CN116136018A - 喷嘴组件及其安装方法 - Google Patents

Abstract

一种喷嘴组件及其安装方法，其特征在于，包括：接头，所述接头内部具有沿第一方向延伸的气体管道，所述接头在第一方向上具有相对的第一端和第二端，所述接头的外壁表面固定有第一定位部；套设于所述接头外部的接头螺母，所述接头螺母具有相对的第三端和第四端，所述第四端与所述接头的第二端朝向一致，所述第三端固定有第二定位部，所述第二定位部与所述第一定位部相配合，使所述接头相对于所述接头螺母沿第一方向移动。使用所述喷嘴组件可以提高喷嘴的安装成功率，降低喷嘴的安装难度，并且节约了经济成本。

Description

喷嘴组件及其安装方法

技术领域

本发明涉及半导体制造的工艺设备领域，尤其涉及一种喷嘴组件及其安装方法。

背景技术

在半导体器件的制备中，炉管设备被广泛用作气相沉积反应的工艺设备。其中，能实现高精度器件制备的原子层沉积工艺也越来越多的采用炉管设备作为反应腔。

在先进制程器件的制造中，技术人员对炉管腔内气体分布的均匀性有很高的要求。因此，越来越多的炉管设备和喷嘴搭配，将反应气体通过喷嘴引入炉管腔体，很好地实现了腔内气体浓度和压强的均匀分布，对控制器件的制程有明显的作用。

先进制程炉管的喷嘴加工工艺复杂，尺寸要求严格，特别是原子层沉积设备的喷嘴，制造成本尤其昂贵。然而，在目前的喷嘴安装过程中，由于喷嘴容易与外部接头发生磕碰而产生破裂，导致喷嘴安装失败，同时喷嘴损坏，造成经济损失。目前，许多器件制备工艺均受困于上述喷嘴安装成功率低的问题，其中包括但不限于氮化硅、氮化钛、氧化硅、碳氮氧硅化物等的制备工艺。

发明内容

本发明解决的技术问题是提供一种喷嘴组件，以减少喷嘴在安装过程中与外部接头发生磕碰而产生破裂的情况，提升了喷嘴安装成功率，节约了经济成本。

为解决上述技术问题，本发明实施例提供一种喷嘴组件，包括：接头，所述接头内部具有沿第一方向延伸的气体管道，所述接头在第一方向上具有相对的第一端和第二端，所述接头的外壁表面固定有第一定位部；套设于所述接头外部的接头螺母，所述接头螺母具有相对的第三端和第四端，所述第四端与所述接头的第二端朝向一致，所述第三端固定有第二定位部，所述第二定位部与所述第一定位部相配合，使所述接头相对于所述接头螺母沿第一方向移动。

可选的，所述的喷嘴组件还包括：套设于所述接头外部的定位螺母，所述定位螺母在第二定位部和接头第一端之间相对于所述接头沿第一方向移动。

可选的，所述接头的材料包括不锈钢。

可选的，所述第一定位部的外壁表面具有面向接头螺母的第一定位螺纹。

可选的，所述第二定位部的表面具有面向所述接头外壁的第二定位螺纹。

可选的，所述接头的第一定位部的外壁表面具有面向接头螺母的凹槽；所述第二定位部包括面向所述接头的凸块，所述凸块卡设于所述凹槽内滑动。

可选的，所述喷嘴组件还包括：位于所述接头螺母第四端内侧壁表面的第一紧固螺纹。

可选的，所述喷嘴组件还包括：所述接头内具有包容腔体，所述包容腔体与气体管道相连通，且所述包容腔体自所述第二端向第一端方向延伸。

相应的，本发明还提供一种采用上述任一项喷嘴组件构成的炉管喷嘴组件连接结构，包括：炉管结构，所述炉管结构包括：炉管本体；固定于炉管本体外壁的炉管接头公头，所述炉管公头内具有连通炉管本体内部与外部的空腔；自炉管本体内部通过所述空腔延伸至所述炉管接头公头外的喷嘴；喷嘴组件，所述喷嘴组件包括：接头，所述接头内部具有沿第一方向延伸的气体管道，所述接头在第一方向上具有相对的第一端和第二端，所述接头的外壁表面固定有第一定位部，所述第二端可拆卸地套设于所述喷嘴外壁；套设于所述接头外部的接头螺母，所述接头螺母具有相对的第三端和第四端，所述第四端与所述接头的第二端朝向一致，所述第四端可拆卸地套设于所述炉管接头公头外壁，所述第三端固定有第二定位部，所述第二定位部与所述第一定位部相配合，使所述接头相对于所述接头螺母沿第一方向移动。

