CN115615416A - 一种全解耦三轴mems陀螺 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种全解耦MEMS陀螺，包括锚点单元、弹性连接于锚点单元的传感单元以及驱动传感单元运动的驱动单元；锚点单元包括位于一矩形中心位置的中心锚点子单元以及四个分别位于中心锚点子单元与矩形四个角之间的侧锚点；驱动单元包括四个分别位于矩形四条边处的驱动件，相邻驱动件之间形成让位间隔，各侧锚点分别位于各让位间隔内；传感单元包括两个对称设置于两个相对的让位间隔内的X质量块、两个对称设置于另外两个相对的让位间隔内的Y质量块、四个分别位于各驱动件外侧的Z质量块、以及四个分别位于各Z质量块外侧的Z检测解耦件，X质量块和Y质量块分别与各侧锚点相连。本发明的陀螺为差分驱动，能够实现差分检测，降低正交误差。

Description

一种全解耦三轴MEMS陀螺

【技术领域】

本发明涉及MEMS传感器技术领域，更具体地，涉及一种全解耦三轴MEMS陀螺。

【背景技术】

微机械陀螺仪，也称MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)陀螺仪，是应用微机械加工技术与微电子工艺制作的一种微型角速度传感器。

MEMS面外摆动陀螺是MEMS面外检测陀螺仪中的典型代表。MEMS摆动陀螺仪的驱动模态绕垂直质量块的轴摆动。当施加角速度Ω时，由于哥氏效应，陀螺仪将能量传递到敏感模态，使振动盘在相对驱动下在面外摆动，通过检测面外摆动的位移即可获取Ω大小。

现有技术中的三轴MEMS陀螺仪往往存在陀螺质量结构弱耦合的问题，导致三个轴的检测模态相互耦合，误差会进行叠加，造成陀螺仪误差过大。

为了克服现有技术的以上缺陷，需要开发一种全解耦三轴MEMS陀螺，实现XYZ三轴独立检测，且三轴均能实现差分检测，有效免疫加速度冲击与正交误差的影响。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种全解耦三轴陀螺，以解决现有技术中陀螺质量结构之间弱耦合、陀螺误差大的问题。

本发明的技术方案如下：包括锚点单元、弹性连接于所述锚点单元的传感单元、以及与所述传感单元耦合并驱动所述传感单元运动的驱动单元，其特征在于，

所述基底包括位于一矩形中心位置的耦合锚点以及弹性连接于所述耦合锚点的耦合结构；

所述锚点单元包括位于一矩形中心位置的中心锚点子单元，以及四个分别位于所述中心锚点子单元与所述矩形四个角之间并与所述中心锚点子单元间隔设置的侧锚点；

所述驱动单元包括四个分别位于所述矩形四条边处的驱动件，四个所述驱动件绕所述矩形的中心环形排布且对称设置，且每个所述驱动件靠近所述矩形中心的一端均与所述中心锚点子单元弹性连接；相邻的所述驱动件之间形成让位间隔，四个所述侧锚点分别位于各所述让位间隔内；

所述传感单元包括两个对称设置于两个相对的所述让位间隔内且弹性连接于对应的两所述驱动件的X质量块、两个对称设置于另外两个相对的所述让位间隔内且弹性连接于对应的两所述驱动件的Y质量块、四个分别位于各所述驱动件外侧并与相邻的所述驱动件弹性连接的Z质量块、以及四个分别位于各所述Z质量块外侧并与相邻的所述Z质量块弹性连接的Z检测解耦件，相邻的所述Z检测解耦件弹性连接；所述X质量块和Y质量块靠近所述矩形中心的一端均与所述中心锚点子单元弹性连接，所述X质量块和Y质量块的中部分别与对应的所述侧锚点弹性连接。

