CN115701374A - 判定用工具和形状判定方法 - Google Patents

判定用工具和形状判定方法 Download PDF

Info

Publication number
CN115701374A
CN115701374A CN202210875475.XA CN202210875475A CN115701374A CN 115701374 A CN115701374 A CN 115701374A CN 202210875475 A CN202210875475 A CN 202210875475A CN 115701374 A CN115701374 A CN 115701374A
Authority
CN
China
Prior art keywords
tool
determination
shape
machining
tip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202210875475.XA
Other languages
English (en)
Inventor
饭田胜文
星川裕俊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Disco Corp
Original Assignee
Disco Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Disco Corp filed Critical Disco Corp
Publication of CN115701374A publication Critical patent/CN115701374A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/20—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring workpiece characteristics, e.g. contour, dimension, hardness
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/09—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring cutting pressure or for determining cutting-tool condition, e.g. cutting ability, load on tool
    • B23Q17/0952—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring cutting pressure or for determining cutting-tool condition, e.g. cutting ability, load on tool during machining
    • B23Q17/099—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring cutting pressure or for determining cutting-tool condition, e.g. cutting ability, load on tool during machining by measuring features of the machined workpiece
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/24—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves
    • B23Q17/2452—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves for measuring features or for detecting a condition of machine parts, tools or workpieces
    • B23Q17/2457—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves for measuring features or for detecting a condition of machine parts, tools or workpieces of tools
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/09—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring cutting pressure or for determining cutting-tool condition, e.g. cutting ability, load on tool
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/09—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring cutting pressure or for determining cutting-tool condition, e.g. cutting ability, load on tool
    • B23Q17/0995—Tool life management
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/24—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves
    • B23Q17/248—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves using special electromagnetic means or methods
    • B23Q17/249—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves using special electromagnetic means or methods using image analysis, e.g. for radar, infrared or array camera images
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B27/00—Other grinding machines or devices
    • B24B27/06—Grinders for cutting-off
    • B24B27/0683—Accessories therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • B24B49/12—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation involving optical means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/20—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
    • B24B7/22—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
    • B24B7/228—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain for grinding thin, brittle parts, e.g. semiconductors, wafers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
    • B24B53/06—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces of profiled abrasive wheels

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Dicing (AREA)

Abstract

本发明提供判定用工具和形状判定方法，能够简单地判定加工用工具的前端的形状。该判定用工具在对加工用工具的前端的形状进行判定时使用，该加工用工具一边相对于用于保持被加工物的工作台相对移动一边对工作台所保持的被加工物进行加工，其中，该判定用工具具有：底面，其保持于工作台；以及平坦的倾斜面，其相对于底面倾斜，配置成与相对移动的方向交叉的朝向，供加工用工具的前端切穿。