可选的，所述接头螺母第四端的内侧壁表面具有第一紧固螺纹。

可选的，所述炉管接头公头外壁表面具有第二紧固螺纹，所述第二紧固螺纹与第一紧固螺纹相配合。

可选的，所述接头内具有包容腔体，所述包容腔体与气体管道相连通，且所述包容腔体自所述第二端向第一端方向延伸，所述包容腔体的内径大于所述喷嘴的外径；所述喷嘴部分位于所述包容腔体内部。

可选的，所述喷嘴的材料包括石英。

可选的，所述炉管喷嘴连接结构还包括：位于所述炉管接头公头与所述接头的第二端之间的缓冲件，所述缓冲件与所述喷嘴外壁相接触。

可选的，所述缓冲件包括橡胶圈。

相应的，本发明还提供一种形成上述任一项炉管喷嘴组件连接结构的喷嘴组件安装方法，包括：提供喷嘴组件，所述喷嘴组件包括：接头，所述接头内部具有沿第一方向延伸的气体管道，所述接头在第一方向上具有相对的第一端和第二端，所述接头的外壁表面固定有第一定位部；套设于所述接头外部的接头螺母，所述接头螺母具有相对的第三端和第四端，所述第四端与所述接头的第二端朝向一致，所述第三端固定有第二定位部，所述第二定位部与所述第一定位部相配合，使所述接头相对于所述接头螺母沿第一方向移动；提供炉管结构，所述炉管结构包括：炉管本体；固定于炉管本体外壁的炉管接头公头，所述炉管公头内具有连通炉管本体内部与外部的空腔；自炉管本体内部通过所述空腔延伸至所述炉管接头公头外的喷嘴；将所述接头螺母沿第一方向向炉管接头公头靠近，直至所述接头螺母的第四端套设于所述炉管接头公头的外壁；将所述接头沿第一方向向喷嘴靠近，直至所述接头的第二端套设于所述喷嘴外壁，所述喷嘴的轴心与所述接头的轴心始终在同一直线上。

与现有技术相比，本发明实施例的技术方案具有以下有益效果：

本发明的喷嘴组件中，所述接头的外壁表面固定有第一定位部，所述接头螺母第三端固定有第二定位部，所述第一定位部与所述第二定位部相配合，使所述接头螺母相对于所述接头沿第一方向移动。在后续喷嘴组件的安装过程中，将所述喷嘴组件的接头沿第一方向向喷嘴靠近，由于所述喷嘴组件的第一定位部与所述第二定位部相互配合，使得所述接头在垂直于第一方向上的位置被固定，从而限定了所述接头只能沿第一方向移动，直至接头与喷嘴相固定。这样保证了安装过程中，所述接头的轴心与所述喷嘴的轴心始终在同一直线上，避免了接头与喷嘴由于轴心位置不同而无法对接，提升了安装的成功率，降低了安装难度，避免了喷嘴的损坏，节约了经济成本。

进一步，所述喷嘴组件还包括套设于所述接头外部的定位螺母，所述定位螺母相对于所述接头沿第一方向移动。在后续喷嘴组件的安装过程中，可以将所述定位螺母与接头螺母的第三端相接触，并锁紧定位螺母，从而固定了接头的安装位置和安装深度，且避免了安装完成后接头松脱，增强了喷嘴与接头连接的稳定性。

进一步，所述喷嘴组件的接头具有包容腔体，所述包容腔体自接头第二端向第一端方向延伸。在后续喷嘴和接头固定的过程中，所述包容腔体可以为容纳喷嘴提供更多空间，使喷嘴和接头不易磕碰，提升了安装成功率，节约了经济成本。

