CN116017831A - 等离子体发生单元及其制备方法、等离子体净化装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种等离子体发生单元及其制备方法、等离子体净化装置，涉及净化设备技术领域。该等离子体发生单元包括第一电极层、第二电极层和具有一端开口的筒形阻挡件；第一电极层设置在阻挡件所围成区域内，并与阻挡件的内壁贴合设置；第一电极层用于与等离子净化装置的电源单元电性连接。第二电极层套设在阻挡件上，且第二电极层上设置第一通孔。本发明将阻挡件制作成筒形结构，第一电极层设置在阻挡件所围成区域内，并与阻挡件固定连接，第二电极层套设在阻挡件上。如此设置，阻挡件、第一电极层和第二电极层可以形成相对封闭的放电空间，以增大等离子体发生单元的放电面积，进而提高等离子体发生单元的放电效率。

Description

等离子体发生单元及其制备方法、等离子体净化装置

技术领域

本发明涉及净化设备技术领域，尤其涉及一种等离子体发生单元及其制备方法、等离子体净化装置。

背景技术

随着社会经济的发展，居民对住宅室内装修的要求也越来越高。大规模装修材料和建筑材料的使用，使得室内空气中甲醛、TVOC等污染物的浓度超标，对人们的身体健康产生了影响。目前，室内空气污染的净化方法有通风法、植物净化法、微生物法、物理化学吸附法和等离子体吸附法等。

相关技术中，等离子体净化装置通常包括等离子体发生单元和电源单元。其中，等离子体发生单元包括相对设置的第一电极层和第二电极层，以及设置在第一电极层和第二电极层之间的介质层。第一电极层与第二电极层中之一作为高压端，并与电源单元连接，通过电源元件为第一电极层与第二电极层中之一提供稳定持续的电力输出。第一电极层与第二电极层中另外一个作为接地端。

