CN115779985B - 微流控基板及微流控装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种微流控基板及微流控装置，微流控基板，具有多个阵列排布的像素区域，微流控基板包括第一驱动电极以及第一类信号线。第一驱动电极设置于像素区域内，第一驱动电极包括绝缘设置的第一子极和第二子极，第一类信号线包括多条延伸方向相同的第一子线。其中，第一子极和第二子极分别与不同第一子线电连接。本申请实施例的单个像素区域内至少包括第一子极和第二子极两个电极，第一子极和第二子极相互间隔并且连接不同的第一子线，使得第一子极和第二子极能够得到不同的信号，从而实现对液滴的分别控制。这种设计能够提高液滴的控制效果，使得液滴能够实现振荡混合，提高液滴的反应程度。

Description

微流控基板及微流控装置

技术领域

本申请涉及显示设备技术领域，尤其涉及一种微流控基板及微流控装置。

背景技术

微流控(Micro Fluidics)技术属于一种新兴技术，是一门涉及化学、流体物理、微电子、新材料、生物学和生物医学工程的新兴交叉学科，能够精确操控液滴移动，实现液滴的融合、分离等操作，完成各种生物化学反应，是一种以在微米尺度空间对流体进行操控为主要特征的技术。该技术已经与化学、生物学、工程学和物理学等诸学科形成交叉，展示出了广泛的应用前景。但是现有的微流控装置仍存在有反应不彻底的问题，会对最终结果产生不利影响。

发明内容

本申请实施例提供了一种微流控基板及微流控装置，能够提高对液滴的控制能力，从而提高液滴的反应程度。

第一方面，本申请实施例提供了一种微流控基板，具有多个阵列排布的像素区域，微流控基板包括第一驱动电极以及第一类信号线。第一驱动电极设置于像素区域内，第一驱动电极包括绝缘设置的第一子极和第二子极，第一类信号线包括多条延伸方向相同的第一子线。其中，第一子极和第二子极分别与不同第一子线电连接。

第二方面，本申请实施例提供了一种微流控装置，包括微流控基板、对置基板以及液滴，微流控基板为前述任一实施方式中的微流控基板，对置基板在微流控基板的厚度方向上与微流控基板相对设置。液滴夹设于微流控基板与对置基板之间。

本申请实施例提供一种微流控基板及微流控装置，单个像素区域内至少包括第一子极和第二子极两个电极，第一子极和第二子极相互绝缘并且连接不同的第一子线，使得第一子极和第二子极能够得到不同的信号，从而实现对液滴的分别控制。这种设计能够提高液滴的控制效果，使得液滴能够实现振荡混合，提高液滴的反应程度。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请实施例提供的一种微流控基板的结构示意图；

图2是图1中区域Q的局部放大示意图；

图3是本申请实施例提供的又一种微流控基板的局部放大示意图；

图4是本申请实施例提供的还一种微流控基板的局部放大示意图；

图5是本申请实施例提供的还一种微流控基板的局部放大示意图；

图6是本申请实施例提供的还一种微流控基板的局部放大示意图；

图7是本申请实施例提供的还一种微流控基板的局部放大示意图；

图8是本申请实施例提供的还一种微流控基板的局部放大示意图；

图9是图8中A-A处的剖面结构示意图；

图10是本申请实施例提供的还一种微流控基板的局部放大示意图；

图11是本申请实施例提供的还一种微流控基板的局部放大示意图；

图12是本申请实施例提供的还一种微流控基板的局部放大示意图；

图13是本申请实施例提供的还一种微流控基板的局部放大示意图；

图14是本申请实施例提供的一种微流控装置的剖面结构示意图。

标记说明：

1、第一驱动电极；11、第一子极；111、第一凹槽；12、第二子极；121、第二凹槽；

2、第一类信号线；21、第一子线；211、第一信号线；212、第二信号线；

3、第二类信号线；31、第二子线；311、第三信号线；312、第四信号线；

4、第二驱动电极；

5、第三驱动电极；

6、薄膜晶体管；

7、传感部；

8、对置基板；

9、通道结构；

PI、衬底；

PA、像素区域；

E1、第一边缘；

X、第一方向；Y、第二方向。

具体实施方式

下面将详细描述本申请的各个方面的特征和示例性实施例，为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本申请进行进一步详细描述。应理解，此处所描述的具体实施例仅意在解释本申请，而不是限定本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本申请的示例来提供对本申请更好的理解。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