优选的，所述中心锚点子单元包括位于所述矩形中心的中心锚点、环绕并弹性连接于所述中心锚点的耦合结构、以及四个绕所述耦合结构环形排布并均与所述耦合结构间隔设置的第一锚点；所述耦合结构包括套设在所述中心锚点外的内耦合环、以及套设在所述内耦合环外的外耦合环，所述内耦合环内侧顺着所述矩形一条中心线方向延伸形成连接于所述中心锚点的两个内耦合梁，所述外耦合环内侧顺着垂直于所述两个内耦合梁所在直线方向延伸形成连接于所述内耦合环的两个外耦合梁。

优选的，四个所述第一锚点分别位于各所述驱动件内侧，所述驱动件靠近所述第一锚点一端的外壁向外延伸成有第一连接梁连接于所述第一锚点。

优选的，所述外耦合环外侧靠近各所述X质量块和Y质量块处分别朝向对应的所述X质量块和Y质量块方向延伸形成第二柔性梁，所述第二柔性梁的远离所述外耦合环端分别连接于对应的所述X质量块和Y质量块。

优选的，四个所述侧锚点分别位于对应的所述X质量块和Y质量块的中部位置处，所述X质量块和Y质量块在对应的所述侧锚点处开设第一连接缝隙，所述X质量块和Y质量块分别在所述第一连接缝隙内延伸形成连接于对应的所述侧锚点的第一柔性梁，所述第一柔性梁朝所述第一连接缝隙的长度方向弯折。

优选的，所述驱动件两侧的外壁分别朝向所述X质量块和Y质量块延伸形成有第三柔性梁连接于所述X质量块或Y质量块。

优选的，所述驱动件靠近对应的所述Z质量块一端的外壁两侧朝向所述Z质量块延伸成第一导向梁，所述第一导向梁的远离驱动件端连接于所述Z质量块。

优选的，所述锚点单元还包括四个分别设置于各所述Z质量块和对应的驱动件之间的第二锚点，所述驱动件靠近所述Z质量块一端的外壁向外延伸形成有第二连接梁连接于所述第二锚点。

优选的，所述Z检测解耦件靠近所述Z质量块一端的外壁向外延伸形成有第三连接梁连接于所述Z质量块；所述锚点单元还包括分别位于各所述Z检测解耦件两端的解耦件锚点，所述Z检测解耦件两侧向外延伸出具有弯折部且连接于解耦件锚点的第二导向梁。

优选的，所述锚点单元还包括分别位于相邻的每两个所述Z检测解耦件之间的角部锚点，相邻的两个所述Z检测解耦件延伸出连接于位于两者之间的所述角部锚点的第四柔性梁。

优选的，所述驱动件和所述Z检测解耦件均为框架结构，所述全解耦三轴MEMS陀螺还包括嵌置在驱动件的框架结构内部的面内驱动换能器，以及嵌置在Z检测解耦件的框架结构内部的面内Z检测换能器；所述全解耦三轴MEMS陀螺还包括与所述X质量块间隔设置的面外X检测换能器，以及与所述Y质量块间隔设置的面外Y检测换能器。

本发明的原理在于：

在驱动模态下：

四个驱动件面内沿45°方向远离轴心运动，或面内沿135°方向靠近轴心运动，且四个驱动件的运动方向形成差分形式；驱动件驱动四个Z质量块相应地面内沿45°方向远离轴心运动，或面内沿135°方向靠近轴心运动，且四个Z质量块的运动方向形成差分形式；同时驱动件驱动X质量块面内绕侧锚点沿90°切线方向转动，并驱动Y质量块面内绕侧锚点沿0°切线方向转动，且两个X质量块和两个Y质量块的运动方向分别形成差分模式。

