CN115537830B - 一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及Open Mask清洗领域，具体为一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备，包括清洗箱，所述清洗箱内设置有超声波振板。本发明通过设置承载机构、升降机构、循环管、除垢箱和过滤箱，药水通过承载箱上的过滤网进入到承载箱内，与Open Mask接触，使得open mask部件表面的镀膜脱离，随后通过升降机构，将承载箱向上运动，进入到除垢箱内，在驱动电机的作用下，驱动承载箱进行旋转，在离心力的作用下，使得承载箱内脱离的镀膜通过排水孔排出，由于设置过滤网，使得脱离的镀膜无法穿过承载箱进入到清洗箱内与药水进行混合，而清洗箱内的药水可以自由通过过滤网，避免浸泡时镀膜对药水的污染，从而提高了药水对Open Mask的清洗效果，并且能延长药水的使用周期，节约药水量。
Description
技术领域
本发明涉及Open Mask清洗领域，具体为一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备。
背景技术
真空蒸镀是OLED面板生产过程中的关键环节，而作为有机材料及金属材料蒸镀掩膜版的Open Mask为其关键结构部件。Open Mask在使用一段时间后，表面会形成一层蒸镀膜，严重影响到产品的精度和良率。
现有技术中，申请号为CN202010271212.9的中国发明专利，公开了一种OLED掩膜版Open Mask表面蒸镀材料清洗方法，涉及OLED面板生产技术领域，本发明包括如下步骤:根据open mask部件结构形态，选取与之匹配的工装夹具进行固定；选取耐N-甲基吡咯烷酮腐蚀的材料制作药液浸泡槽；将电子级的N-甲基吡咯烷酮加入到所述药液浸泡槽中；将所述open mask部件放入所述药液浸泡槽中进行反应；将反应过后的open mask部件取出，放入去离子水槽中漂洗；将漂洗处理完成后的open mask部件放入真空烘箱内干燥处理。
但是在现有技术中，在对Open Mask表面蒸镀材料清洗时，open mask部件浸泡在药水时，open mask部件表面的镀膜脱离，并与药水进行混合，使得药水的污染物浓度升高，会降低药水对open mask部件清洗效果，从而导致产品的精度和良率降低的问题。
基于此，本发明设计了一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备，以解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备，以解决上述背景技术中提出现有技术中，在对Open Mask表面蒸镀材料清洗时，open mask部件浸泡在药水时，open mask部件表面的镀膜脱离，并与药水进行混合，使得药水的污染物浓度升高，会降低药水对open mask部件清洗效果，从而导致产品的精度和良率降低的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备，包括清洗箱，所述清洗箱内设置有超声波振板，所述清洗箱顶端固定连接有除垢箱，所述除垢箱顶端固定连接有过滤箱，所述清洗箱内设置有承载Open Mask承载机构；
