CN115858541B - 工艺配方参数的处理方法及装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及数据处理的技术领域，提供了一种工艺配方参数的处理方法及装置，其中方法包括：获取CVD工艺设备的工艺配方参数及数据，其中，所述工艺配方参数包括温度、压力、流量、电流、电压；针对所述CVD工艺设备的每个工艺配方，系统将创建一个唯一对应的配方编号；将所述工艺配方参数与其对应的配方编号关联存储在工艺配方参数库中；最后生成一个二维码，并在所述二维码中存储所述配方编号；其中，所述二维码用于设置在与所述配方编号所对应的产品上。本发明中只需要扫描二维码则可以从中获取对应的配方编号，从而从工艺配方参数库获取对应配方编号的工艺配方参数，无需工作人员手动输入，有利于提高生产效率及准确率。

Description

工艺配方参数的处理方法及装置

技术领域

本发明涉及数据处理的技术领域，特别涉及一种工艺配方参数的处理方法及装置。

背景技术

CVD工艺设备是半导体技术行业中一种重要的工艺设备，其用于对相关的半导体产品/材料进行工艺处理，处理过程中通常具备高温高压的特性。CVD工艺设备在对不同产品/材料进行处理时，其采用的工艺流程有所不同，即处理过程中的各项参数形成的工艺配方不同。目前，在每次进行工艺处理之前，需要工作人员手动输入工艺配方参数，操作繁琐，不利于提高生产效率和准确率。

发明内容

本发明的主要目的为提供一种工艺配方参数的处理方法及装置，旨在克服需要工作人员手动输入工艺配方参数的缺陷。

为实现上述目的，本发明提供了一种工艺配方参数的处理方法，应用于CVD工艺设备，包括以下步骤：

获取CVD工艺设备的工艺配方参数；其中，所述工艺配方参数包括多个参数：温度、压力、流量、电流、电压；

针对所述CVD工艺设备的工艺配方参数，创建一个唯一对应的配方编号；建立所述配方编号与所述CVD工艺设备及工艺配方参数的对应关系；

将所述工艺配方参数与其对应的配方编号关联存储在工艺配方参数库中；

生成一个二维码，并在所述二维码中存储所述配方编号。

进一步地，所述生成一个二维码，并在所述二维码中存储所述配方编号的步骤之后，包括：

在所述CVD工艺设备上设置的二维码被扫描时，识别出所述二维码中存储的配方编号；

根据识别出的所述配方编号，在所述工艺配方参数库中查找对应的工艺配方参数。

进一步地，所述针对所述CVD工艺设备的工艺配方参数，创建一个唯一对应的配方编号的步骤，包括：

遍历工艺配方参数库中存储的配方编号，并从中获取配方编号中的最大值；

在配方编号中的最大值的基础上加1，得到的数字作为所述工艺配方参数对应的配方编号。

进一步地，所述针对所述CVD工艺设备的工艺配方参数，创建一个唯一对应的配方编号的步骤，包括：

根据所述工艺配方参数中各个参数的类型对各个所述参数进行分类；其中，所述分类包括数值参数以及名称参数，所述数值参数包括参数名称以及参数对应的数值，所述名称参数包括参数名称；