本发明的炉管喷嘴组件连接结构中，所述喷嘴组件的第一定位部与所述第二定位部相互配合，使得所述接头在垂直于第一方向上的位置被固定，从而使所述接头的轴心与所述喷嘴的轴心在同一直线上，避免了接头与喷嘴由于轴心位置不同而发生磕碰，提升了安装的成功率，避免了喷嘴的损坏。

本发明的喷嘴组件安装方法中，所述喷嘴组件的第一定位部与所述第二定位部相互配合，使得所述接头向所述炉管结构的喷嘴靠近的过程中，所述接头在垂直于第一方向上的位置被固定，从而所述接头只能沿第一方向移动，直至接头与喷嘴相固定。这样保证了安装过程中，所述接头的轴心与所述喷嘴的轴心始终在同一直线上，避免了接头与喷嘴由于轴心位置不同而无法对接，提升了安装的成功率，降低了安装难度，避免了喷嘴的损坏，节约了经济成本。

附图说明

图1和图2为一种喷嘴组件及其安装过程的实施例的剖面结构示意图；

图3是本发明一实施例中的喷嘴组件的剖面结构示意图；

图4和图5是本发明一实施例中的炉管喷嘴组件连接结构的剖面结构示意图；

图6至图8是喷嘴组件安装过程的结构示意图。

具体实施方式

如背景技术所述，在目前的喷嘴的安装过程中，由于喷嘴容易与外部接头发生磕碰而产生破裂，导致喷嘴安装失败，同时喷嘴损坏，造成经济损失。

图1至图2为一种喷嘴组件及其安装过程的实施例的剖面结构示意图。

请参考图1，提供喷嘴组件，所述喷嘴组件包括接头103；所述接头103内具有沿第一方向X延伸的气体管道111，所述接头103在第一方向X上具有相对的第一端109和第二端112，所述接头103内具有包容腔体108，所述包容腔体108与气体管道111相连通，包容腔体108自第二端109向第一端112方向延伸；套设于所述接头103外部的接头螺母102，所述接头螺母102具有相对的第三端110和第四端107，所述第四端107与所述接头103的第二端109朝向一致，所述第四端107内侧壁表面具有第一紧固螺纹105；提供炉管结构，所述炉管结构包括炉管本体104；固定于炉管本体104外壁的炉管接头公头101，所述炉管接头公头101外壁表面具有第二紧固螺纹106，所述第二紧固螺纹106与第一紧固螺纹105相配合，所述炉管公头101内具有连通炉管本体104内部与外部的空腔(未图示)；自炉管本体104内部通过所述空腔延伸至所述炉管接头公头101外的喷嘴100。

请参考图2，将所述接头螺母102沿第一方向X向所述炉管接头公头101靠近，直至所述接头螺母102的第四端107套设于所述炉管接头公头101的外壁，使得所述第二紧固螺纹106与第一紧固螺纹105相配合固定，从而使所述炉管接头公头101与所述接头螺母102相固定。将所述接头103沿第一方向X向喷嘴100靠近，直至所述接头103的第二端109套设于所述喷嘴100外壁，使所述喷嘴100部分位于所述包容腔体108内部，从而使所述接头103与所述喷嘴100相固定。在所述炉管接头公头101与所述接头103的第二端109之间设有缓冲件115，所述缓冲件115与所述喷嘴100外壁相接触。

其中，在所述接头103向所述喷嘴100移动的过程中，所述接头103易在垂直于第一方向X的Z方向上发生移动，使所述接头103与所述喷嘴100的轴心不在同一直线上，从而使所述接头103与所述喷嘴100接触时产生磕碰，导致接头103与喷嘴100对接失败，同时使喷嘴100发生破裂。

为了解决上述问题，本发明提供一种喷嘴组件，包括接头以及接头螺母，所述接头具有第一定位部，所述接头螺母具有的第二定位部，所述第一定位部与所述第二定位部相配合，保证了安装过程中，所述接头的轴心与所述喷嘴的轴心始终在同一直线上，避免了接头与喷嘴由于轴心位置不同而无法对接，提升了安装的成功率，降低了安装难度，避免了喷嘴的损坏，节约了经济成本。