所述承载机构包括带有密封门的承载箱，所述承载箱表面的漏槽侧壁均固定连接有过滤网，所述承载箱表面阵列开设有排水孔，所述承载箱表面滑动连接有密封排水孔的密封块，所述密封块与承载箱表面平行，所述承载箱顶端固定连接有密封台，所述密封台顶端贯穿清洗箱顶端后与清洗箱顶端滑动连接，所述密封块顶端固定连接有推动杆，所述推动杆顶端贯穿密封台后与密封台滑动连接，数个所述推动杆顶端共同固定连接有环形架，所述推动杆表面均套接有复位弹簧，所述复位弹簧两端分别固定连接在环形架和密封台上，所述密封台顶端固定连接有插座，过滤箱顶端固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴底端贯穿除垢箱后与除垢箱顶端转动连接，所述驱动电机的输出轴底端固定连接有和插座相适配的驱动杆，所述除垢箱内侧壁顶端固定连接有和环形架适配的环形座，所述承载箱底端和清洗箱外侧共同设置有升降机构；
所述除垢箱底端对称固定联通有循环管，所述循环管顶端贯穿过滤箱后与过滤箱固定联通，所述循环管均外设水泵固定连接，所述过滤箱顶端设置有过滤机构，所述过滤箱内底端开设有进水孔；
所述清洗箱侧壁固定联通有加料管，所述过滤箱侧壁固定联通有排水管；
工作时，现有技术中，在对Open Mask表面蒸镀材料清洗时，open mask部件浸泡在药水时，open mask部件表面的镀膜脱离，并与药水进行混合，使得药水的污染物浓度升高，会降低药水对open mask部件清洗效果，从而导致产品的精度和良率降低的问题，该技术方案可以解决上述问题，具体操作如下：通过承载箱，人工将承载箱的密封门打开，再将OpenMask放入到承载箱内，关上密封门，随后将清洗箱的玄门关闭，利用加料管将药水通过到清洗箱内，药水通过承载箱上的过滤网进入到承载箱内，与Open Mask接触，通过超声波振板，提高药水对Open Mask效果，使得open mask部件表面的镀膜脱离，通过设置有过滤网，使得脱离的镀膜无法穿过承载箱进入到清洗箱内与药水进行混合，而清洗箱内的药水可以自由通过过滤网，对承载箱内的open mask部件进行清洗，随后通过升降机构，将承载箱向上运动，进入到除垢箱内，环形架进入到环形座内，并挤压环形架，使得推动杆向下运动，推动密封块向下，取消对排水孔的密封作用，复位弹簧被压缩，直到排水孔完全打开，此时插座与驱动杆对接，随后启动驱动电机，使得驱动电机的输出轴转动，从而驱动承载箱进行旋转，在离心力的作用下，使得承载箱内脱离的镀膜通过排水孔排出，同时通过外设水泵，将清洗液从过滤箱底端的排水孔排进到除垢箱内，对承载箱内的Open Mask进行清洗，同时利用清洗液将镀膜排出至承载箱内，随后通过循环管的运输，进入到过滤箱内，通过过滤箱内的过滤机构，将清洗液中的镀膜进行过滤，随后将过滤后的清洗液通过排水孔重新流入到除垢箱内，将清洗液的循环过滤，降低除垢箱内镀膜量，从而提高除垢效率，增加清洗液对承载箱的除垢效果，随后再通过升降机构，重新将承载箱进入到清洗箱内，进行浸泡，由于浸泡出的镀膜无法与清洗箱内的药水进行混合，避免浸泡时镀膜对药水的污染，从而提高了药水对Open Mask的清洗效果，并且能延长药水的使用周期，节约药水量，解决了在对OpenMask表面蒸镀材料清洗时，open mask部件浸泡在药水时，open mask部件表面的镀膜脱离，并与药水进行混合，使得药水的污染物浓度升高，会降低药水对open mask部件清洗效果，从而导致产品的精度和良率降低的问题。