微流控装置有着强大的集成性，处理样本时分析速度快、损耗低、物耗少、污染小，因此，微流控芯片在生物医学研究、药物合成筛选、环境监测与保护、卫生检疫、司法鉴定、生物试剂的检测等众多领域的应用具有极为广阔的前景。

发明人发现，在相关技术的微流控装置内，液滴通常反应不彻底。发明人进一步研究发现，这是由于现有的微流控装置通常采用单电极进行驱动，其对液滴移动的控制能力不强，因此液滴仅会进行简单的混合反应，导致反应不彻底。

为了解决上述问题，一方面，请参阅图1和图2，本申请实施例提供了一种微流控基板，具有多个阵列排布的像素区域PA，微流控基板包括第一驱动电极1以及第一类信号线2。第一驱动电极1设置于像素区域PA内，第一驱动电极1包括间隔的第一子极11和第二子极12，第一类信号线2包括多条延伸方向相同的第一子线21。其中，第一子极11和第二子极12分别与不同第一子线21电连接。在图1中各像素区域PA均通过虚线方框的形式示意出，但是虚线方框并不构成对像素区域PA尺寸或形状的限定。

微流控基板能够实现对液滴移动过程的控制，微流控基板包括多个像素区域PA，每一个像素区域PA为一个基本的操作单元。示例性地，多个像素区域PA可以分别在微流控基板的行方向以及列方向上依次排布。

微流控基板包括设置在像素区域PA的第一驱动电极1，其中第一驱动电极1可以分布在部分像素区域PA内，也可以分布在全部像素区域PA内，本申请实施例对此不作限制。第一驱动电极1包括绝缘设置的第一子极11和第二子极12，即第一子极11与第二子极12存在间隔不会直接接触，第一子极11和第二子极12无法通过自身实现相应信号的传递，从而能够降低两者发生信号串扰的风险。

第一子极11、第二子极12以及位于像素区域PA内的其他电极均能够起到控制液滴移动的效果，具体地说，当液滴置于电极上时，若给电极施加上一定的电压，则会导致液滴的亲疏水性发生改变，而亲疏水性的改变使得液滴自身形状发生变化，在张力等因素的影响下，液滴会产生移动，因此通过控制电极上的电压信号能够实现对液滴移动的控制。

需要说明的是，第一驱动电极1除了包括第一子极11和第二子极12外，还可以额外包括有其他子极用于实现对液滴的控制，本申请实施例对于第一驱动电极1内的具体子极数量不作限制。当第一驱动电极1包括其他子极时，其他子极同样需要与第一子极11和第二子极12间隔设置，从而避免相邻子极之间发生信号串扰。

微流控基板除第一驱动电极1外，还包括有第一类信号线2，第一类信号线2包括多条第一子线21，多条第一子线21所传递的信号类型均相同。示例性地，当第一类信号线2为数据线时，多个第一子线21所传递的信号即为数据信号；当第一类信号线2为扫描线时，多个第一子线21所传递的信号即为扫描信号。

多个第一子线21沿相同延伸方向延伸，并在与第一子线21延伸方向相交的方向上间隔排布。在微流控基板工作时，不同的第一子线21能够传递不同的信号。其中，不同的第一子线21分别与第一子极11和第二子极12连接，从而将不同的信号传递至第一子极11和第二子极12，使得第一子极11和第二子极12能够由不同的信号驱动控制。

对于第一子线21、第一子极11以及第二子极12之间的相对位置关系，本申请实施例不作限制。第一子线21可以同时与第一子极11以及第二子极12位于同一膜层，或者第一子线21也可以与第一子极11以及第二子极12位于不同膜层。当第一子线21与第一子极11以及第二子极12位于不同膜层时，第一子线21可以通过过孔等结构实现与第一子极11以及第二子极12之间的电连接。