Description

判定用工具和形状判定方法
技术领域
本发明涉及在对加工用工具的前端的形状进行判定时使用的判定用工具和使用该判定用工具的形状判定方法。
背景技术
在以移动电话或个人计算机为代表的电子设备中，具有电子电路等器件的器件芯片成为必须的构成要素。关于器件芯片，例如将由硅等半导体材料形成的晶片的正面侧利用分割预定线(间隔道)划分成多个区域，在各区域内形成器件之后，利用该分割预定线将晶片分割，由此得到器件芯片。
在将以晶片为代表的板状的被加工物分割成器件芯片等小片时，例如使用安装有在结合剂中分散磨粒而成的被称为切削刀具的加工用工具的切削装置。通过使切削刀具高速地旋转，一边提供纯水等液体一边切入分割预定线，能够将被加工物切断而分割成多个小片(例如参照专利文献1)。
专利文献1：日本特开2000-87282号公报
但是，当利用切削刀具那样的加工用工具对被加工物进行加工时，随着加工的进行，加工用工具的前端发生磨损而带有圆角。当利用前端带有圆角的状态的加工用工具对被加工物进行加工时，加工用工具的前端的圆角转印至被加工物，无法将被加工物加工成期望的形状。另外，有时还会因为由前端的圆角所致的强度的降低和形状的非对称性使切入被加工物的加工用工具振动从而使加工的品质降低。
因此，一直以来使加工用工具切入平坦的板状的部件，从板状的部件的侧方观察所形成的加工痕的形状，由此根据需要判定加工用工具的前端是否带有圆角。但是，在该方法中，为了能够从侧方观察加工痕的形状，需要将板状的部件相对于照相机等重新进行配置，因此会花费工夫，至判定完成为止需要较长的时间。
发明内容
本发明是鉴于该问题点而完成的，其目的在于提供能够简单地判定加工用工具的前端的形状的判定用工具和使用该判定用工具的简单的形状判定方法。
根据本发明的一个方式，提供判定用工具，其在对加工用工具的前端的形状进行判定时使用，该加工用工具一边相对于用于保持被加工物的工作台相对移动一边对该工作台所保持的该被加工物进行加工，其中，该判定用工具具有：底面，其保持于该工作台；以及平坦的倾斜面，其相对于该底面倾斜，配置成与该相对移动的方向交叉的朝向，供该加工用工具的该前端切穿。
优选该底面与该倾斜面所成的角度为30°以上且60°以下。另外，优选判定用工具由硅或碳形成。
根据本发明的另一方式，提供形状判定方法，在对加工用工具的前端的形状进行判定时使用，该加工用工具一边相对于用于保持被加工物的工作台相对移动一边对该工作台所保持的该被加工物进行加工，其中，利用该工作台对具有底面和相对于该底面倾斜的平坦的倾斜面的判定用工具的该底面进行保持，在该倾斜面与该相对移动的方向交叉的状态下，按照该加工用工具的该前端切穿该倾斜面的方式使该前端切入该判定用工具，从该判定用工具的与该底面相反的一侧对通过该前端切穿该倾斜面而形成于该倾斜面的加工痕的形状进行确认而对该加工用工具的该前端的形状进行判定。
优选按照未切穿该倾斜面的该底面侧的端的方式使该前端切入该判定用工具。另外，优选一边使该加工用工具和该工作台在该方向上相对移动一边使该前端切入该判定用工具。另外，优选在从与该底面相反的一侧确认的该加工痕的端部为曲线状的情况下，判定为该加工用工具的该前端为曲面状。
本发明的一个方式的判定用工具具有：底面，其保持于工作台；以及平坦的倾斜面，其相对于底面倾斜，供加工用工具的前端切穿，因此仅通过按照加工用工具的前端切穿倾斜面的方式使前端切入判定用工具而在倾斜面上形成加工痕，就能够从判定用工具的与底面相反的一侧简单地确认该加工痕的形状。
即，根据本发明的一个方式的判定用工具和另一方式的形状判定方法，无需为了确认与加工用工具的前端的形状对应的加工痕的形状而重新配置判定用工具。由此，与以往的方法相比，能够简单地判定加工用工具的前端的形状。
附图说明
图1是示意性示出判定用工具的构造的立体图。
图2是示意性示出利用工作台保持判定用工具的情况的立体图。
图3是示意性示出使切削刀具的前端切入判定用工具的情况的立体图。
图4是示意性示出使切削刀具的前端切入判定用工具的情况的侧视图。
图5是示意性示出对形成于判定用工具的倾斜面的加工痕的形状进行确认的情况的侧视图。
图6是利用照相机拍摄形成于判定用工具的倾斜面的加工痕而得到的图像的一例。
图7是示意性示出使磨削磨具的前端切入判定用工具的情况的侧视图。
图8是示意性示出使磨削磨具的前端切入判定用工具的情况的侧视图。
图9是利用照相机拍摄形成于判定用工具的倾斜面的加工痕而得到的图像的一例。
图10是示意性示出第1变形例的判定用工具的构造的立体图。
图11是示意性示出第2变形例的判定用工具的构造的立体图。
标号说明