作为本发明的进一步方案，所述除垢箱内固定连接有螺纹板，所述螺纹板螺旋方向与驱动电机输出轴旋转方向相同，所述进水孔与螺纹板中间位置联通；工作时，当承载箱进入到除垢箱内进行除垢时，脱离的镀膜会围绕在承载箱周边，使得当承载箱停止转动时，脱离的镀膜会附着在承载箱侧壁上，并跟随承载箱进入到清洗箱内，导致药水被污染，降低清洗效果，最终导致产品的精度和良率降低的问题，通过设置螺纹板，当承载箱向上运动进入到除垢箱内时，承载箱会进入到螺纹板中间位置，随后驱动电机驱动承载箱转动，在离心力的作用下，使得脱离的镀膜沿着螺纹板螺旋方向排出到除垢箱内，从而减少承载箱周边的镀膜，并通过循环管将螺纹板外圈的清洗液输送到过滤箱内，随后通过过滤箱内的过滤机构进行过滤，再将过滤后的清洗液通过进水孔，从螺纹板中间位置上方排进到螺纹板内，从而降低承载箱周边镀膜量，提高清洗液对承载箱内的除垢效果，解决了脱离的镀膜会附着在承载箱侧壁上，并跟随承载箱进入到清洗箱内，导致药水被污染，降低清洗效果，最终导致产品的精度和良率降低的问题。
作为本发明的进一步方案，所述过滤机构包括两个隔板，所述隔板对称固定连接在过滤箱内侧壁上，所述隔板底端开设有流通孔，所述过滤箱内对称转动连接有半圆翻板，所述半圆翻板其中靠近隔板一面阵列开设有过滤孔，所述半圆翻板的转轴均传动连接有翻转电机，所述翻转电机固定连接在过滤箱外侧壁上；工作时，通过设置过滤机构，当需要对承载箱进行除垢时，半圆翻板设有的流通孔贴合隔板，从而实现对清洗液的过滤，过滤后的清洗液经过流通孔和进水孔进入到除垢箱内，当不需要进行过滤时，通过启动翻转电机将半圆翻板不带有过滤孔的一侧转动到与隔板贴合，从而取消过滤，随后通过排水管，对储存在过滤箱内的清洗液进行更换，同时便于清洗过滤箱和除垢箱。
作为本发明的进一步方案，所述升降机构包括两个升降气缸，所述升降气缸固定连接在清洗箱外侧壁上，所述升降气缸的伸缩杆表面固定连接有折形拉动杆，所述折形拉动杆贯穿除垢箱和清洗箱后并与除垢箱和清洗箱滑动连接，两个所述折形拉动杆底端共同滑动连接有底盘，所述底盘固定连接在承载箱底端，所述折形拉动杆表面设置有密封机构；工作时，通过升降气缸，实现对承载箱的升降运动，同时通过设置底盘，实现在升降过程中，避免与承载箱旋转过程中进行干涉作用。
作为本发明的进一步方案，所述折形拉动杆表面均固定连接有密封板，所述密封板滑动连接在清洗箱、除垢箱和过滤箱外侧壁上；工作时，通过设置密封板，保证在升降气缸对承载箱进行升降运动时，清洗箱、除垢箱和过滤箱保持密封。
作为本发明的进一步方案，所述驱动杆表面固定连接有搅拌叶；工作时，通过设置搅拌叶，提高清洗液的流通速度，从而提高了清洗液的除垢效果。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1.本发明通过设置承载机构、升降机构、循环管、除垢箱和过滤箱，药水通过承载箱上的过滤网进入到承载箱内，与Open Mask接触，通过超声波振板，提高药水对Open Mask效果，使得open mask部件表面的镀膜脱离，随后通过升降机构，将承载箱向上运动，进入到除垢箱内，在驱动电机的作用下，驱动承载箱进行旋转，在离心力的作用下，使得承载箱内脱离的镀膜通过排水孔排出，由于设置过滤网，使得脱离的镀膜无法穿过承载箱进入到清洗箱内与药水进行混合，而清洗箱内的药水可以自由通过过滤网，避免浸泡时镀膜对药水的污染，从而提高了药水对Open Mask的清洗效果，并且能延长药水的使用周期，节约药水量。
2.本发明通过设置螺纹板，当承载箱向上运动进入到除垢箱内时，承载箱会进入到螺纹板中间位置，随后驱动电机驱动承载箱转动，在离心力的作用下，使得脱离的镀膜沿着螺纹板螺旋方向排出到除垢箱内，从而减少承载箱周边的镀膜，并通过循环管将螺纹板外圈的清洗液输送到过滤箱内，随后通过过滤箱内的过滤机构进行过滤，再将过滤后的清洗液通过进水孔，从螺纹板中间位置上方排进到螺纹板内，从而降低承载箱周边镀膜量，提高清洗液对承载箱内的除垢效果。