但是，上述的等离子体发生单元的放电面积较小，进而降低等离子体发生单元的放电效率。

发明内容

鉴于上述问题，本发明实施例提供一种等离子体发生单元及其制备方法、等离子体净化装置，能够提高等离子体发生单元的放电面积，进而提高等离子体放电效率。

为了实现上述目的，本发明实施例提供如下技术方案：

本发明实施例的第一方面提供一种等离子体发生单元，所述发生单元应用于等离子体净化装置；所述发生单元包括：第一电极层、第二电极层和具有一端开口的筒形阻挡件；

所述第一电极层设置在所述阻挡件所围成区域内，并与所述阻挡件的内壁贴合设置；其中，所述第一电极层用于与所述等离子净化装置的电源单元电性连接。

所述第二电极层套设在所述阻挡件上，且所述第二电极层上设置第一通孔。

在一种可能的实施方式中，所述第一电极层的材质为银，且所述第一电极层的厚度为0.1mm-0.5mm；或者，所述第一电极层的厚度为0.01mm-0.05mm。

在一种可能的实施方式中，所述阻挡件的材质包括石英，且所述阻挡件的厚度为0.5mm-1.0mm。

在一种可能的实施方式中，所述第一通孔的个数为多个，多个所述第一通孔间隔设置在所述第二电极层上。

在一种可能的实施方式中，所述阻挡件具有凸出部，所述凸出部沿垂直于所述阻挡件的方向延伸；

所述第二电极层朝向所述开口的端部抵接在所述凸出部上。

在一种可能的实施方式中，所述第二电极层包括连接筒和两端开口的电极筒，所述连接筒套设在所述电极筒上，并与所述凸出部抵接；

所述第一通孔设置在所述电极筒上。

在一种可能的实施方式中，所述发生单元还包括导电组件，所述导电组件的部分通过所述开口插设在所述阻挡件所围成区域，且与所述第一电极层连接；

位于所述开口外的部分用于所述电源单元电性连接。

在一种可能的实施方式中，所述导电组件包括本体和多个弹性导电片，所述多个弹性导电片间隔设置在所述本体上，且每个所述弹性导电片与所述本体的轴线之间具有第一预设夹角。

在一种可能的实施方式中，所述导电组件还包括导向件，所述导向件设置在每个所述弹性导电片的端部，且所述导向件背离所述弹性导电片的端部朝向所述本体的轴线。

在一种可能的实施方式中，所述发生单元还包括防护件，所述防护件套设在所述第二电极层上；

所述防护件设置第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔连通。

本发明实施例的第二方面提供一种等离子体发生单元的制备方法，包括如下步骤：

提供阻挡件，所述阻挡件的形状为筒形，且具有与所述阻挡件的内腔连通的开口；

对所述阻挡件的内壁进行等离子预处理，以提高所述阻挡件的内壁的亲润性；

形成第一电极层，所述第一电极层随形覆盖在所述阻挡件的内壁上；

形成第二电极层，并将第二电极层套设在所述阻挡件的外壁上，且与所述阻挡件固定连接；其中，所述第二电极层上设置第一通孔。

本发明实施例的第三方面提供一种等离子体净化装置包括：壳体、电源单元以及上述第一方面所述的等离子体发生单元；

所述等离子体发生单元设置在所述壳体上，且所述等离子体发生单元的导电组件的部分位于所述壳体内；

所述电源单元设置在所述壳体内，且与所述导电组件电性连接。

本发明实施例提供的等离子体发生单元及其制备方法、等离子体净化装置中，将阻挡件制作成筒形结构，第一电极层设置在阻挡件所围成区域内，并与阻挡件固定连接，第二电极层套设在阻挡件上。如此设置，阻挡件、第一电极层和第二电极层可以形成相对封闭的放电空间，以增大等离子体发生单元的放电面积，进而提高等离子体发生单元的放电效率。

此外，第一电极层贴合设置在阻挡件的内壁上，如此，可以缩短第一电极层与第二电极层之间的放电距离，进而，提高等离子体发生单元的放电效率。

除了上面所描述的本发明实施例解决的技术问题、构成技术方案的技术特征以及由这些技术方案的技术特征所带来的有益效果外，本发明实施例提供的等离子体发生单元及其制备方法、等离子体净化装置所能解决的其他技术问题、技术方案中包含的其他技术特征以及这些技术特征带来的有益效果，将在具体实施方式中作出进一步详细的说明。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的等离子体发生单元的结构示意图；

图2为沿图1中A-A方向的剖视图；

图3为本发明实施例提供的第二电极层的结构示意图一；

图4为本发明实施例提供的第二电极层的结构示意图二；

图5为本发明实施例提供的第二电极层的结构示意图三；

图6为本发明实施例提供的导电组件的结构示意图；

图7为本发明实施例提供的导电柱的结构示意图；

图8为本发明实施例提供的弹性导电片的结构示意图一；

图9为本发明实施例提供的弹性导电片的结构示意图二；

图10为本发明实施例提供的防护件的结构示意图；

图11为本发明实施例提供的等离子体发生单元的制备方法的工艺流程图；

图12为本发明实施例提供的壳体的示意图一；

图13为本发明实施例提供的壳体的示意图二；

图14为本发明实施例提供的壳体的示意图三。

附图标记：

10：等离子体发生单元；

11：第一电极层；

12：第二电极层；121：第一通孔；122：连接筒；123：电极筒；

13：阻挡件；131：筒形侧壁；132：顶壁；133：开口；134：凸出部；1341：承载面；

14：导电组件；141：本体；1411：导电柱；1412：第一螺柱；1413：第一螺纹孔；142：弹性导电片；143：导电片；144：导向件；

16：防护件；161：第二通孔；

20：壳体；21：容纳腔；22：连接件；221：第二螺纹孔；

30：电源单元。

具体实施方式

正如背景技术所述，相关技术中的等离子体发生单元具有放电效率低的技术问题。经发明人研究发现，出现这种问题的原因在于，当前的第一电极层和第二电极层通常为平板结构，第一电极层和第二电极层所构成放电空间为敞开型，如此，会致使等离子体发生单元的放电面积不够大，从而限制了等离子体放电效率，进而降低等离子体净化装置的净化效果。此外，平板型的第一电极层和第二电极层在使用过程中很容易发生变形，从而打破两个电极之间的相等距离，造成在电极变形的地方形成局部放电，其它地方没有等离子体的产生，工作效率低。