相较于相关技术中的方案，本申请实施例提供的方案能够提高对液滴的控制能力。具体地说，在相关技术中，单个像素区域内通常仅包括一个电极结构，因此相关技术中仅能控制液滴在不同像素区域之间的移动。而在本申请实施例中，由于单个像素区域PA内至少包括第一子极11和第二子极12两个电极，因此液滴能够在第一子极11和第二子极12的分别作用下在单个像素区域PA对应位置处来回晃动，相较于相关技术，本申请实施例能够控制液滴实现更加微小距离的晃动，即能够更精确的控制液滴移动。

在本申请实施例中，单个像素区域PA内至少包括第一子极11和第二子极12两个电极，第一子极11和第二子极12相互绝缘并且连接不同的第一子线21，使得第一子极11和第二子极12能够得到不同的信号，从而实现对液滴的分别控制。这种设计能够提高对液滴的控制效果，使得液滴能够实现振荡混合，提高液滴的反应程度。

需要说明的是，微流控基板可以包括有电极阵列层，第一驱动电极1位于电极阵列层内。并且微流控基板除了电极阵列层外还可以包括有其他多种膜层，具体膜层结构需要根据实际需要决定，本申请实施例对此不作限制。示例性地，微流控基板还包括衬底以及疏水层，衬底主要起到支撑承载的作用，其他膜层在衬底上依次层叠设置。疏水层位于电极阵列层背离衬底的一侧，疏水层可以起到绝缘和隔绝水分的作用，防止液滴与第一驱动电极1发生直接接触，确保微流控基板的可靠性以及使用寿命。

在一些实施例中，请参阅图2和图3，微流控基板还包括第二类信号线3，第二类信号线3包括多条延伸方向相同的第二子线31，第一子线21的延伸方向与第二子线31的延伸方向相交，第一子极11和第二子极12分别与相同或不同的第二子线31电连接。

第二类信号线3为与第一类信号线2不同种类的信号线，第二类信号线3包括多条第二子线31，多条第二子线31所传递的信号类型均相同，并且与第一子线21所传递的信号类型不同。示例性地，当第一类信号线2为数据线时，多个第一子线21所传递的信号为数据信号，此时第二类信号线3可以为扫描线，且多个第二子线31所传递的信号为扫描信号；而当第一类信号线2为扫描线时，多个第一子线21所传递的信号为扫描信号，此时第二类信号线3可以为数据线，且多个第二子线31所传递的信号为数据信号。

多个第二子线31沿相同的延伸方向延伸成型，并在与第二子线31延伸方向相交的方向上间隔排布。第一子线21的延伸方向与第二子线31的延伸方向相交，其中，第一子线21的延伸方向可以与多个第二子线31的间隔方向相同，也可以不同。同理第二子线31的延伸方向可以与多个第一子线21的间隔方向相同，也可以不同。

第一子极11与第二子极12分别与相同或不同的第二子线31电连接，即可以如图3所示，第一子极11和第二子极12连接于同一第二子线31，也可以如图2所示，第一子极11和第二子极12连接于不同第二子线31。当第一子极11和第二子极12连接于相同第二子线31时，可以在一定程度上减少第二子线31的总数，有利于微流控基板内的走线布局，同时还能够降低第一子极11和第二子极12接收到第二子线31中驱动信号的延迟差异。

而当第一子极11和第二子极12连接于不同第二子线31时，不同第一子线21以及不同第二子线31分别对第一子极11和第二子极12进行控制，从而能够提高对第一子极11和第二子极12的控制灵活性，增强第一驱动电极1对液滴的控制能力，有利于液滴的彻底反应。

在一些实施例中，请参阅图4和图5，多个第一子线21包括连接第一子极11的第一信号线211，以及连接第二子极12的第二信号线212。微流控基板包括设置于第一驱动电极1相邻像素区域PA内的第二驱动电极4，第二驱动电极4位于第一信号线211背离第一驱动电极1的一侧，第二驱动电极4电连接于第一信号线211。

第一驱动电极1与第二驱动电极4分别位于不同且相邻的像素区域PA内，第二驱动电极4的结构可以与第一驱动电极1相似或相同，也可以与第一驱动电极1不同。即第二驱动电极4同样可以包括有尺寸较小的多个子极，或者第二驱动电极4仅包括一个尺寸较大的电极，本申请实施例对此不作限制。

