CN115929729A - 一种解耦液压活塞杆旋转的余度lvdt安装组件 - Google Patents

Abstract

一种液压活塞杆用余度LVDT安装组件，包括：调零模块、安装模块、LVDT模块。LVDT模块为传感器结构。调零模块包括的球头球座组成的球运动副，用于消除活塞杆旋转导致LVDT多根拉杆别劲扭损；包括的螺母、鞍型垫圈、关节轴承用于LVDT模块拉杆端挠性连接；包括的垫圈隔离套、轴承隔离套用于LVDT模块拉杆端与活塞杆的非金属接触。安装模块包括的螺母、鞍型垫圈、关节轴承用于LVDT模块壳体端的挠性连接；包括的轴承隔离套用于LVDT模块壳体端与油路壳体的非金属接触。本发明实现了余度LVDT通过球运动副适应活塞杆旋转，关节轴承+鞍型垫圈消除安装挠度，物理隔离磁传导干扰，结构高度集成紧凑，使用可靠性较高。

Description

一种解耦液压活塞杆旋转的余度LVDT安装组件

技术领域

本申请涉及运载火箭的技术领域，特别是一种解耦液压活塞杆旋转的余度LVDT安装组件。

背景技术

差动电感式位移传感器(LVDT)灵敏度高，结构可靠，可重复性好，温度和湿度影响小，分辨率高，可实现非接触测量，是电液伺服控制领域应用广泛的位移传感器。

LVDT位移传感器是电静压伺服机构的位置测量关键元件，为伺服系统提供位置反馈信息并参与伺服闭环控制，其性能的好坏直接影响到伺服系统的整体性能。作为高紧凑电静压伺服机构组成产品，LVDT的外壳体一般套装在油路壳体和活塞杆的中心孔内，其中，拉杆随活塞杆运动。

电静压伺服机构活塞杆除轴向伸缩运动外还可径向旋转运动，为防止余度LVDT动端随活塞杆旋转导致多根拉杆相互别劲扭曲损坏，一般采用多根拉杆共同连接至一根连杆，再将连杆进行可绕轴线旋转设计或连接轴承设计，但分别存在连杆旋转不灵活或轴承空间不匹配等问题。同时，由于机加误差，油路壳体中心孔、活塞杆内孔、LVDT外壳体三者会微微存在不同轴问题，对LVDT外壳会有一定的磨损，一般采用增加接触间隙的方式解决，但会增加结构尺寸。此外，电静压伺服机构采用的伺服电机工作时产生较大的磁场，会对LVDT输出信号产生一定的磁干扰，一般采用线圈间防护和输出信号滤波拟合等处理，但会使得信号略有滞后。

发明内容

本申请提供一种解耦液压活塞杆旋转的余度LVDT安装组件，通过球头运动副适应活塞杆旋转，向心关节轴承+鞍型垫圈消除安装挠度，类金属绝缘耐磨材料隔离磁传导干扰，满足结构集成性和使用可靠性要求。

第一方面，提供了一种电静压伺服机构，包括：

活塞杆；

LVDT模块，设置于所述活塞杆的中心孔内；

调零球头，设置于所述活塞杆的第一孔结构内，所述调零球头的远离球头的一端与所述LVDT模块的连杆连接；

调零球座，与所述调零球头的球头配合，所述调零球座设置于所述活塞杆的第二孔结构内，所述调零球座的外周与所述第二孔结构的内壁螺纹配合。

与现有技术相比，本申请提供的方案至少包括以下有益技术效果：

单通道LVDT拉杆可在安装孔内旋转，余度LVDT的多根拉杆共同连接至一根连杆并固定成为一个整体，若连杆直接随活塞杆转动，拉杆将会别劲扭损。将连杆连接件制成球头球座形式的球运动副结构，将有效释放活塞杆旋转导致的拉杆扭转变形，消除了拉杆被扭损的潜在危险。

