CN115938933A - 一种电浆碰撞强度监测方法、装置、设备及存储介质 - Google Patents
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Abstract
本公开提供了一种电浆碰撞强度监测方法、装置、设备及存储介质，涉及半导体技术领域。方法主要包括：获取工艺腔的历史生产数据和当前试生产数据，当前试生产数据包括当前试生产离子信号强度；根据历史生产数据和当前试生产离子信号强度，计算当前保养周期对应的离子信号强度范围；将正式生产过程中监测所得的当前保养周期内工艺腔的当前离子信号强度，与当前保养周期对应的离子信号强度范围进行比较，得到工艺腔的电浆碰撞强度的监测结果。本公开提供的一种电浆碰撞强度监测方法、装置、设备及存储介质，可以对正式生产过程中工艺腔的当前离子信号强度进行实时监测，并且可以在当前离子信号强度不满足离子信号强度范围时发出报警信息。
Description
技术领域
本公开涉及半导体技术领域，尤其涉及一种电浆碰撞强度监测方法、装置、设备及存储介质。
背景技术
芯片制造过程中需要进行介质层蚀刻，在进行介质层蚀刻时，随着接触孔蚀刻深度的加深，可能出现蚀刻终止现象，即Contact Open。通常情况下，在介质层蚀刻速率及均匀度保持不变的情况下，当工艺腔电浆碰撞强度发生变化时，对于蚀刻深宽比相对较小的区域影响不大，但对于蚀刻深宽比相对较大的区域影响较大，甚至会出现蚀刻终止的现象，导致晶圆边缘出现漏电流现象。
针对由于工艺腔电浆碰撞强度发生变化而导致出现蚀刻终止的问题，目前业界还没有提出相应的解决方案。
发明内容
本公开提供了一种电浆碰撞强度监测方法、装置、设备及存储介质，以至少解决现有技术中存在的以上技术问题。
根据本公开的第一方面，提供了一种电浆碰撞强度监测方法，该方法包括：获取工艺腔的历史生产数据和当前试生产数据，所述当前试生产数据包括当前试生产离子信号强度；根据所述历史生产数据和所述当前试生产离子信号强度，计算当前保养周期对应的离子信号强度范围；将正式生产过程中监测所得的当前保养周期内工艺腔的当前离子信号强度，与所述当前保养周期对应的离子信号强度范围进行比较，得到所述工艺腔的电浆碰撞强度的监测结果。
在一可实施方式中，所述根据所述历史生产数据和所述当前试生产离子信号强度，计算当前保养周期对应的离子信号强度范围，包括：根据所述历史生产数据中的第一信号波动范围，计算当前保养周期的第二信号波动范围；根据所述当前试生产离子信号强度以及所述历史生产数据中的信号强度平均值和历史试生产离子信号强度，计算当前保养周期的信号强度目标值；根据所述第二信号波动范围和所述信号强度目标值，计算当前保养周期对应的所述离子信号强度范围。
在一可实施方式中，根据以下公式计算所述第二信号波动范围：Range＝ax1+bx2+cx3+…+mxn，其中，Range为所述第二信号波动范围，a、b、c、m分别为当前保养周期的前n个保养周期对应的权重，x1、x2、x3、xn分别为当前保养周期的前n个保养周期对应的第一信号波动范围。
在一可实施方式中，所述根据所述当前试生产离子信号强度以及所述历史生产数据中的信号强度平均值和历史试生产离子信号强度，计算当前保养周期的信号强度目标值，包括：计算所述信号强度平均值与所述历史试生产离子信号强度的差值；根据所述当前试生产离子信号强度和所述差值，计算所述信号强度目标值。
在一可实施方式中，根据以下公式计算所述信号强度目标值：Target＝A+ay1+by2+cy3+…+myn，其中，Target为所述信号强度目标值，A为所述当前试生产离子信号强度，a、b、c、m分别为当前保养周期的前n个保养周期对应的权重，y1、y2、y3、yn分别为当前保养周期的前n个保养周期对应的信号强度平均值与历史试生产离子信号强度的差值。
在一可实施方式中，所述当前试生产数据包括当前试生产晶圆的工艺参数，在所述将正式生产过程中监测所得的当前保养周期内工艺腔的当前离子信号强度，与所述当前保养周期对应的离子信号强度范围进行比较，得到所述工艺腔的电浆碰撞强度的监测结果之前，所述方法还包括：根据所述工艺参数，对所述当前试生产晶圆进行失效分析，得到分析结果；所述分析结果表征所述当前试生产晶圆存在蚀刻终止时，发送当前保养周期异常的第一报警信息。