第一信号线211能够驱动控制第一子极11，第二信号线212能够驱动并控制第二子极12。对于第一信号线211、第二信号线212、第一子极11以及第二子极12之间的相对关系，本申请实施例不作限制。如图4所示，第一子极11和第二子极12的间隔方向可以与第一信号线211和第二信号线212的间隔方向平行，或者如图5所示，第一子极11和第二子极12的间隔方向也可以与第一信号线211和第二信号线212的间隔方向相交。示例性地，第一子极11和第二子极12的间隔方向与第一信号线211和第二信号线212的间隔方向垂直。

在此基础上，第二驱动电极4同样电连接于第一信号线211，即第一信号线211能够同时驱动控制第二驱动电极4以及第一子极11。相较于第二驱动电极4以及第一子极11分别由不同第一子线21驱动的方案，本申请实施例可以减少第一子线21的数量，有利于微流控基板内第一子线21的布局，降低因第一子线21数量过多，使得相邻第一子线21之间距离过近，导致出现信号串扰的风险，提高使用可靠性。

需要说明的是，当第二驱动电极4包括多个子极时，仅需其中一个子极连接于第一信号线211即可，而非需要第二驱动电极4内的全部子极均连接于第一信号线211。

在一些实施例中，如图4所示，第一信号线211和第二信号线212在第一方向X上间隔设置，第一子极11和第二子极12在第一方向X上间隔设置，且第一子极11位于第二子极12靠近第一信号线211的一侧。

第一信号线211与第二信号线212在第一方向X间隔设置，并且两者均沿第二方向Y延伸，第一方向X与第二方向Y相交。示例性地，第一方向X与第二方向Y相垂直。进一步可选地，第二子线31可以沿第一方向X延伸成型，并且多个第二子线31可以在第二方向Y上间隔设置。

第一子极11和第二子极12的间隔方向与第一信号线211和第二信号线212的间隔方向相同，并且第一子极11更靠近第一信号线211设置，第二子极12更靠近第二信号线212设置。这种设计能够减少第一子极11与第一信号线211之间的距离，从而有利于实现第一子极11与第一信号线211之间的电连接。并且减少第二子极12与第二信号线212之间的距离，从而有利于实现第二子极12与第二信号线212之间的电连接。

在一些实施例中，请参阅图6，第一子极11和第二子极12分别与不同第二子线31电连接，多个第二子线31包括连接第一子极11的第三信号线311，以及连接第二子极12的第四信号线312。微流控基板包括设置于第一驱动电极1相邻像素区域PA内的第三驱动电极5，第三驱动电极5位于第三信号线311背离第一驱动电极1的一侧，第三驱动电极5电连接于第三信号线311。

第三驱动电极5与第一驱动电极1分别位于不同且相邻的像素区域PA内，第三驱动电极5的结构可以与第一驱动电极1相似或相同，也可以与第一驱动电极1不同。即第三驱动电极5同样可以包括有尺寸较小的多个子极，或者第三驱动电极5仅包括一个尺寸较大的电极，本申请实施例对此不作限制。

对于第一驱动电极1、第二驱动电极4以及第三驱动电极5之间的相对位置关系，本申请实施例不作限制。示例性地，第二驱动电极4位于第一驱动电极1在第一方向X上的一侧，第三驱动电极5位于第一驱动电极1在第二方向Y上的一侧。

多个第二子线31包括第三信号线311和第二信号线212，第三信号线311能够驱动控制第一子极11，第四信号线312能够驱动控制第二子极12，对于第三信号线311、第四信号线312、第一子极11以及第二子极12之间的相对关系，本申请实施例不作限制，第一子极11和第二子极12的间隔方向可以与第三信号线311和第四信号线312的间隔方向平行，或者第一子极11和第二子极12的间隔方向也可以与第三信号线311和第四信号线312的间隔方向相交。示例性地，如图6所示，第一子极11和第二子极12的间隔方向与第三信号线311和第四信号线312的间隔方向垂直。