针对上述的技术问题，本发明实施例提供了一种等离子体发生单元及其制备方法、等离子体净化装置中，将阻挡件制作成筒形结构，第一电极层设置在阻挡件所围成区域内，并与阻挡件固定连接，第二电极层套设在阻挡件上。如此设置，阻挡件、第一电极层和第二电极层可以形成相对封闭的放电空间，以增大等离子体发生单元的放电面积，进而提高等离子体发生单元的放电效率。

此外，第一电极层贴合设置在阻挡件的内壁上，如此，可以缩短第一电极层与第二电极层之间的放电距离，进而，提高等离子体发生单元的放电效率。

为了使本发明实施例的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，均属于本发明保护的范围。

实施例一

请参考附图1和附图2，本发明实施例提供的等离子体发生单元10，可以应用到等离子净化装置中，可以对空气或者其他媒介进行消杀。示例性地，等离子体发生单元10用于对空气施加电场，使其放电形成等离子体以对空气中的细菌或者病毒进行消杀。

等离子体发生单元10包括第一电极层11、第二电极层12和阻挡件13。其中，阻挡件13为筒形结构，且阻挡件13的一端具有开口133。通过开口133可以将第一电极层11设置在阻挡件13的内壁上。

示例性地，阻挡件13包括两端开口的筒形侧壁131和顶壁132，顶壁132固定连接在筒形侧壁131的一侧，以使得筒形侧壁131背离顶壁132的端部围成开口133。需要说明的是，顶壁132可以为平面结构，也可以是弧形结构。

其中，阻挡件13的材质可以包括云母、石英和陶瓷。优选地，阻挡件13的材质为石英。石英具有较低的介电系数，例如，石英的介电系数为3.8，如此设置，可以降低第一电极层11、第二电极层12和阻挡件13所形成的寄生电容，进而降低甚至避免电荷存储在寄生电容中，提高了等离子体发生单元的放电能力。石英具有较高的抗电击穿强度，例如，石英抗电击穿强度为16-30KV/mm，可以降低阻挡件13被击穿的风险，提高了等离子体发生单元10的良率。

若是阻挡件13的厚度过大会加大第一电极层11和第二电极层12之间的间距，降低放电产生的击穿电压；若是阻挡件13的厚度过小虽然击穿电压会增大，但是，阻挡件13的厚度太小，很容易被击穿损坏。因此，本实施例中阻挡件13的厚度为0.5mm-1.0mm。例如，阻挡件13的厚度为0.8mm，如此设置，既可以对保证击穿电压在合适范围，也可以避免阻挡件13被击穿损坏。

第一电极层11设置在阻挡件13所围成区域内，即，第一电极层11设置在筒形侧壁131所围成的区域内，并与阻挡件13的内壁贴合设置，即，第一电极层11与阻挡件13的内壁直接接触。如此设置，可以缩短第一电极层11与第二电极层12之间的放电距离，进而，提高等离子体发生单元10的放电效率。

其中，第一电极层11的材质可以为银，银的电阻率较低，与其他的金属材料相比，银的导电性能较强，可以提高了等离子体发生单元的放电能力。

在本实施例中，第一电极层11的厚度为0.1mm-0.5mm；或者，所述第一电极层的厚度为0.01mm-0.05mm。例如，第一电极层11的厚度为0.5mm。如此设置，既可以避免第一电极层11的厚度过低，保证了等离子体发生单元10的放电效率。也可以避免第一电极层11的厚度过高，增加第一电极层11的制备成本和制备难度。