在一可实施方式中，所述将正式生产过程中监测所得的当前保养周期内工艺腔的当前离子信号强度，与所述当前保养周期对应的离子信号强度范围进行比较，得到所述工艺腔的电浆碰撞强度的监测结果，包括：判断所述当前离子信号强度是否满足所述离子信号强度范围，得到判断结果；所述判断结果为是，则所述电浆碰撞强度正常；所述判断结果为否，则所述电浆碰撞强度异常，并发出所述电浆碰撞强度异常的第二报警信息。
根据本公开的第二方面，提供了一种电浆碰撞强度监测装置，该装置包括：获取模块，用于获取工艺腔的历史生产数据和当前试生产数据，所述当前试生产数据包括当前试生产离子信号强度；计算模块，用于根据所述历史生产数据和所述当前试生产离子信号强度，计算当前保养周期对应的离子信号强度范围；监测模块，用于将正式生产过程中监测所得的当前保养周期内工艺腔的当前离子信号强度，与所述当前保养周期对应的离子信号强度范围进行比较，得到所述工艺腔的电浆碰撞强度的监测结果。
根据本公开的第三方面，提供了一种电子设备，包括：
至少一个处理器；以及
与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，
所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的指令，所述指令被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行本公开所述的方法。
根据本公开的第四方面，提供了一种存储有计算机指令的非瞬时计算机可读存储介质，所述计算机指令用于使所述计算机执行本公开所述的方法。
本公开的一种电浆碰撞强度监测方法、装置、设备及存储介质，首先获取工艺腔的历史生产数据和当前试生产数据，然后根据历史生产数据和当前试生产数据中的当前试生产离子信号强度，计算当前保养周期对应的离子信号强度范围，并将正式生产过程中监测所得的当前保养周期内工艺腔的当前离子信号强度，与当前保养周期对应的离子信号强度范围进行比较，得到工艺腔的电浆碰撞强度的监测结果。由此，可以对正式生产过程中工艺腔的当前离子信号强度(即工艺腔电浆碰撞强度)进行实时监测，并且可以在当前离子信号强度不满足离子信号强度范围时，发出报警信息，操作人员可以根据报警信息停止生产，并重新对工艺腔进行保养，从而避免由于工艺腔电浆碰撞强度发生变化而导致的蚀刻终止现象。
应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本公开的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本公开的范围。本公开的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。
附图说明
通过参考附图阅读下文的详细描述，本公开示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本公开的若干实施方式，其中：
在附图中，相同或对应的标号表示相同或对应的部分。
图1示出了本公开第一实施例一种电浆碰撞强度监测方法的流程示意图；
图2示出了本公开第二实施例一种电浆碰撞强度监测方法的流程示意图；
图3示出了本公开第三实施例一种电浆碰撞强度监测方法的流程示意图；
图4示出了本公开第六实施例一种电浆碰撞强度监测装置的结构示意图；
图5示出了本公开实施例一种电子设备的组成结构示意图。
具体实施方式
为使本公开的目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本公开实施例中的附图，对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本公开一部分实施例，而非全部实施例。基于本公开中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。
