CN115755544B - 一种具有辅助散热装置的光刻机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种具有辅助散热装置的光刻机，包括光刻机和光刻机下方活动连接的散热柜，散热柜前方表面开设有散热窗，散热柜左右两侧开设有活性散热窗，活性散热窗包括有固定杆，固定杆固定连接于散热柜左右两壁内，固定杆内部设置有活动轴，活动轴表面活动连接有窗叶。该具有辅助散热装置的光刻机通过设置散热装置来对内部进行散热，通过内部的固定柱来进行对散热扇的固定，通过设置两个双轴电机为同步运转，来带动固定柱两边的扇轴与转动轴，扇叶的形状呈不规则形状，当转动时所带动的气流随着扇叶的形状吹出来，形成不规则的气流，从而带动光刻机内部的各方向气流，避免散热不完整出现散热死角。
Description
技术领域
本发明涉及散热技术领域，具体涉及一种具有辅助散热装置的光刻机。
背景技术
光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种，分辨率通常七纳米至几微米之间，高端光刻机号称世界上最精密的仪器，光刻机中的运动控制系统具有热耗大、容易被外界信号干扰的特点。目前一般采用风冷对运动控制系统进行散热。
现有的具有辅助散热装置的光刻机一般采用普通的风冷散热，而普通的扇热扇只能对风进行恒定方向的散热，而这种散热器散热效果低，且散热时滤板上容易堆积灰尘而无法经行清理，从而影响散热效果。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提供一种具有辅助散热装置的光刻机，包括光刻机和光刻机下方活动连接的散热柜，所述散热柜前方表面开设有散热窗，所述散热柜左右两侧开设有活性散热窗；
所述活性散热窗包括有固定杆，所述固定杆固定连接于散热柜左右两壁内，所述固定杆内部设置有活动轴，所述活动轴表面活动连接有窗叶，所述散热窗有两个，各分布于散热柜的左侧和右侧，每一面设置有三个窗叶，每一个窗叶都转动连接于活动轴内部。
进一步地，所述光刻机底部边缘设置有连接结构，所述连接结构包括有连接凹槽，所述连接凹槽开设于散热柜顶部边缘，所述连接凹槽有两个，各分布于散热柜的左右两壁，所述光刻机底部边缘固定安装有连接块，所述连接块有两个，各分布于散热柜左右两侧，且所述连接块与连接凹槽滑动连接。
进一步地，所述所述散热柜底部下方固定安装有散热装置，所述散热装置包括有固定柱，所述固定柱固定安装于散热柜的底部下方，所述固定柱内部固定连接有双轴电机，所述电机的输出端的内端转动连接有扇轴，所述扇轴外表面固定安装有扇叶，所述扇叶呈不规则形状，所述电机的输出端的外端固定连接有转轴，所述转轴表面输出端固定连接有固定板，所述固定板端面固定安装有横向扇叶，所述固定柱与双轴电机有两个，且固定柱与双轴电机沿散热柜中部对称分布。
进一步地，所述散热柜底部下方固定安装有散热装置，所述散热装置包括有固定柱，所述固定柱固定安装于散热柜的底部下方，所述固定柱内部固定连接有双轴电机，所述电机的输出端的内端转动连接有扇轴，所述扇轴外表面固定安装有扇叶，所述扇叶呈不规则形状，所述电机的输出端的外端固定连接有转轴，所述转轴表面输出端固定连接有固定板，所述固定板端面固定安装有横向扇叶，所述固定柱与双轴电机有两个，且固定柱与双轴电机沿散热柜中部对称分布。
进一步地，所述散热柜底部内表面左后方设置有感应传输结构，所述感应传输结构包括有控制传输器，所述控制传输器固定安装于散热柜底部内表面左后方，所述控制传输器右侧中部固定连接有感应连接线，所述散热柜底部内表面中后方固定安装有感应块，所述感应连接线末端与感应块固定连接，所述控制传输器右上角固定安装有控制连接线。
进一步地，所述散热柜底部内表面右后方设置有压缩机装置，所述压缩机装置包括有压缩机，所述压缩机固定安装于散热柜右后方，且压缩机穿插于散热柜后壁，所述压缩机右侧输出端固定安装有连接螺母，所述连接螺母输出口套接有输出管，所述控制连接线与压缩机左侧的输入端固定安装。