为使本发明的上述目的、特征和有益效果能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。

图3是本发明一实施例中的喷嘴组件的剖面结构示意图。请参考图3，所述喷嘴组件包括：接头200，所述接头200内部具有沿第一方向X延伸的气体管道203，所述接头200在第一方向X上具有相对的第一端202和第二端201，所述接头200的外壁表面固定有第一定位部204；套设于所述接头200外部的接头螺母206，所述接头螺母206具有相对的第三端210和第四端207，所述第四端207与所述接头200的第二端201朝向一致，所述第三端210固定有第二定位部209，所述第二定位部209与所述第一定位部204相配合，使所述接头螺母206相对于所述接头200沿第一方向X移动。

在本实施例中，所述接头200用于连接喷嘴与外部供气管道，通过所述连接，在生产过程中使所述外部供气管道提供的生产气体进入喷嘴，最后进入炉管本体中参与气体沉积反应。所述气体管道203沿第一方向X延伸，所述延伸方向与喷嘴的延伸方向一致，从而有利于生产过程中气体管道203内的生产气体更顺畅地通过接头200与喷嘴的连接部位并进入喷嘴内部。

本实施例中，所述接头200的材料包括不锈钢。

所述接头螺母206用于固定所述接头200与炉管结构中的喷嘴的相对位置，从而有利于所述接头200与喷嘴的顺利连接。所述接头螺母206具有相对的第三端210和第四端207，所述第四端207用于与炉管结构中的炉管接头公头固定，所述第三端210上的第二定位部209用于与所述接头200外壁的第一定位部204相配合。所述接头螺母206保证了所述接头200与炉管结构中的喷嘴与在第二方向Z上的位置相同，所述第二方向Z垂直于第一方向X，即喷嘴与所述接头200的轴心在同一水平线上，从而在喷嘴组件的安装过程中，有利于喷嘴与接头200的顺利对接。

在本实施例中，所述接头螺母206的第二定位部209与所述接头200的第一定位部204相配合的目的在于，在喷嘴组件的安装过程中，使所述接头200在第二方向Z上的位置被固定，从而限定了所述接头200仅在第一方向X上相对于接头螺母206移动，因此，所述接头200的轴心所在直线始终不会发生变化，从而有利于所述接头200和喷嘴的成功对接，避免了喷嘴与接头200磕碰导致损坏。

在本实施例中，所述第一定位部204的外壁表面具有面向接头螺母206的第一定位螺纹(未图示)，所述第二定位部209的表面具有面向所述接头200外壁的第二定位螺纹(未图示)。所述第一定位螺纹与所述第二定位螺纹可以通过咬合的方式实现配合。在喷嘴组件的安装过程中，通过旋转所述接头200，可以使所述接头200借助第一定位螺纹与第二定位螺纹之间的配合实现相对于接头螺母206沿第一方向X的移动。

在另一实施例中，所述第一定位部的外壁表面具有面向接头螺母的凹槽(未图示)；所述第二定位部包括面向所述接头的凸块(未图示)，所述凸块卡设于所述凹槽内滑动。

在本实施例中，所述接头螺母206第四端207内侧壁表面具有第一紧固螺纹208，所述第一紧固螺纹208用于与炉管接头公头表面的第二紧固螺纹相配合，从而使接头螺母与炉管接头公头固定。

本实施例中，所述喷嘴组件还包括：套设于所述接头200外部的定位螺母211，所述定位螺母211在第二定位部210和接头200第一端202之间相对于所述接头200沿第一方向X移动。在喷嘴组件的安装过程中，所述定位螺母211用于固定接头200的安装位置和安装深度，且避免了喷嘴组件安装完成后接头200松脱，从而增强了喷嘴组件连接的稳定性。

本实施例中，所述接头200内具有包容腔体205，所述包容腔体205与气体管道203相连通，且所述包容腔体205自所述第二端201向第一端202方向延伸。在喷嘴组件的安装过程中，所述包容腔体205可以为容纳喷嘴提供更多空间，使喷嘴和接头200对接时不易发生磕碰，提升了安装成功率，节约了经济成本。

