CN115768137A - 钙钛矿-硅叠层太阳能电池的涂布干燥一体机及制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明属于太阳能电池制造技术领域，涉及一种钙钛矿‑硅叠层太阳能电池的涂布干燥一体机及制造方法，一体机包括传动单元，传动单元上设有第二制备工段，第二制备工段的上游具有第一制备工段和/或第二制备工段的下游具有第三制备工段，第二制备工段沿传动单元依次设置有钙钛矿涂布单元和钙钛矿干燥单元；钙钛矿干燥单元包括沿着输送方向前后紧邻设置的真空腔和隧道炉。制造方法步骤包括钙钛矿层涂布、钙钛矿层真空闪蒸和干燥结晶；或者包括一级钙钛矿层涂布、一级钙钛矿层干燥、二级钙钛矿层涂布、二级钙钛矿层真空闪蒸和干燥结晶。本发明能够通过先真空闪蒸后加热使钙钛矿层的制造效率更高，镀膜均匀性更高。

Description

钙钛矿-硅叠层太阳能电池的涂布干燥一体机及制造方法

技术领域

本发明涉及太阳能电池制造技术领域，特别涉及一种钙钛矿-硅叠层太阳能电池的涂布干燥一体机。

背景技术

钙钛矿-硅叠层太阳能电池在近几年内发展极为迅速，目前记录效率已达31.3%，吸引了广泛的关注，对叠层电池产业化的研究也在不断持续推进。随着钙钛矿叠层电池的飞速发展，现有太阳能电池器件制备的方法和设备越来越多。在此背景下，叠层电池生产设备的低成本化、高精度化和高产能化成为了设备发展的主要趋势。

钙钛矿硅叠层太阳能电池的顶电池的制备步骤包括电子传输层制备、钙钛矿吸光层制备、空穴传输层制备和电极制备等。市场上钙钛矿涂布设备一般采用涂布头单工位、单轨道设备。这种设备单节拍涂布复数块基片，且涂布设备和干燥设备分离，会存在以下问题：

1、单工位、单轨道设备虽然一次性能够涂布复数块基片，但这会导致涂布钙钛矿前驱体的严重浪费，使得沉积的钙钛矿薄膜及电荷传输层薄膜不均匀性上升，涂布效率低下从而影响电池产能；

2、涂布设备和干燥设备分开，一方面需要额外增加人工成本或增设机械臂，另一方面基片转移会延长涂布后开始干燥的时间，并且在转移基片的过程中，很容易对基片上的薄膜造成污染以及破坏，进一步导致成本的放大，导致产品效率和稳定性的下降；

3、目前大幅宽的大型涂布设备所需的核心零部件涂布头需要极高的加工精度与难度，仍然依赖进口，设备采购成本高且涂布头损坏维修成本高。

4、钙钛矿层制造完毕后需要在干燥过程中既蒸发掉溶剂，又要让材料结晶，耗费时间长，加热成本高。

中国专利申请CN113871538A披露了一种应用真空闪蒸辅助狭缝涂布的钙钛矿薄膜制备方法，该方法不依托连续的设备。所以在不同步骤之间还是可能因为搬运而损伤，并且只能分单个产品制造，制约了生产效率的提高。

中国专利CN110349886B披露了一种大面积钙钛矿太阳电池制备装置及制备方法，采用连续化设备制造具有电子传输层、钙钛矿层和空穴传输层的太阳能电池。减压蒸馏模块后采用敞口的复合光波退火模块退火，这里容易有空气中的杂质粘到未完全固化的钙钛矿层表面，影响产品质量。

因此有必要开发一种新的制造设备来解决以上问题。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种钙钛矿-硅叠层太阳能电池的涂布干燥一体机，能够连续化地完成钙钛矿-硅叠层太阳能电池的制造，而且制造周期短，产品质量高。