针对各个所述数值参数，基于所述数值参数的参数名称以及数值生成各个所述数值参数对应的第一参数编码；

针对各个所述名称参数，基于所述名称参数的参数名称生成各个所述名称参数对应的第二参数编码；

按照预设规则，对各个所述数值参数对应的第一参数编码以及各个所述名称参数对应的第二参数编码进行编码，得到所述配方编号。

进一步地，所述针对各个所述数值参数，基于所述数值参数的参数名称以及数值生成各个所述数值参数对应的第一参数编码的步骤，包括：

针对各个所述数值参数，根据数据库中存储的参数名称与名称代号的映射关系，获取各个所述数值参数的参数名称所对应的名称代号；其中，所述名称代号为大写英文字母；

采用预设的进制编码表，对所述数值参数中的数值进行进制转换得到对应的编码值；其中，所述进制编码表基于各个所述数值参数的参数名称所对应的名称代号所生成；

将各个所述数值参数对应的名称代号以及编码值进行串接，得到对应的所述第一参数编码。

进一步地，所述采用预设的进制编码表，对所述数值参数中的数值进行进制转换得到对应的编码值的步骤之前，包括：

获取数据库中存储的标准进制编码表；其中，所述标准进制编码表中包括序列数字与编码值的映射关系；其中，所述编码值包括小写的英文字母以及数字；

按照预设的排列规则，对各个所述数值参数的参数名称所对应的名称代号进行排序，得到代号序列；

将所述代号序列中的大写英文字母全部转换为小写英文字母，得到转换序列；

将所述标准进制编码表中对应所述转换序列中的小写英文字母全部取出，得到多个空位，并查找出所述标准进制编码表中的首个空位；

将所述转换序列中的小写英文字母全部由所述首个空位中插入，并将所述首个空位之后的所有编码值向后平移，以完全填充所述标准进制编码表，得到重新编排的进制编码表，作为所述预设的进制编码表。

进一步地，所述按照预设规则，对各个所述数值参数对应的第一参数编码以及各个所述名称参数对应的第二参数编码进行编码，得到所述配方编号的步骤，包括：

获取所述第一参数编码的第一数量以及所述第二参数编码的第二数量；

判断所述第一数量与所述第二数量的大小；

若所述第一数量大于或等于所述第二数量，则按照预设排序规则，将各个所述第一参数编码以及各个所述第二参数编码依次进行串接，得到串接的字符串；若第一数量小于所述第二数量，则按照预设排序规则，将各个所述第二参数编码以及各个所述第一参数编码依次进行串接，得到串接的字符串；

获取所述字符串中的字符数量，检测所述字符数量所处的数量区间；其中，所述数量区间包括预设的第一区间与第二区间，所述第一区间小于所述第二区间；

若处于第一区间，则采用Base32编码表对所述字符串进行逆编码，得到所述配方编号；

若处于第二区间，则采用Base64编码表对所述字符串进行逆编码，得到所述配方编号。

本发明还提供了一种工艺配方参数的处理装置，应用于CVD工艺设备，包括：

工艺获取单元，用于获取CVD工艺设备的工艺配方参数；其中，所述工艺配方参数包括：温度、压力、流量、电流、电压；

创建单元，用于针对所述CVD工艺设备的工艺配方参数，创建一个对应的配方编号；建立所述配方编号与所述CVD工艺设备及工艺配方参数的对应关系；

存储单元，用于将所述工艺配方参数与其对应的配方编号关联存储在工艺配方参数库中；

生成单元，用于生成一个二维码，并在所述二维码中存储所述配方编号。

进一步地，所述创建单元，包括：

分类子单元，用于根据所述工艺配方参数中各个参数的类型对各个所述参数进行分类；其中，所述分类包括数值参数以及名称参数，所述数值参数包括参数名称以及参数对应的数值，所述名称参数包括参数名称；

第一生成子单元，用于针对各个所述数值参数，基于所述数值参数的参数名称以及数值生成各个所述数值参数对应的第一参数编码；

第二生成子单元，用于针对各个所述名称参数，基于所述名称参数的参数名称生成各个所述名称参数对应的第二参数编码；

编码子单元，用于按照预设规则，对各个所述数值参数对应的第一参数编码以及各个所述名称参数对应的第二参数编码进行编码，得到所述配方编号。

本发明提供的工艺配方参数的处理方法及装置，通过获取CVD工艺设备的工艺配方参数，并针对所述CVD工艺设备的工艺配方参数，创建一个对应的配方编号；将所述工艺配方参数与其对应的配方编号关联存储在工艺配方参数库中；最后生成一个二维码，并在所述二维码中存储所述配方编号；使得只需要扫描二维码则可以从中获取对应的配方编号，从而从工艺配方参数库获取对应配方编号的工艺配方参数，无需工作人员手动输入，有利于提高生产效率和准确率。

附图说明

图1是本发明一实施例中工艺配方参数的处理方法步骤示意图；

图2是本发明另一实施例中工艺配方参数的处理方法步骤示意图；

图3是图1中的步骤S2的具体步骤示意图；

图4是本发明一实施例中工艺配方参数的处理装置结构框图；

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

参照图1，本发明一实施例中提供了一种工艺配方参数的处理方法，应用于CVD工艺设备，包括以下步骤：

步骤S1，获取CVD工艺设备的工艺配方参数；其中，所述工艺配方参数包括多个参数：温度、压力、流量、电流、电压；

步骤S2，针对所述CVD工艺设备的工艺配方参数，创建一个唯一对应的配方编号；建立所述配方编号与所述CVD工艺设备及工艺配方参数的对应关系；

步骤S3，将所述工艺配方参数与其对应的配方编号关联存储在工艺配方参数库中；

步骤S4，生成一个二维码，并在所述二维码中存储所述配方编号。

在本实施例中，上述工艺配方参数的处理方法用于将CVD工艺设备的工艺配方参数存储在工艺配方参数库中，并在CVD工艺设备上生成二维码，而该二维码关联上述CVD工艺设备的工艺配方参数，后续需要在该CVD工艺设备上进行工艺处理时，只需要扫描二维码获取上述工艺配方参数，无需工作人员手动输入，节省了人力操作时间，提升工作效率和准确率。