进一步地，所述散热柜底部内表面固定安装有制冷装置，所述制冷装置包括有制冷模组，所述制冷模组固定安装于散热柜底部内表面，所述制冷模组顶部表面固定安装有制冷管，所述制冷管分为三行，每行有九个，呈正方形等距离分布于制冷模组顶部表面。所述制冷管外表面固定连接有制冷板，所述制冷板有三个，各安装于制冷管的顶部、中部和底部，所述输出管与制冷模组固定安装。
进一步地，所述弧形板的外表面呈光滑的弧形，所述弧形板下方的宽度大于上方的宽度，且弧形板的左、右侧和底部与散热柜底部内表面固定连接。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
(1)、该具有辅助散热装置的光刻机通过散热柜对上方的光刻机内部进行散热，散热柜与光刻机通过连接结构进行连接，连接时，使连接块进入到连接凹槽轨道实现滑动连接，方便于对光刻机与散热柜的拆卸对光刻机与散热柜内部进行保养或检修，通过散热窗可以使内部的空气与外部进行循环，通过左右两侧设置活性散热窗当进行不同方式散热时进行打开或者关闭，使用时，窗叶通过固定杆上的活动轴进行上下活动来关闭或者打开活性散热窗。
(2)、该具有辅助散热装置的光刻机通过设置散热装置来对内部进行散热，通过内部的固定柱来进行对散热扇的固定，通过设置两个双轴电机为同步运转，来带动固定柱两边的扇轴与转动轴，扇叶的形状呈不规则形状，当转动时所带动的气流随着扇叶的形状吹出来，形成不规则的气流，从而带动光刻机内部的各方向气流，避免散热不完整出现散热死角。
(3)该具有辅助散热装置的光刻机通过滤网结构来进行过滤外部的空气，散热时，电机带动扇叶进行内外空气的循环，空气通过滤网进入光刻机是由滤网过滤掉外部空气的杂质，通过设置软性弹簧来进行滤网与散热柜内部的连接，当不规则气流吹到滤板时，会通过弹簧产生晃动滤板随之相应的晃动，这样可以清理吸附在滤板上的灰尘，避免影响散热的效果，通过设置凸块和限位条组成限位槽一和限位槽二，使滤网的边缘卡在限位槽一和限位槽二里，通过设置活动软球起到缓冲和堵塞作用，避免灰尘从限位槽一与限位槽二进入到光刻机内部和避免滤网撞击到连接条上使滤网损坏和发出声响，通过弹簧限位块来对软性弹簧的摆动的幅度进行限制，避免因幅度过大而对滤网产生破坏。
(4)该具有辅助散热装置的光刻机通过设置感应传输结构来进行对压缩及装置的控制可以节省能源避免不必要的能源浪费，通过设置感应块来感应光刻机内部空气的温度当温度达到最大限制温度时，感应块将数据传到控制传输器，控制传输器通过控制连接线将启动数据传输给压缩机和活性散热窗，活性散热窗关闭，然后使用压缩机将冷空气从输出管传输到内部的制冷板和制冷管，最后由制冷板和制冷管发出冷气，通过设置制冷管来固定制冷板的位置，起到固定作用，发出的冷气通过与散热装置配合，使冷空气分布于光刻机内部各个角落，更加提升了散热的效果。
附图说明
图1为本发明整体结构示意图；
图2为散热柜内部结构示意图；
图3为本发明内部结构俯视图；
图4为图2中A处放大图；
图5为图2中B处放大图；
图6为散热板结构示意图。
图中：1、光刻机；2、散热柜；3、散热窗；4、活性散热窗；401、窗叶；402、活动轴；403、固定杆；5、散热装置；501、固定柱；502、双轴电机；503、扇叶；504、扇轴；505、转轴；506、固定板；507、横向扇叶；6、连接结构；601、连接凹槽；602、连接块；7、滤网结构；701、连接条；702、滤网；703、凸块；704、限位槽一；705、活动软球；706、软性弹簧；707、弹簧限位块；708、限位条；709、限位槽二；710、弧形板；8、感应传输结构；801、控制连接线；802、控制传输器；803、感应块；804、感应连接线；9、压缩机装置；901、压缩机；902、连接螺母；903、输出管；10、制冷装置；1001、制冷板；1002、制冷管；1003、制冷模组。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。本发明的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本发明限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本发明的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本发明从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