结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，所述电静压伺服机构还包括：

第一螺母，设置于所述第二孔结构内，用于在所述调零球座的远离所述调零球头的一侧锁紧所述调零球座。

活塞杆处在作动筒中间位置时，LVDT拉杆正好处在其电气输出零位时为其安装最佳位置，调零球座在工装的引导下带动拉杆可在活塞杆内适应性调整位置，调整完成后由锁紧螺母锁定调零球座即可，调整简单方便。

结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，所述调零球头包括内腔结构，所述内腔结构的远离所述调零球座的一端具有球头安装开口，所述LVDT模块的连杆穿过所述球头安装开口伸入所述内腔结构；所述电静压伺服机构还包括：

第一鞍型垫圈，位于所述内腔结构内，所述LVDT模块的连杆穿过所述第一鞍型垫圈；

第二螺母，与所述LVDT模块的连杆螺纹配合，并将所述第一鞍型垫圈锁紧至所述内腔结构的内壁。

LVDT的壳体套装在油路壳体和活塞杆的中心孔内，同时活塞杆套装在油路壳体中心内孔，由于机加误差，油路壳体中心孔、活塞杆内孔、LVDT外壳体三者会微微存在不同轴问题，LVDT将不可避免产生一定挠度，对LVDT外壳会有一定的磨损，鞍型垫圈的弹性将会进一步缓冲吸收活塞杆运动时带来的振动挠度。

结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，所述电静压伺服机构还包括：

第一垫圈隔离套，设置在所述第一鞍型垫圈和所述调零球头之间。

伺服电机用磁性材料、电机电枢线圈将产生磁场，可能会通过油路壳体、活塞杆等传导至LVDT产生干扰，将增加LVDT本体防护难度及解调电路输出处理要求，影响使用性能。类金属绝缘耐磨材料(高分子材料PEEK)隔离套将LVDT拉杆及壳体部分别与活塞杆、油路壳体等进行物理悬浮隔离，阻断了电磁传导干扰，同时LVDT处于机构部件中心内孔的屏蔽环境，其使用可靠性将进一步提高。

结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，所述电静压伺服机构还包括：

第一向心关节轴承体，设置于球头安装开口，所述LVDT模块的连杆穿过所述第一向心关节轴承体和所述第一鞍型垫圈，与所述第二螺母螺纹配合。

LVDT的壳体套装在油路壳体和活塞杆的中心孔内，同时活塞杆套装在油路壳体中心内孔，由于机加误差，油路壳体中心孔、活塞杆内孔、LVDT外壳体三者会微微存在不同轴问题，LVDT将不可避免产生一定挠度，对LVDT外壳会有一定的磨损，向心关节轴承的多向转动性将释放该挠度。

结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，所述电静压伺服机构还包括：

第一轴承隔离套，设置于球头安装开口，且位于所述第一向心关节轴承体和所述调零球头之间。

伺服电机用磁性材料、电机电枢线圈将产生磁场，可能会通过油路壳体、活塞杆等传导至LVDT产生干扰，将增加LVDT本体防护难度及解调电路输出处理要求，影响使用性能。类金属绝缘耐磨材料(高分子材料PEEK)隔离套将LVDT拉杆及壳体部分别与活塞杆、油路壳体等进行物理悬浮隔离，阻断了电磁传导干扰，同时LVDT处于机构部件中心内孔的屏蔽环境，其使用可靠性将进一步提高。

结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，所述电静压伺服机构还包括：

油路壳体，所述活塞杆容置于所述油路壳体的中心孔内，所述油路壳体的中心孔包括第三孔结构；

第二轴承隔离套，设置于所述第三孔结构内；

第二鞍型垫圈，位于所述第二轴承隔离套的远离所述活塞杆的一侧；

第三螺母，所述LVDT模块的壳体的螺纹端穿过所述第二轴承隔离套和所述第二鞍型垫圈，与所述第三螺母螺纹配合，所述第三螺母用于将所述第二鞍型垫圈锁紧至所述第二轴承隔离套。

LVDT的壳体套装在油路壳体和活塞杆的中心孔内，同时活塞杆套装在油路壳体中心内孔，由于机加误差，油路壳体中心孔、活塞杆内孔、LVDT外壳体三者会微微存在不同轴问题，LVDT将不可避免产生一定挠度，对LVDT外壳会有一定的磨损，鞍型垫圈的弹性将会进一步缓冲吸收活塞杆运动时带来的振动挠度。