1：判定用工具；1a：底面；1b：上表面；1c：侧面；1d：侧面；1e：侧面；1f：侧面；1g：槽；1h：垂直面；1i：倾斜面；1j：加工痕；1k：端部；1l：加工痕；1m：端部；3：带；5：框架；7：图像；9：图像；11：判定用工具；11a：底面；11b：上表面；11c：侧面；11e：侧面；11f：侧面；11i：倾斜面；13：判定用工具；13a：底面；13b：上表面；13c：侧面；13d：侧面；13e：侧面；13f：侧面；13g：槽；13h：倾斜面；13i：倾斜面；2：切削装置(加工装置)；4：工作台(卡盘工作台)；6：框体；6a：凹部；8：保持板；8a：上表面；10：夹具；12：切削刀具(加工用工具)；14：切削单元(加工单元)；16：主轴壳体；18：主轴；20：照相机；32：磨削装置(加工装置)；34：磨削磨具(加工用工具)；36：磨削单元(加工单元)；38：主轴；40：磨削磨轮；42：基台。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。图1是示意性示出本实施方式的判定用工具1的构造的立体图。如图1所示，判定用工具1具有大致平坦的长方形状的底面1a和与底面1a相反的一侧的上表面1b，例如在对在结合剂中分散磨粒而成的加工用工具(磨具工具)的前端的形状进行判定时使用该判定用工具1。
相当于底面1a的长方形状的4个边的部位(端部)分别经由侧面1c、侧面1d、侧面1e和侧面1f而与上表面1b连接。底面1a和上表面1b相互大致平行，侧面1c、侧面1d、侧面1e和侧面1f与底面1a和上表面1b大致垂直。
在该判定用工具1中设置有沿与相当于与侧面1d和侧面1f相接的底面1a的2个边的部位大致平行的方向延伸的槽1g。槽1g的上端在上表面1b开口，槽1g的长度方向的两端到达侧面1c与侧面1e这双方。即，通过该槽1g，将上表面1b分成侧面1d侧的第1部分和侧面1f侧的第2部分。
槽1g具有：与底面1a和上表面1b大致垂直且与侧面1d大致平行的垂直面1h；以及相对于底面1a和上表面1b倾斜的倾斜面1i。倾斜面1i例如按照相对于底面1a(或上表面1b)形成规定的角度的方式形成为大致平坦。
对于底面1a(或上表面1b)与倾斜面1i所成的角度θ1没有严格限制，但当使底面1a与倾斜面1i所成的角度θ1为30°以上且60°以下时，能够从上表面1b侧充分地确认加工用工具的前端的形状。另外，当使底面1a与倾斜面1i所成的角度θ1为43°以上且48°以下(代表性地为45°)时，能够从上表面1b侧更精密地确认加工用工具的前端的形状。
对于判定用工具1的制造方法没有特别限制。例如能够通过利用切削加工、激光加工、蚀刻加工等任意的方法在板状的部件上形成槽1g而制造判定用工具1。对于判定用工具1的材质也没有严格限制。判定用工具1只要由使用对象的加工用工具容易进行加工的材质形成即可。
不过，当由多孔质材料那样的多孔材质形成判定用工具1时，孔可能会与使用加工用工具形成于倾斜面1i的加工痕重叠而导致无法充分确认加工痕的形状。由此，优选由孔少的致密的材质形成判定用工具1。作为这样的材质，例如可以举出硅或碳等。
接着，说明使用上述判定用工具1对加工用工具的前端的形状进行判定的形状判定方法。在本实施方式的形状判定方法中，首先利用加工装置的工作台对判定用工具1的底面1a进行保持(保持步骤)。图2是示意性示出利用切削装置(加工装置)2的工作台(卡盘工作台)4对判定用工具1进行保持的情况的立体图。
如图2所示，在本实施方式中使用的切削装置2具有用于对以半导体晶片为代表的板状的被加工物(未图示)进行保持的工作台4。工作台4例如包含使用以不锈钢为代表的金属形成的圆盘状的框体6。在框体6的上表面侧形成有在上端具有圆形状的开口的凹部6a。
在框体6的凹部6a中固定有使用陶瓷等形成为多孔质的圆盘状的保持板8。保持板8的上表面8a构成为大致平坦，作为对被加工物进行保持的保持面发挥功能。保持板8的下表面侧经由设置于框体6的内部的流路或阀(未图示)等而与喷射器等吸引源(未图示)连接。
另外，在利用该切削装置2对被加工物进行加工时，例如将直径比被加工物大的带(划片带)粘贴于被加工物的下表面侧。另外，在带的外周部分按照围绕被加工物的方式固定有环状的框架。为了把持该环状的框架，在框体6的周围配置有4个夹具10。
在框体6的下部连结有电动机等旋转驱动源(未图示)。工作台4和夹具10通过该旋转驱动源产生的力，按照上表面8a的中心成为旋转的中心的方式例如绕沿着与上表面8a大致垂直的铅垂方向(Z轴方向)的轴(旋转轴)旋转。另外，框体6支承于工作台移动机构(未图示)，工作台4通过该工作台移动机构沿着与上表面8a大致平行的加工进给方向(X轴方向)移动。
如图2所示，判定用工具1与被加工物同样地在借助带(划片带)3而支承于环状的框架5的状态下将底面1a侧保持于工作台4。由此，在利用工作台4对判定用工具1进行保持之前，将比判定用工具1大的带3粘贴于判定用工具1的底面1a上。另外，在带3的外周部分按照围绕判定用工具1的方式固定环状的框架5。
在利用工作台4对判定用工具1的底面1a进行保持时，首先使粘贴于判定用工具1的带3的下表面(判定用工具1的相反侧的面)与工作台4的上表面8a接触。另外，通过4个夹具10把持固定于带3的外周部分的环状的框架5。并且，将阀打开，将吸引源的负压作用于工作台4。由此，判定用工具1的底面1a隔着带3而被工作台4保持，判定用工具1的上表面1b向上方露出。
在利用工作台4对判定用工具1的底面1a进行了保持之后，按照使切削装置2中使用的加工用工具的前端切穿判定用工具1的倾斜面1i的方式使加工用工具的前端切入判定用工具1(切入步骤)。图3是示意性示出使在切削装置2中使用的切削刀具(加工用工具)12的前端切入判定用工具1的情况的立体图。另外，在图3中，为了便于说明，省略了保持判定用工具1的工作台4等。
