CN116007898A - 一种VCSEL Array激光器综合测试系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种VCSEL Array激光器综合测试系统，涉及芯片测试装置技术领域，包括：机架，内部设置有装配空间；测试台，安装于装配空间内部；支撑架，安装在测试台上，且支撑架上开设有测试口；位移组件，安装于测试台上；测试组件，安装在支撑架上，且测试组件的测试端与测试口相对应；测试组件包括拍摄定位模块、LIV测试模块、近场测试模块和远场测试模块，拍摄定位模块、LIV测试模块、近场测试模块和远场测试模块间隔安装于支撑架上，且拍摄定位模块、LIV测试模块、近场测试模块和远场测试模块位于测试口的四周，本发明解决了现有技术中VCSEL激光器测试装置功能单一，影响检测效率的技术问题。

Description

一种VCSEL Array激光器综合测试系统

技术领域

本发明涉及芯片测试装置技术领域，尤其涉及一种VCSEL Array激光器综合测试系统。

背景技术

VCSEL激光器作为通信应用已有是Vert i cal Cavity Surface Emitt ingLaser(垂直腔面发射激光器)的首字母缩写，即垂直腔表面发射激光器.VCSEL是一种半导体激光二极管，以砷化镓等半导体材料为基础研制，有别于LED(发光二极管)和LD(LaserDiode，激光二极管)等其他光源。与传统的边发射(Edgeemitter)激光器不同，VCSEL是从顶部表面垂直发射高功率光学激光束，具有体积小、圆形输出光斑、单纵模输出、阈值电流小、工作温度范围大、价格低廉、易集成为大面积阵列等优点，在过去的30年时间里，广泛应用于光通信，光互连等领域。

随着近几年3D结构光、d-TOF等测距传感领域的突破性发展，VCSEL阵列(VCSELArray)芯片在人脸识别、3D建模、激光雷达等方面获得非常广泛的应用。

新的应用方向促使VCSEL Array芯片的快速迭代，相关的检测和测试设备也要跟得上产品的快速演变和量产的步伐。现有中的VCSEL激光器的测试装置大多还是维持在通信应用时代的单一功能，例如一台设备只能测试LIV或者远场测试，不能满足多种指标的检测，当需要进行不同指标测试时，转移至另外的机器上进行检测，这样检测的效率较低，不适合量产。另外，对于功率测试，通信级别的VCSEL激光器一般能量较低(mW级别)，但是VCSEL Array功率从几瓦到几十瓦不等。对于近场和远场光学性能检测，通信级别的VCSEL激光器一般是单光斑，但是VCSEL Array一般是数百个光斑，传统的近场、远场光斑检测系统难以胜任。

发明内容

本发明的目的是提供一种VCSEL Array激光器综合测试系统，解决了现有技术VCSEL激光器测试装置功能单一，影响检测效率的技术问题。

本申请实施例公开了一种VCSEL Array激光器综合测试系统，包括：

机架，内部设置有装配空间；

测试台，安装于所述装配空间内部；

支撑架，安装在所述测试台上，且所述支撑架上开设有测试口；

位移组件，安装于所述测试台上；

测试组件，安装在所述支撑架上，且所述测试组件的测试端与所述测试口相对应；

所述测试组件包括拍摄定位模块、LIV测试模块、近场测试模块和远场测试模块，所述拍摄定位模块、L IV测试模块、近场测试模块和远场测试模块间隔安装于所述支撑架上，且所述拍摄定位模块、LIV测试模块、近场测试模块和远场测试模块位于所述测试口的四周。

本申请实施例对测试组件进行设计，将多个功能集中在同一装置，以此实现检测功能的集成，提高检测的效率，同时能够节省空间，缩短移动行程提高测试效率。

在上述技术方案的基础上，本申请实施例还可以做如下改进：

进一步地，它还包括多个减震组件，所述减震组件间隔设置于所述机架内部，且所述减震组件的顶部与所述测试台的底部连接，采用本步的有益效果能够提高稳定性，以此保证后续检测结果的准确性。