实施例1
如图1、图2和图4所示，本发明为一种具有辅助散热装置的光刻机，包括光刻机1和光刻机1下方活动连接的散热柜2，散热柜2前方表面开设有散热窗3，散热柜2左右两侧开设有活性散热窗4，活性散热窗4包括有固定杆403，固定杆403固定连接于散热柜2左右两壁内，固定杆403内部设置有活动轴402，活动轴402表面活动连接有窗叶401，散热窗4有两个，各分布于散热柜2的左侧和右侧，每一面设置有三个窗叶401，每一个窗叶401都转动连接于活动轴402内部，散热柜2底部下方固定安装有散热装置5，散热装置5包括有固定柱501，固定柱501固定安装于散热柜2的底部下方，固定柱501内部固定连接有双轴电机502，电机502的输出端的内端转动连接有扇轴504，扇轴504外表面固定安装有扇叶503，扇叶503呈不规则形状，电机502的输出端的外端固定连接有转轴505，转轴505表面输出端固定连接有固定板506，固定板506端面固定安装有横向扇叶507，固定柱501与双轴电机502有两个，且固定柱501与双轴电机502沿散热柜2中部对称分布。
使用时，通过内部的固定柱501来进行对散热扇的固定，通过设置两个双轴电机502为同步运转，来带动固定柱501两边的扇轴504与转动轴，扇叶503的形状呈不规则形状，当转动时所带动的气流随着扇叶503的形状吹出来，形成不规则的气流，从而带动光刻机1内部的各方向气流，避免散热不完整出现散热死角，通过散热窗3可以使内部的空气与外部进行循环，通过左右两侧设置活性散热窗4当进行不同方式散热时进行打开或者关闭，使用时，窗叶401通过固定杆403上的活动轴402进行上下活动来关闭或者打开活性散热窗4。
实施例2
如图1、图5所示，光刻机1底部边缘设置有连接结构6，连接结构6包括有连接凹槽601，连接凹槽601开设于散热柜2顶部边缘，连接凹槽601有两个，各分布于散热柜2的左右两壁，光刻机1底部边缘固定安装有连接块602，连接块602有两个，各分布于散热柜2左右两侧，且连接块602与连接凹槽601滑动连接。
使用时，散热柜2与光刻机1通过连接结构6进行连接，连接时，使连接块602进入到连接凹槽601轨道实现滑动连接，方便于对光刻机1与散热柜2的拆卸对光刻机1与散热柜2内部进行保养或检修。
实施例3
散热柜2内壁设置有滤网结构7，滤网结构7有三面，分布于正面、左面和右面，滤网结构7包括有连接条701，连接条701固定安装于散热柜2的内部左右两壁上方，散热柜2的内壁表面设置有滤网702，连接条701的左侧表面上方固定安装有凸块703，凸块703有四个，分布于连接条701的左侧表面上方和滤网702右侧上方，且每一侧的凸块703设置有两个，两侧凸块703组合形成限位槽一704，限位槽一704内部设置有活动软球705，滤网702两侧上方外表面固定安装有软性弹簧706，软性弹簧706末端与散热柜2固定连接，散热柜2两侧内表面上方固定安装有弹簧限位块707，弹簧限位块707设置于弹簧706下方，散热柜2内侧底部后方固定连接有弧形板710，弧形板710左右两侧固定连接有限位条708，限位条708有四个，每侧有两个，每一侧限位条组成限位槽二709，滤网702左右两侧的末端设置于限位槽二709内部。