结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，所述油路壳体的中心孔还包括第四孔结构，所述第四孔结构位于所述第三孔结构的靠近所述油路壳体的一侧；所述电静压伺服机构还包括：

第四螺母，设置于所述第四孔结构内，用于在所述第二轴承隔离套的靠近所述油路壳体的一侧锁紧所述第二轴承隔离套。

结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，所述电静压伺服机构还包括：

第二向心关节轴承体，设置于第二轴承隔离套的中心孔，所述LVDT模块的壳体的螺纹端穿过所述第二向心关节轴承体和所述第二鞍型垫圈，与所述第三螺母螺纹配合。

LVDT的壳体套装在油路壳体和活塞杆的中心孔内，同时活塞杆套装在油路壳体中心内孔，由于机加误差，油路壳体中心孔、活塞杆内孔、LVDT外壳体三者会微微存在不同轴问题，LVDT将不可避免产生一定挠度，对LVDT外壳会有一定的磨损，向心关节轴承的多向转动性将释放该挠度。

结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，所述电静压伺服机构还包括：

绝缘耐磨环，环绕设置在所述LVDT模块的壳体外周，并与所述活塞杆的内壁接触。

LVDT有一定长度，出线端壳体固定安装在油路壳体中心孔内，拉杆端固定在活塞杆内，壳体与活塞杆内孔留有适当径向间隙。在壳体近拉杆端加装绝缘耐磨环，将LVDT壳体与活塞杆隔离的同时也支撑了本体，防止悬臂梁的产生，提高了使用可靠性。

第二方面，提供了一种电静压伺服机构，包括：

活塞杆；

油路壳体，所述活塞杆容置于所述油路壳体的中心孔内，所述油路壳体的中心孔包括第三孔结构；

LVDT模块，设置于所述活塞杆的中心孔内；

第二轴承隔离套，设置于所述第三孔结构内；

第二鞍型垫圈，位于所述第二轴承隔离套的远离所述活塞杆的一侧；

第三螺母，所述LVDT模块的壳体的螺纹端穿过所述第二轴承隔离套和所述第二鞍型垫圈，与所述第三螺母螺纹配合，所述第三螺母用于将所述第二鞍型垫圈锁紧至所述第二轴承隔离套。

结合第二方面，在第二方面的某些实现方式中，所述油路壳体的中心孔还包括第四孔结构，所述第四孔结构位于所述第三孔结构的靠近所述油路壳体的一侧；所述电静压伺服机构还包括：

第四螺母，设置于所述第四孔结构内，用于在所述第二轴承隔离套的靠近所述油路壳体的一侧锁紧所述第二轴承隔离套。

结合第二方面，在第二方面的某些实现方式中，所述电静压伺服机构还包括：

第二向心关节轴承体，设置于第二轴承隔离套的中心孔，所述LVDT模块的壳体的螺纹端穿过所述第二向心关节轴承体和所述第二鞍型垫圈，与所述第三螺母螺纹配合。

结合第二方面，在第二方面的某些实现方式中，所述电静压伺服机构还包括：

绝缘耐磨环，环绕设置在所述LVDT模块的壳体外周，并与所述活塞杆的内壁接触。

附图说明

图1为本申请实施例提供的一种电静压伺服机构的示意性结构图。

图2为本申请实施例提供的一种电静压伺服机构余度LVDT及安装组件图。

图3为本申请实施例提供的一种调零模块的示意性结构图。

图4为本申请实施例提供的一种安装模块的示意性结构图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本申请作进一步详细的描述。

图1是本申请实施例提供的一种电静压伺服机构的示意性结构图。图2是本申请实施例提供的一种电静压伺服机构余度LVDT及安装组件图。图1和图2所示的电静压伺服机构可以设置有线性可变差动变压器(linear variable displacement transducer，LVDT)模块安装组件。该LVDT模块安装组件可以具有防转、防挠、防干扰的功能。

