CN115979235A - 一种微机械陀螺仪及电子产品 - Google Patents

Abstract

本发明提供微机械陀螺仪及电子产品，微机械陀螺仪包括第一质量块、第二质量块、第一驱动件、第二驱动件、第一耦合部件和第二耦合部件，第一质量块沿第一方向相对设置，第二质量块、第一驱动件和第二驱动件位于第一质量块之间，第一驱动件和第二驱动件沿第一方向相对设置，沿第二方向，第二质量块位于第一驱动件和第二驱动件的相对两侧；位于第一驱动件背离第二驱动件的一侧的第一质量块与第一驱动件通过第一耦合部件连接，位于第二驱动件背离第一驱动件的一侧的第一质量块与第二驱动件通过第一耦合部件连接，第二质量块沿第一方向的两端分别通过第二耦合部件与第一驱动件和第二驱动件连接。如此设置，能够降低质量块在不同模态下的互相干扰程度。

Description

一种微机械陀螺仪及电子产品

【技术领域】

本发明涉及陀螺仪技术领域，尤其涉及一种微机械陀螺仪及电子产品。

【背景技术】

微机械陀螺仪是应用微机械加工技术与微电子工艺制作的一种微型角速度传感器。微机械陀螺仪的驱动模态绕垂直质量块的轴摆动。当施加角速度时，由于哥氏效应，陀螺仪将能量传递到检测模态，使振动盘在相对驱动下在面外摆动。通过检测面外摆动的位移即可获取角速度大小。

现有技术中的微机械陀螺仪，检测模态与驱动模态共用质量块，两模态耦合检测误差叠加。

因此，有必要提供一种新的微机械陀螺仪以解决上述问题。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种微机械陀螺仪及电子产品，能够降低质量块在不同模态下的互相干扰程度，有利于提高检测精度。

本发明的技术方案如下：

本发明第一方面提供一种微机械陀螺仪，包括：

第一质量块和第二质量块，均设置有多个；

第一驱动件和第二驱动件；

第一耦合部件和第二耦合部件，均为柔性部件；

多个所述第一质量块沿第一方向相对设置，所述第二质量块、所述第一驱动件和所述第二驱动件位于所述第一质量块之间，所述第一驱动件和所述第二驱动件沿所述第一方向相对设置，沿与所述第一方向垂直的第二方向，多个所述第二质量块位于所述第一驱动件和所述第二驱动件的相对两侧；

位于所述第一驱动件背离所述第二驱动件的一侧的所述第一质量块与所述第一驱动件通过所述第一耦合部件连接，位于所述第二驱动件背离所述第一驱动件的一侧的所述第一质量块与所述第二驱动件通过所述第一耦合部件连接，所述第二质量块沿所述第一方向的两端分别通过所述第二耦合部件与所述第一驱动件和所述第二驱动件连接。

在一种可能的设计中，多个所述第一质量块沿所述第一方向对称分布，多个所述第二质量块沿所述第二方向对称分布，所述第一驱动件和所述第二驱动件沿所述第一方向互相对称。

在一种可能的设计中，所述第一耦合部件包括第一连接梁，所述第一驱动件和所述第一质量块之间、所述第二驱动件和所述第一质量块之间分别通过所述第一连接梁连接；

所述第二耦合部件包括第二连接梁和第一耦合部，每个所述第一耦合部的两端均连接有所述第二连接梁，所述第一耦合部通过位于其两端的所述第二连接梁分别与所述第一驱动件和所述第二质量块的一端连接，另一所述第一耦合部通过位于其两端的所述第二连接梁分别与所述第二驱动件和所述第二质量块的另一端连接。

在一种可能的设计中，所述微机械陀螺仪还包括基底、第三耦合部件和第四耦合部件，所述第三耦合部件和所述第四耦合部件均为柔性部件，所述基底具有方形区域、第一锚点和第二锚点，所述方形区域的每个角部位置处均设置有所述第一锚点，所述第一驱动件和所述第二驱动件位于所述方形区域的相对两侧，多个所述第二质量块位于所述方形区域的相对两侧，所述第二锚点位于所述第二质量块背离所述方形区域的一侧；