图4至图5是本发明一实施例中的炉管喷嘴组件连接结构的剖面结构示意图。

请参考图4，图4是本发明一实施例中的炉管喷嘴组件连接结构在连接前的剖面结构示意图。所述炉管喷嘴组件连接结构包括：

炉管结构，所述炉管结构包括：炉管本体340；固定于炉管本体340外壁的炉管接头公头330，所述炉管接头公头330内具有连通炉管本体340内部与外部的空腔(未图示)；自炉管本体340内部通过所述空腔延伸至所述炉管接头公头330外的喷嘴320；

喷嘴组件，所述喷嘴组件包括：接头300，所述接头300内部具有沿第一方向X延伸的气体管道305，所述接头300在第一方向X上具有相对的第一端302和第二端301，所述接头300的外壁表面固定有第一定位部304；套设于所述接头300外部的接头螺母306，所述接头螺母306具有相对的第三端310和第四端307，所述第四端307与所述接头300的第二端301朝向一致，所述第三端310固定有第二定位部309，所述第二定位部309与所述第一定位部304相配合，使所述接头300相对于所述接头螺母306沿第一方向移动。

在本实施例中，所述炉管本体340用作气相沉积反应的反应腔。

在本实施例中，所述炉管接头公头330用于与喷嘴组件的接头螺母306固定，从而连接炉管本体340与喷嘴组件。此外，所述炉管接头公头330内的空腔为容纳喷嘴320提供了空间。

在本实施例中，所述喷嘴320用于向炉管本体340内部输送生产气体。所述喷嘴320具有第五端(未图示)和第六端(未图示)，所述第六端伸入炉管本体340内部，第六端上具有喷气口(未图示)，所述第五端与所述接头300第一端302朝向一致；所述喷嘴320内部具有沿第一方向X自第五端向第六端延伸的喷嘴空腔(未图示)，用于在生产时输送气体。技术人员可以通过选择合适的喷嘴320口径来控制生产气体进入炉管本体340的速度。

本实施例中，所述喷嘴320的材料包括石英。

在本实施例中，所述喷嘴组件中的接头300、接头螺母306可参考图3的实施例中的喷嘴组件中的接头200、接头螺母206，在此不再重复描述。

在本实施例中，所述接头300内具有包容腔体305，且所述包容腔体305的内径大于所述喷嘴320的外径，从而，在喷嘴组件的安装过程中，所述接头300第二端301能够套设于所述喷嘴320外壁，降低了喷嘴320和接头300在安装过程中发生磕碰的概率，有利于喷嘴320与接头300的顺利对接。

在本实施例中，所述炉管喷嘴组件连接结构还包括：位于所述接头螺母306第四端307的内侧壁表面的第一紧固螺纹308；位于所述炉管接头公头330外壁表面的第二紧固螺纹331，所述第二紧固螺纹331与第一紧固螺纹308相配合，从而在喷嘴组件的安装过程中，使所述接头螺母306的第四端307与所述炉管接头公头330通过互相紧固的方式固定，从而限定了所述炉管接头公头330内的喷嘴320与所述接头的相对位置，有利于喷嘴组件安装过程中，喷嘴320与接头300顺利对接。

请参考图5，图5是图4中的喷嘴组件连接结构在连接完成后的剖面结构示意图。所述喷嘴组件连接结构中，所述接头300的第二端301可拆卸地套设于所述喷嘴320外壁；所述接头螺母306的第四端307可拆卸地套设于所述炉管接头公头330外壁。

在本实施例中，所述接头螺母306第四端307内侧壁表面的第一紧固螺纹308与所述炉管接头公头330外壁的第二紧固螺纹331互相紧固，使所述接头螺母306的第四端307的内侧壁与所述炉管接头公头330外壁相固定，从而使接头螺母306的第四端307套设于所述炉管接头公头330的外壁。

所述接头螺母306的第四端307套设于所述炉管接头公头330的外壁的连接结构是可拆卸的，所述拆卸方式包括：旋转所述接头螺母306，直到所述接头螺母306与所述炉管接头公头330松脱。所述接头螺母306与炉管接头公头330使用可拆卸的方式连接的目的在于，当喷嘴320由于使用寿命或使用场景限制需要更换时，所述可拆卸的连接方式可以使喷嘴组件连接结构的拆解和安装更方便。

在本实施例中，所述喷嘴320部分位于所述接头300第二端301的包容腔体305内部，从而使所述接头300的第二端301可拆卸地套设于所述喷嘴320外壁。所述接头300与所述喷嘴320的轴心在同一直线上。