如图3所示，在工作台4所保持的判定用工具1的上方配置有切削单元(加工单元)14。切削单元14具有筒状的主轴壳体16。在主轴壳体16的内侧的空间按照轴心(旋转轴)相对于与加工进给方向和铅垂方向大致垂直的分度进给方向(Y轴方向)大致平行的方式收纳有主轴18的一部分。
在从主轴壳体16露出的主轴18的一端侧安装有在树脂或金属等结合剂中分散金刚石等磨粒而成的切削刀具12。在主轴18的另一端侧连结有电动机等旋转驱动源(未图示)，安装于主轴18的一端侧的切削刀具12通过该旋转驱动源产生的力与主轴18一起旋转。
主轴壳体16(切削单元14)例如支承于切削单元移动机构(未图示)。切削单元14通过该切削单元移动机构沿着分度进给方向和铅垂方向移动。
例如在调整了切削单元14的铅垂方向的位置之后，一边使切削刀具12旋转一边使工作台4沿着加工进给方向移动，使切削刀具12切入被加工物，由此能够对被加工物进行切削加工。即，在本实施方式的切削装置2中，一边使切削刀具12相对于用于保持被加工物的工作台4移动，一边对工作台4所保持的被加工物进行加工。
在使切削刀具12的前端切入判定用工具1时，例如按照判定用工具1的倾斜面1i配置于与加工进给方向(即，相对移动的方向)交叉的朝向的方式调整工作台4的绕轴的朝向。具体而言，按照槽1g(倾斜面1i或垂直面1h)的长度方向与加工进给方向(相对移动的方向)交叉的方式调整工作台4的朝向。
对于加工进给方向与槽1g的长度方向所成的角度没有限制，但越使该角度接近垂直，越容易确认切削刀具12的前端的形状。代表性地，若按照加工进给方向与长度方向所成的角度为85°以上且95°以下(即90°±5°的范围)的方式调整工作台4的朝向，则能够适当地确认切削刀具12的前端的形状。
在调整了工作台4的朝向之后(或调整工作台4的朝向之前)，调整切削单元14的铅垂方向的位置。具体而言，按照切削刀具12的前端(下端)的高度低于判定用工具1的倾斜面1i的上端(上表面1b侧的端)的高度的方式，调整切削单元14的铅垂方向的位置。另外，按照切削刀具12的前端(下端)的高度高于判定用工具1的倾斜面1i的下端(底面1a侧的端)的高度的方式，调整切削单元14的铅垂方向的位置。
并且，如图3所示，一边使切削刀具12旋转一边使工作台4沿着加工进给方向移动，使切削刀具12切入判定用工具1。图4是示意性示出使切削刀具12的前端切入判定用工具1的情况的侧视图。另外，在图4中，为了便于说明，仅示出判定用工具1和切削刀具12。
倾斜面1i的朝向以及切削刀具12相对于倾斜面1i的高度如上述那样进行调整。因此，当使切削刀具12切入判定用工具1时，切削刀具12的前端以不切穿倾斜面1i的下端(底面1a侧的端)的方式切穿倾斜面1i。其结果是，在判定用工具1的倾斜面1i上形成具有与切削刀具12的前端的形状对应的形状的加工痕。
在倾斜面1i上形成了加工痕之后，从判定用工具1的上表面1b侧(底面1a的相反侧)确认该加工痕的形状而判定切削刀具12的前端的形状(形状判定步骤)。图5是示意性示出确认形成于判定用工具1的倾斜面1i的加工痕的形状的情况的侧视图。另外，在图5中，为了便于说明，仅示出用于确认加工痕的形状的主要结构。
如图5所示，在工作台4所保持的判定用工具1的上方配置有能够拍摄该判定用工具1的照相机20。照相机20例如具有对于可见光具有灵敏度的CMOS(Complementary MetalOxide Semiconductor，互补金属氧化物半导体)图像传感器或CCD(Charge CoupledDevice，电感耦合元件)图像传感器等二维光传感器，照相机20固定于切削单元14。即，照相机20通过上述切削单元移动机构与切削单元14一起沿着分度进给方向和铅垂方向移动。
在从上表面1b侧确认形成于倾斜面1i的加工痕的形状时，例如按照在加工痕的正上方配置照相机20的方式调整工作台4的位置和照相机20的位置。并且，从判定用工具1的上方(上表面1b侧、底面1a的相反侧)，利用照相机20对倾斜面1i的包含加工痕的区域进行拍摄。图6是利用照相机20拍摄形成于判定用工具1的倾斜面1i的加工痕1j而得到的图像7的一例。
如上所述，判定用工具1的倾斜面1i相对于工作台4所保持的判定用工具1的底面1a倾斜。因此，利用照相机20从工作台4的上方拍摄判定用工具1的倾斜面1i，由此能够获取拍到反映出切削刀具12的前端的形状的加工痕1j的图像7。并且，根据拍进图像7的加工痕1j的形状，能够判定切削刀具12的前端的形状。
例如如图6所示，在位于倾斜面1i的下端侧(在图像7中为垂直面1h侧)的加工痕1j的端部1k为曲线状的情况下，判定为切削刀具12的前端为曲面状，带有圆角。即，判定为处于本应存在于切削刀具12的前端的角因磨损而消失的状态。另一方面，在位于倾斜面1i的下端侧的加工痕1j的端部1k为直线状(具有角的形状)的情况下，判定为在切削刀具12的前端残留有角。
切削刀具12的前端的形状的判定例如通过控制切削装置2的控制单元(计算机)(未图示)对图像7进行处理而进行。判定的结果例如利用警告灯(光)、扬声器(音)、显示器(显示)等通知设备(未图示)而通知给操作者。不过，切削刀具12的前端的形状的判定可以根据操作者的主观而进行。在该情况下，不利用照相机20获取图像7，也能够利用操作者的目视来确认加工痕1j的形状。