其中，所述第二耦合部件通过所述第三耦合部件与所述第一锚点连接，沿所述第一方向相对设置的所述第一质量块均通过所述第四耦合部件与所述第二锚点连接。

在一种可能的设计中，所述第三耦合部件包括第三连接梁，所述第二耦合部件通过所述第三连接梁与所述第一锚点连接；

所述第四耦合部件包括第四连接梁和第二耦合部，所述第二耦合部与所述第二锚点连接，所述第二耦合部的两端分别通过所述第四连接梁与两侧的所述第一质量块连接。

在一种可能的设计中，所述微机械陀螺仪还包括第五耦合部件，所述第五耦合部件为柔性部件，所述基底还具有第三锚点，所述第三锚点位于所述第一驱动件和所述第二驱动件之间，相对的所述第二质量块之间通过所述第五耦合部件连接，所述第五耦合部件与所述第三锚点连接。

在一种可能的设计中，所述第五耦合部件包括第三耦合部和第五连接梁，所述第三耦合部与所述第三锚点连接，所述第三耦合部的两端分别通过所述第五连接梁与两侧的所述第二质量块连接。

在一种可能的设计中，所述微机械陀螺仪还包括面内驱动换能器、面外检测换能器和面内检测换能器，所述第一驱动件和所述第二驱动件分别形成有让位空间，所述面内驱动换能器设置于所述让位空间，所述第一质量块的上方布置有互相具有间隔的所述面外检测换能器和所述面内检测换能器，所述第二质量块的上方布置有所述面外检测换能器。

在一种可能的设计中，布置于所述第一质量块上方的多个所述面外检测换能器沿所述第一方向对称分布，布置于所述第一质量块上方的多个所述面内检测换能器沿所述第一方向对称分布，布置于所述第二质量块上方的多个所述面外检测换能器沿所述第二方向对称分布。

本发明第二方面还提供一种电子产品，所述电子产品包括：

本体；

以上所述的微机械陀螺仪，所述微机械陀螺仪安装于所述本体。

本发明的有益效果在于：

本发明提供的微机械陀螺仪及电子产品，第一质量块沿第一方向相对设置，第二质量块、第一驱动件和第二驱动件位于第一质量块之间，第一驱动件和第二驱动件沿第一方向相对设置，第二质量块位于第一驱动件和第二驱动件沿第二方向的相对两侧，且第一驱动件和第二驱动件均通过柔性部件与位于两侧的第一质量块连接，第二质量块的两端分别通过柔性部件与第一驱动件和第二驱动件连接，使得微机械陀螺仪在检测角速度时，能够减小第一质量块和第二质量块在驱动模态和检测模态之间的耦合，降低非运动质量块的位移，降低了第一质量块和第二质量块在不同模态下的互相干扰程度，有利于提高检测精度。