具体地，如上述步骤S1所述的，上述CVD工艺设备在进行工艺处理的时候，需要设置好各个参数，并配置好各个参数之间的工艺配方，上述参数包括CVD工艺设备内的温度、压力、电流、电压、气体种类（如氩气、氢气）以及气体流量等，其它实施例中还可以包括加热时间、沉积时间、充气时间等多个参数，在此不进行一一赘述。

如上述步骤S2所述的，不同的CVD工艺设备在处理不同的产品时，具备不同的工艺配方参数，针对每一台CVD工艺设备的每一条工艺配方参数，均创建一个唯一的配方编号，该配方编号作为该工艺配方参数的标识信息，可以理解的是，获取到该配方编号，则可以获取到对应的工艺配送参数，同时还可以获取到对应的CVD工艺设备。

如上述步骤S3所述的，为了后续便于查询配方编号所对应的工艺配方参数，需要将上述工艺配方参数与其对应的配方编号关联存储在工艺配方参数库中。可以理解的是，可以采用映射表的形式管理存储上述工艺配方参数与其对应的配方编号。

如上述步骤S4所述的，为了方便工作人员在使用上述CVD工艺设备时，快速获取到对应的配方编号，可以在上述CVD工艺设备上设置有一个二维码，而该二维码中存储了上述配方编号。工作人员只需要扫描上述二维码，便可以获取到配方编号，从而获取到对应的工艺配方参数，进而根据对应的工艺配方参数进行工艺处理。在上述过程中，无需工作人员手动输入任何工艺参数，节省了人力成本，可显著提高生产效率和准确率。

参照图2，在一实施例中，所述生成一个二维码，并在所述二维码中存储所述配方编号的步骤S4之后，包括：

在所述CVD工艺设备上设置的二维码被扫描时，识别出所述二维码中存储的配方编号；

根据识别出的所述配方编号，在所述工艺配方参数库中查找对应的工艺配方参数。

本实施例中，即是说明上述二维码被设置在CVD工艺设备上之后，如何获取到具体的配方编号以及配方编号对应的工艺配方参数，基于上述二维码，方便了工作人员简化操作，提升了工作效率。

在一实施例中，所述针对所述CVD工艺设备的工艺配方参数，创建一个唯一对应的配方编号的步骤S2，包括：

步骤S2a，遍历工艺配方参数库中存储的配方编号，并从中获取配方编号中的最大值；

步骤S2b，在配方编号中的最大值的基础上加1，得到的数字作为所述工艺配方参数对应的配方编号。

在本实施例中，针对CVD工艺设备的工艺配方参数，创建配方编号，采用的是简单的数字编号，例如，01、12、101等，或者也可以添加字母标识形成对应的配方编号，例如G01、G12等形式。上述配方编号创建时，需要按照数字的大小顺序依次生成，即每一次生成的配方编号都可以在上一次生成的配方编号的数字上加1。即每一次创建好配方编号之后，该配方编号都是工艺配方参数库中最大的编号。

参照图3，在另一实施例中，所述针对所述CVD工艺设备的工艺配方参数，创建一个唯一对应的配方编号的步骤S2，包括：

步骤S21，根据所述工艺配方参数中各个参数的类型对各个所述参数进行分类；其中，所述分类包括数值参数以及名称参数，所述数值参数包括参数名称以及参数对应的数值，所述名称参数包括参数名称；可以理解的是，上述参数中具有数值的则为上述数值参数，例如温度、压力、气流流量均为数值参数；而上述只包括名称的参数则为名称参数，例如气体种类。

步骤S22，针对各个所述数值参数，基于所述数值参数的参数名称以及数值生成各个所述数值参数对应的第一参数编码；

步骤S23，针对各个所述名称参数，基于所述名称参数的参数名称生成各个所述名称参数对应的第二参数编码；可以理解的是，上述第二参数编码的生成方式可以与上述第一参数编码生成过程中，数值参数的参数名称转换过程一致。