在检测模态下：

X质量块响应面内沿X轴(0°)方向的角速度ω，根据哥氏原理，角速度ω将产生沿Z轴(正交于面内)方向的哥氏力，而哥氏力会迫使陀螺产生以X轴检测模态振型的振动，使X质量块面外翻转。最终，通过检测X质量块沿Z轴方向的振动位移，可获取角速度ω大小。对于X质量块而言，两个X质量块在检测模态下运动方向相反，形成差分检测，同时每个X质量块在侧锚点内外两侧的部分在检测模态下运动方向相反，形成差分检测。

Y质量块响应面内沿Y轴(90°)方向的角速度ω，根据哥氏原理，角速度ω将产生沿Z轴(正交于面内)方向的哥氏力，而哥氏力会迫使陀螺产生以Y轴检测模态振型的振动，使Y质量块面外翻转。最终，通过检测Y质量块沿Z轴方向的振动位移，可获取角速度ω大小。对于Y质量块而言，两个Y质量块在检测模态下运动方向相反，形成差分检测，同时每个Y质量块在侧锚点内外两侧的部分在检测模态下运动方向相反，形成差分检测。

Z质量块响应Z轴(正交于面内)方向的角速度ω，根据哥氏原理，角速度ω将产生沿45°/135°方向的哥氏力，而哥氏力会迫使陀螺产生以Z轴检测模态振型的振动，使Z质量块沿垂直于驱动模态的运动方向运动。最终，通过检测Z质量块沿沿45°/135°方向的振动位移，可获取角速度ω大小。对于Z质量块而言，位于45°的两个Z质量块在检测模态下运动方向相反，位于135°的两个Z质量块在检测模态下运动方向相反，四个Z质量块在检测模态下形成差分检测。

本发明的有益效果在于：

1、X质量块、Y质量块以及Z质量块均分别采用对称布局，便于实现差分检测；

2、驱动件在驱动模态下形成差分驱动，能有效提高陀螺驱动的稳定性与抗冲击特性；

3、X质量块、Y质量块以及Z质量块在检测模态下均能够分别实现反相振动，因此能实现陀螺差分检测，有效免疫加速度冲击与正交误差的影响；

4、陀螺在X、Y、Z三个轴角速度独立检测，有效避免不同轴检测误差的耦合，提高陀螺检测精度；

5、X质量块和Y质量块均与耦合结构弹性连接，有效减小质量块不同模态运动之间的耦合，避免不同模态运动的干扰，降低非运动质量块的位移，降低正交误差，有利于传感器的偏置稳定性；

6、Z检测解耦件通过第四柔性梁与角部锚点连接，有效抑制检测的寄生模态，提高陀螺检测检测精度。

【附图说明】

图1是本发明MEMS陀螺的平面结构示意图；

图2是本发明MEMS陀螺在驱动模态时的状态示意图；

图3是本发明MEMS陀螺在Z轴检测模态时的状态示意图；

图4是本发明MEMS陀螺在X轴检测模态时的状态示意图；

图5是本发明MEMS陀螺在Y轴检测模态时的状态示意图；

图6是本发明MEMS陀螺中检测换能器和面内驱动换能器布置位置的俯视图。

【具体实施方式】

下面结合附图和实施方式对本发明作进一步说明。

如图1中所示，本发明实施例提供的一种全解耦三轴MEMS陀螺包括锚点单元1、弹性连接于锚点单元1的传感单元2、以及与传感单元2耦合并驱动传感单元2运动的驱动单元3，其中，

锚点单元1包括位于一矩形中心位置的中心锚点子单元11，以及四个分别位于中心锚点子单元11与该矩形四个角之间并与中心锚点子单元11间隔设置的侧锚点12；

驱动单元3包括四个分别位于矩形四条边处的驱动件31，四个驱动件31绕矩形的中心环形排布且对称设置，即四个驱动件31分别位于45°/135°方向，且每个驱动件31靠近所述矩形中心的一端均与中心锚点子单元11弹性连接；相邻的驱动件31之间形成让位间隔，四个侧锚点12分别位于各让位间隔内；