【附图说明】

图1为本发明所提供微机械陀螺仪在一种具体实施例中的正视图；

图2为图1中I处的放大图；

图3为图1增加了面外驱动换能器、面外检测换能器和面内检测换能器后的示意图；

图4为图3的侧视图；

图5为本发明所提供微机械陀螺仪在驱动模态下的结构示意图；

图6为本发明所提供微机械陀螺仪在第一检测模态下的结构示意图；

图7为本发明所提供微机械陀螺仪在第二检测模态下的结构示意图；

图8为本发明所提供微机械陀螺仪在第三检测模态下的结构示意图。

附图标记：

1-第一质量块；

2-第二质量块；21-第一端；22-第二端；

3-第一驱动件；

4-第二驱动件；

5-第一耦合部件；

6-第二耦合部件；61-第二连接梁；62-第一耦合部；

7-基底；71-方形区域；72-第一锚点；73-第二锚点；74-第三锚点；

8-第三耦合部件；

9-第四耦合部件；91-第四连接梁；92-第二耦合部；

10-第五耦合部件；101-第三耦合部；102-第五连接梁；

11-面内驱动换能器；

12-面外检测换能器；

13-面内检测换能器。

【具体实施方式】

下面结合附图和实施方式对本发明作进一步说明。

本发明提供一种微机械陀螺仪，如图1-2所示，该种微机械陀螺仪包括多个第一质量块1、多个第二质量块2、第一驱动件3、第二驱动件4、第一耦合部件5和第二耦合部件6，多个第一质量块1沿第一方向Y相对设置，第二质量块2、第一驱动件3和第二驱动件4位于第一质量块1之间，第一驱动件3和第二驱动件4沿第一方向Y相对设置，沿与第一方向Y垂直的第二方向X，多个第二质量块2位于第一驱动件3和第二驱动件4的相对两侧；第一耦合部件5和第二耦合部件6均为柔性部件，位于第一驱动件3背离第二驱动件4的一侧的第一质量块1与第一驱动件3通过第一耦合部件5连接，位于第二驱动件4背离第一驱动件3的一侧的第一质量块1与第二驱动件4通过第一耦合部件5连接，第二质量块2沿第一方向X的两端分别通过第二耦合部件6与第一驱动件3和第二驱动件4连接。

微机械陀螺仪具有四个工作模态，分别为驱动模态、第一检测模态、第二检测模态和第三检测模态。例如图1所示的，第一质量块1和第二质量块2均为两个，第一驱动件3和第二驱动件4均为一个，第一驱动件3位于图1中的上方，第二驱动件4位于图1中的下方，位于第一驱动件3上方的第一质量块1通过第一耦合部件5与第一驱动件3连接，位于第二驱动件4下方的第一质量块1通过第一耦合部件5与第二驱动件4连接，第二质量块2的上端与第一驱动件3通过第二耦合部件6连接，第二质量块2的下端与第二驱动件4通过第二耦合部件6连接，并将第一方向Y定义为Y轴所在方向，第二方向X定义为X轴所在方向，与X轴和Y轴均垂直的为Z轴，X轴和Y轴所在平面定义为基准面，举例说明如下：

微机械陀螺仪在检测角速度时，会先使微机械陀螺仪处于驱动模态。在驱动模态下，第一驱动件3沿第一方向Y运动，第二驱动件4沿与第一方向Y相反的方向运动(第一驱动件3和第二驱动件4的运动方向例如图5中黑色箭头所示)，此时，第一驱动件3和第二驱动件4会带动两个第一质量块1分别沿Y轴朝相反的方向运动，带动两个第二质量块2分别沿X轴朝相反的方向运动(第一质量块1和第二质量块2的运动方向例如图5中白色箭头所示)。

当微机械陀螺仪受到Y轴角速度时，会使微机械陀螺仪从驱动模态转换为第一检测模态，此时，第二质量块2会受到Z轴方向的哥氏力(图6中白色箭头所示)，因此第二质量块2会产生沿Z轴的面外振动位移(即朝向基准面外的振动位移)，通过检测第二质量块2沿Z轴的面外振动位移，即可获取微机械陀螺仪绕Y轴的角速度。

当微机械陀螺仪受到X轴角速度时，会使微机械陀螺仪从驱动模态转换为第二检测模态，此时，第一质量块1会受到Z轴方向的哥氏力(图7中白色箭头所示)，因此第一质量块1会产生沿Z轴的面外振动位移(即朝向基准面外的振动位移)，通过检测第一质量块1沿Z轴的面外振动位移，即可获取微机械陀螺仪绕X轴的角速度。

当微机械陀螺仪受到Z轴角速度时，会使微机械陀螺仪从驱动模态转换为第三检测模态，此时，第一质量块1会受到X轴方向的哥氏力(图8中白色箭头所示)，因此第一质量块1会产生沿X轴的面内振动位移(即在基准面内的振动位移)，通过检测第一质量块1沿X轴的面内振动位移，即可获取微机械陀螺仪绕Z轴的角速度。

本实施例提供的微机械陀螺仪，第一质量块1沿第一方向Y相对设置，第二质量块2、第一驱动件3和第二驱动件4位于第一质量块1之间，第一驱动件3和第二驱动件4沿第一方向Y相对设置，第二质量块2位于第一驱动件3和第二驱动件4沿第二方向X的相对两侧，且第一驱动件3和第二驱动件4均通过柔性部件与位于两侧的第一质量块1连接，第二质量块2的两端分别通过柔性部件与第一驱动件3和第二驱动件4连接，使得微机械陀螺仪在检测角速度时，能够减小第一质量块1和第二质量块2在驱动模态和检测模态之间的耦合，降低非运动质量块的位移，降低了第一质量块1和第二质量块2在不同模态下的互相干扰程度，有利于提高检测精度。

