CN115569465A - 制程尾气处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种制程尾气处理装置包括一气体入口、一气体出口、一洗涤室、一风机、一主要通道、一分流通道、一压力传感器组和一控制阀门组。主要信道包括一第一信道、一第二信道和一第三信道。第一通道连通气体入口和洗涤室。第二通道连通洗涤室和风机。第三通道连通风机和气体出口。分流通道连通气体入口和气体出口。压力传感器组设置于气体入口、气体出口、主要通道和分流通道，以感测一气压。控制阀门组设置于主要通道和分流通道，以调节气压。

Description

制程尾气处理装置

技术领域

本发明是关于一种制程尾气处理装置，特别是一种可以确保通道内的气压稳定以避免跳机的制程尾气处理装置。

背景技术

在半导体制程中，会用气体处理设备来吸取制程的尾气并对尾气过滤，以避免尾气污染外部。在气体处理设备吸取尾气的过程中，尾气流通的管道应维持稳定的负压；若是负压变化太大，则制程前端的真空泵会启动保护机制而跳机。

然而，制程后端的气体处理设备的洗涤室需要定期清洁维护，而在清洁维护期间会启用分流通道，以使尾气继续流通。但是启用分流通道时，会造成管道的负压大幅度变化，而使得真空泵跳机。

因此，有必要提供一种可以确保通道内的气压稳定，以避免跳机的尾气处理装置。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种可以确保通道内的气压稳定以避免跳机的制程尾气处理装置。

为达成上述的目的，本发明的一种制程尾气处理装置包括一气体入口、一气体出口、一洗涤室、一风机、一主要通道、一分流通道、一压力传感器组和一控制阀门组。主要信道包括一第一信道、一第二信道和一第三信道。第一通道连通气体入口和洗涤室。第二通道连通洗涤室和风机。第三通道连通风机和气体出口。分流通道连通气体入口和气体出口。压力传感器组设置于气体入口、气体出口、主要通道和分流通道，以感测一气压。控制阀门组设置于主要通道和分流通道，以调节气压。

根据本发明的一实施例，其中压力传感器组更包括一入口压力传感器，入口压力传感器设置于气体入口。

根据本发明的一实施例，其中压力传感器组更包括一分流压力传感器，分流压力传感器设置于分流通道。

根据本发明的一实施例，其中压力传感器组更包括一风机压力传感器，风机压力传感器设置于第二通道。

根据本发明的一实施例，其中压力传感器组更包括一出口压力传感器，出口压力传感器设置于气体出口。

根据本发明的一实施例，其中压力传感器组更包括一洗涤室压力传感器，洗涤室压力传感器设置于洗涤室。

根据本发明的一实施例，其中控制阀门组更包括一洗涤室阀门，洗涤室阀门设置于第一通道。

根据本发明的一实施例，其中控制阀门组更包括一分流入口阀门，分流入口阀门设置于分流通道靠近气体入口的一端。

根据本发明的一实施例，其中控制阀门组更包括一风机阀门，风机阀门设置于第三通道。

根据本发明的一实施例，其中控制阀门组更包括一分流出口阀门，分流出口阀门设置于分流通道靠近气体出口的一端。

附图说明

附图是为提供对本申请进一步的理解，它们被收录并构成本申请的一部分，附图示出了本申请的实施例，并与本说明书一起起到解释本发明原理的作用。附图中：

图1是本发明的一实施例的制程尾气处理装置的示意图。

图2是本发明的一实施例的制程尾气处理装置的系统架构图。

附图标记

制程尾气处理装置1

气体入口10

气体出口20

洗涤室30

风机40

主要通道50

第一通道51

第二通道52

第三通道53

分流通道60

压力传感器组70

入口压力传感器71

分流压力传感器72

风机压力传感器73

出口压力传感器74

洗涤室压力传感器75

控制阀门组80

洗涤室阀门81

分流入口阀门82

风机阀门83

分流出口阀门84

控制件90

具体实施方式

为让本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，特举较佳具体实施例说明如下。

以下请一并参考图1至图2关于本发明的一实施例的制程尾气处理装置。图1是本发明的一实施例的制程尾气处理装置的示意图。图2是本发明的一实施例的制程尾气处理装置的系统架构图。

如图1和图2所示，在本发明的一实施例中，制程尾气处理装置1应用于半导体制程，且可以确保通道内的气压稳定，以避免和制程尾气处理装置1相连的真空泵(图未示)跳机。制程尾气处理装置1包括一气体入口10、一气体出口20、一洗涤室30、一风机40、一主要通道50、一分流通道60、一压力传感器组70、一控制阀门组80和一控制件90。