3.本发明通过设置过滤机构，当需要对承载箱进行除垢时，半圆翻板设有的流通孔贴合隔板，从而实现对清洗液的过滤，过滤后的清洗液经过流通孔和进水孔进入到除垢箱内，当不需要进行过滤时，通过启动翻转电机将半圆翻板不带有过滤孔的一侧转动到与隔板贴合，从而取消过滤，随后通过排水管，对储存在过滤箱内的清洗液进行更换，同时便于清洗过滤箱和除垢箱。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明总体结构的第一示意图；
图2为本发明总体结构的第二示意图；
图3为本发明总体结构的第三示意图；
图4为图4中A处放大图
图5为本发明总体结构的第四示意图；
图6为本发明总体结构的剖视图；
图7为本发明承载机构和升降机构连接情况图；
图8本发明中承载机构连接情况图；
图9本发明中螺纹板立体图；
图10本发明中驱动电机和驱动杆连接情况图。
附图中，各标号所代表的部件列表如下：
清洗箱1、超声波振板2、除垢箱3、过滤箱4、承载箱5、过滤网6、排水孔7、密封块8、密封台9、推动杆10、环形架11、复位弹簧12、插座13、驱动电机14、驱动杆15、环形座16、循环管17、进水孔18、加料管19、排水管20、螺纹板21、隔板22、流通孔23、半圆翻板24、过滤孔25、翻转电机26、升降气缸27、折形拉动杆28、底盘29、密封板30、搅拌叶31。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-10，本发明提供一种技术方案：一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备，包括清洗箱1，清洗箱1内设置有超声波振板2，清洗箱1顶端固定连接有除垢箱3，除垢箱3顶端固定连接有过滤箱4，清洗箱1内设置有承载Open Mask承载机构；
承载机构包括带有密封门的承载箱5，承载箱5表面的漏槽侧壁均固定连接有过滤网6，承载箱5表面阵列开设有排水孔7，承载箱5表面滑动连接有密封排水孔7的密封块8，密封块8与承载箱5表面平行，承载箱5顶端固定连接有密封台9，密封台9顶端贯穿清洗箱1顶端后与清洗箱1顶端滑动连接，密封块8顶端固定连接有推动杆10，推动杆10顶端贯穿密封台9后与密封台9滑动连接，数个推动杆10顶端共同固定连接有环形架11，推动杆10表面均套接有复位弹簧12，复位弹簧12两端分别固定连接在环形架11和密封台9上，密封台9顶端固定连接有插座13，过滤箱4顶端固定连接有驱动电机14，驱动电机14的输出轴底端贯穿除垢箱3后与除垢箱3顶端转动连接，驱动电机14的输出轴底端固定连接有和插座13相适配的驱动杆15，除垢箱3内侧壁顶端固定连接有和环形架11适配的环形座16，承载箱5底端和清洗箱1外侧共同设置有升降机构；
除垢箱3底端对称固定联通有循环管17，循环管17顶端贯穿过滤箱4后与过滤箱4固定联通，循环管17均外设水泵固定连接，过滤箱4顶端设置有过滤机构，过滤箱4内底端开设有进水孔18；
清洗箱1侧壁固定联通有加料管19，过滤箱4侧壁固定联通有排水管20；
工作时，现有技术中，在对Open Mask表面蒸镀材料清洗时，open mask部件浸泡在药水时，open mask部件表面的镀膜脱离，并与药水进行混合，使得药水的污染物浓度升高，会降低药水对open mask部件清洗效果，从而导致产品的精度和良率降低的问题，该技术方案可以解决上述问题，具体操作如下：通过承载箱5，人工将承载箱5的密封门打开，再将Open Mask放入到承载箱5内，关上密封门，随后将清洗箱1的玄门关闭，利用加料管19将药水通过到清洗箱1内，药水通过承载箱5上的过滤网6进入到承载箱5内，与Open