进一步地，所述减震组件为减震器或者减震垫，采用本步的有益效果是通过具体的部件以此提高稳定性。

进一步地，所述位移组件包括：

第一伺服模组，安装在所述测试台上方；

第二伺服模组，安装于所述第一伺服模组的活动端，且所述第二伺服模组与所述第一伺服模组垂直；

冷却单元，安装在所述第二伺服模组的输出端，且所述冷却单元用于完成待检测件的夹持后控温，采用本步的有益效果是通过两个伺服模组以此实现不同位置的调整。

进一步地，所述冷却单元包括：

中转块，安装在所述第二伺服模组的输出端；

隔热板，安装在所述中转块上；

连接器，安装在所述中转块上，且所述连接器的连接端朝向所述隔热板；

制冷块，安装在所述隔热板上，且制冷块上装配所述待检测件；

盖板，装配于所述制冷块上，且所述盖板的底部与所述制冷块的顶部之间留有放置所述待检测件的间隙，采用本步的有益效果是通过具体的部件能够保证夹持的稳定性，同时模拟工作的环境温度。

进一步地，所述拍摄定位模块包括：

拍摄定位支架，竖向安装于所述支撑架上；

第一升降气缸，安装于所述拍摄定位支架的侧面；

视觉定位模块，安装于所述第一升降气缸的活塞端，且所述视觉定位模块的拍摄端与所述测试口相对应，所述视觉定位模块在所述第一升降气缸的带动下作升降运动，采用本步的有益效果是视觉定位模块拍摄待检测件的位置，便于后续的控制器获得其位置信息。

进一步地，所述L IV测试模块包括：

L IV测试支架，安装于所述支撑架上；

第二升降气缸，安装于所述LIV测试支架的侧面；

积分球安装架，设置于所述第二升降气缸的活塞端；

积分球，安装于所述积分球安装架上，且所述积分球与所述测试口相对应，所述积分球在所述第二升降气缸的带动下作升降运动，采用本步的有益效果是通过相应的测试装置进行光谱测试。

进一步地，所述近场测试模块包括：

近场测试支架，安装于所述支撑架上；

第一步进电机滑台模组，安装于所述近场测试支架朝向所述测试口的一侧；

第一模拟板，安装在所述第一步进电机滑台模组的输出端；

光学连接件，安装于所述第一模拟板的外侧；

光学件，竖向安装于所述光学连接件上；

第二步进电机滑台模组，安装于所述第一模拟板上方；

光学调节件，安装于所述第二步进电机滑台模组的输出端，且所述光学调节件的底部与所述光学件的顶部配合；

近场相机，安装于所述光学调节件的顶部，且所述近场相机与所述光学件相配合，采用本步的有益效果是通过两个测试相机进行配合，能够得到光谱中更多的参数。

进一步地，所述光学件包括：

第一光学套筒，竖向设置在所述光学调节件上，且所述第一光学套筒的顶部与所述近场相机相配合；

第二光学套筒，竖向设置，且所述第二光学套筒的顶部设置于所述第一光学套筒内部，所述第二光学套筒的外径小于所述第一光学套筒的内径；

镜筒透镜，安装于所述第二光学套筒的底端，且所述镜筒透镜设置在所述光学连接件上；

第三光学套筒，安装于所述镜筒透镜的底部；

长焦物镜，安装于所述第三光学套筒的底部，采用本步的有益效果是通过多个光学套筒的配合能够光束不同位置的收集检测。

进一步地，所述远场测试模块包括：

远场测试机架，竖向安装在所述支撑架上；

远场测试电机，安装于所述远场测试机架朝向所述测试口的一侧；

第二模拟板，安装于所述远场测试电机的输出端；

幕板托盘，安装于所述第二模拟板的底部；

滑台，安装于所述第二模拟板的顶部；

远场相机，安装于所述滑台上，且所述远场相机的拍摄端竖向朝下，采用本步的有益效果是通过相应的滑台调整能够实现不同产品的远场测试。

本申请实施例中提供的一个或者多个技术方案，至少具有如下技术效果或者优点：

1.本申请集成了VCSEL的LIV测试、光谱测试、近场测试、远场测试所有功能，即一台设备即可实现消费级VCSEL的光电特性以及光束质量的测试，以此提高了测试效率。