在本发明的一实施例中，气体入口10连通外部的真空泵，并用以供半导体制程中的尾气进入制程尾气处理装置1。气体出口20用以让被制程尾气处理装置1处理过的尾气输出至外部。

在本发明的一实施例中，洗涤室30用以冲洗和清洁尾气，以去除尾气里具有污染性质的杂质。风机40用以抽取气体并产生气流，以驱使尾气从气体入口10流向气体出口20。

在本发明的一实施例中，主要通道50用以供尾气从气体入口10流向气体出口20。主要信道50包括一第一通道51、一第二通道52和一第三通道53。第一通道51连通气体入口10和洗涤室30，以供尾气从气体入口10流向洗涤室30。第二通道52连通洗涤室30和风机40，以供尾气从洗涤室30流向风机40。第三通道53连通风机40和气体出口20，以供尾气从风机40流向气体出口20。

在本发明的一实施例中，分流通道60连通气体入口10和气体出口20。分流通道60用以在洗涤室30需进行维护时，暂时代替主要通道50，以使气体入口10和气体出口20互相连通。

在本发明的一实施例中，压力传感器组70设置于气体入口10、气体出口20、主要通道50、分流通道60和洗涤室30，以感测一气压。压力传感器组70包括一入口压力传感器71、一分流压力传感器72、一风机压力传感器73、一出口压力传感器74和一洗涤室压力传感器75。入口压力传感器71设置于气体入口10。分流压力传感器72设置于分流通道60。风机压力传感器73设置于第二通道52。出口压力传感器74设置于气体出口20。洗涤室压力传感器75设置于洗涤室30。藉由入口压力传感器71、分流压力传感器72、风机压力传感器73、出口压力传感器74和洗涤室压力传感器75，可以感测各个压力传感器设置的区域的气压，以确认各个区域的气压是否一致。

在本发明的一实施例中，控制阀门组80设置于主要通道50和分流通道60，以调节气压。控制阀门组80更包括一洗涤室阀门81、一分流入口阀门82、一风机阀门83和一分流出口阀门84。洗涤室阀门81设置于第一通道51。分流入口阀门82设置于分流通道60靠近气体入口10的一端。风机阀门83设置于第三通道53。分流出口阀门84设置于分流通道60靠近气体出口20的一端。洗涤室阀门81、分流入口阀门82、风机阀门83和分流出口阀门84皆为旋转式的阀门，其可以受到控制件90操作而旋转至开启或关闭，如此一来，可以藉由各个阀门的开启或关闭而选择性得开启主要通道50或分流通道60，以供尾气在开启的通道流动。

在本发明的一实施例中，控制件90是一中央处理器，其电性连接洗涤室30、风机40、压力传感器组70和控制阀门组80。控制件90可受到外部计算机操作，以控制洗涤室30、风机40、压力传感器组70和控制阀门组80运作，例如使洗涤室30对尾气进行洗涤清洁，使风机40吸取气体产生气流，使压力传感器组70感测气压，并使控制阀门组80开启或关闭；另外，压力传感器组70感测气压到的气压也可以传输至控制件90，再传输至外部计算机，以供用户确认气压。

在本发明的一实施例中，当使用者需要使用制程尾气处理装置1处理尾气时，用户可以运用外部计算机以操作控制件90，让控制件90将控制阀门组80的洗涤室阀门81和风机阀门83开启，以使主要通道50保持畅通；并且让控制件90使控制阀门组80的分流入口阀门82和分流出口阀门84关闭，以使分流通道60关闭。最后，让控制件90控制风机40稳定抽取气体，以带动尾气经由主要信道50的第一信道51，从气体入口10流入洗涤室30进行洗涤处理，再从第二信道52和第三信道53流向气体出口20并流向外部；此时，由于尾气受到风机40带动而稳定流动，且主要通道50保持畅通，因此压力传感器组70的入口压力传感器71和出口压力传感器74会感测到一样的气压；另外，用户还可以运用外部计算机，查看入口压力传感器71和出口压力传感器74感测到的气压是否一致。