Mask接触，通过超声波振板2，提高药水对Open Mask效果，使得open mask部件表面的镀膜脱离，通过设置有过滤网6，使得脱离的镀膜无法穿过承载箱5进入到清洗箱1内与药水进行混合，而清洗箱1内的药水可以自由通过过滤网6，对承载箱5内的open mask部件进行清洗，随后通过升降机构，将承载箱5向上运动，进入到除垢箱3内，环形架11进入到环形座16内，并挤压环形架11，使得推动杆10向下运动，推动密封块8向下，取消对排水孔7的密封作用，复位弹簧12被压缩，直到排水孔7完全打开，此时插座13与驱动杆15对接，随后启动驱动电机14，使得驱动电机14的输出轴转动，从而驱动承载箱5进行旋转，在离心力的作用下，使得承载箱5内脱离的镀膜通过排水孔7排出，同时通过外设水泵，将清洗液从过滤箱4底端的排水孔7排进到除垢箱3内，对承载箱5内的Open Mask进行清洗，同时利用清洗液将镀膜排出至承载箱5内，随后通过循环管17的运输，进入到过滤箱4内，通过过滤箱4内的过滤机构，将清洗液中的镀膜进行过滤，随后将过滤后的清洗液通过排水孔7重新流入到除垢箱3内，将清洗液的循环过滤，降低除垢箱3内镀膜量，从而提高除垢效率，增加清洗液对承载箱5的除垢效果，随后再通过升降机构，重新将承载箱5进入到清洗箱1内，进行浸泡，由于浸泡出的镀膜无法与清洗箱1内的药水进行混合，避免浸泡时镀膜对药水的污染，从而提高了药水对OpenMask的清洗效果，并且能延长药水的使用周期，节约药水量，解决了在对Open Mask表面蒸镀材料清洗时，open mask部件浸泡在药水时，open mask部件表面的镀膜脱离，并与药水进行混合，使得药水的污染物浓度升高，会降低药水对open mask部件清洗效果，从而导致产品的精度和良率降低的问题。
作为本发明的进一步方案，除垢箱3内固定连接有螺纹板21，螺纹板21螺旋方向与驱动电机14输出轴旋转方向相同，进水孔18与螺纹板21中间位置联通；工作时，当承载箱5进入到除垢箱3内进行除垢时，脱离的镀膜会围绕在承载箱5周边，使得当承载箱5停止转动时，脱离的镀膜会附着在承载箱5侧壁上，并跟随承载箱5进入到清洗箱1内，导致药水被污染，降低清洗效果，最终导致产品的精度和良率降低的问题，通过设置螺纹板21，当承载箱5向上运动进入到除垢箱3内时，承载箱5会进入到螺纹板21中间位置，随后驱动电机14驱动承载箱5转动，在离心力的作用下，使得脱离的镀膜沿着螺纹板21螺旋方向排出到除垢箱3内，从而减少承载箱5周边的镀膜，并通过循环管17将螺纹板21外圈的清洗液输送到过滤箱4内，随后通过过滤箱4内的过滤机构进行过滤，再将过滤后的清洗液通过进水孔18，从螺纹板21中间位置上方排进到螺纹板21内，从而降低承载箱5周边镀膜量，提高清洗液对承载箱5内的除垢效果，解决了脱离的镀膜会附着在承载箱5侧壁上，并跟随承载箱5进入到清洗箱1内，导致药水被污染，降低清洗效果，最终导致产品的精度和良率降低的问题。
作为本发明的进一步方案，过滤机构包括两个隔板22，隔板22对称固定连接在过滤箱4内侧壁上，隔板22底端开设有流通孔23，过滤箱4内对称转动连接有半圆翻板24，半圆翻板24其中靠近隔板22一面阵列开设有过滤孔25，半圆翻板24的转轴均传动连接有翻转电机26，翻转电机26固定连接在过滤箱4外侧壁上；工作时，通过设置过滤机构，当需要对承载箱5进行除垢时，半圆翻板24设有的流通孔23贴合隔板22，从而实现对清洗液的过滤，过滤后的清洗液经过流通孔23和进水孔18进入到除垢箱3内，当不需要进行过滤时，通过启动翻转电机26将半圆翻板24不带有过滤孔25的一侧转动到与隔板22贴合，从而取消过滤，随后通过排水管20，对储存在过滤箱4内的清洗液进行更换，同时便于清洗过滤箱4和除垢箱3。