需要说明的是，第一电极层11的制备方式，可以通过电镀的方式制备，如此设置，可以提高第一电极层11的均匀性。

第二电极层12套设在阻挡件13上。例如，第二电极层12可以与阻挡件13可以是间隙配合，也可以是与阻挡件13为过盈配合。第二电极层12的外形可以与阻挡件13的外形基本一致，也可以是，仅与阻挡件13的筒形侧壁131的外形基本一致。

请参考附图3至附图5，第二电极层12上设置有第一通孔121。第一通孔121与第一电极层11和第二电极层12之间形成的放电空间相连通，以便于空气进入，对空气施加电场，使其放电形成等离子体以对空气中的细菌或者病毒进行消杀。

需要说明的是，请参考附图3和附图4，第二电极层12可以通过钣金件冲压而成。例如，在制备的过程中，可以采用冲压的方式，在不锈钢板上形成第一通孔121。请参考附图5，第二电极层12还可以为金属网。例如，通过编织的方式形成第二电极层12，其中，相邻的金属丝线之间围合成第一通孔121。

第一通孔121的个数为多个，多个第一通孔121间隔设置在第二电极层12。至于第一通孔121的个数为多少，可以根据实际情况进行调整。

为了方便对第一通孔121的个数进行描述，可以对每平方英时第二电极层12上第一通孔121的个数进行限定，例如，每平方英时第二电极层12上第一通孔121的个数为20个，以记为20目。又例如，每平方英时第二电极层12上第一通孔121的个数为40个，以记为40目。需要说明的是，第二电极层12的目数并不仅限于上述的20目和40目，还可以有其他的选择。

第一通孔121的形状可以为规则形状，例如，第一通孔121的形状为圆形或者方形。

本实施例提供的等离子体发生单元中，将阻挡件13制作成筒形结构，第一电极层11设置在阻挡件13所围成区域内，并与阻挡件13的内壁贴合设置，第二电极层12套设在阻挡件13上。如此设置，阻挡件13、第一电极层11和第二电极层12可以形成相对封闭的放电空间，以增大等离子体发生单元10的放电面积，进而提高等离子体发生单元10的放电效率。

在一种可能的实施方式中，阻挡件13具有凸出部134，凸出部134沿垂直于阻挡件的方向延伸。换而言之，凸出部134固定连接在筒形侧壁131背离顶壁132的底部。其中。凸出部134沿垂直于阻挡件13的轴线方向延伸，使得凸出部134的顶面为承载面1341。

第二电极层12朝向开口133的端部抵接在凸出部134的承载面上。如此设置，可以增大第二电极层12和阻挡件13之间的连接强度。

需要说明的是，第二电极层12可以又由环形侧壁围成的两端开口的筒形结构，例如，请参考附图3。也可以是其他结构。

请参考附图4，在一种可能的实施方式中，第二电极层12包括连接筒122和两端开口的电极筒123，连接筒122套设在电极筒123上，并与凸出部134抵接。第一通孔121设置在电极筒123。如此设置，连接筒122的底部和电极筒123的底部均与凸出部134接触，增大第二电极层12与凸出部134的接触面积，进而提高第二电极层12和阻挡件13之间的连接强度。

请参考附图6至附图9，在一种可能的实施方式中，等离子体发生单元10还包括导电组件14，导电组件14的部分通过开口133插设在阻挡件13所围成的区域内，且与第一电极层11连接；位于开口133外的部分用于电源单元30(请参见附图14)电性连接。

当电源单元的电力传输至导电组件14时，导电组件14可以将电力传输至第一电极层，进而实现等离子体发生单元10的正常工作。

在本实施例中，导电组件14包括本体141和多个弹性导电片142。本体141用于与等离子净化装置的壳体连接。示例性地，部分本体141的外周面形成有外螺纹，本体141可以通过螺纹连接与等离子净化装置的壳体连接。在本实施例中，本体141的材质为黄铜。弹性导电片142的材质为304或者316不锈钢材质冲压成型。

其中，本体141的结构可以有多种选择。请参考附图7，示例性地，本体141包括导电柱1411以及设置在导电柱1411上的第一螺柱1412，第一螺柱1412与等离子净化装置的壳体螺纹连接。