传感单元2包括两个对称设置于两个相对的让位间隔内且弹性连接于对应的两驱动件31的X质量块21、两个对称设置于另外两个相对的让位间隔内且弹性连接于对应的两驱动件31的Y质量块22、四个分别位于各驱动件31外侧并与相邻的驱动件31弹性连接的Z质量块23、以及四个分别位于各Z质量块23外侧并与相邻的Z质量块23弹性连接的Z检测解耦件24，相邻的Z检测解耦件24弹性连接；X质量块21和Y质量块22靠近矩形中心的一端均与中心锚点子单元11弹性连接，X质量块21和Y质量块22的中部分别与对应的侧锚点12弹性连接。

本实施例中，如图1中所示，X质量块21和Y质量块22分别位于所述矩形的对角线上，其中，X质量块21位于X轴(0°)方向，Y质量块22位于Y轴(90°)方向；驱动块31外侧的边沿对应于所述矩形的四条边，Z质量块23和Z检测解耦件24均位于该矩形的外侧，并位于45°/135°方向。

如图1中所示，中心锚点子单元11包括位于矩形中心的中心锚点111、环绕并弹性连接于中心锚点111的耦合结构112、以及四个绕耦合结构112环形排布并均与耦合结构112间隔设置的第一锚点113。

具体地，耦合结构112包括套设在中心锚点111外的内耦合环1121、以及套设在内耦合环1121外的外耦合环1122，内耦合环1121内侧顺着矩形一条中心线方向延伸形成连接于中心锚点111的两个内耦合梁1123，内耦合梁1123具有面外翻转的自由度；外耦合环1122内侧顺着垂直于两个内耦合梁1123所在直线方向延伸形成连接于内耦合环1121的两个外耦合梁1124，外耦合梁1124具有面外翻转的自由度；本实施例中，内耦合梁1123沿90°方向延伸，外耦合梁1124沿0°方向延伸。

外耦合环1122外侧靠近各X质量块21和Y质量块22处分别朝向对应的X质量块21和Y质量块22方向延伸形成第二柔性梁1125，第二柔性梁1125的远离外耦合环1122端分别连接于对应的X质量块21和Y质量块22；具体地，第二柔性梁1125沿0°/90°方向延伸以分别连接于对应的X质量块21和Y质量块22，第二柔性梁1125具有面内转动和面外翻转的自由度。

四个第一锚点113分别位于各驱动件31内侧，具体地，四个第一锚点113分别位于45°/135°方向；驱动件31靠近第一锚点113一端的外壁向外延伸成有第一连接梁32连接于第一锚点113，第一连接梁32具有面内沿45°/135°方向靠近或远离矩形中心方向的自由度；具体地，本实施例中，第一锚点113与对应的驱动件31之间间隔形成窄缝，第一连接梁32位于驱动件31和第一锚点113之间的窄缝内。

四个侧锚点12分别位于对应的X质量块21和Y质量块22的中部位置处，具体地，四个侧锚点12分别位于0°/90°方向；X质量块21和Y质量块22在对应的侧锚点12处开设第一连接缝隙25，X质量块21和Y质量块22分别在第一连接缝隙25内延伸形成连接于对应的侧锚点12的第一柔性梁26，第一柔性梁26朝第一连接缝隙25的长度方向弯折，第一柔性梁26具有面内转动和面外翻转的自由度。

驱动件31两侧的外壁分别朝向X质量块21和Y质量块22延伸形成有第三柔性梁33连接于X质量块21或Y质量块22，第三柔性梁33具有面内转动和面外翻转的自由度；具体地，驱动件31与相邻的X质量块21和Y质量块22之间分别形成空隙34，第三柔性梁33位于驱动件31与X质量块21或Y质量块22之间的空隙34内。

驱动件31靠近对应的Z质量块23一端的外壁两侧朝向Z质量块23延伸成第一导向梁35，第一导向梁35的远离驱动件31端连接于Z质量块23，第一导向梁35具有垂直于对应的驱动件31运动方向的自由度。