当使用者需要维护洗涤室30，所以需要关闭主要通道50并开启分流通道60时，用户可以运用外部计算机以操作控制件90，让控制件90先将关闭的分流出口阀门84略为开启，以平衡分流通道60和气体出口20的气压；此时，分流压力传感器72和出口压力传感器74会感测到一样的气压，且用户可以运用外部计算机以查看分流压力传感器72和出口压力传感器74感测到的气压是否一致。接着，使用者可以让控制件90将关闭的分流入口阀门82略为开启，并将分流出口阀门84完全开启；在开启分流入口阀门82和分流出口阀门84的过程中，使用者还可以查看入口压力传感器71感测的气压是否维持稳定，若是气压不稳定则可暂停开启分流入口阀门82和分流出口阀门84，以避免气压不稳。接着，使用者可以让控制件90将分流入口阀门82完全开启，并将洗涤室阀门81完全关闭，以使分流通道60完全开启，以供尾气流入分流通道60。接着，使用者可以让控制件90将风机40关闭，并且将风机阀门83完全关闭，以使主要通道50完全关闭。如此一来，从气体入口10流入的尾气会无法流入关闭的主要通道50，只能经由分流通道60流向气体出口20，且在关闭主要通道50和启用分流通道60的过程中，还可以确保入口压力传感器71感测的气压稳定，以避免气压不稳而影响气体入口10连通的真空泵。

另外，当使用者完成维护洗涤室30后，需要关闭分流通道60并重新开启主要通道50时，用户可以运用外部计算机以操作控制件90，让控制件90先将关闭的风机阀门83略为开启，以平衡第二通道52和气体出口20的气压，并且可以藉由观看风机压力传感器73和出口压力传感器74，而确认第二通道52和气体出口20的气压是否一致。接着，使用者可以让控制件90将风机阀门83完全开启，并且启动风机40。接着，使用者可以藉由观看入口压力传感器71和洗涤室压力传感器75，以确认气体入口10和洗涤室30的气压一致，并将分流压力传感器72和出口压力传感器74完全关闭，以关闭分流通道60。最后，将洗涤室阀门81完全开启，如此一来便可顺利重新开启主要通道50。

藉由本发明的制程尾气处理装置1的设计，可以处理半导体制程所产生的尾气，并且可以在切换通道的过程中，确保通道内的气压稳定，以避免和制程尾气处理装置1相连的真空泵跳机。

本发明无论就目的、手段及功效，均显示其迥异于现有技术的特征。惟应注意的是，上述诸多实施例是为了便于说明而举例，本发明所主张的保护范围自应以权利要求所述为准，而非仅限于上述实施例。

Claims (10)

1.一种制程尾气处理装置，其特征在于，该制程尾气处理装置包括：

一气体入口；

一气体出口；

一洗涤室；

一风机；

一主要通道，包括：

一第一通道，连通该气体入口和该洗涤室；

一第二通道，连通该洗涤室和该风机；以及

一第三通道，连通该风机和该气体出口；

一分流通道，连通该气体入口和该气体出口；

一压力传感器组，设置于该气体入口、该气体出口、该主要通道和该分流通道，以感测一气压；以及

一控制阀门组，设置于该主要通道和该分流通道，以调节该气压。

2.如权利要求1所述的制程尾气处理装置，其特征在于，其中该压力传感器组更包括一入口压力传感器，该入口压力传感器设置于该气体入口。

3.如权利要求2所述的制程尾气处理装置，其特征在于，其中该压力传感器组更包括一分流压力传感器，该分流压力传感器设置于该分流通道。

4.如权利要求3所述的制程尾气处理装置，其特征在于，其中该压力传感器组更包括一风机压力传感器，该风机压力传感器设置于该第二通道。

5.如权利要求4所述的制程尾气处理装置，其特征在于，其中该压力传感器组更包括一出口压力传感器，该出口压力传感器设置于该气体出口。

6.如权利要求5所述的制程尾气处理装置，其特征在于，其中该压力传感器组更包括一洗涤室压力传感器，该洗涤室压力传感器设置于该洗涤室。

7.如权利要求6所述的制程尾气处理装置，其特征在于，其中该控制阀门组更包括一洗涤室阀门，该洗涤室阀门设置于该第一通道。

8.如权利要求7所述的制程尾气处理装置，其特征在于，其中该控制阀门组更包括一分流入口阀门，该分流入口阀门设置于该分流通道靠近该气体入口的一端。

9.如权利要求8所述的制程尾气处理装置，其特征在于，其中该控制阀门组更包括一风机阀门，该风机阀门设置于该第三通道。

10.如权利要求9所述的制程尾气处理装置，其特征在于，其中该控制阀门组更包括一分流出口阀门，该分流出口阀门设置于该分流通道靠近该气体出口的一端。

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