2.本申请对近场测试模块进行设计，其中光学件为可伸缩光学件，这样近场相机能够获得光束不同部位的图形，便于后续进行近场参数计算，以达到对产品近场特性的分析。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明具体实施例所述的一种VCSEL Array激光器综合测试系统的结构示意图；

图2为图1的内部结构示意图；

图3为图1的局部示意图；

图4为图1中位移组件的示意图；

图5为图1中冷却单元的示意图；

图6为图1中近场测试模块的示意图；

图7为图1中远场测试模块的示意图；

1-机架；2-测试台；3-支撑架；4-测试口；5-测试组件；6-减震组件；7-位移组件；

11-装配空间；

51-拍摄定位模块；52-LIV测试模块；53-近场测试模块；54-远场测试模块；

511-拍摄定位支架；512-第一升降气缸；513-视觉定位模块；

521-L IV测试支架；522-第二升降气缸；523-积分球安装架；524-积分球；

531-近场测试支架；532-第一步进电机滑台模组；533-第一模拟板；534-光学连接件；535-光学件；536-第二步进电机滑台模组；537-光学调节件；538-近场相机；

5351-第一光学套筒；5352-第二光学套筒；5353-镜筒透镜；5354-第三光学套筒；5355-长焦物镜；

541-远场测试机架；542-远场测试电机；543-第二模拟板；544-模板托盘；545-滑台；546-远场相机；

71-第一伺服模组；72-第二伺服模组；73-冷却单元；

731-中转块；732-隔热板；733-连接器；734-制冷块；735-盖板。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本发明的保护范围。

需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域技术人员所理解的通常意义。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体实施方式对上述技术方案进行详细说明。

实施例1：

如图1-7所示，本申请实施例公开了一种VCSEL Array激光器综合测试系统，该系统集成了VCSEL的LIV测试、光谱测试、近场测试、远场测试所有功能，以此提高检测效率；

其具体结构包括：

机架1，内部设置有装配空间11，该机架1包括相应的框架和围挡板件，该围挡板围绕在框架的外侧，避免外部环境影响检测环境；该围挡板上还开设有观测口，该观测口上设置有观测门，所述观测门通过伸缩杆与围挡

测试台2，安装于所述装配空间11内部，该测试台2用于支撑后续的检测部件，其具体结构为平板状；

支撑架3，安装在所述测试台2上，且所述支撑架3上开设有测试口4，该测试口便于后续的相应测试模块进行检测；该支撑架3的底部四角设置有相应的支撑柱，以此控制支撑架3和测试台2之间的空间，便于后续装配相应的位移组件7；

位移组件7，安装于所述测试台2上，该位移组件7用于提供位移动力，即带动相应的待检测件运输至测试口4处，便于后续进行检测；

测试组件5，安装在所述支撑架3上，且所述测试组件5的测试端与所述测试口4相对应，即待检测件运动至测试口4处时，通过测试组件5完成相应的测试；

所述测试组件5包括拍摄定位模块51、LIV测试模块52、近场测试模块53和远场测试模块54，所述拍摄定位模块51、LIV测试模块52、近场测试模块53和远场测试模块54间隔安装于所述支撑架3上，且所述拍摄定位模块51、LIV测试模块52、近场测试模块53和远场测试模块54位于所述测试口4的四周；本申请对该测试组件5进行设计，将多种测试模块集成到一台装置上，能够依次进行多种测试，以此提高工作效率。