如上所述，本实施方式的判定用工具1具有：底面1a，其保持于工作台4；以及平坦的倾斜面1i，其相对于底面1a倾斜，供切削刀具(加工用工具)2的前端切穿，因此仅通过按照切削刀具12的前端切穿倾斜面1i的方式使切削刀具12的前端切入判定用工具1而在倾斜面1i上形成加工痕1j，就能够从判定用工具1的底面1a的相反侧(上表面1b侧)简单地确认该加工痕1j的形状。
即，根据本实施方式的判定用工具1和形状判定方法，无需为了确认与切削刀具12的前端的形状对应的加工痕1j的形状而重新配置判定用工具1。由此，与以往的方法相比，能够简单地判定切削刀具12的前端的形状。
另外，本发明不限于上述实施方式的记载，可以进行各种变更并实施。例如在上述实施方式中，根据形成于判定用工具1的倾斜面1i的加工痕而判定切削刀具(加工用工具)12的前端的形状，但也可以按照同样的过程判定切削刀具12的弯曲等变形。另外，在该情况下，为了容易地判定刀具12的弯曲等变形，对槽1g的垂直面1h侧的侧壁呈阶梯状(具有多个层的形状)进行加工即可。
另外，在上述实施方式中，通过使切削刀具12相对于工作台4沿着加工进给方向相对地移动而使切削刀具12切入判定用工具1，但也可以通过使切削刀具12相对于工作台4沿着铅垂方向相对地移动而使切削刀具12切入判定用工具1(通过切削刀具12的前端切穿倾斜面1i)。
另外，在上述实施方式中，在判定用工具1的底面1a上粘贴带3，隔着该带3而利用工作台4保持判定用工具1的底面1a，但也可以在判定用工具1的底面1a上粘贴树脂制的板等，隔着该板等而利用工作台4保持判定用工具1的底面1a。
另外，在上述实施方式中，使切削刀具12仅切入判定用工具1，但例如也可以将在切削刀具2的修整中使用的修整板配置于判定用工具1的附近并使切削刀具12切入修整板和判定用工具1，由此一边对切削刀具2进行修整一边对切削刀具2的前端的形状进行判定。同样地，也可以在判定用工具1的附近配置被加工物，一边检测以崩边为代表的被加工物的加工不良一边判定切削刀具2的前端的形状。
另外，例如在上述实施方式中，使用判定用工具1来确认切削刀具12的前端的形状，但该判定用工具1也能够在确认其他加工用工具的前端的形状时使用。图7是示意性示出使在磨削装置(加工装置)32中使用的磨削磨具(加工用工具)34的前端切入判定用工具1的情况的俯视图。该磨削装置32与切削装置2同样地具有用于保持板状的被加工物(未图示)的工作台(卡盘工作台)(未图示)。
在工作台的下部连结有电动机等旋转驱动源(未图示)。工作台通过该旋转驱动源产生的力按照工作台的上表面的中心成为旋转的中心的方式绕沿铅垂方向或从铅垂方向略微倾斜的方向的轴(旋转轴)旋转。另外，工作台支承于工作台移动机构(未图示)，通过该工作台移动机构沿着水平方向移动。
在工作台的上方配置有磨削单元(加工单元)36。磨削单元36具有筒状的主轴壳体(未图示)。在主轴壳体的内侧的空间按照轴心(旋转轴)与铅垂方向大致平行的方式收纳有主轴38的一部分。
在从主轴壳体露出的主轴38的下端侧安装有磨削磨轮40。磨削磨轮40包含：圆盘状的基台42，其在上表面侧安装有主轴38；以及多个磨削磨具(加工用工具)34，它们呈环状排列在基台42的下表面侧。
在主轴38的上端侧连结有电动机等旋转驱动源(未图示)，安装于主轴38的下端侧的磨削磨轮40通过该旋转驱动源产生的力与主轴38一起旋转。即，各磨削磨具34按照绕主轴38的轴心公转的方式移动。
主轴壳体(磨削单元36)例如支承于磨削单元移动机构(未图示)。磨削单元36通过该磨削单元移动机构沿着铅垂方向移动。
例如在使保持着被加工物的工作台移动至磨削磨轮40的下方之后，一边使磨削磨轮40和工作台4旋转一边使磨削单元36下降，使磨削磨具34切入工作台上的被加工物，由此能够对该被加工物进行磨削加工。即，在该磨削装置32中，一边使磨削磨具34相对于用于保持被加工物的工作台移动，一边对工作台所保持的被加工物进行加工。
对磨削磨具34的前端的形状进行判定的形状判定方法与对切削刀具12的前端的形状进行判定的形状判定方法相同。具体而言，首先利用磨削装置32的工作台对判定用工具1的底面1a进行保持(保持步骤)。详细的过程与上述实施方式相同。另外，判定用工具1例如隔着带(未图示)而保持于工作台，但无需在带的外周部分固定环状的框架。
在利用工作台对判定用工具1的底面1a进行了保持之后，按照磨削磨具34的前端切穿判定用工具1的倾斜面1i的方式使磨削磨具34的前端切入判定用工具1(切入步骤)。图8是示意性示出使磨削磨具34的前端切入判定用工具1的情况的侧视图。另外，在图8中，为了便于说明，仅示出判定用工具1和磨削磨具34。
在使磨削磨具34的前端切入判定用工具1时，例如按照将判定用工具1的倾斜面1i配置成与磨削磨具34的移动的方向(公转的方向、相对于工作台的相对移动的方向)交叉的朝向的方式调整工作台的绕轴的朝向。具体而言，按照槽1g(倾斜面1i或垂直面1h)的长度方向与磨削磨具34的移动的方向交叉的方式调整工作台的朝向。
在调整了工作台4的朝向之后，如图7所示，一边使磨削磨轮40旋转一边使磨削单元36下降，使磨削磨具34切入工作台上的判定用工具1。不过，此时未使工作台旋转。这样，通过不使工作台旋转而使磨削磨轮40旋转，磨削磨具34从一定的方向切穿倾斜面1i。