请参考附图8和附图9，多个弹性导电片142间隔设置在本体141上，即，多个弹性导电片142间隔设置在导电柱1411背离第一螺柱1412的端面上。在一示例中，多个弹性导电片142的一端可以直接固定连接在导电柱1411上，例如，多个弹性导电片142分别焊接在导电柱1411上。在另一个示例中，多个弹性导电片142的一端均固定连接在导电片143上，导电片143通过第二螺柱螺接在导电柱1411上。例如，导电柱1411背离第一螺柱1412的端面上设置有第一螺纹孔1413，导电片143通过第二螺柱螺接在第一螺纹孔1413内。

且每个弹性导电片142与本体141的轴线之间具有第一预设夹角。示例性地，第一预设夹角为锐角。

鉴于弹性导电片142具有一定的弹性，在将导电组件14插入阻挡件13所围成的区域之前，可以将多个弹性导电片142向本体141的轴线收拢，如此可以方便导电组件14的顺利插入，待弹性导电片142完全插入阻挡件13所围成的区域之后，可以依靠弹性导电片142的自身弹性向背离本体的轴线方向微移动，以使弹性导电片142背离本体141的端部抵接在第一电极层11上。如此，在插入过程中，多个弹性导电片142围成的区域的直径小于阻挡件13所围成的区域的直径，可以防止对第一电极层11的损伤，提高了等离子体发生单元10的良率。

需要说明的是，本实施例中弹性导电片142的个数为多个。在一示例中，请参考附图8，弹性导电片142的个数为四个，四个弹性导电片沿导电片143的圆周方向间隔设置。如此设置，可以增加弹性导电片142与第一电极层11的接触点，进而增大电力的传输速度。在另一示例中，请参考附图8，弹性导电片142的个数为两个，两个弹性导电片142对称设置在导电片143上。如此设置，可以方便导电组件14的安装。

在一种可能的实施方式中，导电组件14还包括导向件144，导向件144设置在每个弹性导电片142的端部，且导向件144背离弹性导电片142的端部朝向本体141的轴线。

导向件144可以与弹性导电片142为一体成型。示例性地，弹性导电片142背离本体141的端部朝向本体141的轴线弯折，以形成导向件144。本实施例通过导向件144的设置，可以方便导电组件14插入阻挡件13所围成的区域。

请参考附图10，在一种可能的实施方式中，等离子体发生单元10还包括防护件16，防护件16套设在第二电极层12上，用于对第二电极层12进行防护，防止第二电极层12直接暴露在空气中。其中，防护件16的形状与阻挡件13的形状相一致。

防护件16设置第二通孔161，第二通孔161与第一通孔121连通，以便于空气能够通过第二通孔161和第一通孔121进入等离子体发生单元10的放电区域。在本实施例中，第二通孔161形状可以与第一通孔121的相同，也可以有其他的选择。例如，第二通孔161为沿防护件16的周向延伸的长圆孔。第二通孔161的个数为多个，多个第二通孔161阵列排布在防护件16上。

在本实施例中，防护件16的材质为ABS材质。可以通过注塑成型或者利用3D打印等技术形成防护件16。防护件16具有绝缘性，将防护件16套设在第二电极层12上，可以避免发生触电风险，提高了等离子体发生单元10的安全性。

实施例二

请参考附图11，本发明实施例提供了一种等离子体发生单元的制备方法，该制备方法用于制备实施例一中所描述的等离子体发生单元10。等离子体发生单元10的结构可以参考附图1至附图10。

等离子体发生单元的制备方法包括如下步骤：

步骤S100：提供阻挡件，阻挡件的形状为筒形，且具有与阻挡件的内腔连通的开口。

在本实施例中，阻挡件的材质可以为石英，可以根据实际选择合适的石英管，也就是说，阻挡件13的形状为筒形，且具有与阻挡件13的内腔连通的开口133。

步骤S200：对阻挡件的内壁进行等离子预处理，以提高阻挡件的内壁的亲润性。

利用等离子体处理设备，对阻挡件13的内壁进行预处理，清理附着在阻挡件13的内壁的杂质颗粒，提高阻挡件13的内壁的亲润性，进而增强后续所形成的第一电极层11与阻挡件13的附着力。

步骤S300：形成第一电极层，第一电极层随形覆盖在阻挡件的内壁上。

可以利用电镀方式，在阻挡件13的内壁上形成第一电极层11。鉴于在步骤S200中，对阻挡件13的内壁进行预处理，如此，可以在阻挡件13的内壁形成厚度均匀的第一电极层11。

步骤S400：形成第二电极层，并将第二电极层套设在阻挡件的外壁上，且与阻挡件固定连接；其中，第二电极层上设置第一通孔。

选取用于形成第二电极层12的304或者316不锈钢材质的板材。之后，对板材进行激光切合或冲压成型成多孔形状，其中，多孔可以记为第一通孔。之后，将多孔板材进行卷曲成型并焊接以形成筒形的第二电极层12。最后，将第二电极层12套设在阻挡件13上。

当第二电极层12为金属网时，可以通过编织的方式形成第二电极层12，其中，相邻的金属丝线之间围合成第一通孔121。在本实施例中，在形成第一电极层11之前，对阻挡件13的内壁的进行等离子预处理，如此，可以增强阻挡件13的内壁的亲润性，进而阻挡件13的内壁与第一电极层11的粘合力，保证了第一电极层11的厚度均匀性。

需要说明的是，本实施例中制备方法还包括如下步骤：

制备导电组件14，示例性，利用304或者316不锈钢材质的板材进行冲压成型，以形成导电片143和设置在导电片143上的多个弹性导电片142。之后，根据所需尺寸以形成本体141，并将导电片和多个弹性导电片142固定在本体141上。

之后，将导电组件14插设在阻挡件13所围成的区域内，并使得弹性导电片142背离本体141的端部与第一电极层11电接触。

之后，制备防护件16。示例性地，将用于形成防护件16的ABS材质通过注塑成型或者利用3D打印等技术形成防护件16，其中，防护件16具有第二通孔161，第二通孔161与第一通孔121相互连通。

实施例三

本发明实施例还提供一种等离子体净化装置，包括：壳体20、电源单元30以及实施例一的等离子体发生单元10。

请参考附图12至附图14，壳体20具有容纳腔21，容纳腔21可以容纳电源单元30和部分等离子体发生单元10。需要说明的是，壳体20的一侧为活动侧，比如，壳体20的底壁可以为活动壁，如此，可以便于将电源单元(图中未示出)和部分等离子体发生单元10安装在容纳腔21内。又例如，壳体20不设置底壁，使得壳体20具有底部开口，以便于将电源单元和部分等离子体发生单元10安装在容纳腔21内

等离子体发生单元10设置在壳体20上，且等离子体发生单元10的导电组件14的部分位于壳体20内。示例性地，壳体20具有安装孔23，安装孔23贯穿所在的侧壁，且安装孔23的内壁上具有内螺纹，防护件16的外周壁上具有外螺纹。

壳体20内设置有连接件22，且连接件22的部分暴露在安装孔23内，且连接件22具有第二螺纹孔221。

在安装过程中，等离子体发生单元10的部分穿过安装口之后，将防护件16的外螺纹与安装孔23的内螺纹螺纹连接。且导电组件14的第一螺柱1412螺纹连接在连接件22的第二螺纹孔221内，并延伸至连接件22外部，以便于与电源单元电性连接。连接件22上具有第二螺纹孔221，连接件22的内壁上具有内螺纹。

电源单元30设置在壳体20内，且与导电组件14的第一螺柱1412电性连接。其中，电源单元包括激励电源、高频升压变压器和放电反应器，以为等离子体发生单元10提供持续稳定的高压输出。

本实施例所提供的等离子体净化装置包括等离子体发生单元10，且等离子体发生单元10中的阻挡件13为筒形结构，第一电极层11设置在阻挡件13所围成区域内，并与阻挡件13固定连接，第二电极层12套设在阻挡件13上。如此设置，阻挡件13、第一电极层11和第二电极层12可以形成相对封闭的放电空间，以增大等离子体发生单元的放电面积，进而提高等离子体发生单元10的放电效率。

此外，第一电极层11贴合设置在阻挡件13的内壁上，如此，可以缩短第一电极层11与第二电极层12之间的放电距离，进而，提高等离子体发生单元10的放电效率。

本说明书中各实施例或实施方式采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分相互参见即可。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施方式或示例中。

在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (12)

1.一种等离子体发生单元，其特征在于，所述发生单元应用于等离子体净化装置；所述发生单元包括：第一电极层、第二电极层和具有一端开口的筒形阻挡件；

所述第一电极层设置在所述阻挡件所围成区域内，并与所述阻挡件的内壁贴合设置；其中，所述第一电极层用于与所述等离子净化装置的电源单元电性连接；

所述第二电极层套设在所述阻挡件上，且所述第二电极层上设置第一通孔。

2.根据权利要求1所述的等离子体发生单元，其特征在于，所述第一电极层的材质包括银，且所述第一电极层的厚度为0.1mm-0.5mm；或者，所述第一电极层的厚度为0.01mm-0.05mm。

3.根据权利要求1所述的等离子体发生单元，其特征在于，所述阻挡件的材质包括石英，且所述阻挡件的厚度为0.5mm-1.0mm。

4.根据权利要求1-3任一项所述的等离子体发生单元，其特征在于，所述第一通孔的个数为多个，多个所述第一通孔间隔设置在所述第二电极层上。

5.根据权利要求1-3任一项所述的等离子体发生单元，其特征在于，所述阻挡件具有凸出部，所述凸出部沿垂直于所述阻挡件的方向延伸；

所述第二电极层朝向所述开口的端部抵接在所述凸出部上。

6.根据权利要求5所述的等离子体发生单元，其特征在于，所述第二电极层包括连接筒和两端开口的电极筒，所述连接筒套设在所述电极筒上，并与所述凸出部抵接；

所述第一通孔设置在所述电极筒上。

7.根据权利要求1-3任一项所述的等离子体发生单元，其特征在于，所述发生单元还包括导电组件，所述导电组件的部分通过所述开口插设在所述阻挡件所围成区域，且与所述第一电极层连接；

位于所述开口外的部分用于所述电源单元电性连接。

8.根据权利要求7所述的等离子体发生单元，其特征在于，所述导电组件包括本体和多个弹性导电片，所述多个弹性导电片间隔设置在所述本体上。

9.根据权利要求8所述的等离子体发生单元，其特征在于，所述导电组件还包括导向件，所述导向件设置在每个所述弹性导电片的端部，且所述导向件背离所述弹性导电片的端部朝向所述本体的轴线。

10.根据权利要求1-3任一项所述的等离子体发生单元，其特征在于，所述发生单元还包括防护件，所述防护件套设在所述第二电极层上；

所述防护件设置第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔连通。

11.一种等离子体发生单元的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供阻挡件，所述阻挡件的形状为筒形，且具有与所述阻挡件的内腔连通的开口；

对所述阻挡件的内壁进行等离子预处理，以提高所述阻挡件的内壁的亲润性；

形成第一电极层，所述第一电极层随形覆盖在所述阻挡件的内壁上；

形成第二电极层，并将第二电极层套设在所述阻挡件的外壁上，且与所述阻挡件固定连接；其中，所述第二电极层上设置第一通孔。

12.一种等离子体净化装置，其特征在于，包括：壳体、电源单元以及权利要求1-10任一项所述的等离子体发生单元；

所述等离子体发生单元设置在所述壳体上，且所述等离子体发生单元的导电组件的部分位于所述壳体内；

所述电源单元设置在所述壳体内，且与所述导电组件电性连接。

Images