在一实施例中，如图3所示，本申请中的测试系统还包括多个减震组件6，所述减震组件6间隔设置于所述机架1内部，且所述减震组件6的顶部与所述测试台2的底部连接，该减震组件6用于完成测试台2的减震，以此提高稳定性，避免测试台2在工作时，发生晃动，影响检测结果。

具体地，所述减震组件6为减震器或者减震垫，也可以是其他相似的减震件，例如高性能气浮弹簧减震器。

在一实施例中，如图4、5所示，所述位移组件7包括：

第一伺服模组71，安装在所述测试台2上方；

第二伺服模组72，安装于所述第一伺服模组71的活动端，且所述第二伺服模组72与所述第一伺服模组71垂直；本申请中的第一伺服模组71和第二伺服模组72均为现有的伺服模组，两者的运动方向处于不同的水平面内，其中第二伺服模组72位于所述第一伺服模组71上方；

冷却单元73，安装在所述第二伺服模组72的输出端，且所述冷却单元73用于完成待检测件的夹持后控温；该冷却单元73用于控制待检测件的控温，使其在20-90℃的范围内进行检测，该待检测件为铜基板，其上装配有VCSEL芯片。

其中，本申请中所述冷却单元73包括：

中转块731，安装在所述第二伺服模组72的输出端，该中转块731与第二伺服模组72相配合，在第二伺服模组72的带动下能够实现Y轴方向的运动；

隔热板732，安装在所述中转块731上，利用隔热板732能够实现温度隔离，避免后续的测试环境受到外界影响；

连接器733，安装在所述中转块731上，且所述连接器733的连接端朝向所述隔热板732，该连接器733为现有的连接器，用于连接铜基板，以实现后续通电，完成检测；

制冷块734，安装在所述隔热板732上，且制冷块734上装配所述待检测件，该制冷块734为TEC热电制冷器，用于提供测试的环境温度，该制冷块734上用于装配铜基板；

盖板735，装配于所述制冷块734上，且所述盖板735的底部与所述制冷块734的顶部之间留有放置所述待检测件的间隙；本申请通过盖板735可以完成待检测件的夹紧，便于后续的光谱测试。

在一实施例中，如图3所示，所述拍摄定位模块51包括：

拍摄定位支架511，竖向安装于所述支撑架3上，该拍摄定位支架511为现有部件，用于实现后续部件的支撑，具体位置是位于测试口4的侧边；

第一升降气缸512，安装于所述拍摄定位支架511的侧面；该第一升降气缸512的活塞杆方向竖向运动的，同时活塞杆的末端与所述测试口4相对应；

视觉定位模块513，安装于所述第一升降气缸512的活塞端，且所述视觉定位模块513的拍摄端与所述测试口4相对应，所述视觉定位模块513在所述第一升降气缸512的带动下作升降运动，以便于视觉定位模块513对准待检测件拍摄，并将信息送至相应的控制器中，控制器进行控制使得位移组件7运动，使得待检测件运动至检测出，完成检测。该视觉定位模块513为现有的模块，包括工业相机和上位机等等，将图像传送至上位机中后，利用软件和相关的图形算法进行计算，得到具体位置，然后控制剩余的LIV测试模块52、近场测试模块53和远场测试模块54运动，完成相关测试。

其中，所述LIV测试模块52包括：

L IV测试支架521，安装于所述支撑架3上；

第二升降气缸522，安装于所述L IV测试支架3的侧面，该第二升降气缸522的活塞杆是竖向向下；

积分球安装架523，设置于所述第二升降气缸522的活塞端；

积分球524，安装于所述积分球安装架523上，且所述积分球524与所述测试口4相对应，所述积分球524在所述第二升降气缸522的带动下作升降运动；本申请中的积分球524为现有的积分球，待测件在与连接器接通后，发光，然后通过积分球系统进行光功率的采集(P-I特性曲线，Power-Current)。