锚点单元1还包括四个分别设置于各Z质量块23和对应的驱动件31之间的第二锚点13，驱动件31靠近Z质量块23一端的外壁向外延伸形成有第二连接梁36连接于第二锚点13，第二连接梁36具有与对应的第一连接梁32同向的自由度；具体地，本实施例中，Z质量块23靠近对应的驱动件31的一端开设有空槽，Z质量块23与驱动件31之间间隔形成窄缝，且该窄缝与Z质量块23开设的空槽连通，第二锚点13位于该空槽内，第二连接梁36位于Z质量块23与驱动件31之间的窄缝内。

Z检测解耦件24靠近Z质量块23一端的外壁向外延伸形成有第三连接梁27连接于Z质量块23，第三连接梁27具有与对应的第一连接梁32和第二连接梁36同向的自由度；具体地，本实施例中，Z检测解耦件24与对应的Z质量块23间隔形成窄缝，第三连接梁27位于Z检测解耦件24与Z质量块23之间的窄缝内。

锚点单元1还包括分别位于各Z检测解耦件24两端的解耦件锚点14，Z检测解耦件24两侧向外延伸出具有弯折部且连接于解耦件锚点14的第二导向梁28，第二导向梁28具有与对应的第一导向梁35同向的自由度。

锚点单元1还包括分别位于相邻的每两个Z检测解耦件24之间的角部锚点15，相邻的两个Z检测解耦件24延伸出连接于位于两者之间的角部锚点15的第四柔性梁29，第四柔性梁29具有面内转动的自由度。

如图1和图6中所示，驱动件31为框架结构，本实施例的全解耦三轴MEMS陀螺还包括嵌置在驱动件31的框架结构内部的面内驱动换能器，用于驱使驱动件31振动。

Z检测解耦件24也为框架结构，本实施例的全解耦三轴MEMS陀螺还包括嵌置在Z检测解耦件的框架结构内部的面内Z检测换能器。

本实施例的全解耦三轴MEMS陀螺还包括与X质量块21间隔设置的面外X检测换能器，具体地，面外X检测换能器包括X+和X-检测换能器，具体可以设置在X质量块21的上方或下方；同样地，本实施例的全解耦三轴MEMS陀螺还包括与Y质量块22间隔设置地面外Y检测换能器，具体地，面外Y检测换能器包括Y+和Y-检测换能器，同样可以设置在Y质量块22的上方或下方。

本发明中，驱动件31与锚区通过柔性的第一连接梁32和第二连接梁36连接，第一连接梁32和第二连接梁36能提供面内单方向自由度。X质量块21和Y质量块22分别通过第一柔性梁26与侧锚点12连接，并通过第二柔性梁1125与外耦合环1122连接，且通过第三柔性梁33与驱动件31连接，第一柔性梁26、第二柔性梁1125和第三柔性梁33能提供面内转动与面外翻转的自由度。Z质量块23与驱动件31通过第一导向梁35连接，该第一导向梁35提供Z质量块23垂直驱动件31运动方向的单自由度。Z检测解耦件24通过第三连接梁27与Z质量块23连接，该第三连接梁27提供Z检测解耦件24平行驱动件31运动方向的单自由度。

本发明的陀螺工作时具有四个模态，一个为驱动模态(Drive mode)；另外三个模态为分别为X轴、Y轴、Z轴检测模态(Sense mode)。下面，结合本发明陀螺的工作模态阐述其角速度敏感原理如下。

如图2中所示，本发明实施例的陀螺在驱动模态下，位于45°方向的两个驱动件31面内沿远离轴心方向运动，位于135°方向的两个驱动件31面内沿靠近轴心方向运动，四个驱动件31的运动方向形成差分形式；驱动件31驱动四个Z质量块23相应地面内沿45°方向远离轴心运动，或面内沿135°方向靠近轴心运动，且四个Z质量块23的运动方向形成差分形式；同时驱动件31驱动X质量块21面内绕对应的侧锚点12沿90°切线方向转动，并驱动Y质量块22面内绕对应的侧锚点12沿0°切线方向转动，且两个X质量块21和两个Y质量块22的运动方向分别形成差分模式。