在本实施例中，所述接头300与所述喷嘴320的轴心在同一直线上的原因在于，所述接头螺母306的第四端307与所述炉管接头公头330相固定，同时所述接头螺母306的第二定位部309与所述接头300的第一定位部304相互配合，从而使炉管接头公头330内的喷嘴320与所述接头300在第二方向Z上的位置相同，即，所述喷嘴320与所述接头300的轴心在同一水平线上。

在本实施例中，所述炉管喷嘴组件连接结构还包括：与所述接头螺母第三端相接触的定位螺母311。所述定位螺母311的作用在于，固定了接头300的安装位置和安装深度，且避免了安装完成后接头300松脱，增强了喷嘴320与接头300连接的稳定性。

在本实施例中，所述炉管喷嘴组件连接结构还包括：位于所述炉管接头公头330与所述接头300的第二端301之间的缓冲件312，所述缓冲件312与所述喷嘴320外壁相接触。所述接头300第二端301与所述炉管接头公头330共同挤压所述缓冲件312，并使所述缓冲件312与所述喷嘴320外壁相接触。所述缓冲件312用于削弱喷嘴320、接头300以及炉管接头公头330之间由于触碰带来的应力，避免了喷嘴320被磕碰导致损坏，同时所述缓冲件312也用作喷嘴320与接头300之间接连的密封件，保证了喷嘴组件及炉管结构在生产过程中有良好的气体密封性。

在本实施例中，所述缓冲件312包括橡胶圈。

在本实施例中，所述炉管喷嘴组件连接结构还包括：外部供气管道(未图示)，所述外部供气管道与所述接头300的第一端302相连接。

在生产过程中，所述炉管喷嘴组件连接结构中的气体流通方式包括：所述外部供气管道用于提供生产气体；所述生产气体通过外部供气管道进入接头300内部的气体管道303，再进入喷嘴320的喷嘴空腔内，最后由喷嘴320将生产气体输送入炉管本体340中参与气相沉积反应。

图6至图8是喷嘴组件安装过程的结构示意图。

在图4的基础上，请继续参考图6，将所述接头沿第一方向X移动，使所述接头螺母306第三端310与所述接头300的第二端301相固定。

本实施例中，所述接头300第二端301与所述接头螺母306第三端310相固定的过程包括：将所述接头300沿第一方向X移动，直至所述接头螺母306第三端310与所述接头300的第二端301相接触；将套设于所述接头300外壁的定位螺母311沿第一方向X移动，使所述定位螺母311与所述第二定位部309相接触；锁紧所述定位螺母311，从而使所述接头300第二端301与所述接头螺母306的第三端310相固定。

在本实施例中，将所述接头300第二端301与所述接头螺母306第三端310相固定的目的在于，保证了接头300第二端301位于接头螺母306内部，同时所述接头300第二端301距离接头螺母306第四端307有足够的空间，使得后续接头螺母306与炉管接头公头330的套设过程中，喷嘴320与接头300始终没有接触的风险，避免了喷嘴320与接头300磕碰导致喷嘴320损坏。

请参考图7，将所述接头螺母306沿第一方向X向炉管接头公头330靠近，直至所述接头螺母306的第四端307套设于所述炉管接头公头330的外壁。

在本实施例中，所述接头螺母306的第四端307套设于所述炉管接头公头330的外壁的过程包括：将所述炉管接头公头330外壁表面的第二紧固螺纹331与接头螺母306第四端307内侧壁表面的第一紧固螺纹308 331互相紧固，从而使所述接头螺母306的第四端307与所述炉管接头公头330的外壁相固定。