使用时，散热时，电机带动扇叶503进行内外空气的循环，空气通过滤网702进入光刻机1是由滤网702过滤掉外部空气的杂质，通过设置软性弹簧706来进行滤网702与散热柜2内部的连接，当不规则气流吹到滤网702时，会通过软性弹簧706产生晃动滤板随之相应的晃动，这样可以清理吸附在滤网702上的灰尘，避免影响散热的效果，通过设置凸块703和限位条708二组成限位槽一704和限位槽二709，使滤网702的边缘卡在限位槽一704和限位槽二709里，通过设置活动软球705起到缓冲和堵塞作用，避免灰尘从限位槽一704与限位槽二709进入到光刻机1内部和避免滤网702撞击到连接条701上使滤网702损坏和发出声响，通过弹簧限位块707来对软性弹簧706的摆动的幅度进行限制，避免因幅度过大而对滤网702产生破坏。
实施例4
散热柜2底部内表面左后方设置有感应传输结构8，感应传输结构8包括有控制传输器802，控制传输器802固定安装于散热柜2底部内表面左后方，控制传输器802右侧中部固定连接有感应连接线804，散热柜2底部内表面中后方固定安装有感应块803，感应连接线804末端与感应块803固定连接，控制传输器802右上角固定安装有控制连接线801，散热柜2底部内表面右后方设置有压缩机装置9，压缩机装置9包括有压缩机901，压缩机901固定安装于散热柜2右后方，且压缩机穿插于散热柜2后壁，压缩机901右侧输出端固定安装有连接螺母902，连接螺母902输出口套接有输出管903，控制连接线801与压缩机901左侧的输入端固定安装，散热柜2底部内表面固定安装有制冷装置10，制冷装置10包括有制冷模组1003，制冷模组1003固定安装于散热柜2底部内表面，制冷模组1003顶部表面固定安装有制冷管1002，制冷管1002分为三行，每行有九个，呈正方形等距离分布于制冷模组1003顶部表面。制冷管1002外表面固定连接有制冷板1001，制冷板1001有三个，各安装于制冷管1002的顶部、中部和底部，输出管903与制冷模组1003固定安装。
使用时，通过设置感应块803来感应光刻机1内部空气的温度当温度达到最大限制温度时，感应块803将数据传到控制传输器802，控制传输器802通过控制连接线801将启动数据传输给压缩机901和活性散热窗43，活性散热窗43关闭，然后使用压缩机901将冷空气从输出管903传输到内部的制冷板1001和制冷管1002，最后由制冷板1001和制冷管1002发出冷气，通过设置制冷管1002来固定制冷板1001的位置，起到固定作用，发出的冷气通过与散热装置5配合，使冷空气分布于光刻机1内部各个角落，更加提升了散热的效果。
显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域及相关领域的普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本发明保护的范围。本发明中未具体描述和解释说明的结构、装置以及操作方法，如无特别说明和限定，均按照本领域的常规手段进行实施。
Claims (5)
1.一种具有辅助散热装置的光刻机，包括光刻机(1)和光刻机(1)下方活动连接的散热柜(2)，其特征在于：所述散热柜(2)前方表面开设有散热窗(3)，所述散热柜(2)左右两侧开设有活性散热窗(4)；
所述活性散热窗(4)包括有固定杆(403)，所述固定杆(403)固定连接于散热柜(2)左右两壁内，所述固定杆(403)内部设置有活动轴(402)，所述活动轴(402)表面活动连接有窗叶(401)，所述散热窗(4)有两个，各分布于散热柜(2)的左侧和右侧，每一面设置有三个窗叶(401)，每一个窗叶(401)都转动连接于活动轴(402)内部；
所述光刻机(1)底部边缘设置有连接结构(6)，所述连接结构(6)包括有连接凹槽(601)，所述连接凹槽(601)开设于散热柜(2)顶部边缘，所述连接凹槽(601)有两个，各分布于散热柜(2)的左右两壁，所述光刻机(1)底部边缘固定安装有连接块(602)，所述连接块(602)有两个，各分布于散热柜(2)左右两侧，且所述连接块(602)与连接凹槽(601)滑动连接；