步骤S24，按照预设规则，对各个所述数值参数对应的第一参数编码以及各个所述名称参数对应的第二参数编码进行编码，得到所述配方编号。

在本实施例中，提出了另一种创建配方编号的方案。在上一实施例中，其配方编号采用简单的编号形式，虽然方式简单，但是编号中不能携带任何与参数相关的内容。因此，在本实施例中，提出一种配方编号的创建方式，其在创建过程中，结合了工艺配方参数中各个参数的类型属性，针对不同类型的参数，采用了不同的参数编码生成过程，最后，将所有参数分别生成的编码进行了融合，得到上述配方编号。使得该配方编号中可以表达出多种信息，根据该配方编号便可以得到许多与工艺参数相关的参考信息，这在后续的工艺处理过程中，具体很高的参考价值，并且可以方便后续进行稽查。

在一实施例中，所述针对各个所述数值参数，基于所述数值参数的参数名称以及数值生成各个所述数值参数对应的第一参数编码的步骤S22，包括：

步骤S221，针对各个所述数值参数，根据数据库中存储的参数名称与名称代号的映射关系，获取各个所述数值参数的参数名称所对应的名称代号；其中，所述名称代号为大写英文字母；在本实施例中，上述数据库存储有参数名称与名称代号的映射关系，例如温度对应T，压力对应P，每个参数名称都具有唯一的名称代号。

步骤S222，采用预设的进制编码表，对所述数值参数中的数值进行进制转换得到对应的编码值；其中，所述进制编码表基于各个所述数值参数的参数名称所对应的名称代号所生成；上述进制编码表可以是互联网数据库中通用的编码表，也可以是企业数据库中自定义的进制编码表；由于上述数值参数中的数字通常较大，为了进行简化，可以对其进行进制转换，使其表达变得简短。在本实施例中，所述进制编码表是基于数值参数的参数名称所对应的名称代号所生成，这使得上述进制编码表也和上述名称代号具有了关联性，以及特有性，使得进制转换时具有独特性；后续若需要稽查时，则可以根据上述参数名称所对应的名称代号进行稽查，不仅增加了方便了数据的安全性，而且方便了稽查。

步骤S223，将各个所述数值参数对应的名称代号以及编码值进行串接，得到对应的所述第一参数编码。上述串接方式为，之间将名称代号以及编码值拼接在一起。

在一实施例中，还提供了一种自定义进制编码表的方案，具体地，所述采用预设的进制编码表，对所述数值参数中的数值进行进制转换得到对应的编码值的步骤S222之前，包括：

a、获取数据库中存储的标准进制编码表；其中，所述标准进制编码表中包括序列数字与编码值的映射关系；其中，所述编码值包括小写的英文字母以及数字；

在本实施例中，上述标准进制编码表用于进行进制转换，例如其为32进制编码表，则在该32进制编码表中包括的序列数字为0-31，每一个序列数字对应一个编码值，而上述编码值为小写的英文字母以及数字。

例如下表1：

序列数字	编码值	序列数字	编码值	序列数字	编码值	序列数字	编码值
								0	a	8	i	16	q	24	y
1	b	9	j	17	r	25	z
								2	c	10	k	18	s	26	1
3	d	11	l	19	t	27	2
								4	e	12	m	20	u	28	3
5	f	13	n	21	v	29	4
								6	g	14	o	22	w	30	5
7	h	15	p	23	x	31	6

b、按照预设的排列规则，对各个所述数值参数的参数名称所对应的名称代号进行排序，得到代号序列；上述排列规则包括根据上述名称代号在英文字母中的排序规则，或者根据上述参数名称的拼音排序规则。例如上述参数名称为温度、压力，其对应的名称代号为T、P；若按照参数名称的拼音排序规则，则上述代号序列为{T、P}。

c、将所述代号序列中的大写英文字母全部转换为小写英文字母，得到转换序列；将代号序列{T、P}转换得到上述转换序列为{t、p}。之所以需要进行上述转换，是因为在上述标准进制编码表中不包括大写英文字母，因此需要对上述代号序列进行大小写转换。

d、将所述标准进制编码表中对应所述转换序列中的小写英文字母全部取出，得到多个空位，并查找出所述标准进制编码表中的首个空位；例如，在本实施例中，上述转换序列为{ t、p }，则只需要将上述标准进制编码表对应p、t的编码值将其取出，则留出两个空位，即序列数字15以及19所对应的编码值位置。其中，首个空位位序列数字15对应的编码值位置。

e、将所述转换序列中的小写英文字母全部由所述首个空位中插入，并将所述首个空位之后的所有编码值向后平移，以完全填充所述标准进制编码表，得到重新编排的进制编码表，作为所述预设的进制编码表。

在本实施例中，将上述转换序列中的小写英文字母t、p全部由序列数字15对应的编码值位置中插入，得到重新编排后的进制编码表如下表2：

序列数字	编码值	序列数字	编码值	序列数字	编码值	序列数字	编码值
								0	a	8	i	16	p	24	y
1	b	9	j	17	q	25	z
								2	c	10	k	18	r	26	1
3	d	11	l	19	s	27	2
								4	e	12	m	20	u	28	3
5	f	13	n	21	v	29	4
								6	g	14	o	22	w	30	5
7	h	15	t	23	x	31	6

经过上述重新编排之后，上述进制编码表中部分编码值发生了变化，基于该重新编排后的进制编码表对上述数值参数中的数值进行进制转换，则可以使得转换的结果发生变化，且上述进制编码表经过重排之后，则无法被轻易破解，保障了数据的隐私性以及独特性。

在另一实施例中，所述按照预设规则，对各个所述数值参数对应的第一参数编码以及各个所述名称参数对应的第二参数编码进行编码，得到所述配方编号的步骤S24，包括：

步骤S241，获取所述第一参数编码的第一数量以及所述第二参数编码的第二数量；

步骤S242，判断所述第一数量与所述第二数量的大小；

步骤S243，若所述第一数量大于或等于所述第二数量，则按照预设排序规则，将各个所述第一参数编码以及各个所述第二参数编码依次进行串接，得到串接的字符串；若第一数量小于所述第二数量，则按照预设排序规则，将各个所述第二参数编码以及各个所述第一参数编码依次进行串接，得到串接的字符串；上述预设排序规则可以是依次将第一参数编码以及第二参数编码分别进行串接，然后再将第一参数编码串接得到的字符串与上述第二参数编码串接得到的字符串进行串接。

步骤S244，获取所述字符串中的字符数量，检测所述字符数量所处的数量区间；其中，所述数量区间包括预设的第一区间与第二区间，所述第一区间小于所述第二区间；

步骤S245，若处于第一区间，则采用Base32编码表对所述字符串进行逆编码，得到所述配方编号；

步骤S246，若处于第二区间，则采用Base64编码表对所述字符串进行逆编码，得到所述配方编号。

在本实施例中，提出一种配方编号的具体编码方式，其中编码过程中需要考虑第一参数编码的第一数量以及所述第二参数编码的第二数量，将数量多的参数编码排列在前，表达出其数据的重要性。进一步地，还需要考虑上述串接的字符串的字符数量，若字符串中的字符数量过长，则需要对其进行压缩，因此可以采用Base64编码表对所述字符串进行逆编码，得到所述配方编号；若字符串中的字符数量较少，则只需要采用Base32编码表对所述字符串进行逆编码，得到所述配方编号。采用上述处理方式，可以避免最终得到的配方编号过长。

参照图4，本发明一实施例中还提供了一种工艺配方参数的处理装置，应用于CVD工艺设备，包括：

工艺获取单元，用于获取CVD工艺设备的工艺配方参数；其中，所述工艺配方参数包括多个参数的工艺配方，所述参数至少包括所述CVD工艺设备内的温度、压力、流量、电流、电压；

创建单元，用于针对所述CVD工艺设备的工艺配方参数，创建一个对应的配方编号；建立所述配方编号与所述CVD工艺设备及工艺配方参数的对应关系；

存储单元，用于将所述工艺配方参数与其对应的配方编号关联存储在工艺配方参数库中；

生成单元，用于生成一个二维码，并在所述二维码中存储所述配方编号；其中，所述二维码用于设置在与所述配方编号所对应的所述CVD工艺设备上。

在一实施例中，上述工艺配方参数的处理装置，还包括：

识别单元，用于在所述CVD工艺设备上设置的二维码被扫描时，识别出所述二维码中存储的配方编号；

查找单元，用于根据识别出的所述配方编号，在所述工艺配方参数库中查找对应的工艺配方参数。

在一实施例中，上述创建单元，具体用于：

遍历工艺配方参数库中存储的配方编号，并从中获取配方编号中的最大值；

在配方编号中的最大值的基础上加1，得到的数字作为所述工艺配方参数对应的配方编号。

在一实施例中，所述创建单元，包括：

分类子单元，用于根据所述工艺配方参数中各个参数的类型对各个所述参数进行分类；其中，所述分类包括数值参数以及名称参数，所述数值参数包括参数名称以及参数对应的数值，所述名称参数包括参数名称；