第三信号线311和第四信号线312分别对第一子极11和第二子极12进行驱动控制，能够提高对第一子极11和第二子极12的控制灵活性，从而增强第一驱动电极1对液滴的控制能力，有利于液滴的彻底反应。

在此基础上，第三驱动电极5同样电连接于第三信号线311，即第三信号线311能够同时驱动控制第三驱动电极5以及第一子极11。相较于第三驱动电极5以及第一子极11分别由不同第二子线31驱动的方案，本申请实施例可以减少第二子线31的数量，降低出现信号串扰的风险。

综上，本申请实施例提供的微流控基板能够在增强第一驱动电极1对液滴的控制能力的同时，不额外增加第二子线31的数量。从而在提高液滴振荡反应程度的同时，确保微流控基板内部走线布局的可靠性。

在一些实施例中，如图6所示，微流控基板还包括设置于像素区域PA内的薄膜晶体管6，第一子极11和第二子极12中的至少一者电连接于薄膜晶体管6。

薄膜晶体管6能够控制电极与对应信号线之间的导通，薄膜晶体管6包括栅极、源极、漏极以及有源结构，有源结构包括源区、漏区以及位于源漏区之间的沟道区，源极与有源结构中的源区连接，漏极与有源结构中的漏区连接。

第一子极11和第二子极12中的至少一者电连接于薄膜晶体管6，并通过薄膜晶体管6控制第一子极11或第二子极12是否工作。本申请实施例以第一子极11电连接于薄膜晶体管6为例进行说明，当第一类信号线2为数据线，第二类信号线3为扫描线时，第一子线21连接于薄膜晶体管6的源极，并输入对应的数据信号，第二子线31连接于薄膜晶体管6的栅极，并输入对应的扫描信号。当栅极处电压小于开启电压时，薄膜晶体管6的源极和漏极断开，此时第一子极11不工作，不会对液滴的移动产生影响。当栅极处电压大于开启电压时，薄膜晶体管6的源极和漏极导通，此时第一子极11工作并驱动液滴产生移动。

在此基础上，第二子极12可以电连接于薄膜晶体管6，也可以不连接于薄膜晶体管6。当第二子极12不连接于薄膜晶体管6时，第二子极12可以通过第一子线21实现与驱动芯片的直接电连接。此时第一子极11和第二子极12是由不同的信号控制，因此可以向液滴提供不同的驱动信号，以实现液滴的振荡混合，提高液滴的反应程度。

在一些实施例中，请参阅图6和图7，第一子极11和第二子极12对称设置。

第一子极11和第二子极12的尺寸相同，并且两者形状对应匹配。示例性地，如图6所示，第一子极11与第二子极12可以均为矩形电极；或者如图7所示，第一子极11和第二子极12可以为半圆形电极，两者可以拼接形成一个整圆。

在本申请实施例中，第一子极11和第二子极12相对称，使得第一子极11和第二子极12在外界条件相同的情况下，能够对液滴具有相同的驱动能力。从而降低因第一子极11和第二子极12驱动能力差异过大，导致其中一者对液滴的影响程度过小的风险，确保液滴能够在第一子极11和第二子极12的共同作用下反应彻底。

在一些实施例中，请参阅图8和图9，微流控基板还包括衬底PI以及设置于衬底PI与第一驱动电极1之间的传感部7。

传感部7位于衬底PI与第一驱动电极1之间，进一步地，传感部7位于第一驱动电极1背离液滴的一侧。传感部7用于感应液滴的特性变化，其中液滴的特性变化包括温度变化以及颜色变化等。示例性地，第一子极11和第二子极12能够控制液滴振荡移动，并使其发生生物荧光反应，此时传感部7的设置能够感应出液滴的变化，无需人工通过荧光显微镜等手段进行观测，提高便捷性。

在一些实施例中，传感部7在衬底PI的正投影与第一驱动电极1在衬底PI的正投影错位分布。即传感部7在衬底PI的正投影与第一驱动电极1在衬底PI的正投影不存在交叠区域。