所述第一紧固螺纹与第二紧固螺纹的紧固方式包括：将所述第一紧固螺纹与第二紧固螺纹互相咬合，旋转所述接头螺母，直到紧固完成。

在本实施例中，所述接头螺母306的第四端307套设于所述炉管接头公头330的外壁，从而，使所述接头300向所述喷嘴320靠近之前，所述接头300与所述喷嘴320的轴心已经在同一直线上。具体地，所述接头螺母306的第四端307与所述炉管接头公头330相固定，从而固定了所述接头螺母306在第二方向Z上的位置，同时，所述接头螺母306的第二定位部309与所述接头300的第一定位部304相互配合，进一步固定了所述接头300在第二方向Z上的位置，从而使所述炉管接头公头330内的喷嘴320与所述接头300在第二方向Z上的相对位置固定。由此，可以通过接头螺母306保证所述炉管接头公头330内的喷嘴320与所述接头300在第二方向Z上的位置相同，即，所述喷嘴320与所述接头300的轴心在同一水平线上，从而降低了后续接头300向喷嘴320靠近的过程中发生磕碰的可能性，提升了安装成功率，节约了经济成本。

请参考图8，将所述接头300沿第一方向X向喷嘴320靠近，直至所述接头300的第二端301套设于所述喷嘴320外壁，所述喷嘴320的轴心与所述接头300的轴心始终在同一直线上。

在本实施例中，所述接头300第二端301套设于所述喷嘴320外壁的过程包括：将所述定位螺母311移动至所述接头300第一端302；通过所述接头300外壁的第一定位螺纹与所述接头螺母306第三端310的第二定位螺纹的互相配合，使所述接头300沿第一方向X相向喷嘴320靠近，直到所述喷嘴320部分位于所述接头300第二端301的包容腔体305内，从而使所述喷嘴320与接头300相互固定。

在本实施例中，所述喷嘴320的轴心与所述接头300的轴心始终在同一直线上的原因在于，所述第一定位螺纹与第二定位螺纹相互配合，使得所述接头300向喷嘴320靠近的过程中，所述接头300在第二方向Z上的位置始终被固定，从而限定了所述接头300只能沿第一方向X移动，直至第二端301套设于喷嘴320外壁，因此保证了安装过程中，所述接头300的轴心与所述喷嘴320的轴心始终在同一直线上，避免了接头300与喷嘴320由于轴心位置不同而无法对接，提升了安装的成功率，降低了安装难度，避免了喷嘴320的损坏，节约了经济成本。

在本实施例中，在接头300与喷嘴320相互固定的过程中，所述包容腔体305为容纳喷嘴320提供了更多空间，使所述接头300与喷嘴320在固定时直接接触的概率降低，从而避免了喷嘴320的损坏，提升了安装成功率。

本实施例中，所述炉管接头公头330与所述接头300的第二端301之间设有缓冲件312。在所述接头300第二端301套设于喷嘴320外壁的过程中，所述接头300第二端301和所述炉管接头公头330共同挤压所述缓冲件312，并且所述缓冲件312与所述喷嘴320外壁相接触。所述缓冲件312进一步避免了喷嘴组件安装过程中，喷嘴320被磕碰导致损坏，同时所述缓冲件312也保证了喷嘴组件及炉管结构的连接处在生产过程中有良好的气体密封性。

请继续参考图5，将所述定位螺母311沿第一方向X移动，直至所述定位螺母311与所述第二定位部309相接触，锁紧定位螺母311，从而完成喷嘴组件的安装。

在本实施例中，所述定位螺母311固定了接头300的安装位置和安装深度，且避免了安装完成后接头300松脱，增强了喷嘴320与接头300连接的稳定性。

在本实施例中，所述喷嘴组件安装过程还包括：提供外部供气管道(未图示)；在锁紧定位螺母311之后，将所述接头300的第一端302与外部供气管道相连接。

虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (16)

1.一种喷嘴组件，其特征在于，包括：

接头，所述接头内部具有沿第一方向延伸的气体管道，所述接头在第一方向上具有相对的第一端和第二端，所述接头的外壁表面固定有第一定位部；

套设于所述接头外部的接头螺母，所述接头螺母具有相对的第三端和第四端，所述第四端与所述接头的第二端朝向一致，所述第三端固定有第二定位部，所述第二定位部与所述第一定位部相配合，使所述接头相对于所述接头螺母沿第一方向移动。