另外，在磨削磨具34的前端(下端)的高度高于判定用工具1的倾斜面1i的下端(底面1a侧的端)的高度的状态下，使磨削单元36的下降停止。由此，磨削磨具34的前端以不切穿倾斜面1i的下端的方式切穿倾斜面1i。其结果是，在判定用工具1的倾斜面1i上形成具有与磨削磨具34的前端的形状对应的形状的加工痕。
在倾斜面1i上形成了加工痕之后，从判定用工具1的上表面1b侧(底面1a的相反侧)确认该加工痕的形状而判定磨削磨具34的前端的形状(形状判定步骤)。具体而言，例如利用磨削装置32的照相机(未图示)对倾斜面1i的包含加工痕的区域进行拍摄。图9是利用照相机拍摄形成于判定用工具1的倾斜面1i的加工痕1l而得到的图像9的一例。
如上所述，判定用工具1的倾斜面1i相对于工作台所保持的判定用工具1的底面1a倾斜。因此，通过利用照相机从工作台4的上方拍摄判定用工具1的倾斜面1i，能够获取拍到反映出磨削磨具34的前端的形状的加工痕1l的图像9。并且，根据拍进图像9的加工痕1l的形状，能够判定磨削磨具34的前端的形状。
例如如图9所示，在位于倾斜面1i的下端侧(图像9中为垂直面1h侧)的加工痕1l的端部1m为曲线状的情况下，判定为磨削磨具34的前端为曲面状，带有圆角。即，判定为处于本应存在于磨削磨具34的前端的角因磨损而消失的状态。另一方面，在位于倾斜面1i的下端侧的加工痕1l的端部1m为直线状(具有角的形状)的情况下，判定为在切削刀具12的前端残留有角。
切削刀具12的前端的形状的判定例如通过控制磨削装置32的控制单元(计算机)(未图示)对图像9进行处理而进行。另外，通过利用该图像9(加工痕1l)，控制单元还能够计算磨削磨具34的宽度等。
判定等的结果例如利用警告灯(光)、扬声器(音)、显示器(显示)等通知设备(未图示)通知给操作者。不过，磨削磨具34的前端的形状的判定也可以根据操作者的主观而进行。在该情况下，不利用照相机获取图像9，也能够利用操作者的目视确认加工痕1l的形状。
在上述的实施方式或变形例中，使用具有包含垂直面1h和倾斜面1i的槽1g的判定用工具1来确认切削刀具(加工用工具)12或磨削磨具(加工用工具)34的前端的形状，但本发明的判定用工具可以不必具有上述那样的槽1g。
图10是示意性示出第1变形例的判定用工具11的构造的立体图。如图10所示，第1变形例的判定用工具11具有：大致平坦的长方形状的底面11a；以及底面11a的相反侧的上表面11b。相当于底面11a的长方形状的4个边的部位(端部)分别经由侧面11c、侧面11e、侧面11f和倾斜面11i而与上表面1b连接。
底面11a和上表面11b相互大致平行，侧面11c、侧面11e和侧面11f与底面11a和上表面11b大致垂直。倾斜面11i与上述实施方式的倾斜面1i同样地，按照相对于底面11a(或上表面11b)形成为规定的角度的方式大致平坦地形成。
底面11a(或上表面11b)与倾斜面11i所成的角度θ2与上述实施方式的角度θ1相同。另外，判定用工具11的制造方法、判定用工具11的材质、判定用工具11的使用方法、使用判定用工具11的形状判定方法等也与上述实施方式相同。另外，该判定用工具11有时变形为不具有上表面1b的三棱柱状。
图11是示意性示出第2变形例的判定用工具13的构造的立体图。如图11所示，第2变形例的判定用工具13具有：大致平坦的长方形状的底面13a；以及底面13a的相反侧的上表面13b。相当于底面13a的长方形状的4个边的部位(端部)分别经由侧面13c、侧面13d、侧面13e和侧面13f而与上表面13b连接。
底面13a和上表面13b相互大致平行，侧面13c、侧面13d、侧面13e和侧面13f与底面13a和上表面13b大致垂直。在该判定用工具13中设置有沿与相当于与侧面13d和侧面13f相接的底面13a的2个边的部位大致平行的方向延伸的槽13g。
在该判定用工具13中设置有沿与相当于与侧面13d和侧面13f相接的底面13a的2个边的部位大致平行的方向延伸的槽13g。槽13g的上端在上表面13b上开口，槽13g的长度方向的两端到达侧面13c和侧面13e这双方。即，通过该槽13g，将上表面13b分成侧面13d侧的第1部分和侧面13f侧的第2部分。
槽13g具有：相对于底面13a和上表面13b倾斜的倾斜面13h；以及相对于底面13a和上表面13b倾斜的倾斜面13i。倾斜面13h和倾斜面13i例如按照相对于底面13a(或上表面13b)形成规定的角度的方式大致平坦地形成。
底面13a(或上表面13b)与倾斜面13i所成的角度θ3与上述实施方式的角度θ1相同。另外，底面13a(或上表面13b)与倾斜面13h所成的角度也与角度θ1相同。不过，无需使底面13a(或上表面13b)与倾斜面13h所成的角度与角度θ3相同。
另外，判定用工具13的制造方法、判定用工具13的材质、判定用工具13的使用方法、使用判定用工具13的形状判定方法等也与上述实施方式相同。在判定用工具13中，在倾斜面13h和倾斜面13i这双方形成有加工痕，因此更容易适当地确认加工用工具的前端的形状。另外，该判定用工具13有时变形为不具有上表面1b的形状。
除此之外，上述的实施方式或各变形例的构造、方法等只要不脱离本发明的目的的范围，则可以适当地变更并实施。