图1示出了本公开第一实施例一种电浆碰撞强度监测方法的流程示意图，如图1所示，该方法主要包括：
步骤S101，获取工艺腔的历史生产数据和当前试生产数据，所述当前试生产数据包括当前试生产离子信号强度。
在本实施例中，首先获取工艺腔的历史生产数据和当前试生产数据，其中，历史生产数据包括工艺腔的历史保养周期中的离子信号强度，离子信号强度即电浆碰撞强度；当前试生产数据为工艺腔的当前保养周期中试生产晶圆产生的数据，包括当前试生产离子信号强度、当前试生产晶圆的线宽和当前试生产晶圆的深度等。
在一可实施方式中，可以在工艺腔中设置一个信号强度传感器，用于监测工艺腔在各个历史保养周期中的离子信号强度，并对监测到的离子信号强度进行存储，从而得到工艺腔的历史生产数据；工艺腔在当前保养周期中进行试生产时，同样利用该信号强度传感器监测当前试生产离子信号强度。
步骤S102，根据所述历史生产数据和所述当前试生产离子信号强度，计算当前保养周期对应的离子信号强度范围。
在本实施例中，历史生产数据中各个历史保养周期的离子信号强度可以反映当前保养周期的离子信号强度，例如，各个历史保养周期的离子信号强度的平均值，可以用于预测当前保养周期的离子信号强度，因此，在获取到历史生产数据和当前试生产数据之后，可以根据历史生产数据和当前试生产数据中的当前试生产离子信号强度，计算当前保养周期对应的离子信号强度范围。
在一可实施方式中，在获取到历史生产数据之后，可以根据历史生产数据中的各个历史保养周期的信号强度上限和信号强度下限，确定各个历史保养周期的信号波动范围，并根据各个历史保养周期的信号波动范围的平均值，确定当前保养周期的信号波动范围，然后根据当前保养周期的信号波动范围和当前试生产离子信号强度，确定当前保养周期对应的离子信号强度范围。具体地，若当前保养周期的信号波动范围为n，当前试生产离子信号强度为m，则可以确定当前保养周期对应的离子信号强度范围为
步骤S103，将正式生产过程中监测所得的当前保养周期内工艺腔的当前离子信号强度，与所述当前保养周期对应的离子信号强度范围进行比较，得到所述工艺腔的电浆碰撞强度的监测结果。
在本实施例中，在工艺腔的当前保养周期内进行正式生产时，可以实时监测工艺腔的当前离子信号强度，并将当前离子信号强度与当前保养周期对应的离子信号强度范围进行比较，得到工艺腔的电浆碰撞强度的监测结果。具体地，若当前离子信号强度在离子信号强度范围内，则监测结果可显示电浆碰撞强度正常；若当前离子信号强度不在离子信号强度范围内，则监测结果可显示电浆碰撞强度异常。
在本公开第一实施例中，首先获取工艺腔的历史生产数据和当前试生产数据，然后根据历史生产数据和当前试生产数据中的当前试生产离子信号强度，计算当前保养周期对应的离子信号强度范围，并将正式生产过程中监测所得的当前保养周期内工艺腔的当前离子信号强度，与当前保养周期对应的离子信号强度范围进行比较，得到工艺腔的电浆碰撞强度的监测结果。由此，可以对正式生产过程中工艺腔的当前离子信号强度进行实时监测，得到监测结果，工作人员可以根据监测结果确定工艺腔电浆碰撞强度是否正常，从而避免产生由于工艺腔电浆碰撞强度变化而导致的蚀刻终止现象。
图2示出了本公开第二实施例一种电浆碰撞强度监测方法的流程示意图，如图2所示，步骤S102主要包括：
步骤S201，根据所述历史生产数据中的第一信号波动范围，计算当前保养周期的第二信号波动范围。
在本实施例中，首先根据历史生产数据中的第一信号波动范围，计算当前保养周期的第二信号波动范围，其中，第一信号波动范围为各个历史生产周期的离子信号强度上限与离子信号强度下限之间的差值，若历史生产数据中各个历史生产周期的离子信号强度如下表一所示：
表一
则根据表一所示，历史保养周期1、2、3、4的第一信号波动范围均为2000。
在一可实施方式中，可以根据以下公式计算所述第二信号波动范围：
Range＝ax1+bx2+cx3+…+mxn，
其中，Range为所述第二信号波动范围，a、b、c、m分别为当前保养周期的前n个保养周期对应的权重，x1、x2、x3、xn分别为当前保养周期的前n个保养周期对应的第一信号波动范围。
在一可实施方式中，当前保养周期的前n个保养周期对应的权重可以根据其生产的晶圆质量进行设置，例如，取当前保养周期的前4个保养周期，分别为历史保养周期1、2、3、4，若历史保养周期1生产的晶圆良率较高，则为历史保养周期1赋予较高的权重；若历史保养周期3生产的晶圆良率较低，则为历史保养周期1赋予较低的权重等。
步骤S202，根据所述当前试生产离子信号强度以及所述历史生产数据中的信号强度平均值和历史试生产离子信号强度，计算当前保养周期的信号强度目标值。
在本实施例中，还需要根据当前试生产离子信号强度以及历史生产数据中的信号强度平均值和历史试生产离子信号强度，计算当前保养周期的信号强度目标值，其中，信号强度平均值为各个历史保养周期在生产过程中离子信号强度的平均值，如表一中所示，历史保养周期1、2、3、4的信号强度平均值分别为6500、6700、6600和6800；历史试生产离子信号强度为各个历史保养周期进行试生产时产生的离子信号强度。
在一可实施方式中，可以先确定各个历史保养周期中信号强度平均值与历史试生产离子信号强度之间的对应关系，例如，确定各个历史保养周期中信号强度平均值与历史试生产离子信号强度之间的倍数关系或差值等，并将该对应关系作为当前保养周期的信号强度目标值与当前试生产离子信号强度之间的对应关系，从而根据该对应关系和当前试生产离子信号强度，计算得到当前保养周期的信号强度目标值。
步骤S203，根据所述第二信号波动范围和所述信号强度目标值，计算当前保养周期对应的所述离子信号强度范围。
在本实施例中，根据当前保养周期的第二信号波动范围和信号强度目标值，可以计算当前保养周期对应的离子信号强度范围，其中，信号强度目标值即离子信号强度应该达到的标准目标值，第二信号波动范围即离子信号强度围绕信号强度目标值的波动范围。具体地，若第二信号波动范围为p，信号强度目标值为q，则可以确定当前保养周期对应的离子信号强度范围为
在本公开第二实施例中，根据历史保养周期中的离子信号强度，计算当前保养周期的准确离子信号强度范围，便于后续根据该离子信号强度范围，对当前保养周期在正式生产过程中的当前离子信号强度进行监测。
图3示出了本公开第三实施例一种电浆碰撞强度监测方法的流程示意图，如图3所示，步骤S202主要包括：
计算所述信号强度平均值与所述历史试生产离子信号强度的差值；根据所述当前试生产离子信号强度和所述差值，计算所述信号强度目标值。
在本实施例中，首先计算历史生产数据中的信号强度平均值与历史试生产离子信号强度的差值，该差值可以表征信号强度平均值与历史试生产离子信号强度之间的对应关系，然后根据当前试生产离子信号强度和差值，计算当前保养周期的信号强度目标值。
在一可实施方式中，可以根据以下公式计算所述信号强度目标值：
Targey＝A+ay1+by2+cy3+…+myn，
其中，Target为所述信号强度目标值，A为所述当前试生产离子信号强度，a、b、c、m分别为当前保养周期的前n个保养周期对应的权重，y1、y2、y3、yn分别为当前保养周期的前n个保养周期对应的信号强度平均值与历史试生产离子信号强度的差值。
在本公开第四实施例中，当前试生产数据包括当前试生产晶圆的工艺参数，在步骤S103之前，该方法还包括：
根据所述工艺参数，对所述当前试生产晶圆进行失效分析，得到分析结果；所述分析结果表征所述当前试生产晶圆存在蚀刻终止时，发送当前保养周期异常的第一报警信息。
在本实施例中，当前试生产晶圆的工艺参数包括当前试生产晶圆的线宽、深度和颗粒状况等，根据该工艺参数，可以对当前试生产晶圆进行失效分析，即分析当前试生产晶圆是否存在蚀刻终止，从而得到分析结果，若分析结果表征当前试生产晶圆存在蚀刻终止，发送当前保养周期异常的第一报警信息。具体地，若当前试生产晶圆存在蚀刻终止，则证明工艺腔的当前保养周期存在异常，工作人员可以根据当前保养周期异常的第一报警信息，停止生产并重新对工艺腔进行保养，此时不直接进行正式生产，可以降低报废率。
在一可实施方式中，可以提前存储晶圆的标准工艺参数，在对当前试生产晶圆进行失效分析时，将当前试生产晶圆的工艺参数与标准工艺参数进行对比，若对比结果显示当前试生产晶圆的工艺参数不满足标准工艺参数，则可认为当前试生产晶圆存在蚀刻终止。
在本公开第五实施例中，步骤S103主要包括：
判断所述当前离子信号强度是否满足所述离子信号强度范围，得到判断结果；所述判断结果为是，则所述电浆碰撞强度正常；所述判断结果为否，则所述电浆碰撞强度异常，并发出所述电浆碰撞强度异常的第二报警信息。
在本实施例中，首先需要判断正式生产过程中的当前离子信号强度是否满足离子信号强度范围，得到判断结果，若判断结果为是，则电浆碰撞强度正常；若判断结果为否，则电浆碰撞强度异常，并发出电浆碰撞强度异常的第二报警信息，工作人员可以根据第二报警信息停止生产，并重新对工艺腔进行保养，从而避免由于工艺腔电浆碰撞强度发生变化而导致的蚀刻终止现象。
图4示出了本公开第六实施例一种电浆碰撞强度监测装置的结构示意图，如图4所示，该装置主要包括：
获取模块10，用于获取工艺腔的历史生产数据和当前试生产数据，所述当前试生产数据包括当前试生产离子信号强度；计算模块11，用于根据所述历史生产数据和所述当前试生产离子信号强度，计算当前保养周期对应的离子信号强度范围；监测模块12，用于将正式生产过程中监测所得的当前保养周期内工艺腔的当前离子信号强度，与所述当前保养周期对应的离子信号强度范围进行比较，得到所述工艺腔的电浆碰撞强度的监测结果。
在一可实施方式中，计算模块11主要包括：第一计算子模块，用于根据所述历史生产数据中的第一信号波动范围，计算当前保养周期的第二信号波动范围；第二计算子模块，用于根据所述当前试生产离子信号强度以及所述历史生产数据中的信号强度平均值和历史试生产离子信号强度，计算当前保养周期的信号强度目标值；第三计算子模块，用于根据所述第二信号波动范围和所述信号强度目标值，计算当前保养周期对应的所述离子信号强度范围。
在一可实施方式中，第一计算子模块还用于根据以下公式计算所述第二信号波动范围：Range＝ax1+bx2+cx3+…+mxn，其中，Range为所述第二信号波动范围，a、b、c、m分别为当前保养周期的前n个保养周期对应的权重，x1、x2、x3、xn分别为当前保养周期的前n个保养周期对应的第一信号波动范围。
在一可实施方式中，第二计算子模块主要包括：第一计算单元，用于计算所述信号强度平均值与所述历史试生产离子信号强度的差值；第二计算单元，用于根据所述当前试生产离子信号强度和所述差值，计算所述信号强度目标值。
在一可实施方式中，第二计算单元还用于根据以下公式计算所述信号强度目标值：Target＝A+ay1+by2+cy3+…+myn，其中，Target为所述信号强度目标值，A为所述当前试生产离子信号强度，a、b、c、m分别为当前保养周期的前n个保养周期对应的权重，y1、y2、y3、yn分别为当前保养周期的前n个保养周期对应的信号强度平均值与历史试生产离子信号强度的差值。
在一可实施方式中，该装置还包括：失效分析模块，用于根据所述工艺参数，对所述当前试生产晶圆进行失效分析，得到分析结果；报警模块，用于所述分析结果表征所述当前试生产晶圆存在蚀刻终止时，发送当前保养周期异常的第一报警信息。
在一可实施方式中，监测模块12还用于：判断所述当前离子信号强度是否满足所述离子信号强度范围，得到判断结果；所述判断结果为是，则所述电浆碰撞强度正常；所述判断结果为否，则所述电浆碰撞强度异常，并发出所述电浆碰撞强度异常的第二报警信息。
根据本公开的实施例，本公开还提供了一种电子设备和一种可读存储介质。
图5示出了可以用来实施本公开的实施例的示例电子设备500的示意性框图。电子设备旨在表示各种形式的数字计算机，诸如，膝上型计算机、台式计算机、工作台、个人数字助理、服务器、刀片式服务器、大型计算机、和其它适合的计算机。电子设备还可以表示各种形式的移动装置，诸如，个人数字处理、蜂窝电话、智能电话、可穿戴设备和其它类似的计算装置。本文所示的部件、它们的连接和关系、以及它们的功能仅仅作为示例，并且不意在限制本文中描述的和/或者要求的本公开的实现。