而且，驱动与检测共有质量比例高，有效提高了哥氏力的转化，提高了微机械陀螺仪的灵敏度；该种微机械陀螺仪结构简单，在有限的工艺条件下，便于小尺寸集成，降低成本。

其中，该种微机械陀螺仪的驱动模态为差分驱动，能够有效提高微机械陀螺仪驱动的稳定性与抗冲击特性。

而且，微机械陀螺仪的三个检测模态均能实现反相振动，能够有效免疫加速度冲击与正交误差的影响。

具体地，多个第一质量块1沿第一方向Y对称分布，多个第二质量块2沿第二方向X对称分布，第一驱动件3和第二驱动件4沿第一方向Y互相对称。如此设置，便于实现微机械陀螺仪的差分检测。

在一种具体实施例中，如图3-4所示，微机械陀螺仪还包括面内驱动换能器11(也称面内驱动电极)、面外检测换能器12(也称面外检测电极)和面内检测换能器13(也称面内检测电极)，第一驱动件3和第二驱动件4分别形成有让位空间，面内驱动换能器11设置于让位空间，第一质量块1的上方布置有互相具有间隔的面外检测换能器12和面内检测换能器13，第二质量块2的上方布置有面外检测换能器12。

当微机械陀螺仪处于第一检测模态时，第二质量块2由于受到哥氏力的作用会产生沿Z轴的振动位移，此时，第二质量块2上方布置的面外检测换能器12检测第二质量块2沿Z轴产生的振动位移，进而获取微机械陀螺仪绕Y轴的角速度。

当微机械陀螺仪处于第二检测模态时，第一质量块1由于受到哥氏力的作用会产生沿Z轴的振动位移，此时，第一质量块1上方布置的面外检测换能器12检测第一质量块1沿Z轴产生的振动位移，进而获取微机械陀螺仪绕X轴的角速度。

当微机械陀螺仪处于第三检测模态时，第一质量块1由于受到哥氏力的作用会产生沿X轴的振动位移，此时，第一质量块1上方布置的面内检测换能器13检测第一质量块1沿X轴产生的振动位移，进而获取微机械陀螺仪绕Z轴的角速度。

具体地，布置于第一质量块1上方的多个面外检测换能器12沿第一方向Y对称分布，布置于第一质量块1上方的多个面内检测换能器13沿第一方向Y对称分布，布置于第二质量块2上方的多个面外检测换能器12沿第二方向X对称分布。

例如图3所示的，每个第二质量块2的上方均布置有一个面外检测换能器12，沿第二方向X，两个第二质量块2上方分别布置的两个面外检测换能器12对称分布；每个第一质量块1的上方均布置有一个面外检测换能器12和两个面内检测换能器13，沿第一方向Y，两个第一质量块1上方分别布置的两个面外检测换能器12对称分布，沿第二方向X，同一第一质量块1上方的两个面内检测换能器13对称分布。

如此设置，便于实现微机械陀螺仪的差分检测。

在一种具体实施例中，请参考图2，第一耦合部件5包括第一连接梁，位于第一驱动件3背离第二驱动件4的一侧的第一质量块1与第一驱动件3通过第一连接梁连接，位于第二驱动件4背离第一驱动件3的一侧的第一质量块1与第二驱动件4通过第一连接梁连接；第二耦合部件6包括第二连接梁61和第一耦合部62，每个第一耦合部62的两端均连接有第二连接梁61，第一耦合部62通过位于其两端的第二连接梁61分别与第一驱动件3和第二质量块2的一端连接，另一第一耦合部62通过位于其两端的第二连接梁61分别与第二驱动件4和第二质量块2的另一端连接。

其中，第一连接梁和第二连接梁61均为柔性梁，第一耦合部62为柔性部。第一连接梁、第二连接梁61和第一耦合部62均用于提供面内摆动自由度和面外移动自由度。

在一种具体实施例中，如图1所示，第二质量块2具有沿第一方向Y的第一端21和第二端22，第一端21和第一驱动件3位于第二驱动件4的同一侧，第二端22和第二驱动件4位于第一驱动件3的同一侧，第一端21通过第二耦合部件6与第一驱动件3连接，第二端22通过另一第二耦合部件6与第二驱动件4连接。