其中，如图3、6所示，所述近场测试模块53包括：

近场测试支架531，安装于所述支撑架3上；

第一步进电机滑台模组532，安装于所述近场测试支架531朝向所述测试口4的一侧；

第一模拟板533，安装在所述第一步进电机滑台模组532的输出端；

光学连接件534，安装于所述第一模拟板533的外侧；

光学件535，竖向安装于所述光学连接件534上；

第二步进电机滑台模组536，安装于所述第一模拟板533上方；

光学调节件537，安装于所述第二步进电机滑台模组536的输出端，且所述光学调节件537的底部与所述光学件535的顶部配合；

近场相机538，安装于所述光学调节件537的顶部，且所述近场相机538与所述光学件535相配合；本申请中的近场测试模块53设置有两个步进电机滑台模组，实现竖向的分别运动，其中光学件535为可伸缩的，这样可以检测到光束不同的截面，以此获得更多的光学参数；

本申请中的第一步进电机滑台模组532和第二步进电机滑台模组536均为带位置反馈的步进电机滑台模组；

其中，所述第一步进电机滑台模组532、第二步进电机滑台模组536均为步进电机；

所述光学件535包括：

第一光学套筒5351，竖向设置在所述光学调节件537上，且所述第一光学套筒5351的顶部与所述近场相机538相配合；

第二光学套筒5352，竖向设置，且所述第二光学套筒5352的顶部设置于所述第一光学套筒5351内部，所述第二光学套筒5352的外径小于所述第一光学套筒5351的内径；

镜筒透镜5353，安装于所述第二光学套筒5352的底端，且所述镜筒透镜5353设置在所述光学连接件534上；

第三光学套筒5354，安装于所述镜筒透镜5353的底部；

长焦物镜5355，安装于所述第三光学套筒5354的底部；本申请中第二步进电机滑台模组536不工作时，第一步进电机滑台模组532能够带动相应的第一模拟板533、光学连接件534、光学件535、第二步进电机滑台模组536、光学调节件537和近场相机538；而第二步进电机滑台模组536工作时，能够带动第一光学套筒5351、近场相机538运动，从而能够收集光束不同区域的参数，后续进行近场参数计算，以达到对产品近场特性的分析。

其中，如图7所示，所述远场测试模块54包括：

远场测试机架541，竖向安装在所述支撑架3上；

远场测试电机542，安装于所述远场测试机架541朝向所述测试口4的一侧；

第二模拟板543，安装于所述远场测试电机542的输出端；

幕板托盘544，安装于所述第二模拟板543的底部；

滑台545，安装于所述第二模拟板543的顶部；

远场相机546，安装于所述滑台545上，且所述远场相机546的拍摄端竖向朝下；本申请中的滑台545中的滑块能够带动远场相机546上下运动，以此适应不同产品的需求。

以下针对于本申请作进一步说明，本申请中的光学套筒能够保证整个光路不受外界光线的干扰，并且本申请中的近场测试模块通过调整近场相机在光路中束腰前后不同的位置，以此可以获得该光斑的束腰直径、发散角度、光束质量因子M2等参数，计算得到光斑的能量参数，通过对能量参数的运算，可以得到均匀性数值和暗坏点的数量。

本发明的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本发明的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本发明的权利要求和说明书的范围当中。

Claims (10)

1.一种VCSEL Array激光器综合测试系统，其特征在于，包括：

机架，内部设置有装配空间；

测试台，安装于所述装配空间内部；

支撑架，安装在所述测试台上，且所述支撑架上开设有测试口；

位移组件，安装于所述测试台上；

测试组件，安装在所述支撑架上，且所述测试组件的测试端与所述测试口相对应；

所述测试组件包括拍摄定位模块、LIV测试模块、近场测试模块和远场测试模块，所述拍摄定位模块、LIV测试模块、近场测试模块和远场测试模块间隔安装于所述支撑架上，且所述拍摄定位模块、LIV测试模块、近场测试模块和远场测试模块位于所述测试口的四周。

2.根据权利要求1所述的VCSEL Array激光器综合测试系统，其特征在于，它还包括多个减震组件，所述减震组件间隔设置于所述机架内部，且所述减震组件的顶部与所述测试台的底部连接。