Claims (8)

1.一种判定用工具，其在对加工用工具的前端的形状进行判定时使用，该加工用工具一边相对于用于保持被加工物的工作台相对移动一边对该工作台所保持的该被加工物进行加工，其中，
该判定用工具具有：
底面，其保持于该工作台；以及
平坦的倾斜面，其相对于该底面倾斜，配置成与该相对移动的方向交叉的朝向，供该加工用工具的该前端切穿。
2.根据权利要求1所述的判定用工具，其中，
该底面与该倾斜面所成的角度为30°以上且60°以下。
3.根据权利要求1或2所述的判定用工具，其中，
该判定用工具由硅或碳形成。
4.一种形状判定方法，在对加工用工具的前端的形状进行判定时使用，该加工用工具一边相对于用于保持被加工物的工作台相对移动一边对该工作台所保持的该被加工物进行加工，其中，
利用该工作台对具有底面和相对于该底面倾斜的平坦的倾斜面的判定用工具的该底面进行保持，
在该倾斜面与该相对移动的方向交叉的状态下，按照该加工用工具的该前端切穿该倾斜面的方式使该前端切入该判定用工具，
从该判定用工具的与该底面相反的一侧对通过该前端切穿该倾斜面而形成于该倾斜面的加工痕的形状进行确认而对该加工用工具的该前端的形状进行判定。
5.根据权利要求4所述的形状判定方法，其中，
按照未切穿该倾斜面的该底面侧的端的方式使该前端切入该判定用工具。
6.根据权利要求4或5所述的形状判定方法，其中，
一边使该加工用工具和该工作台在该方向上相对移动一边使该前端切入该判定用工具。
7.根据权利要求4或5所述的形状判定方法，其中，
在从与该底面相反的一侧确认的该加工痕的端部为曲线状的情况下，判定为该加工用工具的该前端为曲面状。
8.根据权利要求6所述的形状判定方法，其中，
在从与该底面相反的一侧确认的该加工痕的端部为曲线状的情况下，判定为该加工用工具的该前端为曲面状。
CN202210875475.XA 2021-08-02 2022-07-25 判定用工具和形状判定方法 Pending CN115701374A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021126525A JP2023021577A (ja) 2021-08-02 2021-08-02 判定用ツール及び形状判定方法
JP2021-126525 2021-08-02