LVDT模块安装组件可以包括调零模块1、安装模块2、LVDT模块3。调零模块1、安装模块2、LVDT模块3同轴串联布局。LVDT模块3设置在调零模块1和安装模块2之间。调零模块1可以安装在活塞杆22的中心内孔中。其中调零模块1由第一螺母4固定在活塞杆22的内孔。安装模块2可以安装在油路壳体23的中心内孔中。其中安装模块2由第四螺母15安装在油路壳体23内孔。活塞杆22可以设置在作动筒21内。活塞杆22可以带动调零模块1运动，进而带动LVDT模块3进行位置测量。

LVDT模块3主要由壳体17、绝缘耐磨环18、拉杆19、连杆20组成。三根拉杆19分别安装在壳体17的三个内孔中，同时共同连接于连杆20形成一个整体，分别进行三个通道的位置测量；绝缘耐磨环18安装在壳体17的环形槽内，用于与活塞杆22的内壁配合，可以实现LVDT模块3的支撑，并与活塞杆22隔离。

图3是本申请实施例提供的一种调零模块的示意性结构图。

活塞杆22的用于容置调零模块1的内腔可以具有相连的第二孔结构31和第一孔结构32。调零模块1可以包括调零球座5、调零球头6。调零球头6安装在调零球座5的球窝中形成球运动副，以适应活塞杆径向转动，防止余度LVDT的拉杆扭损。

调零球座5可以设置在活塞杆22的第二孔结构31中。调零球座5的外壁可以设置有螺纹。第二孔结构31的内壁可以设置有螺纹。调零球座5可以与第二孔结构31螺纹配合。通过旋转调零球座5，可以调整调零球座5在第二孔结构31内的位置。

如图3所示，调零球座5的远离调零球头6的一端可以设置有与工装配合的六方沉槽，以便于在装配过程中在第二孔结构31内通过工装旋转调零球座5。在一些实施例中，调零球座5的远离调零球头6一侧可以设置有第一螺母4。当调零球座5调整到第二孔结构31的最佳位置后，可以由第一螺母4锁定。

调零球头6可以设置在活塞杆22的第一孔结构32中。第一孔结构32的内径尺寸可以大于或等于第二孔结构31的内径尺寸。调零球头6的球头可以相对于活塞杆22的中轴对称设置。调零球头6的球头可以与调零球座5配合，以使得调零球座5和调零球头6可以相对发生旋转。调零球头6的远离球头的一端可以与LVDT模块3的连杆20连接。

将连杆连接件制成球头球座形式的球运动副结构，将有效释放活塞杆旋转导致的拉杆扭转变形，消除了拉杆被扭损的潜在危险。

在本申请提供的一些实施例中，调零球头6可以具有内腔结构33。调零球头6的远离调零球座5的一端具有球头安装开口34，球头安装开口34可以是该内腔结构33的开口。该内腔结构33可以用于容置多种安装部件，以实现LVDT模块3连杆20的弹性连接。

在一些实施例中，调零模块1还可以包括第二螺母7、第一鞍型垫圈8。第二螺母7、第一鞍型垫圈8可以通过该球头安装开口34设置在调零球头6，以实现LVDT模块3的连杆20的弹性连接。

如图3所示，第一鞍型垫圈8可以通过球头安装开口34设置在调零球头6的内腔结构33内部。第一鞍型垫圈8的外周可以抵靠内腔结构33的内壁。第一鞍型垫圈8的中心可以具有垫圈通孔，用于穿过LVDT模块3的连杆20。第一鞍型垫圈8的远离球头安装开口34的一侧可以设置有第二螺母7。LVDT模块3的连杆20可以与第二螺母7螺纹配合，并将第一鞍型垫圈8朝向调零球头6的内腔结构33的内壁压紧。

为满足结构要求，调零球头6、第二螺母7、第一鞍型垫圈8可以采用金属材料。为隔离磁传导干扰，调零球头6和第一鞍型垫圈8之间可以设置有绝缘的第一垫圈隔离套9。如图3所示，调零球头6的内腔结构33在靠近球头安装开口34的位置可以设置有垫圈隔离套容纳槽35，第一垫圈隔离套9可以容置于该垫圈隔离套容纳槽35中。第一鞍型垫圈8的外周可以与第一垫圈隔离套9接触，并通过第一垫圈隔离套9抵靠于调零球头6的内腔结构33的内壁。第一垫圈隔离套9可以将余度LVDT模块与安装用金属材料进行了物理隔离，阻断了电静压伺服机构中磁场源—伺服电机泵的磁传导干扰。

在一些实施例中，调零模块1还可以包括第一向心关节轴承体11。第一向心关节轴承11可以安装在调零球头6的球头安装开口34中。第一向心关节轴承11的内孔可以用于设置LVDT模块3的连杆20。通过向心关节轴承的多向转动性，可以释放油路壳体中心孔、活塞杆内孔、LVDT外壳体三者微微不同轴所产生的挠度问题。

为满足结构要求，调零球座5、调零球头6和第一向心关节轴承体11可以采用金属材料。为隔离磁传导干扰，球头安装开口34内可以设置有绝缘的第一轴承隔离套10。第一轴承隔离套10可以用于将调零球头6和第一向心关节轴承体11隔开。也就是说，第一向心关节轴承11可以通过第一轴承隔离套10固定于调零球头6的球头安装开口34。

在一些实施例中，调零球头6在球头安装开口34的靠近内腔结构33的一侧可以设置有球头突起台阶36。球头突起台阶36可以由调零球头6的主体部朝向中轴突出。第一轴承隔离套10可以抵靠在该球头突起台阶36。

在一些实施例中，第一轴承隔离套10的靠近内腔结构33的一侧可以设置有第一轴承挡肩37。第一轴承挡肩37可以由第一轴承隔离套10的主体部朝向中轴突出。第一向心关节轴承11安装在第一轴承隔离套10内孔中，并由第一轴承挡肩37进行止动。

图4是本申请实施例提供的一种安装模块的示意性结构图。

安装模块2可以包括第二轴承隔离套13、第二鞍型垫圈14、第四螺母15、第三螺母16组成。

油路壳体23的用于容置安装模块2的中心内孔可以包括第三孔结构41和第四孔结构42。第三孔结构41可以位于第四孔结构42的靠近LVDT模块3的一侧。第二轴承隔离套13可以设置在第三孔结构41中。第三孔结构41的靠近LVDT模块3的一侧可以具有孔内台阶43。第二轴承隔离套13可以抵靠在孔内台阶43上，以实现轴向定位。

第四螺母15可以设置在第四孔结构42中。第四孔结构42的内径可以大于或等于第三孔结构41的内径。第四孔结构42的内壁可以设置有螺纹。第二轴承隔离套13的靠近油路壳体23的一侧可以设置有第四螺母15。第四螺母15可以用于实现第二轴承隔离套13的锁定。另外，第四螺母15的内孔空间可以用于容置第二鞍型垫圈14、第四螺母15和LVDT模块3的壳体17的螺纹端171(位于LVDT模块3的靠近油路壳体23的一端)。

第二轴承隔离套13具有隔离套通孔44。LVDT模块3的壳体17的螺纹端171可以穿过隔离套通孔44与第三螺母16配合，并通过第二鞍型垫圈14实现连接。具体地，第二鞍型垫圈14可以设置在第二轴承隔离套13的靠近油路壳体23的一侧。第二鞍型垫圈14的外周可以抵靠于第二轴承隔离套13的端面上。第三螺母16可以设置在第二鞍型垫圈14的远离第二轴承隔离套13的一侧。LVDT模块3的壳体17的螺纹端171可以与第三螺母16螺纹配合，并将第二鞍型垫圈14压紧至第二轴承隔离套13。

如图4所示，第二轴承隔离套13的靠近油路壳体23的端面可以设置有垫圈抵靠突起。第二鞍型垫圈14可以抵靠于垫圈抵靠突起的靠近中轴的一侧。垫圈抵靠突起可以用于实现第二鞍型垫圈14的径向限位。

在一些实施例中，安装模块2还可以包括第二向心关节轴承12。第二向心关节轴承12可以安装在第二轴承隔离套13的隔离套通孔44。第二向心关节轴承12的内孔可以用于设置LVDT模块3的壳体17的螺纹端171。如图4所示，在隔离套通孔44的靠近油路壳体23的一侧，第二向心关节轴承12可以具有第二轴承挡肩45。第二向心关节轴承12可以抵靠在第二轴承挡肩45的远离油路壳体23的一侧，用于实现第二向心关节轴承12的轴向限位。通过向心关节轴承的多向转动性，可以释放油路壳体中心孔、活塞杆内孔、LVDT外壳体三者微微不同轴所产生的挠度问题。

综上所述，连杆20套装在第一向心关节轴承体11内孔中并依次穿过第一鞍型垫圈8和第一垫圈隔离套9，由挡肩和第二螺母7锁紧固定。壳体17的螺纹端171套装在第二向心关节轴承体12内孔中并穿过第二鞍型垫圈14，由挡肩和第三螺母16锁紧固定。

综上所述，第一垫圈隔离套9、第一轴承隔离套10、第二轴承隔离套13、绝缘耐磨环18共同将余度LVDT与安装用金属材料进行了物理隔离，阻断了电静压伺服机构中磁场源—伺服电机泵24的磁传导干扰。第一向心关节轴承体11、第一鞍型垫圈8、第二向心关节轴承体12第二鞍型垫圈14、绝缘耐磨环18共同作用，不仅释放了安装和振动带来的弯曲挠度，还消除了“悬臂梁”安装结构，提高了使用可靠性。

本发明虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改，因此，本发明的保护范围应当以本发明权利要求所界定的范围为准。

Claims (14)

1.一种电静压伺服机构，其特征在于，包括：

活塞杆(22)；

线性可变差动变压器LVDT模块(3)，设置于所述活塞杆(22)的中心孔内；调零球头(6)，设置于所述活塞杆(22)的第一孔结构(32)内，所述调零球头(6)的远离球头的一端与所述LVDT模块(3)的连杆(20)连接；

调零球座(5)，与所述调零球头(6)的球头配合，所述调零球座(5)设置于所述活塞杆(22)的第二孔结构(31)内，所述调零球座(5)的外周与所述第二孔结构(31)的内壁螺纹配合。

2.根据权利要求1所述的电静压伺服机构，其特征在于，所述电静压伺服机构还包括：

第一螺母(4)，设置于所述第二孔结构(31)内，用于在所述调零球座(5)的远离所述调零球头(6)的一侧锁紧所述调零球座(5)。

3.根据权利要求1所述的电静压伺服机构，其特征在于，所述调零球头(6)包括内腔结构(33)，所述内腔结构(33)的远离所述调零球座(5)的一端具有球头安装开口(34)，所述LVDT模块(3)的连杆(20)穿过所述球头安装开口(34)伸入所述内腔结构(33)；所述电静压伺服机构还包括：

第一鞍型垫圈(8)，位于所述内腔结构(33)内，所述LVDT模块(3)的连杆(20)穿过所述第一鞍型垫圈(8)；

第二螺母(7)，与所述LVDT模块(3)的连杆(20)螺纹配合，并将所述第一鞍型垫圈(8)锁紧至所述内腔结构(33)的内壁。

4.根据权利要求3所述的电静压伺服机构，其特征在于，所述电静压伺服机构还包括：

第一垫圈隔离套(9)，设置在所述第一鞍型垫圈(8)和所述调零球头(6)之间。

5.根据权利要求3所述的电静压伺服机构，其特征在于，所述电静压伺服机构还包括：

第一向心关节轴承体(11)，设置于球头安装开口(34)，所述LVDT模块(3)的连杆(20)穿过所述第一向心关节轴承体(11)和所述第一鞍型垫圈(8)，与所述第二螺母(7)螺纹配合。

6.根据权利要求5所述的电静压伺服机构，其特征在于，所述电静压伺服机构还包括：

第一轴承隔离套(10)，设置于球头安装开口(34)，且位于所述第一向心关节轴承体(11)和所述调零球头(6)之间。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的电静压伺服机构，其特征在于，所述电静压伺服机构还包括：

油路壳体(23)，所述活塞杆(22)容置于所述油路壳体(23)的中心孔内，所述油路壳体(23)的中心孔包括第三孔结构(41)；

第二轴承隔离套(13)，设置于所述第三孔结构(41)内；

第二鞍型垫圈(14)，位于所述第二轴承隔离套(13)的远离所述活塞杆(22)的一侧；

第三螺母(16)，所述LVDT模块(3)的壳体(17)的螺纹端(171)穿过所述第二轴承隔离套(13)和所述第二鞍型垫圈(14)，与所述第三螺母(16)螺纹配合，所述第三螺母(16)用于将所述第二鞍型垫圈(14)锁紧至所述第二轴承隔离套(13)。

8.根据权利要求7所述的电静压伺服机构，其特征在于，所述油路壳体(23)的中心孔还包括第四孔结构(42)，所述第四孔结构(42)位于所述第三孔结构(41)的靠近所述油路壳体(23)的一侧；所述电静压伺服机构还包括：

第四螺母(15)，设置于所述第四孔结构(42)内，用于在所述第二轴承隔离套(13)的靠近所述油路壳体(23)的一侧锁紧所述第二轴承隔离套(13)。

9.根据权利要求7所述的电静压伺服机构，其特征在于，所述电静压伺服机构还包括：

第二向心关节轴承(12)，设置于第二轴承隔离套(13)的中心孔，所述LVDT模块(3)的壳体(17)的螺纹端(171)穿过所述第二向心关节轴承(12)体和所述第二鞍型垫圈(14)，与所述第三螺母(16)螺纹配合。

10.根据权利要求9所述的电静压伺服机构，其特征在于，所述电静压伺服机构还包括：

绝缘耐磨环(18)，环绕设置在所述LVDT模块(3)的壳体(17)外周，并与所述活塞杆(22)的内壁接触。

11.一种电静压伺服机构，其特征在于，包括：

活塞杆(22)；

油路壳体(23)，所述活塞杆(22)容置于所述油路壳体(23)的中心孔内，所述油路壳体(23)的中心孔包括第三孔结构(41)；

LVDT模块(3)，设置于所述活塞杆(22)的中心孔内；

第二轴承隔离套(13)，设置于所述第三孔结构(41)内；

第二鞍型垫圈(14)，位于所述第二轴承隔离套(13)的远离所述活塞杆(22)的一侧；

第三螺母(16)，所述LVDT模块(3)的壳体(17)的螺纹端(171)穿过所述第二轴承隔离套(13)和所述第二鞍型垫圈(14)，与所述第三螺母(16)螺纹配合，所述第三螺母(16)用于将所述第二鞍型垫圈(14)锁紧至所述第二轴承隔离套(13)。

12.根据权利要求11所述的电静压伺服机构，其特征在于，所述油路壳体(23)的中心孔还包括第四孔结构(42)，所述第四孔结构(42)位于所述第三孔结构(41)的靠近所述油路壳体(23)的一侧；所述电静压伺服机构还包括：

第四螺母(15)，设置于所述第四孔结构(42)内，用于在所述第二轴承隔离套(13)的靠近所述油路壳体(23)的一侧锁紧所述第二轴承隔离套(13)。

13.根据权利要求11所述的电静压伺服机构，其特征在于，所述电静压伺服机构还包括：

第二向心关节轴承(12)，设置于第二轴承隔离套(13)的中心孔，所述LVDT模块(3)的壳体(17)的螺纹端(171)穿过所述第二向心关节轴承(12)体和所述第二鞍型垫圈(14)，与所述第三螺母(16)螺纹配合。

14.根据权利要求11所述的电静压伺服机构，其特征在于，所述电静压伺服机构还包括：

绝缘耐磨环(18)，环绕设置在所述LVDT模块(3)的壳体(17)外周，并与所述活塞杆(22)的内壁接触。

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