CN115889314B - 一种单晶硅生产线用硅片高效清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种单晶硅生产线用硅片高效清洗装置，包括：清洗箱，所述清洗箱底端连接有驱动箱，所述清洗箱侧端连通有循环水箱，所述清洗箱内底部安装有安装座，所述安装座上可拆卸安装有清洗篮，所述清洗篮外侧设置有清扫装置，所述安装座和清扫装置底端与驱动箱连接。本发明采用驱动箱同时驱动安装座和清扫装置，使清洗液能够进入硅片间隙，增加了硅片和清洗液的接触面积，提高清洗效果，避免杂质堆积在清洗篮侧壁发生堵塞，提高清洗篮的洁净度，加速杂质的沉降，减少了人工清理难度，集成度高，便于控制。
Description
技术领域
本发明涉及光伏技术领域，具体地说，涉及一种单晶硅生产线用硅片高效清洗装置。
背景技术
随着社会对绿色可再生能源利用的重视和开放，光伏太阳能发电领域越来越得到重视和发展。光伏太阳能发电领域中，通常的晶体硅太阳能电池是在高质量硅片上制成的，这种硅片从提拉或浇铸的硅棒后通过多线锯切割而成，在硅片加工过程中，会产生杂质附着在硅片表面，影响硅片后续的加工和使用，因此，需要在硅片加工过程中进行清洗，现有的硅片清洗装置效率较低，杂质在清洗过程中附着在清洗篮表面，需要在使用一段时间后人工进行清理，增加了清理难度和作业量。
因此，为了解决上述问题，亟需设计一种单晶硅生产线用硅片高效清洗装置。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明公开了一种单晶硅生产线用硅片高效清洗装置，采用驱动箱同时驱动安装座和清扫装置，使清洗液能够进入硅片间隙，增加了硅片和清洗液的接触面积，提高清洗效果，避免杂质堆积在清洗篮侧壁发生堵塞，提高清洗篮的洁净度，加速杂质的沉降，减少了人工清理难度，集成度高，便于控制；其包括：
清洗箱，所述清洗箱底端连接有驱动箱，所述清洗箱侧端连通有循环水箱，所述清洗箱内底部安装有安装座，所述安装座上可拆卸安装有清洗篮，所述清洗篮外侧设置有清扫装置，所述安装座和清扫装置底端与驱动箱连接。
优选的，所述清洗箱内壁底端安装有双轴电机，所述双轴电机顶端的输出端竖直连接有第一转轴，所述第一转轴与安装座固定连接，所述安装座呈U型设置，并且所述安装座底部镂空，所述双轴电机外侧扣设有防水壳。
优选的，所述清扫装置包括：
丝杠、毛刷座和毛刷，所述丝杠转动连接于所述清洗箱内壁，并且所述丝杠竖直布置，所述毛刷座螺接于所述丝杠外侧，并且所述毛刷座滑动连接于所述清洗箱内壁，所述毛刷座靠近清洗篮的一侧连接有毛刷，所述清扫装置至少设置为一组，多组所述清扫装置之间通过带传动连接。
优选的，所述驱动箱包括：
第二转轴，所述第二转轴连接于所述双轴电机底端的输出端，并且所述第二转轴穿设所述清洗箱延伸至驱动箱内；
齿板，所述齿板连接于所述第二转轴底端，所述齿板外圆布置有不完全轮齿；
第一滑环，所述第一滑环套设于所述齿板外侧，并且所述第一滑环内圈直线段均匀布置有第一轮齿和第二轮齿，所述第一轮齿和第二轮齿相对布置，所述第一轮齿和第二轮齿与齿板适应设置，所述齿板啮合连接于所述第一滑环内部；
齿轮，所述齿轮连接于所述丝杠底端，所述丝杠穿设所述清洗箱延伸至驱动箱内；
第二滑环，所述第二滑环套设于所述齿轮外侧，所述第二滑环内壁均匀布置有第三轮齿，所述第三轮齿与齿轮啮合连接；
连接杆，所述连接杆固定连接于所述第一滑环和第二滑环之间；