例如图1所示的，第一驱动件3位于第二驱动件4的上方，第二质量块2的上端为第一端21，下端为第二端22。

在一种具体实施例中，请参考图1，微机械陀螺仪还包括基底7、第三耦合部件8和第四耦合部件9，第三耦合部件8和第四耦合部件9均为柔性部件，基底7具有方形区域71、第一锚点72和第二锚点73，方形区域71的每个角部位置处均设置有第一锚点72，第一驱动件3和第二驱动件4位于方形区域71沿第一方向Y的相对两侧，多个第二质量块2位于方形区域71沿第二方向X的相对两侧，第二锚点73位于第二质量块2背离方形区域71的一侧；其中，第二耦合部件6通过第三耦合部件8与第一锚点72连接，沿第一方向Y相对设置的第一质量块1均通过第四耦合部件9与第二锚点73连接。

当微机械陀螺仪处于第一检测模态时，第二质量块2受到哥氏力的作用，由于第二质量块2连接于第一锚点72，因此第二质量块2会产生沿Z轴的面外翻转。

当微机械陀螺仪处于第二检测模态时，第一质量块1受到哥氏力的作用，由于第一质量块1连接于第二锚点73，因此第一质量块1会产生沿Z轴的面外翻转。

其中，第三耦合部件8和第四耦合部件9均用于提供面内摆动自由度和面外翻转自由度。

具体地，第三耦合部件8包括第三连接梁，第二耦合部件6通过第三连接梁与第一锚点72连接；第四耦合部件9包括第四连接梁91和第二耦合部92，第二耦合部92与第二锚点73连接，第二耦合部92的两端分别通过第四连接梁91与两侧的第一质量块1连接。第三连接梁和第四连接梁91均为柔性梁，第二耦合部92为柔性部。

此外，微机械陀螺仪还包括第五耦合部件10，第五耦合部件10为柔性部件，基底7还具有第三锚点74，第三锚点74位于第一驱动件3和第二驱动件4之间，沿第二方向X相对的第二质量块2之间通过第五耦合部件10连接，第五耦合部件10与第三锚点74连接。如此设置，能够有效抑制检测的寄生模态，有利于提高微机械陀螺仪的检测精度。

具体地，第五耦合部件10包括第三耦合部101和第五连接梁102，第三耦合部101与第三锚点74连接，第三耦合部101的两端分别通过第五连接梁102与两侧的第二质量块2连接。第五连接梁102为柔性梁，第三耦合部101为柔性部。

本发明实施例还提供一种电子产品，电子产品包括本体和以上任一实施例中的微机械陀螺仪，微机械陀螺仪安装于本体。

在电子产品工作的过程中，微机械陀螺仪能够计算出电子产品的角速度，以便于对电子产品的控制，该微机械陀螺仪降低了第一质量块1和第二质量块2在不同模态下的互相干扰程度，提高检测精度，从而使得电子产品的使用性能得到提升。

以上所述的仅是本发明的实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种微机械陀螺仪，其特征在于，所述微机械陀螺仪包括：

第一质量块(1)和第二质量块(2)，均设置有多个；

第一驱动件(3)和第二驱动件(4)；

第一耦合部件(5)和第二耦合部件(6)，均为柔性部件；

多个所述第一质量块(1)沿第一方向(Y)相对设置，所述第二质量块(2)、所述第一驱动件(3)和所述第二驱动件(4)位于所述第一质量块(1)之间，所述第一驱动件(3)和所述第二驱动件(4)沿所述第一方向(Y)相对设置，沿与所述第一方向(Y)垂直的第二方向(X)，多个所述第二质量块(2)位于所述第一驱动件(3)和所述第二驱动件(4)的相对两侧；

位于所述第一驱动件(3)背离所述第二驱动件(4)的一侧的所述第一质量块(1)与所述第一驱动件(3)通过所述第一耦合部件(5)连接，位于所述第二驱动件(4)背离所述第一驱动件(3)的一侧的所述第一质量块(1)与所述第二驱动件(4)通过所述第一耦合部件(5)连接，所述第二质量块(2)沿所述第一方向(Y)的两端分别通过所述第二耦合部件(6)与所述第一驱动件(3)和所述第二驱动件(4)连接。

2.根据权利要求1所述的微机械陀螺仪，其特征在于：多个所述第一质量块(1)沿所述第一方向(Y)对称分布，多个所述第二质量块(2)沿所述第二方向(X)对称分布，所述第一驱动件(3)和所述第二驱动件(4)沿所述第一方向(Y)互相对称。