如图5所示，设备500包括计算单元501，其可以根据存储在只读存储器(ROM)502中的计算机程序或者从存储单元508加载到随机访问存储器(RAM)503中的计算机程序，来执行各种适当的动作和处理。在RAM 503中，还可存储设备500操作所需的各种程序和数据。计算单元501、ROM 502以及RAM 503通过总线504彼此相连。输入/输出(I/O)接口505也连接至总线504。
设备500中的多个部件连接至I/O接口505，包括：输入单元506，例如键盘、鼠标等；输出单元507，例如各种类型的显示器、扬声器等；存储单元508，例如磁盘、光盘等；以及通信单元509，例如网卡、调制解调器、无线通信收发机等。通信单元509允许设备500通过诸如因特网的计算机网络和/或各种电信网络与其他设备交换信息/数据。
计算单元501可以是各种具有处理和计算能力的通用和/或专用处理组件。计算单元501的一些示例包括但不限于中央处理单元(CPU)、图形处理单元(GPU)、各种专用的人工智能(AI)计算芯片、各种运行机器学习模型算法的计算单元、数字信号处理器(DSP)、以及任何适当的处理器、控制器、微控制器等。计算单元501执行上文所描述的各个方法和处理，例如一种电浆碰撞强度监测方法。例如，在一些实施例中，一种电浆碰撞强度监测方法可被实现为计算机软件程序，其被有形地包含于机器可读介质，例如存储单元508。在一些实施例中，计算机程序的部分或者全部可以经由ROM 502和/或通信单元509而被载入和/或安装到设备500上。当计算机程序加载到RAM 503并由计算单元501执行时，可以执行上文描述的一种电浆碰撞强度监测方法的一个或多个步骤。备选地，在其他实施例中，计算单元501可以通过其他任何适当的方式(例如，借助于固件)而被配置为执行一种电浆碰撞强度监测方法。
本文中以上描述的系统和技术的各种实施方式可以在数字电子电路系统、集成电路系统、场可编程门阵列(FPGA)、专用集成电路(ASIC)、专用标准产品(ASSP)、芯片上系统的系统(SOC)、负载可编程逻辑设备(CPLD)、计算机硬件、固件、软件、和/或它们的组合中实现。这些各种实施方式可以包括：实施在一个或者多个计算机程序中，该一个或者多个计算机程序可在包括至少一个可编程处理器的可编程系统上执行和/或解释，该可编程处理器可以是专用或者通用可编程处理器，可以从存储系统、至少一个输入装置、和至少一个输出装置接收数据和指令，并且将数据和指令传输至该存储系统、该至少一个输入装置、和该至少一个输出装置。
用于实施本公开的方法的程序代码可以采用一个或多个编程语言的任何组合来编写。这些程序代码可以提供给通用计算机、专用计算机或其他可编程数据处理装置的处理器或控制器，使得程序代码当由处理器或控制器执行时使流程图和/或框图中所规定的功能/操作被实施。程序代码可以完全在机器上执行、部分地在机器上执行，作为独立软件包部分地在机器上执行且部分地在远程机器上执行或完全在远程机器或服务器上执行。
在本公开的上下文中，机器可读介质可以是有形的介质，其可以包含或存储以供指令执行系统、装置或设备使用或与指令执行系统、装置或设备结合地使用的程序。机器可读介质可以是机器可读信号介质或机器可读储存介质。机器可读介质可以包括但不限于电子的、磁性的、光学的、电磁的、红外的、或半导体系统、装置或设备，或者上述内容的任何合适组合。机器可读存储介质的更具体示例会包括基于一个或多个线的电气连接、便携式计算机盘、硬盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可擦除可编程只读存储器(EPROM或快闪存储器)、光纤、便捷式紧凑盘只读存储器(CD-ROM)、光学储存设备、磁储存设备、或上述内容的任何合适组合。
为了提供与用户的交互，可以在计算机上实施此处描述的系统和技术，该计算机具有：用于向用户显示信息的显示装置(例如，CRT(阴极射线管)或者LCD(液晶显示器)监视器)；以及键盘和指向装置(例如，鼠标或者轨迹球)，用户可以通过该键盘和该指向装置来将输入提供给计算机。其它种类的装置还可以用于提供与用户的交互；例如，提供给用户的反馈可以是任何形式的传感反馈(例如，视觉反馈、听觉反馈、或者触觉反馈)；并且可以用任何形式(包括声输入、语音输入或者、触觉输入)来接收来自用户的输入。