所述散热柜(2)底部下方固定安装有散热装置(5)，所述散热装置(5)包括有固定柱(501)，所述固定柱(501)固定安装于散热柜(2)的底部下方，所述固定柱(501)内部固定连接有双轴电机(502)，所述电机(502)的输出端的内端转动连接有扇轴(504)，所述扇轴(504)外表面固定安装有扇叶(503)，所述扇叶(503)呈不规则形状，所述电机(502)的输出端的外端固定连接有转轴(505)，所述转轴(505)表面输出端固定连接有固定板(506)，所述固定板(506)端面固定安装有横向扇叶(507)，所述固定柱(501)与双轴电机(502)有两个，且固定柱(501)与双轴电机(502)沿散热柜(2)中部对称分布；
所述散热柜(2)内壁设置有滤网结构(7)，所述滤网结构(7)有三面，分布于正面、左面和右面，所述滤网结构(7)包括有连接条(701)，所述连接条(701)固定安装于散热柜(2)的内部左右两壁上方，所述散热柜(2)的内壁表面设置有滤网(702)，所述连接条(701)的左侧表面上方固定安装有凸块(703)，所述凸块(703)有四个，分布于连接条(701)的左侧表面上方和滤网(702)右侧上方，且每一侧的凸块(703)设置有两个，所述两侧凸块(703)组合形成限位槽一(704)，所述限位槽一(704)内部设置有活动软球(705)，所述滤网(702)两侧上方外表面固定安装有软性弹簧(706)，所述软性弹簧(706)末端与散热柜(2)固定连接，所述散热柜(2)两侧内表面上方固定安装有弹簧限位块(707)，所述弹簧限位块(707)设置于弹簧(706)下方，所述散热柜(2)内侧底部后方固定连接有弧形板(710)，所述弧形板(710)左右两侧固定连接有限位条(708)，所述限位条(708)有四个，每侧有两个，所述每一侧限位条组成限位槽二(709)，所述滤网(702)左右两侧的末端设置于限位槽二(709)内部。
2.根据权利要求1所述的一种具有辅助散热装置的光刻机其特征在于：所述散热柜(2)底部内表面左后方设置有感应传输结构(8)，所述感应传输结构(8)包括有控制传输器(802)，所述控制传输器(802)固定安装于散热柜(2)底部内表面左后方，所述控制传输器(802)右侧中部固定连接有感应连接线(804)，所述散热柜(2)底部内表面中后方固定安装有感应块(803)，所述感应连接线(804)末端与感应块(803)固定连接，所述控制传输器(802)右上角固定安装有控制连接线(801)。
3.根据权利要求2所述的一种具有辅助散热装置的光刻机其特征在于：所述散热柜(2)底部内表面右后方设置有压缩机装置(9)，所述压缩机装置(9)包括有压缩机(901)，所述压缩机(901)固定安装于散热柜(2)右后方，且压缩机穿插于散热柜(2)后壁，所述压缩机(901)右侧输出端固定安装有连接螺母(902)，所述连接螺母(902)输出口套接有输出管(903)，所述控制连接线(801)与压缩机(901)左侧的输入端固定安装。
4.根据权利要求3所述的一种具有辅助散热装置的光刻机其特征在于：所述散热柜(2)底部内表面固定安装有制冷装置(10)，所述制冷装置(10)包括有制冷模组(1003)，所述制冷模组(1003)固定安装于散热柜(2)底部内表面，所述制冷模组(1003)顶部表面固定安装有制冷管(1002)，所述制冷管(1002)分为三行，每行有九个，呈正方形等距离分布于制冷模组(1003)顶部表面，所述制冷管(1002)外表面固定连接有制冷板(1001)，所述制冷板(1001)有三个，各安装于制冷管(1002)的顶部、中部和底部，所述输出管(903)与制冷模组(1003)固定安装。
5.根据权利要求1所述的一种具有辅助散热装置的光刻机其特征在于：所述弧形板(710)的外表面呈光滑的弧形，所述弧形板(710)下方的宽度大于上方的宽度，且弧形板(710)的左、右侧和底部与散热柜(2)底部内表面固定连接。
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