第一生成子单元，用于针对各个所述数值参数，基于所述数值参数的参数名称以及数值生成各个所述数值参数对应的第一参数编码；

第二生成子单元，用于针对各个所述名称参数，基于所述名称参数的参数名称生成各个所述名称参数对应的第二参数编码；

编码子单元，用于按照预设规则，对各个所述数值参数对应的第一参数编码以及各个所述名称参数对应的第二参数编码进行编码，得到所述配方编号。

在本实施例中，上述第一生成子单元，具体用于：

针对各个所述数值参数，根据数据库中存储的参数名称与名称代号的映射关系，获取各个所述数值参数的参数名称所对应的名称代号；其中，所述名称代号为大写英文字母；

采用预设的进制编码表，对所述数值参数中的数值进行进制转换得到对应的编码值；其中，所述进制编码表基于各个所述数值参数的参数名称所对应的名称代号所生成；

将各个所述数值参数对应的名称代号以及编码值进行串接，得到对应的所述第一参数编码。

在另一实施例中，上述第一生成子单元，还用于：

获取数据库中存储的标准进制编码表；其中，所述标准进制编码表中包括序列数字与编码值的映射关系；其中，所述编码值包括小写的英文字母以及数字；

按照预设的排列规则，对各个所述数值参数的参数名称所对应的名称代号进行排序，得到代号序列；

将所述代号序列中的大写英文字母全部转换为小写英文字母，得到转换序列；

将所述标准进制编码表中对应所述转换序列中的小写英文字母全部取出，得到多个空位，并查找出所述标准进制编码表中的首个空位；

将所述转换序列中的小写英文字母全部由所述首个空位中插入，并将所述首个空位之后的所有编码值向后平移，以完全填充所述标准进制编码表，得到重新编排的进制编码表，作为所述预设的进制编码表。

在一实施例中，上述编码子单元，具体用于：

获取所述第一参数编码的第一数量以及所述第二参数编码的第二数量；

判断所述第一数量与所述第二数量的大小；

若所述第一数量大于或等于所述第二数量，则按照预设排序规则，将各个所述第一参数编码以及各个所述第二参数编码依次进行串接，得到串接的字符串；若第一数量小于所述第二数量，则按照预设排序规则，将各个所述第二参数编码以及各个所述第一参数编码依次进行串接，得到串接的字符串；

获取所述字符串中的字符数量，检测所述字符数量所处的数量区间；其中，所述数量区间包括预设的第一区间与第二区间，所述第一区间小于所述第二区间；

若处于第一区间，则采用Base32编码表对所述字符串进行逆编码，得到所述配方编号；

若处于第二区间，则采用Base64编码表对所述字符串进行逆编码，得到所述配方编号。

在上述实施例中，上述装置实施例中的各个单元、子单元的具体实现，请参照上述方法实施例中所述，在此不再进行赘述。

综上所述，为本发明实施例中提供的工艺配方参数的处理方法及装置，通过获取CVD工艺设备的工艺配方参数，并针对所述CVD工艺设备的工艺配方参数，创建一个对应的配方编号；将所述工艺配方参数与其对应的配方编号关联存储在工艺配方参数库中；最后生成一个二维码，并在所述二维码中存储所述配方编号；其中，所述二维码用于设置在与所述配方编号所对应的产品上。使得只需要扫描二维码则可以从中获取对应的配方编号，从而从工艺配方参数库获取对应配方编号的工艺配方参数，无需工作人员手动输入，有利于提高生产效率和准确率。