如图3中所示，当本发明的陀螺受到Z轴(正交于面内)方向的角速度ω，根据哥氏原理，角速度ω将产生沿45°/135°方向的哥氏力，而哥氏力会迫使陀螺产生以Z轴检测模态振型的振动，使Z质量块23沿垂直于驱动模态的运动方向运动。具体地，位于45°的两个Z质量块23在检测模态下运动方向相反，位于135°的两个Z质量块23在检测模态下运动方向相反，四个Z质量块23在检测模态下形成差分检测。最终，通过检测Z质量块23沿45°/135°方向的振动位移，可获取角速度ω大小。

如图4中所示，当本发明的陀螺受到面内沿X轴(0°)方向的角速度ω，根据哥氏原理，角速度ω将产生沿Z轴(正交于面内)方向的哥氏力，而哥氏力会迫使陀螺产生以X轴检测模态振型的振动，使X质量块21面外翻转。具体地，两个X质量块21在检测模态下运动方向相反，形成差分检测，同时每个X质量块21在侧锚点12内外两侧的部分在检测模态下运动方向相反，形成差分检测。最终，通过检测X质量块21沿Z轴方向的振动位移，可获取角速度ω大小。

同样地，如图5中所示，当本发明申请陀螺受到面内沿Y轴(90°)方向的角速度ω，根据哥氏原理，角速度ω将产生沿Z轴(正交于面内)方向的哥氏力，而哥氏力会迫使本发明申请的陀螺产生以Y轴检测模态振型的振动，使Y质量块22面外翻转。具体地，两个Y质量块22在检测模态下运动方向相反，形成差分检测，同时每个Y质量块22在侧锚点12内外两侧的部分在检测模态下运动方向相反，形成差分检测。最终，通过检测Y质量块22沿Z轴方向的振动位移，可获取角速度ω大小。

在实际工程实践中，陀螺拥有若干电容，电容的作用：a)产生迫使本发明申请陀螺以驱动模态振型的振动所需的外部驱动力；b)检测陀螺沿检测模态振动方向的振动位移；c)抑制陀螺仪的正交误差。

以上所述的仅是本发明的实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种全解耦三轴MEMS陀螺，包括锚点单元、弹性连接于所述锚点单元的传感单元、以及与所述传感单元耦合并驱动所述传感单元运动的驱动单元，其特征在于，

所述锚点单元包括位于一矩形中心位置的中心锚点子单元，以及四个分别位于所述中心锚点子单元与所述矩形四个角之间并与所述中心锚点子单元间隔设置的侧锚点；

所述驱动单元包括四个分别位于所述矩形四条边处的驱动件，四个所述驱动件绕所述矩形的中心环形排布且对称设置，且每个所述驱动件靠近所述矩形中心的一端均与所述中心锚点子单元弹性连接；相邻的所述驱动件之间形成让位间隔，四个所述侧锚点分别位于各所述让位间隔内；

所述传感单元包括两个对称设置于两个相对的所述让位间隔内且弹性连接于对应的两所述驱动件的X质量块、两个对称设置于另外两个相对的所述让位间隔内且弹性连接于对应的两所述驱动件的Y质量块、四个分别位于各所述驱动件外侧并与相邻的所述驱动件弹性连接的Z质量块、以及四个分别位于各所述Z质量块外侧并与相邻的所述Z质量块弹性连接的Z检测解耦件，相邻的所述Z检测解耦件弹性连接；所述X质量块和Y质量块靠近所述矩形中心的一端均与所述中心锚点子单元弹性连接，所述X质量块和Y质量块的中部分别与对应的所述侧锚点弹性连接。