可以将此处描述的系统和技术实施在包括后台部件的计算系统(例如，作为数据服务器)、或者包括中间件部件的计算系统(例如，应用服务器)、或者包括前端部件的计算系统(例如，具有图形用户界面或者网络浏览器的用户计算机，用户可以通过该图形用户界面或者该网络浏览器来与此处描述的系统和技术的实施方式交互)、或者包括这种后台部件、中间件部件、或者前端部件的任何组合的计算系统中。可以通过任何形式或者介质的数字数据通信(例如，通信网络)来将系统的部件相互连接。通信网络的示例包括：局域网(LAN)、广域网(WAN)和互联网。
计算机系统可以包括客户端和服务器。客户端和服务器一般远离彼此并且通常通过通信网络进行交互。通过在相应的计算机上运行并且彼此具有客户端-服务器关系的计算机程序来产生客户端和服务器的关系。服务器可以是云服务器，也可以为分布式系统的服务器，或者是结合了区块链的服务器。
应该理解，可以使用上面所示的各种形式的流程，重新排序、增加或删除步骤。例如，本发公开中记载的各步骤可以并行地执行也可以顺序地执行也可以不同的次序执行，只要能够实现本公开公开的技术方案所期望的结果，本文在此不进行限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或隐含地包括至少一个该特征。在本公开的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
以上所述，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (10)
1.一种电浆碰撞强度监测方法，其特征在于，所述方法包括：
获取工艺腔的历史生产数据和当前试生产数据，所述当前试生产数据包括当前试生产离子信号强度；
根据所述历史生产数据和所述当前试生产离子信号强度，计算当前保养周期对应的离子信号强度范围；
将正式生产过程中监测所得的当前保养周期内工艺腔的当前离子信号强度，与所述当前保养周期对应的离子信号强度范围进行比较，得到所述工艺腔的电浆碰撞强度的监测结果。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述历史生产数据和所述当前试生产离子信号强度，计算当前保养周期对应的离子信号强度范围，包括：
根据所述历史生产数据中的第一信号波动范围，计算当前保养周期的第二信号波动范围；
根据所述当前试生产离子信号强度以及所述历史生产数据中的信号强度平均值和历史试生产离子信号强度，计算当前保养周期的信号强度目标值；
根据所述第二信号波动范围和所述信号强度目标值，计算当前保养周期对应的所述离子信号强度范围。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，根据以下公式计算所述第二信号波动范围：
Range＝ax1+bx2+Cx3+…+mxn，
其中，Range为所述第二信号波动范围，a、b、c、m分别为当前保养周期的前n个保养周期对应的权重，x1、x2、x3、xn分别为当前保养周期的前n个保养周期对应的第一信号波动范围。
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述当前试生产离子信号强度以及所述历史生产数据中的信号强度平均值和历史试生产离子信号强度，计算当前保养周期的信号强度目标值，包括：
计算所述信号强度平均值与所述历史试生产离子信号强度的差值；
根据所述当前试生产离子信号强度和所述差值，计算所述信号强度目标值。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，根据以下公式计算所述信号强度目标值：
Target＝A+ayl+by2+cy3+…+myn，