本发明通过如下技术方案实现上述目的：一种钙钛矿-硅叠层太阳能电池的涂布干燥一体机，包括用来输送片材的传动单元，所述传动单元上设有第二制备工段，所述第二制备工段的上游具有第一制备工段和/或所述第二制备工段的下游具有第三制备工段，所述第二制备工段沿所述传动单元依次设置有钙钛矿涂布单元和钙钛矿干燥单元；所述钙钛矿干燥单元包括沿着输送方向前后紧邻设置的真空腔和隧道炉，所述真空腔由真空泵抽真空，所述隧道炉上设有加热装置。

具体的，所述第一制备工段包括依次设置的前涂布单元和前干燥单元，所述前干燥单元上设有加热器；所述第三制备工段包括依次设置的后涂布单元和后干燥单元。

进一步的，所述传动单元分为多条并排的轨道，所述传动单元在每个涂布单元采用皮带传输，所述传动单元在每个干燥单元采用金属网带传输。

进一步的，每个涂布单元包括用来托平所述片材的平台、位于所述平台上方的涂布头和位于所述涂布头后方的风刀，所述涂布头和所述风刀的高度由一控制单元控制。

具体的，所述传动单元的进口侧设有上料单元，所述上料单元包括用来将基片转移到所述传动单元上的第一移送机构；所述传动单元的出口侧设有卸料单元，所述卸料单元包括用来将成片移出所述传动单元的第二移送机构；所述第一移送机构与所述第二移送机构由一控制单元控制。

一种应用涂布干燥一体机的制造方法，通过所述传动单元输送片材进入所述第二制备工段，通过所述钙钛矿涂布单元在所述片材上涂布钙钛矿层，然后进入所述真空腔内进行钙钛矿层真空闪蒸去溶剂，之后所述传动单元将涂布有钙钛矿层的片材从所述真空腔中直接输送至所述隧道炉中，在所述隧道炉内进行钙钛矿层干燥结晶。

具体的，所述钙钛矿层的涂布料液为1：1摩尔比的MAI与PbI2以1M的浓度溶入9：1体积比的DMF和DMSO中的混合溶剂的混合液，涂布速度为10-15mm/s，风刀压力为60psi；所述钙钛矿层的干燥结晶温度为105℃，持续10-15分钟；所述混合液涂布在所述片材上，经过闪蒸、干燥结晶后得到的所述钙钛矿层为最终的钙钛矿吸光层。

具体的，在所述第二制备工段中所述钙钛矿层为二级钙钛矿层；所述片材进入到所述第二制备工段之前先经过所述第一制备工段，在所述第一制备工段内进行一级钙钛矿层涂布和一级钙钛矿层干燥，得到一级钙钛矿层；所述一级钙钛矿层与所述二级钙钛矿层反应共同形成最终的钙钛矿吸光层。

进一步的，所述一级钙钛矿层的涂布料液为PbI2以0.8-1.5mg/mL的浓度溶解在9：1体积比的DMF与DMSO中的混合溶剂的前驱液，涂布速度为10-40mm/s，风刀压力为10psi；所述一级钙钛矿层的干燥温度为150℃，持续5-10分钟；所述二级钙钛矿层的涂布料液为MAI以0.8-1.5M的浓度溶入9：1体积比DMF和DMSO混合溶剂的反应液，涂布速度为10-30mm/s,风刀压力为50psi；所述二级钙钛矿层干燥结晶温度为105℃，持续10-15分钟。

具体的，所述片材进入到所述第二制备工段之前先经过所述第一制备工段，在所述第一制备工段中制备得到空穴传输层，所述空穴传输层的制备条件包括：空穴传输层的涂布料液为含NiO 5mg/mL的水溶液，涂布速度为15-20mm/s，风刀压力为10psi；所述空穴传输层的干燥温度为100℃，持续5-10分钟。

进一步的，所述传动单元将片材从所述隧道炉中输送到所述第三制备工段，在所述第三制备工段中经过制备得到电子传输层，所述电子传输层的制备条件包括：所述电子传输层的涂布料液采用15mg/mL PCBM的氯苯溶液，涂布速度为10-15mm/s，风刀压力为20psi。本发明技术方案的有益效果是：

1、本发明公开的涂布干燥一体机，钙钛矿层在真空腔内闪蒸后直接进入隧道炉干燥结晶，效率更高；而且因为中间态的钙钛矿层不直接暴露在大气当中，所以一方面避免了空气中的杂质粘到尚未烧结的材料上，影响导电性能；另一方面隧道炉仍旧是个封闭的环境，所以可以防止外界的风力将钙钛矿层表面吹皱而影响其均匀性。由实际应用经验，单轨道多工位涂布，薄膜的均匀性一般在10%左右，而使用本设备得到的薄膜均匀度一般小于5%。

2、本发明公开的涂布干燥一体机，减少了设备成本。采用多工位多轨道的单片涂布，仅需幅宽200mm左右的涂布头，后期维护和维修的成本远低于大型涂布设备。

3、本发明公开的涂布干燥一体机，提高了钙钛矿叠层电池的产能。相同的基片面积，市场上大幅宽涂布机虽然提高了单次涂布的数量，但是实际应用上工艺流程的节拍延长了，在实际应用中，对于小尺寸的基片的单片涂布，同样也可以通过多轨道多工位的设备设计来大大提高电池的产能。

4、本发明公开的涂布干燥一体机，可满足多工艺兼容要求。根据实际工艺需要，可进行涂布和干燥单元的增减，分别满足钙钛矿一步法和两步法制备。

附图说明

图1为实施例1涂布干燥一体机的结构示意图；

图2为实施例2涂布干燥一体机的结构示意图；

图3为实施例3涂布干燥一体机的结构示意图；

图4为实施例4涂布干燥一体机的结构示意图。

图中数字表示：

1-传动单元；

2a-钙钛矿涂布单元，2b-后涂布单元，2c-前涂布单元，21-平台，22-涂布头，23-风刀；

3-钙钛矿干燥单元，31-真空腔，311-真空泵，32-隧道炉，321-加热装置；

4a-后干燥单元，4b-前干燥单元，41-加热器；

5-上料单元，51-第一移送机构；

6-卸料单元，61-第二移送机构；

7-控制单元；

8-基片；

9-成片。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明作进一步详细说明。

实施例1：

如图1所示，本发明的一种钙钛矿-硅叠层太阳能电池的涂布干燥一体机，包括用来输送片材的传动单元1，传动单元1上依次设置有第一制备工段、第二制备工段和第三制备工段，第一制备工段包括依次设置的前涂布单元2c和前干燥单元4b，前干燥单元4b上设有加热器41；第二制备工段包括钙钛矿涂布单元2a和钙钛矿干燥单元3，第三制备工段包括后涂布单元2b和后干燥单元4a；钙钛矿干燥单元3包括沿着输送方向前后紧邻设置的真空腔31和隧道炉32，真空腔31由真空泵311抽真空，隧道炉32上设有加热装置321；第三制备工段包括依次设置的后涂布单元2b和后干燥单元4b。真空腔31的真空度可在10s内抽至1-10000Pa，加热装置321主要构件也为加热器，加热器为红外加热、电阻加热的一种或多种，加热温度可通过控制单元7设置。温度由室温至200℃可控，可程序控温。本发明公开的涂布干燥一体机，提高了镀膜的质量。钙钛矿层在真空腔31内真空闪蒸去溶剂后直接进入隧道炉32干燥结晶，效率更高。而且因为中间态的钙钛矿层不直接暴露在大气当中，所以一方面避免了空气中的杂质粘到尚未烧结的材料上，影响导电性能；另一方面隧道炉32仍旧是个封闭的环境，所以可以防止外界的风力将钙钛矿层表面吹皱而影响其均匀性。由实际应用经验，单轨道多工位涂布，薄膜的均匀性一般在10%左右，而使用小型涂布设备的多工位涂布设备得到的薄膜均匀度一般小于5%。

传动单元1分为三条并排的轨道，可以同时传输三块片材。传动单元1在每个涂布单元（包括钙钛矿涂布单元2a、后涂布单元2b和前涂布单元2c）采用皮带传输，传动单元1在每个干燥单元（包括钙钛矿干燥单元3、后干燥单元4a和前干燥单元4b）采用金属网带传输。在涂布阶段，皮带需要对基片8或增层的基片（统称为片材）的底面进行良好接触，这样才能更好地进行控制涂布的厚度。在干燥结晶阶段，金属网带能够让片材的底部能够接触热风，提高了干燥效率。本发明公开的涂布干燥一体机，提高了钙钛矿叠层电池的产能。相同的基片面积，市场上大幅宽涂布机虽然提高了单次涂布的数量，但是实际应用上工艺流程的节拍延长了，在实际应用中，对于小尺寸的基片的单片涂布，同样也可以通过多轨道多工位的设备设计来大大提高电池的产能。

每个涂布单元（包括钙钛矿涂布单元2a、后涂布单元2b、前涂布单元2c）包括用来托平片材的平台21、位于平台21上方的涂布头22和位于涂布头22后方的风刀23，涂布头22和风刀23的高度由一控制单元7控制。平台21能够使片材处于水平位置，这样涂布头22将料液留在片材的上表面，涂布头22和风刀23可通过控制单元7进行升降控制，以保障涂布头22和风刀23与片材距离可调100-5000um，涂布速度亦可通过控制单元7进行设置1-100mm/s。本发明公开的涂布干燥一体机，减少了设备成本。采用多工位多轨道的单片涂布，仅需幅宽200mm左右的涂布头，后期维护和维修的成本远低于大型涂布设备。

传动单元1的进口侧设有上料单元5，上料单元5包括用来将基片8转移到传动单元1上的第一移送机构51；传动单元1的出口侧设有卸料单元6，卸料单元6包括用来将成片9移出传动单元1的第二移送机构61；第一移送机构51与第二移送机构61由一控制单元7控制。上料单元5和卸料单元6能够实现基片8的自动上料和成片9的自动下料，第一移送机构51与第二移送机构61可以选用机械臂，也可以选用滑轮上下片模块。两者都由控制单元7控制工作，节省了工人上下料的等待时间。

工作模式1：

将NiO以5mg/mL的浓度溶解在去离子水中，待完全溶解后注入前涂布单元2c的液路系统中；将1：1摩尔比的MAI与PbI2以1M的浓度溶入9：1体积比的DMF和DMSO的混合溶剂中，待完全溶解后混合液注入钙钛矿干燥单元3的液路系统中；将PCBM以15mg/mL溶入氯苯中，待完全溶解后注入后涂布单元2b的液路系统中。前干燥单元4b用加热器41加热至100℃，隧道炉32用加热装置321加热至105℃。

上料单元5用机械臂（即第一移送机构51）自动上料至传动单元1。基片8为预制的HJT、TOPcon、PERC底电池一种，基片8尺寸为250×250mm。传动单元1将基片8传送至前涂布单元2c，空穴传输层涂布采用狭缝涂布，涂布头22距离片材200微米，涂布速度为15-20mm/s，风刀23外接氮气气源，风刀压力为10psi；涂布完成后，传动单元1将片材传动至前干燥单元4b，对NiO液膜进行干燥，该过程持续5-10分钟，随后得到沉积空穴传输层NiOx后的片材；干燥完成后，传动单元1将片材传动至钙钛矿涂布单元2a，在钙钛矿涂布单元2a内涂布钙钛矿层，涂布方式为狭缝涂布，涂布头22距离片材200微米，涂布速度为10-15mm/s，风刀外接氮气气源，风刀压力为60psi；涂布完成后，传动单元1将片材先送入真空腔31内，真空腔31密闭后由真空泵311抽成真空，对钙钛矿薄膜进行真空闪蒸去溶剂，真空闪蒸后的片材立即进入隧道炉32干燥结晶，该过程持续10-15分钟，随后得到沉积钙钛矿MAPbI3后的片材，钙钛矿MAPbI3即最终的钙钛矿吸光层；干燥完成后，传动单元1将片材传动至后涂布单元2b，涂布方式为狭缝涂布，涂布头22距离片材200微米，涂布速度为10-15mm/s，风刀外接氮气气源，风刀压力为20psi。涂布完成后片材在后干燥单元4a内干燥得到沉积电子传输层PCBM后的成片9。成片9结构为硅底电池基底/NiOx/MAPbI3/PCBM。成片9通过机械臂（即第二移送机构61）下料至卸料单元6。

工作模式2：

将PbI2以0.8-1.5mg/mL的浓度溶解在去离子水中，待完全溶解后注入前涂布单元2c的液路系统中；将1：1摩尔比的MAI与PbI2以0.8-1.5M的浓度溶入9：1体积比的DMF和DMSO的混合溶剂中，得到前驱液，待完全溶解后前驱液注入钙钛矿干燥单元3的液路系统中；将PCBM以15mg/mL溶入氯苯中，待完全溶解后注入后涂布单元2b的液路系统中。前干燥单元4b用加热器41加热至150℃，隧道炉32用加热装置321加热至105℃。

上料单元5用机械臂（即第一移送机构51）自动上料至传动单元1，基片8为已沉积空穴传输层的硅底电池基底，基片8尺寸为250×250mm。传动单元1将基片8传送至前涂布单元2c，一级钙钛矿涂布方式采用狭缝涂布，涂布头22距离片材300微米，涂布速度为10-40mm/s，风刀23外接氮气气源，风刀压力为10psi；涂布完成后，涂布后的片材由传动单元1传动至前干燥单元4b，对PbI2液膜进行干燥，该过程持续5-10分钟，随后得到沉积空穴传输层PbI2后的片材；干燥完成后，传动单元1将干燥后的片材传动至钙钛矿涂布单元2a，二级钙钛矿涂布方式为狭缝涂布，涂布头22距离片材200微米，涂布速度为10-30mm/s，风刀外接氮气气源，风刀压力为50psi；涂布完成后，传动单元1将片材传动至钙钛矿干燥单元3，涂布后的片材先进入真空腔31内，真空腔31密闭后由真空泵311抽成真空，对钙钛矿薄膜进行真空闪蒸去溶剂，真空闪蒸后的片材立即进入隧道炉32干燥结晶，该过程持续10-15分钟，随后得到沉积钙钛矿MAPbI3后的片材，钙钛矿MAPbI3即最终的钙钛矿吸光层；干燥完成后，传动单元1将片材传动至后涂布单元2b，涂布方式为狭缝涂布，涂布头22距离片材200微米，涂布速度为10-15mm/s，风刀外接氮气气源，风刀压力为20psi。涂布完成后通过后干燥单元4a，常温下自然干燥，得到沉积电子传输层PCBM后的成片9。成片9结构为硅底电池基底/PbI2/MAPbI3/PCBM。成片9通过机械臂（即第二移送机构61）下料至卸料单元6。

实施例2：

与实施例1的不同之处在于：一体机的传动单元1分为四条并排的轨道，可以同时传输四块片材。实际应用中，在宽度允许的情况下，传动单元1上的轨道数可以增加。工作方式与实施例1一致，此处不再重复描述。实施例3：

与实施例1的不同之处在于：涂布干燥一体机包括用来输送片材的传动单元1，传动单元1上依次设置有钙钛矿涂布单元2a、钙钛矿干燥单元3、后涂布单元2b和后干燥单元4a；钙钛矿干燥单元3包括沿着输送方向前后紧邻设置的真空腔31和隧道炉32，真空腔31由真空泵311抽真空，隧道炉32上设有加热装置321。

将1：1摩尔比的MAI与PbI2以1M的浓度溶入9：1体积比的DMF和DMSO的混合溶剂中，待完全溶解后混合液注入钙钛矿干燥单元3的液路系统中；将PCBM以15mg/mL溶入氯苯中，待完全溶解后注入电子传输层涂布设备的液路系统中。隧道炉32用加热装置321加热至105℃。

上料单元5用机械臂（即第一移送机构51）将基片8自动上料至传动单元1，基片8为已沉积空穴传输层的硅底电池基底，基片尺寸为250×250mm。传动单元1将基片8传动至钙钛矿涂布单元2a，涂布方式为狭缝涂布，涂布头22距离片材200微米，涂布速度为10-15mm/s，风刀外接氮气气源，风刀压力为60psi；涂布完成后，涂布后的片材由传动单元1传动至钙钛矿干燥单元3，涂布后的片材先进入真空腔31内，真空腔31密闭后由真空泵311抽成真空，对钙钛矿薄膜进行真空闪蒸去溶剂，真空闪蒸后的片材立即进入隧道炉32干燥结晶，该过程持续10-15分钟，随后得到沉积钙钛矿MAPbI3后的片材；干燥完成后，传动单元1将片材传动至后涂布单元2b，涂布方式为狭缝涂布，涂布头22距离片材200微米，涂布速度为10-15mm/s，风刀外接氮气气源，风刀压力为20psi。涂布完成得到沉积电子传输层PCBM后的成片9。该层薄膜无需退火处理。成片9结构为硅底电池基底/MAPbI3/PCBM。成片9通过机械臂（即第二移送机构61）下料至卸料单元6。

本发明公开的涂布干燥一体机，可满足多工艺兼容要求。根据实际工艺需要，可进行涂布和干燥单元的增减，分别满足钙钛矿一步法和两步法制备。

实施例4：

与实施例1的不同之处在于：涂布干燥一体机包括用来输送基片8的传动单元1，传动单元1上依次设置有前涂布单元2c、前干燥单元4b、钙钛矿涂布单元2a、钙钛矿干燥单元3。一体机的传动单元1分为四条并排的轨道，可以同时传输四块片材。实际应用中，在宽度允许的情况下，传动单元1上的轨道数可以增加。加工过程上，实施例4制备的成品少一个电子传输层，其余与实施例1一致，此处不再重复描述。

以上所述的仅是本发明的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。

Claims (11)

1.一种钙钛矿-硅叠层太阳能电池的涂布干燥一体机，包括用来输送片材的传动单元（1），所述传动单元（1）上设有第二制备工段，其特征在于：所述第二制备工段的上游具有第一制备工段和/或所述第二制备工段的下游具有第三制备工段，所述第二制备工段沿所述传动单元（1）依次设置有钙钛矿涂布单元（2a）和钙钛矿干燥单元（3）；所述钙钛矿干燥单元（3）包括沿着输送方向前后紧邻设置的真空腔（31）和隧道炉（32），所述真空腔（31）由真空泵（311）抽真空，所述隧道炉（32）上设有加热装置（321）。

2.根据权利要求1所述的涂布干燥一体机，其特征在于：所述第一制备工段包括依次设置的前涂布单元（2c）和前干燥单元（4b），所述前干燥单元（4b）上设有加热器（41）干燥；所述第三制备工段包括依次设置的后涂布单元（2b）和后干燥单元（4a）。

3.根据权利要求1或2所述的涂布干燥一体机，其特征在于：所述传动单元（1）分为多条并排的轨道，所述传动单元（1）在每个涂布单元采用皮带传输，所述传动单元（1）在每个干燥单元采用金属网带传输。

4.根据权利要求3所述的涂布干燥一体机，其特征在于：每个涂布单元包括用来托平所述片材的平台（21）、位于所述平台（21）上方的涂布头（22）和位于所述涂布头（22）后方的风刀（23），所述涂布头（22）和所述风刀（23）的高度由一控制单元（7）控制。

5.根据权利要求1所述的涂布干燥一体机，其特征在于：所述传动单元（1）的进口侧设有上料单元（5），所述上料单元（5）包括用来将基片（8）转移到所述传动单元（1）上的第一移送机构（51）；所述传动单元（1）的出口侧设有卸料单元（6），所述卸料单元（6）包括用来将成片（9）移出所述传动单元（1）的第二移送机构（61）；所述第一移送机构（51）与所述第二移送机构（61）由一控制单元（7）控制。

6.一种应用权利要求1所述涂布干燥一体机的制造方法，其特征在于：其步骤包括：通过所述传动单元（1）输送片材进入所述第二制备工段，通过所述钙钛矿涂布单元（2a）在所述片材上涂布钙钛矿层，然后进入所述真空腔（31）内进行钙钛矿层真空闪蒸去溶剂，之后所述传动单元（1）将涂布有钙钛矿层的片材从所述真空腔（31）中直接输送至所述隧道炉（32）中，在所述隧道炉（32）内进行钙钛矿层干燥结晶。

7.根据权利要求6所述的制造方法，其特征在于：所述钙钛矿层的涂布料液为1：1摩尔比的MAI与PbI₂以1M的浓度溶入9：1体积比的DMF和DMSO中的混合溶剂的混合液，涂布速度为10-15mm/s，风刀压力为60psi；所述钙钛矿层的干燥结晶温度为105℃，持续10-15分钟；所述混合液涂布在所述片材上，经过闪蒸、干燥结晶后得到的所述钙钛矿层为最终的钙钛矿吸光层。

8.根据权利要求6所述的制造方法，其特征在于：在所述第二制备工段中所述钙钛矿层为二级钙钛矿层；所述片材进入到所述第二制备工段之前先经过所述第一制备工段，在所述第一制备工段内进行一级钙钛矿层涂布和一级钙钛矿层干燥，得到一级钙钛矿层；所述一级钙钛矿层与所述二级钙钛矿层反应共同形成最终的钙钛矿吸光层。

9.根据权利要求8所述的制造方法，其特征在于：所述一级钙钛矿层的涂布料液为PbI₂以0.8-1.5mg/mL的浓度溶解在9：1体积比的DMF与DMSO中的混合溶剂的前驱液，涂布速度为10-40mm/s，风刀压力为10psi；所述一级钙钛矿层的干燥温度为150℃，持续5-10分钟；所述二级钙钛矿层的涂布料液为MAI以0.8-1.5M的浓度溶入9：1体积比DMF和DMSO混合溶剂的反应液，涂布速度为10-30mm/s, 风刀压力为50psi；所述二级钙钛矿层干燥结晶温度为105℃，持续10-15分钟。

10.根据权利要求6所述的制造方法，其特征在于：所述片材进入到所述第二制备工段之前先经过所述第一制备工段，在所述第一制备工段中制备得到空穴传输层，所述空穴传输层的制备条件包括：所述空穴传输层的涂布料液为含NiO 5mg/mL的水溶液，涂布速度为15-20mm/s，风刀压力为10psi；所述空穴传输层的干燥温度为100℃，持续5-10分钟。

11.根据权利要求6至10任一所述的制造方法，其特征在于：所述传动单元（1）将片材从所述隧道炉（32）中输送到所述第三制备工段，在所述第三制备工段中经过制备得到电子传输层，所述电子传输层的制备条件包括：所述电子传输层的涂布料液采用15mg/mL PCBM的氯苯溶液，涂布速度为10-15mm/s，风刀压力为20 psi。

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