由前述内容可知，传感部7位于第一驱动电极1背离液滴的一侧，即第一驱动电极1在微流控基板的厚度方向上位于传感部7与液滴之间，因此第一驱动电极1的存在容易影响到传感部7对于液滴特性变化的感应。在此基础上，本申请实施例将传感部7在衬底PI的正投影与第一驱动电极1在衬底PI的正投影错位分布，使得第一驱动电极1在微流控基板的厚度方向上遮挡传感部7，从而能够降低第一驱动电极1对于传感部7的影响，提高传感部7的感应可靠性。

需要说明的是，对于第一驱动电极1与传感部7之间的具体位置关系，本申请实施例不作限制，第一驱动电极1可以与传感部7位于同一像素区域PA内，也可以位于不同像素区域PA内。进一步，在一些可选实施例中，第二驱动电极4与第三驱动电极5在衬底PI的正投影与传感部7在衬底PI的正投影错位分布。

在一些实施例中，请参阅图10和图11，第一子极11朝向第二子极12的一侧向远离第二子极12的一侧凹陷形成第一凹槽111，传感部7至少部分位于第一凹槽111内。

第一子极11包括朝向第二子极12的第一边缘E1，第一凹槽111由第一边缘E1向第一子极11内部凹陷形成。对于第一凹槽111相对于第一边缘E1的具体位置，本申请实施例不作限制。如图10所示，第一凹槽111可以从第一边缘E1的中央位置向内凹陷形成，也可以如图11所示，从第一边缘E1的边缘区域向内凹陷形成。

本申请实施例提到的“传感部7至少部分位于第一凹槽111内”指的是：传感部7在衬底PI的正投影位于第一凹槽111在衬底PI的正投影内。其中，第一凹槽111的形状可以与传感部7的外形相适配。示例性地，第一凹槽111包括直角边，传感部7为矩形结构。或者第一凹槽111包括弧形段，传感部7为半圆形结构。

在一些可选实施例中，请参阅图12，第二子极12朝向第一子极11的一侧向远离第一子极11的一侧凹陷形成第二凹槽121，传感部7同时位于第一凹槽111和第二凹槽121内。

在一些实施例中，第一驱动电极1包括金属材料。金属材料包括但不限于Cu、Ag以及Zn等。

由前述内容可知，由于第一驱动电极1与传感部7在衬底PI的正投影分布，因此第一驱动电极1对传感部7的影响较小。在此基础上，可以在第一驱动电极1内设置金属材料，金属材料的设置可以提高第一驱动电极1的电传导以及信号传递能力，从而提高其对液滴的控制能力。

需要说明的是，可以是第一子极11和第二子极12的任意一者包括有金属材料，也可以是第一子极11和第二子极12同时包括有金属材料，本申请实施例对此不作限制。

在一些实施例中，请参阅图13，传感部7在衬底的正投影与第一驱动电极1在衬底的正投影至少部分交叠。在图11中传感部7中与第一驱动电极1产生交叠的部分通过虚线示意出。

传感部7可以与第一子极11在衬底的正投影至少部分交叠，也可以与第二子极12在衬底的正投影至少部分交叠，甚至也可以同时与第一子极11和第二子极12在衬底至少部分交叠。本申请实施例对此不作限制。

在本申请实施例中，在一些场景下可以将传感部7与第一驱动电极1在衬底上至少部分交叠设置。示例性地，当传感部7用于感应液滴温度变化时，此时第一驱动电极1的存在对传感部7的影响较小，因此可以将两者至少部分交叠设置。并且在于传感部7同层的位置处，可以额外布置有走线或其他部件，从而提高膜层空间利用率，降低微流控基板的整体厚度。

在一些实施例中，第一子极11和第二子极12中至少一者包括透明结构，透明结构在衬底的正投影与传感部7在衬底的正投影至少部分交叠。

透明结构指的是具有较高透过率的结构，第一子极11和第二子极12可以仅有一者包括透明结构，也可以同时均包括透明结构，透明结构的材料包括但不限于氧化铟锡、氧化铟锌、掺杂银的氧化铟锡和掺杂银的氧化铟锌等。以第一子极11包括透明结构为例，第一子极11可以完全为透明结构，也可以仅部分为透明结构，本申请实施例对此不作限制。