作为本发明的进一步方案，升降机构包括两个升降气缸27，升降气缸27固定连接在清洗箱1外侧壁上，升降气缸27的伸缩杆表面固定连接有折形拉动杆28，折形拉动杆28贯穿除垢箱3和清洗箱1后并与除垢箱3和清洗箱1滑动连接，两个折形拉动杆28底端共同滑动连接有底盘29，底盘29固定连接在承载箱5底端，折形拉动杆28表面设置有密封机构；工作时，通过升降气缸27，实现对承载箱5的升降运动，同时通过设置底盘29，实现在升降过程中，避免与承载箱5旋转过程中进行干涉作用。
作为本发明的进一步方案，折形拉动杆28表面均固定连接有密封板30，密封板30滑动连接在清洗箱1、除垢箱3和过滤箱4外侧壁上；工作时，通过设置密封板30，保证在升降气缸27对承载箱5进行升降运动时，清洗箱1、除垢箱3和过滤箱4保持密封。
作为本发明的进一步方案，驱动杆15表面固定连接有搅拌叶31；工作时，通过设置搅拌叶31，提高清洗液的流通速度，从而提高了清洗液的除垢效果。
工作原理：通过承载箱5，人工将承载箱5的密封门打开，再将Open Mask放入到承载箱5内，关上密封门，随后将清洗箱1的玄门关闭，利用加料管19将药水通过到清洗箱1内，药水通过承载箱5上的过滤网6进入到承载箱5内，与Open Mask接触，通过超声波振板2，提高药水对Open Mask效果，使得open mask部件表面的镀膜脱离，通过设置有过滤网6，使得脱离的镀膜无法穿过承载箱5进入到清洗箱1内与药水进行混合，而清洗箱1内的药水可以自由通过过滤网6，对承载箱5内的open mask部件进行清洗，随后通过升降机构，将承载箱5向上运动，进入到除垢箱3内，环形架11进入到环形座16内，并挤压环形架11，使得推动杆10向下运动，推动密封块8向下，取消对排水孔7的密封作用，复位弹簧12被压缩，直到排水孔7完全打开，此时插座13与驱动杆15对接，随后启动驱动电机14，使得驱动电机14的输出轴转动，从而驱动承载箱5进行旋转，在离心力的作用下，使得承载箱5内脱离的镀膜通过排水孔7排出，同时通过外设水泵，将清洗液从过滤箱4底端的排水孔7排进到除垢箱3内，对承载箱5内的Open Mask进行清洗，同时利用清洗液将镀膜排出至承载箱5内，随后通过循环管17的运输，进入到过滤箱4内，通过过滤箱4内的过滤机构，将清洗液中的镀膜进行过滤，随后将过滤后的清洗液通过排水孔7重新流入到除垢箱3内，将清洗液的循环过滤，降低除垢箱3内镀膜量，从而提高除垢效率，增加清洗液对承载箱5的除垢效果，随后再通过升降机构，重新将承载箱5进入到清洗箱1内，进行浸泡，由于浸泡出的镀膜无法与清洗箱1内的药水进行混合，避免浸泡时镀膜对药水的污染，从而提高了药水对Open Mask的清洗效果，并且能延长药水的使用周期，节约药水量。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。
Claims (6)
1.一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备，包括清洗箱(1)，所述清洗箱(1)内设置有超声波振板(2)，其特征在于：所述清洗箱(1)顶端固定连接有除垢箱(3)，所述除垢箱(3)顶端固定连接有过滤箱(4)，所述清洗箱(1)内设置有承载Open Mask承载机构；