2.如权利要求1所述的喷嘴组件，其特征在于，还包括：套设于所述接头外部的定位螺母，所述定位螺母在第二定位部和接头第一端之间相对于所述接头沿第一方向移动。

3.如权利要求1所述的喷嘴组件，其特征在于，所述接头的材料包括不锈钢。

4.如权利要求1所述的喷嘴组件，其特征在于，所述第一定位部的外壁表面具有面向接头螺母的第一定位螺纹。

5.如权利要求4所述的喷嘴组件，其特征在于，所述第二定位部的表面具有面向所述接头外壁的第二定位螺纹。

6.如权利要求1所述的喷嘴组件，其特征在于，所述接头的第一定位部的外壁表面具有面向接头螺母的凹槽；所述第二定位部包括面向所述接头的凸块，所述凸块卡设于所述凹槽内滑动。

7.如权利要求1所述的喷嘴组件，其特征在于，还包括：位于所述接头螺母第四端内侧壁表面的第一紧固螺纹。

8.如权利要求1所述的喷嘴组件，其特征在于，还包括：所述接头内具有包容腔体，所述包容腔体与气体管道相连通，且所述包容腔体自所述第二端向第一端方向延伸。

9.一种炉管喷嘴组件连接结构，其特征在于，包括：

炉管结构，所述炉管结构包括：炉管本体；固定于炉管本体外壁的炉管接头公头，所述炉管公头内具有连通炉管本体内部与外部的空腔；自炉管本体内部通过所述空腔延伸至所述炉管接头公头外的喷嘴；

喷嘴组件，所述喷嘴组件包括：接头，所述接头内部具有沿第一方向延伸的气体管道，所述接头在第一方向上具有相对的第一端和第二端，所述接头的外壁表面固定有第一定位部，所述第二端可拆卸地套设于所述喷嘴外壁；套设于所述接头外部的接头螺母，所述接头螺母具有相对的第三端和第四端，所述第四端与所述接头的第二端朝向一致，所述第四端可拆卸地套设于所述炉管接头公头外壁，所述第三端固定有第二定位部，所述第二定位部与所述第一定位部相配合，使所述接头相对于所述接头螺母沿第一方向移动。

10.如权利要求9所述的炉管喷嘴组件连接结构，其特征在于，所述接头螺母第四端的内侧壁表面具有第一紧固螺纹。

11.如权利要求10所述的炉管喷嘴组件连接结构，其特征在于，所述炉管接头公头外壁表面具有第二紧固螺纹，所述第二紧固螺纹与第一紧固螺纹相配合。

12.如权利要求11所述的炉管喷嘴连接结构，其特征在于，所述接头内具有包容腔体，所述包容腔体与气体管道相连通，且所述包容腔体自所述第二端向第一端方向延伸，所述包容腔体的内径大于所述喷嘴的外径；所述喷嘴部分位于所述包容腔体内部。

13.如权利要求9所述的炉管喷嘴连接结构，其特征在于，所述喷嘴的材料包括石英。

14.如权利要求9所述的炉管喷嘴连接结构，其特征在于，还包括：位于所述炉管接头公头与所述接头的第二端之间的缓冲件，所述缓冲件与所述喷嘴外壁相接触。

15.如权利要求14所述的炉管喷嘴连接结构，其特征在于，所述缓冲件包括橡胶圈。

16.一种喷嘴组件安装方法，其特征在于，包括：

提供喷嘴组件，所述喷嘴组件包括：接头，所述接头内部具有沿第一方向延伸的气体管道，所述接头在第一方向上具有相对的第一端和第二端，所述接头的外壁表面固定有第一定位部；套设于所述接头外部的接头螺母，所述接头螺母具有相对的第三端和第四端，所述第四端与所述接头的第二端朝向一致，所述第三端固定有第二定位部，所述第二定位部与所述第一定位部相配合，使所述接头相对于所述接头螺母沿第一方向移动；

提供炉管结构，所述炉管结构包括：炉管本体；固定于炉管本体外壁的炉管接头公头，所述炉管公头内具有连通炉管本体内部与外部的空腔；自炉管本体内部通过所述空腔延伸至所述炉管接头公头外的喷嘴；

将所述接头螺母沿第一方向向炉管接头公头靠近，直至所述接头螺母的第四端套设于所述炉管接头公头的外壁；

将所述接头沿第一方向向喷嘴靠近，直至所述接头的第二端套设于所述喷嘴外壁，所述喷嘴的轴心与所述接头的轴心始终在同一直线上。

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