2.根据权利要求1所述的全解耦三轴MEMS陀螺，其特征在于：所述中心锚点子单元包括位于所述矩形中心的中心锚点、环绕并弹性连接于所述中心锚点的耦合结构、以及四个绕所述耦合结构环形排布并均与所述耦合结构间隔设置的第一锚点；所述耦合结构包括套设在所述中心锚点外的内耦合环、以及套设在所述内耦合环外的外耦合环，所述内耦合环内侧顺着所述矩形一条中心线方向延伸形成连接于所述中心锚点的两个内耦合梁，所述外耦合环内侧顺着垂直于所述两个内耦合梁所在直线方向延伸形成连接于所述内耦合环的两个外耦合梁；四个所述第一锚点分别位于各所述驱动件内侧，所述驱动件靠近所述第一锚点一端的外壁向外延伸成有第一连接梁连接于所述第一锚点。

3.根据权利要求2所述的全解耦三轴MEMS陀螺，其特征在于：所述外耦合环外侧靠近各所述X质量块和Y质量块处分别朝向对应的所述X质量块和Y质量块方向延伸形成第二柔性梁，所述第二柔性梁的远离所述外耦合环端分别连接于对应的所述X质量块和Y质量块。

4.根据权利要求1所述的全解耦三轴MEMS陀螺，其特征在于：四个所述侧锚点分别位于对应的所述X质量块和Y质量块的中部位置处，所述X质量块和Y质量块在对应的所述侧锚点处开设第一连接缝隙，所述X质量块和Y质量块分别在所述第一连接缝隙内延伸形成连接于对应的所述侧锚点的第一柔性梁，所述第一柔性梁朝所述第一连接缝隙的长度方向弯折。

5.根据权利要求1所述的全解耦三轴MEMS陀螺，其特征在于：所述驱动件两侧的外壁分别朝向所述X质量块和Y质量块延伸形成有第三柔性梁连接于所述X质量块或Y质量块。

6.根据权利要求1所述的全解耦三轴MEMS陀螺，其特征在于：所述驱动件靠近对应的所述Z质量块一端的外壁两侧朝向所述Z质量块延伸成第一导向梁，所述第一导向梁的远离驱动件端连接于所述Z质量块。

7.根据权利要求1所述的全解耦三轴MEMS陀螺，其特征在于：所述锚点单元还包括四个分别设置于各所述Z质量块和对应的驱动件之间的第二锚点，所述驱动件靠近所述Z质量块一端的外壁向外延伸形成有第二连接梁连接于所述第二锚点。

8.根据权利要求1所述的全解耦三轴MEMS陀螺，其特征在于：所述Z检测解耦件靠近所述Z质量块一端的外壁向外延伸形成有第三连接梁连接于所述Z质量块；所述锚点单元还包括分别位于各所述Z检测解耦件两端的解耦件锚点，所述Z检测解耦件两侧向外延伸出具有弯折部且连接于解耦件锚点的第二导向梁。

9.根据权利要求1所述的全解耦三轴MEMS陀螺，其特征在于：所述锚点单元还包括分别位于相邻的每两个所述Z检测解耦件之间的角部锚点，相邻的两个所述Z检测解耦件延伸出连接于位于两者之间的所述角部锚点的第四柔性梁。

10.根据权利要求1所述的全解耦三轴MEMS陀螺，其特征在于：所述驱动件和所述Z检测解耦件均为框架结构，所述全解耦三轴MEMS陀螺还包括嵌置在驱动件的框架结构内部的面内驱动换能器，以及嵌置在Z检测解耦件的框架结构内部的面内Z检测换能器；所述全解耦三轴MEMS陀螺还包括与所述X质量块间隔设置的面外X检测换能器，以及与所述Y质量块间隔设置的面外Y检测换能器。

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