达到绝对平，如果镜片的某一个部位凸了一点，需要多磨削镜片的凸点处，通过局部补偿器，使得镜片局部凸一点，用绝对平的抛光模来加工此时的镜片，该局部就自然被多去除了一些，再将镜片送去检测，在自由状态下，镜片的平面精度可能达到绝对平；
全口径补偿抛光：假设一个绝对平的抛光模，其平面度误差为零，来加工光学镜片，获得镜片的一个平面精度值，精度未达到绝对平，如果这块镜片是凸的，需要多磨削镜片中间区域，通过全口径补偿器，使得镜片中心比其自由状态下再凸一点，用绝对平的抛光模来加工此时的镜片，中心就自然被多去除了一些，再将镜片送去检测，在自由状态下，镜片的平面精度可能达到绝对平。
如图1-2所示：所述的局部补偿器，包括吸盘安装板、螺杆安装板、螺杆、螺母、弹簧和真空吸盘；螺杆安装板和吸盘安装板上下平行设置；所述螺杆有四根，它们的一端分别垂直穿过螺杆安装板和吸盘安装板并从吸盘安装板底部伸出，四根螺杆的顶端位于螺杆安装板上并通过螺母固定，四根螺杆的中部位于螺杆安装板和吸盘安装板之间并分别安装弹簧，四根螺杆的底端安装真空吸盘。
首先，真空吸盘吸附住光学镜片1，根据需求，利用补偿器背面的加压弹簧和加压螺母，给与光学镜片变形压力，造成光学镜片的局部形变，从而达到补偿抛光的目的。
如图3-5所示：所述的全口径补偿器，包括全口径补偿器本体、真空管路接头、压力环管路接头、真空气路、压力环气囊和真空吸盘；所述全口径补偿器本体内设有压力环气囊，真空气路连接压力环气囊并为其提供气体，真空气路顶端安装真空管路接头，压力环气囊顶端安装压力环管路接头；所述压力环气囊底部在未充气时与全口径补偿器本体底部持平，充气后，压力环气囊底部凸起并高于全口径补偿器本体底部；所述全口径补偿器本体底部边缘四周设有真空吸盘。
所述压力环气囊有两个，第一压力环气囊和第二压力环气囊，分别位于全口径补偿器本体内的外圈和内圈；压力环管路接头有两个，第一压力环管路接头和第二压力环管路接头；第一压力环气囊和第二压力环气囊分别安装第一压力环管路接头和第二压力环管路接头。
首先，真空吸盘吸附住光学镜片，根据需求，利用补偿器中间多层的压力环气囊给与光学镜片压力，造成光学镜片的整体形变，从而达到补偿抛光的目的。
Claims (4)
1.一种光学镜片平面面形补偿抛光方法，其特征在于：本申请的补偿抛光方法包括两部分：局部补偿抛光和全口径补偿抛光；
局部补偿抛光：假设一个绝对平的抛光模，其平面度误差为零，来加工光学镜片，获得镜片的一个平面精度值，精度未达到绝对平，如果镜片的某一个部位凸了一点，需要多磨削镜片的凸点处，通过局部补偿器，使得镜片局部凸一点，用绝对平的抛光模来加工此时的镜片，该局部就自然被多去除了一些，再将镜片送去检测，在自由状态下，镜片的平面精度可能达到绝对平；
全口径补偿抛光：假设一个绝对平的抛光模，其平面度误差为零，来加工光学镜片，获得镜片的一个平面精度值，精度未达到绝对平，如果这块镜片是凸的，需要多磨削镜片中间区域，通过全口径补偿器，使得镜片中心比其自由状态下再凸一点，用绝对平的抛光模来加工此时的镜片，中心就自然被多去除了一些，再将镜片送去检测，在自由状态下，镜片的平面精度可能达到绝对平。
2.根据权利要求1所述的光学镜片平面面形补偿抛光方法，其特征在于：所述的局部补偿器，包括吸盘安装板、螺杆安装板、螺杆、螺母、弹簧和真空吸盘；螺杆安装板和吸盘安装板上下平行设置；所述螺杆有四根，它们的一端分别垂直穿过螺杆安装板和吸盘安装板并从吸盘安装板底部伸出，四根螺杆的顶端位于螺杆安装板上并通过螺母固定，四根螺杆的中部位于螺杆安装板和吸盘安装板之间并分别安装弹簧，四根螺杆的底端安装真空吸盘。
3.根据权利要求1所述的光学镜片平面面形补偿抛光方法，其特征在于：所述的全口径补偿器，包括全口径补偿器本体、真空管路接头、压力环管路接头、真空气路、压力环气囊和真空吸盘；所述全口径补偿器本体内设有压力环气囊，真空气路连接压力环气囊并为其提供气体，真空气路顶端安装真空管路接头，压力环气囊顶端安装压力环管路接头；所述压力环气囊底部在未充气时与全口径补偿器本体底部持平，充气后，压力环气囊底部凸起并高于全口径补偿器本体底部；所述全口径补偿器本体底部边缘四周设有真空吸盘。
4.根据权利要求3所述的光学镜片平面面形补偿抛光方法，其特征在于：所述压力环气囊有两个，第一压力环气囊和第二压力环气囊，分别位于全口径补偿器本体内的外圈和内圈；压力环管路接头有两个，第一压力环管路接头和第二压力环管路接头；第一压力环气囊和第二压力环气囊分别安装第一压力环管路接头和第二压力环管路接头。
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