3.根据权利要求2所述的VCSEL Array激光器综合测试系统，其特征在于，所述减震组件为减震器或者减震垫。

4.根据权利要求1所述的VCSEL Array激光器综合测试系统，其特征在于，所述位移组件包括：

第一伺服模组，安装在所述测试台上方；

第二伺服模组，安装于所述第一伺服模组的活动端，且所述第二伺服模组与所述第一伺服模组垂直；

冷却单元，安装在所述第二伺服模组的输出端，且所述冷却单元用于完成待检测件的夹持后控温。

5.根据权利要求4所述的VCSEL Array激光器综合测试系统，其特征在于，所述冷却单元包括：

中转块，安装在所述第二伺服模组的输出端；

隔热板，安装在所述中转块上；

连接器，安装在所述中转块上，且所述连接器的连接端朝向所述隔热板；

制冷块，安装在所述隔热板上，且制冷块上装配所述待检测件；

盖板，装配于所述制冷块上，且所述盖板的底部与所述制冷块的顶部之间留有放置所述待检测件的间隙。

6.根据权利要求5所述的VCSEL Array激光器综合测试系统，其特征在于，所述拍摄定位模块包括：

拍摄定位支架，竖向安装于所述支撑架上；

第一升降气缸，安装于所述拍摄定位支架的侧面；

视觉定位模块，安装于所述第一升降气缸的活塞端，且所述视觉定位模块的拍摄端与所述测试口相对应，所述视觉定位模块在所述第一升降气缸的带动下作升降运动。

7.根据权利要求6所述的VCSEL Array激光器综合测试系统，其特征在于，所述LIV测试模块包括：

LIV测试支架，安装于所述支撑架上；

第二升降气缸，安装于所述LIV测试支架的侧面；

积分球安装架，设置于所述第二升降气缸的活塞端；

积分球，安装于所述积分球安装架上，且所述积分球与所述测试口相对应，所述积分球在所述第二升降气缸的带动下作升降运动。

8.根据权利要求7所述的VCSEL Array激光器综合测试系统，其特征在于，所述近场测试模块包括：

近场测试支架，安装于所述支撑架上；

第一步进电机滑台模组，安装于所述近场测试支架朝向所述测试口的一侧；

第一模拟板，安装在所述第一步进电机滑台模组的输出端；

光学连接件，安装于所述第一模拟板的外侧；

光学件，竖向安装于所述光学连接件上；

第二步进电机滑台模组，安装于所述第一模拟板上方；

光学调节件，安装于所述第二步进电机滑台模组的输出端，且所述光学调节件的底部与所述光学件的顶部配合；

近场相机，安装于所述光学调节件的顶部，且所述近场相机与所述光学件相配合。

9.根据权利要求8所述的VCSEL Array激光器综合测试系统，其特征在于，所述光学件包括：

第一光学套筒，竖向设置在所述光学调节件上，且所述第一光学套筒的顶部与所述近场相机相配合；

第二光学套筒，竖向设置，且所述第二光学套筒的顶部设置于所述第一光学套筒内部，所述第二光学套筒的外径小于所述第一光学套筒的内径；

镜筒透镜，安装于所述第二光学套筒的底端，且所述镜筒透镜设置在所述光学连接件上；

第三光学套筒，安装于所述镜筒透镜的底部；

长焦物镜，安装于所述第三光学套筒的底部。

10.根据权利要求9所述的VCSEL Array激光器综合测试系统，其特征在于，所述远场测试模块包括：

远场测试机架，竖向安装在所述支撑架上；

远场测试电机，安装于所述远场测试机架朝向所述测试口的一侧；

第二模拟板，安装于所述远场测试电机的输出端；

幕板托盘，安装于所述第二模拟板的底部；

滑台，安装于所述第二模拟板的顶部；

远场相机，安装于所述滑台上，且所述远场相机的拍摄端竖向朝下。

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