其中，Target为所述信号强度目标值，A为所述当前试生产离子信号强度，a、b、c、m分别为当前保养周期的前n个保养周期对应的权重，y1、y2、y3、yn分别为当前保养周期的前n个保养周期对应的信号强度平均值与历史试生产离子信号强度的差值。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述当前试生产数据包括当前试生产晶圆的工艺参数，在所述将正式生产过程中监测所得的当前保养周期内工艺腔的当前离子信号强度，与所述当前保养周期对应的离子信号强度范围进行比较，得到所述工艺腔的电浆碰撞强度的监测结果之前，所述方法还包括：
根据所述工艺参数，对所述当前试生产晶圆进行失效分析，得到分析结果；
所述分析结果表征所述当前试生产晶圆存在蚀刻终止时，发送当前保养周期异常的第一报警信息。
7.根据权利要求1至6任一项所述的方法，其特征在于，所述将正式生产过程中监测所得的当前保养周期内工艺腔的当前离子信号强度，与所述当前保养周期对应的离子信号强度范围进行比较，得到所述工艺腔的电浆碰撞强度的监测结果，包括：
判断所述当前离子信号强度是否满足所述离子信号强度范围，得到判断结果；
所述判断结果为是，则所述电浆碰撞强度正常；
所述判断结果为否，则所述电浆碰撞强度异常，并发出所述电浆碰撞强度异常的第二报警信息。
8.一种电浆碰撞强度监测装置，其特征在于，所述装置包括：
获取模块，用于获取工艺腔的历史生产数据和当前试生产数据，所述当前试生产数据包括当前试生产离子信号强度；
计算模块，用于根据所述历史生产数据和所述当前试生产离子信号强度，计算当前保养周期对应的离子信号强度范围；
监测模块，用于将正式生产过程中监测所得的当前保养周期内工艺腔的当前离子信号强度，与所述当前保养周期对应的离子信号强度范围进行比较，得到所述工艺腔的电浆碰撞强度的监测结果。
9.一种电子设备，其特征在于，包括：
至少一个处理器；以及
与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，
所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的指令，所述指令被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行权利要求1-7中任一项所述的方法。
10.一种存储有计算机指令的非瞬时计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机指令用于使所述计算机执行根据权利要求1-7中任一项所述的方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211654218.XA CN115938933A (zh) | 2022-12-22 | 2022-12-22 | 一种电浆碰撞强度监测方法、装置、设备及存储介质 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211654218.XA CN115938933A (zh) | 2022-12-22 | 2022-12-22 | 一种电浆碰撞强度监测方法、装置、设备及存储介质 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN115938933A true CN115938933A (zh) | 2023-04-07 |
Family
ID=86648757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202211654218.XA Pending CN115938933A (zh) | 2022-12-22 | 2022-12-22 | 一种电浆碰撞强度监测方法、装置、设备及存储介质 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN115938933A (zh) |
-
2022
- 2022-12-22 CN CN202211654218.XA patent/CN115938933A/zh active Pending
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