滑柱，所述滑柱固定连接于所述第一滑环和第二滑环底端，所述滑柱与驱动箱内壁滑动连接。
优选的，所述一种单晶硅生产线用硅片高效清洗装置，还包括：
盖板和淋洗喷头，所述盖板扣设于所述清洗箱顶端，所述淋洗喷头连接于所述盖板内侧，并且所述淋洗喷头与循环水箱连通。
优选的，所述驱动箱内部设置有超声波发生器。
优选的，所述驱动箱内部设置有加热器，所述清洗箱侧壁环设有与加热器连接的加热管路。
优选的，若干个所述淋洗喷头均匀布置于所述盖板上，若干个所述淋洗喷头采用环形和矩形中的任意一种阵列布置方式。
优选的，所述清洗箱侧壁连接有清洗剂加注装置，内设置有清洗剂加注装置，所述清洗剂加注装置包括：
箱体，所述箱体连接于所述清洗箱侧壁，所述箱体内开设有储液腔，所述储液腔内容纳有清洗剂；
软管，所述软管水平穿设清洗箱设置，所述软管两端分别与储液腔箱和清洗箱内部连通，所述软管两端设有单向阀；
第一滑槽，所述第一滑槽开设于传动腔内壁侧端；
安装滑座，所述安装滑座滑动连接于第一滑槽内，并且所述安装滑座和箱体内壁之间连接有第一弹簧；
电动推杆，所述电动推杆安装于安装滑座内，所述电动推杆输出端向靠近清洗箱的方向延伸；
调节杆，所述调节杆数字连接于所述电动推杆输出端，所述调节杆两端分别连接有调节辊和滑块，所述调节辊靠近软管布置；
第二滑槽，所述第二滑槽开设于所述箱体内壁，所述第二滑槽设置为弧形；
第三滑槽，所述第三滑槽水平开设于所述箱体内壁，所述第三滑槽与第二滑槽首尾连接，所述第二滑槽布置于第三滑槽远离所述软管的一侧，所述第三滑槽靠近清洗箱一端的深度大于所述第二滑槽靠近清洗箱一端的深度。
优选的，所述清洗剂加注装置还包括：
圆环，所述圆环固定连接于所述箱体内壁，所述软管穿设圆环设置；
夹爪，多个所述夹爪通过转轴转动连接于所述圆环上，多个所述夹爪环绕于所述软管外侧，多个所述夹爪转轴沿圆环圆周方向均匀布置，并且多个所述夹爪前后依次交错布置；
转盘，所述转盘转动连接于所述圆环靠近调节辊的一侧，所述转盘上同轴连接有传动齿轮，所述传动齿轮凸出圆环设置；
同步带，所述同步带与多个所述夹爪和转盘固定连接；
导向杆，所述导向杆水平连接于所述箱体内壁，所述导向杆上滑动连接有L型杆，所述L型杆水平段均匀连接有若干卡齿，所述卡齿与传动齿轮啮合连接，所述导向杆上套设有第二弹簧，所述第二弹簧连接于L型杆和箱体内壁之间。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明结构示意图；
图2为本发明图1中A处局部放大结构示意图；
图3为本发明驱动箱内部结构示意图；
图4为本发明清洗剂加注装置结构示意图；
图5为本发明圆环结构示意图。
图中：1.清洗箱；2.驱动箱；3.清洗篮；4.安装座；6.盖板；7.淋洗喷头；9.循环水箱；11.双轴电机；12.第一转轴；13.防水壳；14.第二转轴；21.齿板；22.第一滑环；23.第一轮齿；24.第二轮齿；25.齿轮；26.第二滑环；27.第三轮齿；28.连接杆；29.滑柱；51.丝杠；52.毛刷座；53.毛刷；80.储液腔；81.箱体；82.软管；83.第一滑槽；84.安装滑座；85.第一弹簧；86.电动推杆；87.调节杆；88.调节辊；89.滑块；810.第二滑槽；811.第三滑槽；812.圆环；813.夹爪；814.转盘；815.传动齿轮；816.同步带；817.导向杆；818.L型杆；819.第二弹簧。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例