在此基础上，本申请实施例将透明结构在衬底的正投影与传感部7在衬底PI的正投影至少部分交叠设置，相较于非透明结构，透明结构能够减少对传感部7感应效果的影响，提高传感部7对液滴的感应效果。

第二方面，请参阅图14，本申请实施例提供了一种微流控装置，包括微流控基板、对置基板8以及液滴，微流控基板为前述任一实施方式中的微流控基板，对置基板8在微流控基板的厚度方向上与微流控基板相对设置。液滴夹设于微流控基板与对置基板8之间。

微流控基板与对置基板8之间形成通道结构9，液滴能够在通道结构9内移动，微流控基板用于控制液滴的移动，以使液滴能够振荡并充分反应。需要说明的是，本申请实施例提供的微流控装置具有前述任一实施方式这种微流控基板的有益效果，具体请参照前述对于微流控基板的描述，本申请实施例不再赘述。

虽然本申请所公开的实施方式如上，但所述的内容只是为了便于理解本申请而采用的实施方式，并非用以限定本发明。任何本申请所属技术领域内的技术人员，在不脱离本申请所公开的精神和范围的前提下，可以在实施的形式上及细节上作任何的修改与变化，但本申请的保护范围，仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为了描述的方便和简洁，上述描述的其他连接方式的替换等，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。应理解，本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本申请的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种微流控基板，其特征在于，具有多个阵列排布的像素区域，所述微流控基板包括：

设置于所述像素区域内的第一驱动电极，所述第一驱动电极包括绝缘设置的第一子极和第二子极；

第一类信号线，包括多条延伸方向相同的第一子线；

其中，所述第一子极和所述第二子极分别与不同所述第一子线电连接；

所述微流控基板还包括第二类信号线，所述第二类信号线包括多条延伸方向相同的第二子线，所述第一子线的延伸方向与所述第二子线的延伸方向相交；

所述第一子极和所述第二子极分别与相同或不同所述第二子线电连接；

多个所述第一子线包括连接所述第一子极的第一信号线，以及连接于所述第二子极的第二信号线；

所述微流控基板包括设置于所述第一驱动电极相邻所述像素区域内的第二驱动电极，所述第二驱动电极位于所述第一信号线背离所述第一驱动电极的一侧，所述第二驱动电极电连接于所述第一信号线；

所述第一子极和所述第二子极分别与不同所述第二子线电连接，多个所述第二子线包括连接所述第一子极的第三信号线，以及连接于所述第二子极的第四信号线；

所述微流控基板包括设置于所述第一驱动电极相邻所述像素区域内的第三驱动电极，所述第三驱动电极位于所述第三信号线背离所述第一驱动电极的一侧，所述第三驱动电极电连接于所述第三信号线；

所述第一子极和所述第二子极对称设置；

所述微流控基板还包括衬底以及设置于所述衬底与所述第一驱动电极之间的传感部；

所述传感部在所述衬底的正投影与所述第一驱动电极在所述衬底的正投影错位分布；

所述第一子极朝向所述第二子极的一侧向远离所述第二子极的一侧凹陷形成第一凹槽，所述传感部至少部分位于所述第一凹槽内。

2.根据权利要求1所述的微流控基板，其特征在于，所述第一信号线和所述第二信号线在第一方向上间隔设置，所述第一子极和所述第二子极在所述第一方向上间隔设置，且所述第一子极位于所述第二子极靠近所述第一信号线的一侧。

3.根据权利要求1所述的微流控基板，其特征在于，还包括设置于所述像素区域内的薄膜晶体管，所述第一子极和所述第二子极中的至少一者电连接于所述薄膜晶体管。

4.根据权利要求1所述的微流控基板，其特征在于，所述第一驱动电极包括金属材料。

5.根据权利要求1所述的微流控基板，其特征在于，所述第一子极和所述第二子极中至少一者包括透明结构，所述透明结构在所述衬底的正投影与所述传感部在所述衬底的正投影至少部分交叠。

6.一种微流控装置，其特征在于，包括：

微流控基板，为权利要求1至5任一项所述的微流控基板；

对置基板，在所述微流控基板的厚度方向上，与所述微流控基板相对设置；以及，

液滴，夹设于所述微流控基板和所述对置基板之间。