3.根据权利要求1所述的微机械陀螺仪，其特征在于：所述第一耦合部件(5)包括第一连接梁，所述第一驱动件(3)和所述第一质量块(1)之间、所述第二驱动件(4)和所述第一质量块(1)之间分别通过所述第一连接梁连接；

所述第二耦合部件(6)包括第二连接梁(61)和第一耦合部(62)，每个所述第一耦合部(62)的两端均连接有所述第二连接梁(61)，所述第一耦合部(62)通过位于其两端的所述第二连接梁(61)分别与所述第一驱动件(3)和所述第二质量块(2)的一端连接，另一所述第一耦合部(62)通过位于其两端的所述第二连接梁(61)分别与所述第二驱动件(4)和所述第二质量块(2)的另一端连接。

4.根据权利要求1所述的微机械陀螺仪，其特征在于：所述微机械陀螺仪还包括基底(7)、第三耦合部件(8)和第四耦合部件(9)，所述第三耦合部件(8)和所述第四耦合部件(9)均为柔性部件，所述基底(7)具有方形区域(71)、第一锚点(72)和第二锚点(73)，所述方形区域(71)的每个角部位置处均设置有所述第一锚点(72)，所述第一驱动件(3)和所述第二驱动件(4)位于所述方形区域(71)的相对两侧，多个所述第二质量块(2)位于所述方形区域(71)的相对两侧，所述第二锚点(73)位于所述第二质量块(2)背离所述方形区域(71)的一侧；

其中，所述第二耦合部件(6)通过所述第三耦合部件(8)与所述第一锚点(72)连接，沿所述第一方向(Y)相对设置的所述第一质量块(1)均通过所述第四耦合部件(9)与所述第二锚点(73)连接。

5.根据权利要求4所述的微机械陀螺仪，其特征在于：所述第三耦合部件(8)包括第三连接梁，所述第二耦合部件(6)通过所述第三连接梁与所述第一锚点(72)连接；

所述第四耦合部件(9)包括第四连接梁(91)和第二耦合部(92)，所述第二耦合部(92)与所述第二锚点(73)连接，所述第二耦合部(92)的两端分别通过所述第四连接梁(91)与两侧的所述第一质量块(1)连接。

6.根据权利要求5所述的微机械陀螺仪，其特征在于：所述微机械陀螺仪还包括第五耦合部件(10)，所述第五耦合部件(10)为柔性部件，所述基底(7)还具有第三锚点(74)，所述第三锚点(74)位于所述第一驱动件(3)和所述第二驱动件(4)之间，相对的所述第二质量块(2)之间通过所述第五耦合部件(10)连接，所述第五耦合部件(10)与所述第三锚点(74)连接。

7.根据权利要求6所述的微机械陀螺仪，其特征在于：所述第五耦合部件(10)包括第三耦合部(101)和第五连接梁(102)，所述第三耦合部(101)与所述第三锚点(74)连接，所述第三耦合部(101)的两端分别通过所述第五连接梁(102)与两侧的所述第二质量块(2)连接。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的微机械陀螺仪，其特征在于：所述微机械陀螺仪还包括面内驱动换能器(11)、面外检测换能器(12)和面内检测换能器(13)，所述第一驱动件(3)和所述第二驱动件(4)分别形成有让位空间，所述面内驱动换能器(11)设置于所述让位空间，所述第一质量块(1)的上方布置有互相具有间隔的所述面外检测换能器(12)和所述面内检测换能器(13)，所述第二质量块(2)的上方布置有所述面外检测换能器(12)。

9.根据权利要求8所述的微机械陀螺仪，其特征在于：布置于所述第一质量块(1)上方的多个所述面外检测换能器(12)沿所述第一方向(Y)对称分布，布置于所述第一质量块(1)上方的多个所述面内检测换能器(13)沿所述第一方向(Y)对称分布，布置于所述第二质量块(2)上方的多个所述面外检测换能器(12)沿所述第二方向(X)对称分布。

10.一种电子产品，其特征在于，所述电子产品包括：

本体；

权利要求1-9中任一项所述的微机械陀螺仪，所述微机械陀螺仪安装于所述本体。

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