本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该计算机程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，本发明所提供的和实施例中所使用的对存储器、存储、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和/或易失性存储器。非易失性存储器可以包括只读存储器（ROM）、可编程ROM（PROM）、电可编程ROM（EPROM）、电可擦除可编程ROM（EEPROM）或闪存。易失性存储器可包括随机存取存储器（RAM）或者外部高速缓冲存储器。作为说明而非局限，RAM通过多种形式可得，诸如静态RAM（SRAM）、动态RAM（DRAM）、同步DRAM（SDRAM）、双速据率SDRAM（SSRSDRAM）、增强型SDRAM（ESDRAM）、同步链路（Synchlink）DRAM（SLDRAM）、存储器总线（Rambus）直接RAM（RDRAM）、直接存储器总线动态RAM（DRDRAM）、以及存储器总线动态RAM（RDRAM）等。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其它变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、装置、物品或者方法不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其它要素，或者是还包括为这种过程、装置、物品或者方法所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、装置、物品或者方法中还存在另外的相同要素。

以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (6)

1.一种工艺配方参数的处理方法，应用于CVD工艺设备，其特征在于，包括以下步骤：

获取CVD工艺设备的工艺配方参数；其中，所述工艺配方参数包括多个参数：温度、压力、流量、电流、电压；

针对所述CVD工艺设备的工艺配方参数，创建一个唯一对应的配方编号；建立所述配方编号与所述CVD工艺设备及工艺配方参数的对应关系；

将所述工艺配方参数与其对应的配方编号关联存储在工艺配方参数库中；

生成一个二维码，并在所述二维码中存储所述配方编号；

所述针对所述CVD工艺设备的工艺配方参数，创建一个唯一对应的配方编号的步骤，包括：

根据所述工艺配方参数中各个参数的类型对各个所述参数进行分类；其中，所述分类包括数值参数以及名称参数，所述数值参数包括参数名称以及参数对应的数值，所述名称参数包括参数名称；

针对各个所述数值参数，基于所述数值参数的参数名称以及数值生成各个所述数值参数对应的第一参数编码；

针对各个所述名称参数，基于所述名称参数的参数名称生成各个所述名称参数对应的第二参数编码；

按照预设规则，对各个所述数值参数对应的第一参数编码以及各个所述名称参数对应的第二参数编码进行编码，得到所述配方编号；

所述针对各个所述数值参数，基于所述数值参数的参数名称以及数值生成各个所述数值参数对应的第一参数编码的步骤，包括：

针对各个所述数值参数，根据数据库中存储的参数名称与名称代号的映射关系，获取各个所述数值参数的参数名称所对应的名称代号；其中，所述名称代号为大写英文字母；

获取数据库中存储的标准进制编码表；其中，所述标准进制编码表中包括序列数字与编码值的映射关系；其中，所述编码值包括小写的英文字母以及数字；

按照预设的排列规则，对各个所述数值参数的参数名称所对应的名称代号进行排序，得到代号序列；

将所述代号序列中的大写英文字母全部转换为小写英文字母，得到转换序列；

将所述标准进制编码表中对应所述转换序列中的小写英文字母全部取出，得到多个空位，并查找出所述标准进制编码表中的首个空位；

将所述转换序列中的小写英文字母全部由所述首个空位中插入，并将所述首个空位之后的所有编码值向后平移，以完全填充所述标准进制编码表，得到重新编排的进制编码表，作为预设的进制编码表；

采用预设的进制编码表，对所述数值参数中的数值进行进制转换得到对应的编码值；其中，所述进制编码表基于各个所述数值参数的参数名称所对应的名称代号所生成；

将各个所述数值参数对应的名称代号以及编码值进行串接，得到对应的所述第一参数编码。

2.根据权利要求1所述的工艺配方参数的处理方法，其特征在于，所述生成一个二维码，并在所述二维码中存储所述配方编号的步骤之后，包括：

在所述CVD工艺设备上设置的二维码被扫描时，识别出所述二维码中存储的配方编号；

根据识别出的所述配方编号，在所述工艺配方参数库中查找对应的工艺配方参数。

3.根据权利要求1所述的工艺配方参数的处理方法，其特征在于，所述针对所述CVD工艺设备的工艺配方参数，创建一个唯一对应的配方编号的步骤，包括：

遍历工艺配方参数库中存储的配方编号，并从中获取配方编号中的最大值；

在配方编号中的最大值的基础上加1，得到的数字作为所述工艺配方参数对应的配方编号。

4.根据权利要求1所述的工艺配方参数的处理方法，其特征在于，所述按照预设规则，对各个所述数值参数对应的第一参数编码以及各个所述名称参数对应的第二参数编码进行编码，得到所述配方编号的步骤，包括：