下面将结合附图对本发明做进一步描述。
如图1-5所示，本实施例提供的一种单晶硅生产线用硅片高效清洗装置，包括：
清洗箱1，所述清洗箱1底端连接有驱动箱2，所述清洗箱1侧端连通有循环水箱9，所述清洗箱1内底部安装有安装座4，所述安装座4上可拆卸安装有清洗篮3，所述清洗箱1侧壁连接有清扫装置，所述安装座4和清扫装置底端与驱动箱2连接。
本发明的工作原理为：
本发明提供一种单晶硅生产线用硅片高效清洗装置，使用时，将待清洗的硅片放置于清洗篮3中，并将清洗篮3安装于安装座4内，在清洗箱1内注入清洗液，启动驱动箱2同时驱动安装座4和清扫装置，带动安装座4和清洗篮3转动，使清洗篮3内的硅片与清洗液充分接触，清洗篮3转动同时，硅片在清洗液的压力作用下发生晃动，使清洗液能够进入硅片间隙，清扫装置在清洗篮3外侧进行清扫，将清洗产生的杂质清除，避免杂质堆积在清洗篮3侧壁发生堵塞。
本发明的有益效果为：
本发明提供的一种单晶硅生产线用硅片高效清洗装置，采用驱动箱2同时驱动安装座4和清扫装置，使清洗液能够进入硅片间隙，增加了硅片和清洗液的接触面积，提高清洗效果，避免杂质堆积在清洗篮3侧壁发生堵塞，提高清洗篮3的洁净度，加速杂质的沉降，减少了人工清理难度，集成度高，便于控制。
如图1、2所示，在一个实施例中，所述清洗箱1内壁底端安装有双轴电机11，所述双轴电机11顶端的输出端竖直连接有第一转轴12，所述第一转轴12与安装座4固定连接，所述安装座4呈U型设置，并且所述安装座4底部镂空，所述双轴电机11外侧扣设有防水壳13。
上述技术方案的工作原理和有益效果为：
清洗装置使用时，将待清洗的硅片放置于清洗篮3中，并将清洗篮3安装于安装座4内，在清洗箱1内注入清洗液，启动双轴电机11，双轴电机11运转驱动第一转轴12转动，从而带动安装座4和清洗篮3转动，使清洗篮3内的硅片与清洗液充分接触，清洗篮3转动同时，硅片在清洗液的压力作用下发生晃动，使清洗液能够进入硅片间隙，增加了硅片和清洗液的接触面积，提高清洗效果，将安装座4设置为U型，便于清洗篮3的安装，并且清洗篮3镂空设置，安装座4底部镂空，清洗下的杂质能够通过镂空处排出，避免杂质在清洗篮3内堆积，对清洗后的硅片发生二次污染，有效提高了硅片的清洗效果和清洗篮3的洁净度，清洗效率高。
如图1所示，在一个实施例中，所述清扫装置包括：
丝杠51、毛刷座52和毛刷53，所述丝杠51转动连接于所述清洗箱1内壁，并且所述丝杠51竖直布置，所述毛刷座52螺接于所述丝杠51外侧，并且所述毛刷座52滑动连接于所述清洗箱1内壁，所述毛刷座52靠近清洗篮3的一侧连接有毛刷53，所述清扫装置至少设置为一组，多组所述清扫装置之间通过带传动连接。
上述技术方案的工作原理和有益效果为：
清扫装置使用时，丝杠51在驱动箱2的驱动下左右循环转动，丝杠51与毛刷座52螺接，带动毛刷座52在清洗箱1内壁上下滑动，毛刷53与清洗篮3接触并上下滑动，同时清洗过程中清洗篮3旋转，毛刷53在清洗篮3外侧进行清扫，将清洗产生的杂质清除，避免杂质堆积在清洗篮3侧壁发生堵塞，提高了清洗篮3的洁净度，进一步提高了硅片的清洗效果，同时加速杂质的沉降，减少了人工清理难度。
如图1、3所示，在一个实施例中，所述驱动箱2包括：
第二转轴14，所述第二转轴14连接于所述双轴电机11底端的输出端，并且所述第二转轴14穿设所述清洗箱1延伸至驱动箱2内；
齿板21，所述齿板21连接于所述第二转轴14底端，所述齿板21外圆布置有不完全轮齿；
第一滑环22，所述第一滑环22套设于所述齿板21外侧，并且所述第一滑环22内圈直线段均匀布置有第一轮齿23和第二轮齿24，所述第一轮齿23和第二轮齿24相对布置，所述第一轮齿23和第二轮齿24与齿板21适应设置，所述齿板21啮合连接于所述第一滑环22内部；
齿轮25，所述齿轮25连接于所述丝杠51底端，所述丝杠51穿设所述清洗箱1延伸至驱动箱2内；
第二滑环26，所述第二滑环26套设于所述齿轮25外侧，所述第二滑环26内壁均匀布置有第三轮齿27，所述第三轮齿27与齿轮25啮合连接；
连接杆28，所述连接杆28固定连接于所述第一滑环22和第二滑环26之间；
滑柱29，所述滑柱29固定连接于所述第一滑环22和第二滑环26底端，所述滑柱29与驱动箱2内壁滑动连接。
上述技术方案的工作原理和有益效果为：
驱动箱2使用时，启动双轴电机11，双轴电机11驱动第二转轴14转轴，带动齿板21转动，初始状态时，齿板21的不完全轮齿位于第一滑环22的直线段，不完全轮齿与第一轮齿23啮合，使第一滑环22水平向左移动，同时带动第二滑环26向左移动，第二滑环26的第三轮齿27与齿轮25啮合，带动齿轮25转动，从而带动丝杠51转动，使毛刷53向上移动，当齿板21转动至不完全轮齿与第一轮齿23脱离啮合，齿板21继续转动，使不完全轮齿与第二轮齿24啮合，带动第一滑环22水平向右运动，同时带动第二滑环26向右移动，从而带动毛刷53向下移动，当齿板21转动至不完全轮齿与第二轮齿24脱离啮合，齿板21继续转动，使不完全轮齿与第一轮齿23啮合，从而实现毛刷53的上下循环运动。
通过驱动箱2的设置，在双轴电机11的驱动下，在实现清洗篮3转动同时，将第二转轴14的单向转动转化为毛刷53的上下循环移动，有效实现了清洗篮3和毛刷53的同步动作，装置结构简单，传力路径清晰，运行稳定，采用同一个动力源，同步性更好，避免了资源浪费，便于控制。
如图1所示，在一个实施例中，所述一种单晶硅生产线用硅片高效清洗装置，还包括：盖板6和淋洗喷头7，所述盖板6扣设于所述清洗箱1顶端，所述淋洗喷头7连接于所述盖板6内侧，并且所述淋洗喷头7与循环水箱9连通。
上述技术方案的工作原理和有益效果为：
在清洗箱1顶端设置盖板6，当进行清洗操作时，将盖板6扣设在清洗箱1上方，防止清洗过程中清洗液从清洗箱1上方喷溅出来，能够对清洗过程进行防护，避免误操作，同时在盖板6上设置淋洗喷头7，淋洗喷头7与循环水箱9连通，在清洗过程中通过淋洗喷头7将循环水箱9中的清洗液向清洗篮3中喷洒，使清洗液与硅片充分接触，硅片上杂质顺着硅片表面流走，操作过程中喷淋清洗和浸洗交替进行，避免单独使用喷淋清洗和浸洗过程中，相邻硅片贴合在一起导致的清洗不完全的情况，有效提高了清洗效果，并且清洗液循环使用，减少清洗液的浪费。
在一个实施例中，所述驱动箱2内部设置有超声波发生器。
上述技术方案的工作原理和有益效果为：
声波在液体中传播，使液体与清洗槽在超声波频率下一起振动，液体与清洗槽振动时有自己固有频率，超声波清洗机原理由超声波发生器发出的高频振荡信号，通过换能器转换成高频机械振荡而传播到清洗液中，超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射，使液体流动而产生数以万计的直径为50-500μm的微小气泡，存在于液体中的微小气泡在声场的作用下振动，当团体粒子被油污裹着而黏附在清洗件表面时，油被乳化，固体粒子脱离，从而达到清洗件净化的目的，采用超声波进行清洗，清洗效果好，操作简单，降低了人工清洗的难度，大幅缩减工作量。
在一个实施例中，所述驱动箱2内部设置有加热器，所述清洗箱1侧壁环设有与加热器连接的加热管路。
上述技术方案的工作原理和有益效果为：
在驱动箱2内部设置加热器，当进行浸洗时，启动加热器，通过加热管路对清洗箱1内部进行加热，清洗液温度升高，使清洗液中的清洗剂保持活性，降低环境温度对清洗剂的影响，提高清洗效果。
在一个实施例中，若干个所述淋洗喷头7均匀布置于所述盖板6上，若干个所述淋洗喷头采用环形和矩形中的任意一种阵列布置方式。
上述技术方案的工作原理和有益效果为：
将淋洗喷头7均匀布置于盖板6上，并将其设置为环形和矩形中的任意一种阵列布置方式，保证淋洗喷头7在喷洒过程中的喷淋面积，是淋洗过程能够充分覆盖清洗篮3，减少喷淋死角，进一步提高喷淋效果。
如图4、5所示，在一个实施例中，所述循环水箱9内设置有清洗剂加注装置，所述清洗剂加注装置包括：
所述清洗箱1侧壁连接有清洗剂加注装置，内设置有清洗剂加注装置，所述清洗剂加注装置包括：
箱体81，所述箱体81连接于所述清洗箱1侧壁，所述箱体81内开设有储液腔80，所述储液腔80内容纳有清洗剂；
软管82，所述软管82水平穿设清洗箱1设置，所述软管82两端分别与储液腔箱和清洗箱1内部连通，所述软管82两端设有单向阀；
第一滑槽83，所述第一滑槽83开设于传动腔内壁侧端；
安装滑座84，所述安装滑座84滑动连接于第一滑槽83内，并且所述安装滑座84和箱体81内壁之间连接有第一弹簧85；
电动推杆86，所述电动推杆86安装于安装滑座84内，所述电动推杆86输出端向靠近清洗箱1的方向延伸；
调节杆87，所述调节杆87数字连接于所述电动推杆86输出端，所述调节杆87两端分别连接有调节辊88和滑块89，所述调节辊88靠近软管82布置；
第二滑槽810，所述第二滑槽810开设于所述箱体81内壁，所述第二滑槽810设置为弧形；
第三滑槽811，所述第三滑槽811水平开设于所述箱体81内壁，所述第三滑槽811与第二滑槽810首尾连接，所述第二滑槽810布置于第三滑槽811远离所述软管82的一侧，所述第三滑槽811靠近清洗箱1一端的深度大于所述第二滑槽810靠近清洗箱1一端的深度。
如图5所示，在一个实施例中，所述清洗剂加注装置还包括：
圆环812，所述圆环812固定连接于所述箱体81内壁，所述软管82穿设圆环812设置；
夹爪813，多个所述夹爪813通过转轴转动连接于所述圆环812上，多个所述夹爪813环绕于所述软管82外侧，多个所述夹爪813转轴沿圆环812圆周方向均匀布置，并且多个所述夹爪813前后依次交错布置；
转盘814，所述转盘814转动连接于所述圆环812靠近调节辊88的一侧，所述转盘814上同轴连接有传动齿轮815，所述传动齿轮815凸出圆环812设置；
同步带816，所述同步带816与多个所述夹爪813和转盘814固定连接；
导向杆817，所述导向杆817水平连接于所述箱体81内壁，所述导向杆817上滑动连接有L型杆818，所述L型杆818水平段均匀连接有若干卡齿，所述卡齿与传动齿轮815啮合连接，所述导向杆817上套设有第二弹簧819，所述第二弹簧819连接于L型杆818和箱体81内壁之间。
上述技术方案的工作原理和有益效果为：
清洗箱1侧壁设置有清洗剂加注装置，通过清洗剂加注装置将清洗剂注入到清洗箱1的清洗液内，使用时，电动推杆86安装在安装滑座84内，在第一弹簧85的拉力作用下，安装滑座84保持向远离软管82方向移动的趋势，即电动推杆86有向远离软管82方向移动的趋势，软管82上设置有单向阀，清洗剂只能依次流经储液腔80、软管82和清洗箱1，清洗剂在无压力状态时不流出，当清洗剂受到的压力超过单向阀阻力值时，清洗剂流出，清洗剂流出后，储液腔80自动向软管82内补充清洗剂，启动电动推杆86向外伸出，电动推杆86驱动调节杆87移动，使调节杆87的滑块89在第二滑槽810内滑动，使调节杆87的调节辊88与软管82分离，软管82中的清洗剂不流出；电动推杆86继续动作，当调节杆87移动到靠近清洗箱1的一端时，滑块89进入第三滑槽811内，由于第三滑槽811顶端深度大于第二滑槽810顶端深度，启动电动推杆86向内收回，带动调节杆87沿第三滑槽811移动，
软管82穿过圆环812，当调节杆87在第二滑槽810内滑动时，夹爪813与软管82不接触，调节杆87与L型杆818分离，当调节杆87移动到第三滑槽811内后，调节杆87与L型杆818卡接，L型杆818在调节杆87的带动下向远离清洗箱1的方向移动，调节杆87水平段的卡齿与传动齿轮815啮合传动，使传动齿轮815转动，带动转盘814转动，转盘814通过同步带816带动夹爪813转动，夹爪813将软管82夹紧，对软管82内清洁剂进行加压，从而使清洗剂从软管82中流出至清洗箱1内部。
当滑块89移动到第三滑槽811远离清洗箱1的一端时，滑块89从第三滑槽811回到第二滑槽810内，循环上述动作。
通过上述结构设计，在循环水箱9内设置清洗剂加注装置，通过控制电动推杆86的伸出和收回，实现了对清洗剂的循环加注，使清洗剂在加注预设量后延迟一段时间，给清洗剂预留足够的时间溶解在清洗液中，有助于清洗剂中有效成分与硅片充分接触，避免清洗剂堆积在软管82出口附近，减少清洗剂的浪费，降低成本，在对软管82夹紧的过程中，由于多个夹爪813环绕软管82，并且间隔布置，能够使对软管82夹紧时均匀受力，减少软管82的局部应力集中，有效避免软管82破损，并且提供足够的加压面积，保证清洗剂的流出压力。
在一个实施例中，所述保护组件还包括：
计数器，所述计数器安装于所述箱体81内，用于检测所述第一弹簧85的循环工作次数；
警报器，所述警报器安装于所述驱动箱2外表面，用于对所述第一弹簧85剩余寿命情况进行报警；
控制器，所述控制器与计数器和警报器电性连接；
所述控制器通过预设算法控制所述警报器工作，所述预设算法包括以下步骤：
步骤A1：所述计数器检测得到所述第一弹簧85的已循环工作次数t，将已循环工作次数t传送至控制器；
步骤A2：计算所述第一弹簧85在已循环工作次数t的情况下，剩余寿命的分布函数Ft(x)表达式为：
其中，x为所述第一弹簧85的剩余疲劳寿命，N0为最小寿命参数，Na为特征寿命，b为形状参数，N0、Na和b通过疲劳试验确定；
步骤A3：计算所述第一弹簧85在已循环工作次数t的情况下，达到预设寿命的可靠度R为：
其中，N为所述第一弹簧85的预设寿命；
步骤A4：所述控制器对第一弹簧85达到预设寿命的可靠度进行判断，根据判断结果对警报器进行控制：
其中，FRU表示控制结果，A表示警报器关闭，B表示警报器报警，R0表示预设的所述第一弹簧85达到预设寿命的可靠度最小值；
步骤A5：所述警报器执行控制结果。
上述技术方案的工作原理及有益效果为：
在进行水流调节时，第一弹簧85被拉伸和挤压，频繁使用会造成疲劳失效，当第一弹簧85失效时再进行更换增加了使用过程中的风险，因此，通过计数器对第一弹簧85的使用次数进行监控，并通过预设算法，对第一弹簧85的剩余寿命分布函数进行计算，求出达到预设寿命的可靠度，可靠度随工作次数的增加逐渐减小，当可靠度低于预设值时，表明第一弹簧85接近寿命极限，需要对第一弹簧85进行更换，为使用者提供指示，避免第一弹簧85过度使用使电动推杆86无法按预设路径移动，防止第一弹簧85失效导致清洗剂加注功能失效。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。
Claims (4)
1.一种单晶硅生产线用硅片高效清洗装置，其特征在于，包括：清洗箱(1)，所述清洗箱(1)底端连接有驱动箱(2)，所述清洗箱(1)侧端连通有循环水箱(9)，所述清洗箱(1)内底部安装有安装座(4)，所述安装座(4)上可拆卸安装有清洗篮(3)，所述清洗箱(1)侧壁连接有清扫装置，所述安装座(4)和清扫装置底端与驱动箱(2)连接；
还包括：盖板(6)和淋洗喷头(7)，所述盖板(6)扣设于所述清洗箱(1)顶端，所述淋洗喷头(7)连接于所述盖板(6)内侧，并且所述淋洗喷头(7)与循环水箱(9)连通；
所述清洗箱(1)侧壁连接有清洗剂加注装置，内设置有清洗剂加注装置，所述清洗剂加注装置包括：
箱体(81)，所述箱体(81)连接于所述清洗箱(1)侧壁，所述箱体(81)内开设有储液腔(80)，所述储液腔(80)内容纳有清洗剂；
软管(82)，所述软管(82)水平穿设清洗箱(1)设置，所述软管(82)两端分别与储液腔箱和清洗箱(1)内部连通，所述软管(82)两端设有单向阀；
第一滑槽(83)，所述第一滑槽(83)开设于传动腔内壁侧端；
安装滑座(84)，所述安装滑座(84)滑动连接于第一滑槽(83)内，并且所述安装滑座(84)和箱体(81)内壁之间连接有第一弹簧(85)；
电动推杆(86)，所述电动推杆(86)安装于安装滑座(84)内，所述电动推杆(86)输出端向靠近清洗箱(1)的方向延伸；
调节杆(87)，所述调节杆(87)数字连接于所述电动推杆(86)输出端，所述调节杆(87)两端分别连接有调节辊(88)和滑块(89)，所述调节辊(88)靠近软管(82)布置；
第二滑槽(810)，所述第二滑槽(810)开设于所述箱体(81)内壁，所述第二滑槽(810)设置为弧形；
第三滑槽(811)，所述第三滑槽(811)水平开设于所述箱体(81)内壁，所述第三滑槽(811)与第二滑槽(810)首尾连接，所述第二滑槽(810)布置于第三滑槽(811)远离所述软管(82)的一侧，所述第三滑槽(811)靠近清洗箱(1)一端的深度大于所述第二滑槽(810)靠近清洗箱(1)一端的深度；
圆环(812)，所述圆环(812)固定连接于所述箱体(81)内壁，所述软管(82)穿设圆环(812)设置；
夹爪(813)，多个所述夹爪(813)通过转轴转动连接于所述圆环(812)上，多个所述夹爪(813)环绕于所述软管(82)外侧，多个所述夹爪(813)转轴沿圆环(812)圆周方向均匀布置，并且多个所述夹爪(813)前后依次交错布置；
转盘(814)，所述转盘(814)转动连接于所述圆环(812)靠近调节辊(88)的一侧，所述转盘(814)上同轴连接有传动齿轮(815)，所述传动齿轮(815)凸出圆环(812)设置；
同步带(816)，所述同步带(816)与多个所述夹爪(813)和转盘(814)固定连接；
导向杆(817)，所述导向杆(817)水平连接于所述箱体(81)内壁，所述导向杆(817)上滑动连接有L型杆(818)，所述L型杆(818)水平段均匀连接有若干卡齿，所述卡齿与传动齿轮(815)啮合连接，所述导向杆(817)上套设有第二弹簧(819)，所述第二弹簧(819)连接于L型杆(818)和箱体(81)内壁之间；
所述清洗箱(1)内壁底端安装有双轴电机(11)，所述双轴电机(11)顶端的输出端竖直连接有第一转轴(12)，所述第一转轴(12)与安装座(4)固定连接，所述安装座(4)呈U型设置，并且所述安装座(4)底部镂空，所述双轴电机(11)外侧扣设有防水壳(13)；
所述清扫装置包括：丝杠(51)、毛刷座(52)和毛刷(53)，所述丝杠(51)转动连接于所述清洗箱(1)内壁，并且所述丝杠(51)竖直布置，所述毛刷座(52)螺接于所述丝杠(51)外侧，并且所述毛刷座(52)滑动连接于所述清洗箱(1)内壁，所述毛刷座(52)靠近清洗篮(3)的一侧连接有毛刷(53)，所述清扫装置至少设置为一组，多组所述清扫装置之间通过带传动连接；
所述驱动箱(2)包括：
第二转轴(14)，所述第二转轴(14)连接于所述双轴电机(11)底端的输出端，并且所述第二转轴(14)穿设所述清洗箱(1)延伸至驱动箱(2)内；
齿板(21)，所述齿板(21)连接于所述第二转轴(14)底端，所述齿板(21)外圆布置有不完全轮齿；
第一滑环(22)，所述第一滑环(22)套设于所述齿板(21)外侧，并且所述第一滑环(22)内圈直线段均匀布置有第一轮齿(23)和第二轮齿(24)，所述第一轮齿(23)和第二轮齿(24)相对布置，所述第一轮齿(23)和第二轮齿(24)与齿板(21)适应设置，所述齿板(21)啮合连接于所述第一滑环(22)内部；
齿轮(25)，所述齿轮(25)连接于所述丝杠(51)底端，所述丝杠(51)穿设所述清洗箱(1)延伸至驱动箱(2)内；
第二滑环(26)，所述第二滑环(26)套设于所述齿轮(25)外侧，所述第二滑环(26)内壁均匀布置有第三轮齿(27)，所述第三轮齿(27)与齿轮(25)啮合连接；
连接杆(28)，所述连接杆(28)固定连接于所述第一滑环(22)和第二滑环(26)之间；
滑柱(29)，所述滑柱(29)固定连接于所述第一滑环(22)和第二滑环(26)底端，所述滑柱(29)与驱动箱(2)内壁滑动连接。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产线用硅片高效清洗装置，其特征在于，所述驱动箱(2)内部设置有超声波发生器。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产线用硅片高效清洗装置，其特征在于，所述驱动箱(2)内部设置有加热器，所述清洗箱(1)侧壁环设有与加热器连接的加热管路。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产线用硅片高效清洗装置，其特征在于，若干个所述淋洗喷头(7)均匀布置于所述盖板(6)上，若干个所述淋洗喷头采用环形和矩形中的任意一种阵列布置方式。
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