所述承载机构包括带有密封门的承载箱(5)，所述承载箱(5)表面的漏槽侧壁均固定连接有过滤网(6)，所述承载箱(5)表面阵列开设有排水孔(7)，所述承载箱(5)表面滑动连接有密封排水孔(7)的密封块(8)，所述密封块(8)与承载箱(5)表面平行，所述承载箱(5)顶端固定连接有密封台(9)，所述密封台(9)顶端贯穿清洗箱(1)顶端后与清洗箱(1)顶端滑动连接，所述密封块(8)顶端固定连接有推动杆(10)，所述推动杆(10)顶端贯穿密封台(9)后与密封台(9)滑动连接，数个所述推动杆(10)顶端共同固定连接有环形架(11)，所述推动杆(10)表面均套接有复位弹簧(12)，所述复位弹簧(12)两端分别固定连接在环形架(11)和密封台(9)上，所述密封台(9)顶端固定连接有插座(13)，过滤箱(4)顶端固定连接有驱动电机(14)，所述驱动电机(14)的输出轴底端贯穿除垢箱(3)后与除垢箱(3)顶端转动连接，所述驱动电机(14)的输出轴底端固定连接有和插座(13)相适配的驱动杆(15)，所述除垢箱(3)内侧壁顶端固定连接有和环形架(11)适配的环形座(16)，所述承载箱(5)底端和清洗箱(1)外侧共同设置有升降机构；
所述除垢箱(3)底端对称固定联通有循环管(17)，所述循环管(17)顶端贯穿过滤箱(4)后与过滤箱(4)固定联通，所述循环管(17)均外设水泵固定连接，所述过滤箱(4)顶端设置有过滤机构，所述过滤箱(4)内底端开设有进水孔(18)；
所述清洗箱(1)侧壁固定联通有加料管(19)，所述过滤箱(4)侧壁固定联通有排水管(20)。
2.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备，其特征在于：所述除垢箱(3)内固定连接有螺纹板(21)，所述螺纹板(21)螺旋方向与驱动电机(14)输出轴旋转方向相同，所述进水孔(18)与螺纹板(21)中间位置联通。
3.根据权利要求2所述的一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备，其特征在于：所述过滤机构包括两个隔板(22)，所述隔板(22)对称固定连接在过滤箱(4)内侧壁上，所述隔板(22)底端开设有流通孔(23)，所述过滤箱(4)内对称转动连接有半圆翻板(24)，所述半圆翻板(24)其中靠近隔板(22)一面阵列开设有过滤孔(25)，所述半圆翻板(24)的转轴均传动连接有翻转电机(26)，所述翻转电机(26)固定连接在过滤箱(4)外侧壁上。
4.根据权利要求3所述的一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备，其特征在于：所述升降机构包括两个升降气缸(27)，所述升降气缸(27)固定连接在清洗箱(1)外侧壁上，所述升降气缸(27)的伸缩杆表面固定连接有折形拉动杆(28)，所述折形拉动杆(28)贯穿除垢箱(3)和清洗箱(1)后并与除垢箱(3)和清洗箱(1)滑动连接，两个所述折形拉动杆(28)底端共同滑动连接有底盘(29)，所述底盘(29)固定连接在承载箱(5)底端，所述折形拉动杆(28)表面设置有密封机构。
5.根据权利要求4所述的一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备，其特征在于：所述折形拉动杆(28)表面均固定连接有密封板(30)，所述密封板(30)滑动连接在清洗箱(1)、除垢箱(3)和过滤箱(4)外侧壁上。
6.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备，其特征在于：所述驱动杆(15)表面固定连接有搅拌叶(31)。
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