获取所述第一参数编码的第一数量以及所述第二参数编码的第二数量；

判断所述第一数量与所述第二数量的大小；

若所述第一数量大于或等于所述第二数量，则按照预设排序规则，将各个所述第一参数编码以及各个所述第二参数编码依次进行串接，得到串接的字符串；若第一数量小于所述第二数量，则按照预设排序规则，将各个所述第二参数编码以及各个所述第一参数编码依次进行串接，得到串接的字符串；

获取所述字符串中的字符数量，检测所述字符数量所处的数量区间；其中，所述数量区间包括预设的第一区间与第二区间，所述第一区间小于所述第二区间；

若处于第一区间，则采用Base32编码表对所述字符串进行逆编码，得到所述配方编号；

若处于第二区间，则采用Base64编码表对所述字符串进行逆编码，得到所述配方编号。

5.一种工艺配方参数的处理装置，应用于CVD工艺设备，其特征在于，包括：

工艺获取单元，用于获取CVD工艺设备的工艺配方参数；其中，所述工艺配方参数包括多个参数：温度、压力、流量、电流、电压；

创建单元，用于针对所述CVD工艺设备的工艺配方参数，创建一个唯一对应的配方编号；建立所述配方编号与所述CVD工艺设备及工艺配方参数的对应关系；

存储单元，用于将所述工艺配方参数与其对应的配方编号关联存储在工艺配方参数库中；

生成单元，用于生成一个二维码，并在所述二维码中存储所述配方编号；其中，所述二维码用于设置在与所述配方编号所对应的所述CVD工艺设备上；

所述创建单元，包括：

分类子单元，用于根据所述工艺配方参数中各个参数的类型对各个所述参数进行分类；其中，所述分类包括数值参数以及名称参数，所述数值参数包括参数名称以及参数对应的数值，所述名称参数包括参数名称；

第一生成子单元，用于针对各个所述数值参数，基于所述数值参数的参数名称以及数值生成各个所述数值参数对应的第一参数编码；

第二生成子单元，用于针对各个所述名称参数，基于所述名称参数的参数名称生成各个所述名称参数对应的第二参数编码；

编码子单元，用于按照预设规则，对各个所述数值参数对应的第一参数编码以及各个所述名称参数对应的第二参数编码进行编码，得到所述配方编号；

所述第一生成子单元具体用于：

针对各个所述数值参数，根据数据库中存储的参数名称与名称代号的映射关系，获取各个所述数值参数的参数名称所对应的名称代号；其中，所述名称代号为大写英文字母；

获取数据库中存储的标准进制编码表；其中，所述标准进制编码表中包括序列数字与编码值的映射关系；其中，所述编码值包括小写的英文字母以及数字；

按照预设的排列规则，对各个所述数值参数的参数名称所对应的名称代号进行排序，得到代号序列；

将所述代号序列中的大写英文字母全部转换为小写英文字母，得到转换序列；

将所述标准进制编码表中对应所述转换序列中的小写英文字母全部取出，得到多个空位，并查找出所述标准进制编码表中的首个空位；

将所述转换序列中的小写英文字母全部由所述首个空位中插入，并将所述首个空位之后的所有编码值向后平移，以完全填充所述标准进制编码表，得到重新编排的进制编码表，作为预设的进制编码表；

采用预设的进制编码表，对所述数值参数中的数值进行进制转换得到对应的编码值；其中，所述进制编码表基于各个所述数值参数的参数名称所对应的名称代号所生成；

将各个所述数值参数对应的名称代号以及编码值进行串接，得到对应的所述第一参数编码。

6.根据权利要求5所述的工艺配方参数的处理装置，其特征在于，所述创建单元，包括：

分类子单元，用于根据所述工艺配方参数中各个参数的类型对各个所述参数进行分类；其中，所述分类包括数值参数以及名称参数，所述数值参数包括参数名称以及参数对应的数值，所述名称参数包括参数名称；

第一生成子单元，用于针对各个所述数值参数，基于所述数值参数的参数名称以及数值生成各个所述数值参数对应的第一参数编码；

第二生成子单元，用于针对各个所述名称参数，基于所述名称参数的参数名称生成各个所述名称参数对应的第二参数编码；

编码子单元，用于按照预设规则，对各个所述数值参数对应的第一参数编码以及各个所述名称参数对应的第二参数编码进行编码，得到所述配方编号。

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