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN115701374A true CN115701374A (zh) 2023-02-10

Family

ID=84889711

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202210875475.XA Pending CN115701374A (zh) 2021-08-02 2022-07-25 判定用工具和形状判定方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20230032327A1 (zh)
JP (1) JP2023021577A (zh)
KR (1) KR20230019783A (zh)
CN (1) CN115701374A (zh)
DE (1) DE102022207637A1 (zh)
TW (1) TW202307938A (zh)

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3992168B2 (ja) 1998-09-17 2007-10-17 株式会社ディスコ 電着ブレードの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20230032327A1 (en) 2023-02-02
KR20230019783A (ko) 2023-02-09
DE102022207637A1 (de) 2023-02-02
TW202307938A (zh) 2023-02-16
JP2023021577A (ja) 2023-02-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110634736A (zh) 被加工物的加工方法
JP2019038045A (ja) ドレッシングボード、その使用方法及び切削装置
JP2009202323A (ja) 板状物の保持面の加工方法
JP5340832B2 (ja) マウントフランジの端面修正方法
CN110571131B (zh) 倒角加工方法
JP6486785B2 (ja) 端面修正治具および端面修正方法
CN115701374A (zh) 判定用工具和形状判定方法
CN117862971A (zh) 修整板和形状判定方法
JP5340835B2 (ja) マウントフランジの端面修正方法
JP7152882B2 (ja) 被加工物ユニットの保持方法
JP6850569B2 (ja) 研磨方法
TW202415492A (zh) 修整板及形狀判定方法
JP2020157387A (ja) 保持テーブル及び加工装置
JP7171131B2 (ja) 被加工物の研削方法
JP2024073263A (ja) 加工装置
JP2022044159A (ja) 原始ウエーハの加工方法
JP2022047397A (ja) 原始ウエーハの加工方法
JP2006123018A (ja) 面取り加工装置
TW202105488A (zh) 加工方法
CN117790419A (zh) 树脂基板的加工方法
CN117161962A (zh) 被加工物的磨削方法
CN115132610A (zh) 加工装置和加工方法
CN115703203A (zh) 切削刀具的整形方法
CN111452238A (zh) 切削装置和切削刀具的修整方法
JP2022048759A (ja) 原始ウエーハの加工方法、及び研削ホイール

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication