CN115498488B - 一种基于棱镜耦合的回音壁耦合模块及其装调方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种基于棱镜耦合的回音壁耦合模块的装调方法，将激光器频率锁定在回音壁光腔的谐振频率上，调整棱镜的反射面和回音壁光腔距离，在棱镜输出光路上放置第一渐变折射率透镜和第一保偏光纤，第一保偏光纤和激光器连接，调整第一渐变折射率透镜并固定，棱镜的反射光的路径上放置半波片并调整，半波片之后依次设置第二渐变折射率透镜和第二保偏光纤，调整第二渐变折射率透镜并固定。本发明简化了耦合流程，并用以制作使用简便、可靠的回音壁耦合模块。

Description

一种基于棱镜耦合的回音壁耦合模块及其装调方法
技术领域
本发明涉及光学微腔技术领域，尤其涉及一种基于棱镜耦合的回音壁耦合模块，还涉及一种基于棱镜耦合的回音壁耦合模块的装调方法。
背景技术
回音壁光腔在很多领域诸如生物分子探测、窄线宽激光器、光电振荡器、光频梳等领域都有很好的应用前景，但是在面向实际应用的过程中，回音壁光腔与耦合器之间稳定且高效率的耦合面临了巨大的挑战。目前使用比较广泛的方法是使用拉锥光纤耦合法，该方法虽然简单但是可靠性差，这种方式锥形光纤都是浮空状态，因此极易受到环境因素的干扰；而且为了满足耦合条件，锥形光纤和回音壁光腔之间的距离要求小于1个波长，但是由于回音壁光腔的表面张力，锥形光纤往往都是紧贴在回音壁光腔的工作面上，耦合状态很难控制。棱镜耦合法具有稳定牢固，高效、耦合状态可控等一系列优点，更适合做产品级研发，但是棱镜与回音壁的耦合有较高操作难度。另外，正常回音壁光腔的使用有较高要求，比如实验室的洁净度要求达到千级以下，长期暴露在大气环境下使用回音壁光腔的Q值会缓慢降低。同时环境温度变化对回音壁光腔谐振频率的稳定性造成影响。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术存在的现状，提供一种基于棱镜耦合的回音壁耦合模块，还提供一种基于棱镜耦合的回音壁耦合模块的装调方法。
为了实现上述发明目的，本发明提供以下技术方案：
一种基于棱镜耦合的回音壁耦合模块的装调方法，包括以下步骤：
步骤1、设置回音壁光腔初始位置；
步骤2、将拉锥光纤与回音壁光腔耦合，激光器输出的激光入射拉锥光纤并耦合到回音壁光腔；
步骤3、将激光器频率锁定在回音壁光腔的谐振频率上；
步骤4、在回音壁光腔上，位于拉锥光纤与其耦合区域以外的不同处加入棱镜引出回音壁光腔中的激光，调整回音壁光腔和棱镜之间的距离，使得棱镜的反射面和回音壁光腔的最小距离小于一个所选激光的波长，调整完毕后点胶固化棱镜；
步骤5、在棱镜输出光路上放置第一渐变折射率透镜和第一保偏光纤，使经棱镜引出回音壁光腔中的激光经过第一渐变折射率透镜后入射第一保偏光纤的第一接口端，第一保偏光纤的第二接口端与第一光电探测器连接，调整第一渐变折射率透镜的摆放角度和位置，同时监测第一光电探测器直至第一光电探测器的电压值为最大；
步骤6、撤走拉锥光纤，激光器输出端与第一保偏光纤的第二接口端连接，激光器的输出光经第一保偏光纤、第一渐变折射率透镜后入射棱镜后在棱镜内反射，在棱镜的反射光的路径上放置第二光电探测器，第二光电探测器接入示波器，调整激光器的输出波长并对输出波长进行扫描，直到在示波器观察到回音壁光腔的吸收曲线，微调第一渐变折射率透镜的位置，使得示波器显示的吸收曲线幅度调至最大，调整完毕后点胶固化第一渐变折射率透镜；
步骤7、在棱镜的反射光的路径上放置半波片，调整半波片的位置使激光束通过半波片的中心，点胶固化半波片；
步骤8、在棱镜的反射光的路径上，沿反射光方向于半波片之后依次设置第二渐变折射率透镜和第二保偏光纤，使得经棱镜反射的激光依次经半波片和第二渐变折射率透镜后入射第二保偏光纤的第一接口端，第二保偏光纤的第二接口端与第二光电探测器连接，第二光电探测器接入示波器，调整激光器的输出波长并对输出波长进行扫描，直到在示波器观察到回音壁光腔的吸收曲线；移动第二渐变折射率透镜的摆放角度和位置，使得回音壁光腔的吸收曲线幅度调至最大，转动半波片将激光束的偏振方向调整至与第二保偏光纤的快轴或者慢轴方向一致，点胶固化第二渐变折射率透镜。
如上所述在步骤2中，所述拉锥光纤一端通过光纤与电光调制器的输出端连接，电光调制器的输入端通过光纤与激光器的输出端连接，信号源分别与混频器的第一输入端和电光调制器的调制参考信号端连接，拉锥光纤另一端与第三光电探测器连接，第三光电探测器与混频器的第二输入端连接，混频器的输出端通过PID伺服系统与激光器的控制端连接，激光器输出的激光经电光调制器调制后入射到拉锥光纤，拉锥光纤与回音壁光腔进行耦合，监测第三光电探测器的输出信号，同时调整拉锥光纤的位置，使拉锥光纤与回音壁光腔耦合且效率达到最大。
如上所述在步骤3中，所述激光器输出的激光经电光调制器调制后入射到拉锥光纤的一端，在拉锥光纤表面产生的隐失波一部分耦合到回音壁光腔中，在回音壁光腔内部激光沿顺时针方向循环并以音壁模式与回音壁光腔谐振，拉锥光纤另一端连接至第三光电探测器，拉锥光纤出射的激光经第三光电探测器所得到的信号和信号源输出的信号输入到混频器，混频器进行解调，解调后得到误差信号，PID伺服系统根据误差信号反馈控制激光器进行频率补偿从而将激光器输出频率锁定在回音壁光腔的谐振频率上。
如上所述拉锥光纤的折射率高于回音壁光腔的折射率，棱镜的折射率高于回音壁光腔的折射率。
如上所述步骤6中由第一保偏光纤输出的激光经过第一渐变折射率透镜将束腰聚焦至棱镜内与回音壁光腔耦合处的反射面上，在反射面上投影的光斑尺寸与回音壁光腔的耦合高斯窗相匹配。
如上所述第二渐变折射率透镜与第一渐变折射率透镜的等效焦距相同，通过第二渐变折射率透镜与第一渐变折射率透镜的激光的束腰直径相同。
如上所述回音壁光腔模块包括半导体制冷器、导热金属块、压电陶瓷、金属支杆、以及回音壁光腔：
半导体制冷器固定在模块封装盒内，半导体制冷器通过导热胶水与导热金属块连接，导热金属块通过导电胶水与压电陶瓷底部连接且与压电陶瓷底端的接线端子连接，金属支杆底端通过导电胶水与压电陶瓷顶部连接且与压电陶瓷顶部的接线端子连接，金属支杆顶端通过导热胶水与回音壁光腔连接。
一种基于棱镜耦合的回音壁耦合模块，包括模块封装盒，还包括第一渐变折射率透镜、半波片、第二渐变折射率透镜、棱镜以及回音壁光腔模块；
回音壁光腔模块的导热金属块上设置有用于粘接棱镜的框架，框架和耦合棱镜之间通过光学胶粘接。
如上所述框架高度高于回音壁光腔到导热金属块的距离。
本发明相对于现有技术，具有以下有益效果：
通过采用上述技术方案，回音壁光腔的使用简便可靠：整个回音壁耦合模块设计紧凑且全固化，由于无可调机构具有较强的抗震能力，从而具有较高稳定性，同时方便用户进行系统性集成；装调完毕后进行密封处理，提高环境适应性从而可以在普通环境下使用；通过加入温控模块（半导体制冷器），本发明可以进一步提升回音壁光腔的谐振频率的稳定性；本发明输入与输出都采用光纤，最大程度简化用户的操作与使用门槛。
附图说明
图1为回音壁耦合模块中棱镜和第一渐变折射率透镜的装调方法的实施例示意图。
图2为回音壁耦合模块中半波片和第二渐变折射率透镜的装调方法实施例示意图。
图3为回音壁耦合模块的总体设计图。
图4为回音壁光腔模块与棱镜耦合的设计图。
图5为回音壁光腔模块的结构示意图。
图中：1-回音壁光腔模块；101-回音壁光腔；102-金属支杆；103-压电陶瓷；104-导热金属块；105-半导体制冷器；2-棱镜；3-第一渐变折射率透镜；4-第一保偏光纤；5-拉锥光纤；6-激光器；7-光纤；8-电光调制器；9-信号源；10-第三光电探测器；11-混频器；12-PID伺服系统；13-半波片；14-第二渐变折射率透镜；15-第二保偏光纤；16-模块封装盒；17-框架。
具体实施方式
为了便于本领域普通技术人员理解和实施本发明，下面结合实例对本发明作进一步的详细描述，此处所描述的实施示例仅用于说明和解释本发明，并非是对本发明的限制。
实施例1：
一种基于棱镜耦合的回音壁耦合模块的装调方法，包括以下步骤：
步骤1、设置回音壁光腔101初始位置；
在模块封装盒16内摆放好回音壁光腔模块1的位置，如图3所示，点胶固化回音壁光腔模块1。
步骤2、将拉锥光纤5与回音壁光腔101耦合，激光器6输出的激光经拉锥光纤5入射至回音壁光腔101，如图1所示；
拉锥光纤5一端通过光纤7与电光调制器8的输出端连接，电光调制器8的输入端通过光纤7与激光器6的输出端连接，信号源9分别与混频器11的第一输入端和电光调制器8的调制参考信号端连接，拉锥光纤5另一端与第三光电探测器10连接，第三光电探测器10与混频器11的第二输入端连接，混频器11的输出端通过PID伺服系统12与激光器6的控制端连接；
操作激光器6产生激光，并对激光器6的输出波长进行扫描，激光器6输出的激光经电光调制器8调制后入射到拉锥光纤5；拉锥光纤5与回音壁光腔101耦合，以便将激光的至少一部分耦合到回音壁光腔101里；监测第三光电探测器10的输出信号，同时调整拉锥光纤5的位置，使拉锥光纤5与回音壁光腔101耦合且效率达到最大。
拉锥光纤5，激光在拉锥光纤5表面产生隐失波，通过隐失波可将激光的至少一部分耦合到回音壁光腔101中；拉锥光纤5的折射率高于回音壁光腔101的折射率。
回音壁光腔101，通过拉锥光纤5将激光光源的一部分耦合到回音壁光腔101中，如图1所示，并在回音壁光腔101中以回音壁模式循环，在此步骤中激光在回音壁光腔101内部沿顺时针方向循环。
通过对激光器6进行频率扫描，在第三光电探测器10的输出信号中可以观察到回音壁光腔101的回音壁模式。
步骤3、将激光器6频率锁定在回音壁光腔101的谐振频率上；
激光器6输出的激光经电光调制器8调制后入射到拉锥光纤5的一端，在拉锥光纤5表面产生的隐失波一部分耦合到回音壁光腔101中，在回音壁光腔101内部激光沿顺时针方向循环并以音壁模式与回音壁光腔101谐振，拉锥光纤5另一端连接至第三光电探测器10，拉锥光纤5出射的激光经第三光电探测器10所得到的信号和信号源9输出的信号输入到混频器11进行解调，解调后得到误差信号，PID伺服系统12根据误差信号反馈控制激光器6进行频率补偿从而将激光器6输出频率锁定在回音壁光腔101的谐振频率上。
步骤4、对棱镜2进行装调:
在回音壁光腔101上，位于拉锥光纤5与其耦合区域以外的不同处加入棱镜2引出回音壁光腔101中激光；棱镜2装调完毕之后点胶固化，通过对压电陶瓷103施加电信号，使压电陶瓷103产生形变从而调整回音壁光腔101相对棱镜2的距离，同时在显微镜下观察棱镜2的反射面和回音壁光腔101间距，直至棱镜2的反射面和回音壁光腔101的最小距离小于一个所选激光的波长；调整完毕后点胶固化棱镜2；
棱镜2的折射率高于回音壁光腔101材料的折射率。
步骤3-4，将PDH锁频技术用在回音壁光腔101与棱镜2耦合过程中，使得激光器6的频率一旦锁定在回音壁光腔101的谐振频率上，激光将持续耦合进回音壁光腔101，进而棱镜2有连续的激光输出，从而有助于后续设置与调节第一渐变折射率透镜3。
步骤5、对第一渐变折射率透镜3进行装调:
在棱镜2输出光路上放置第一渐变折射率透镜3和第一保偏光纤4，使经棱镜2引出回音壁光腔101中的激光经过第一渐变折射率透镜3后入射第一保偏光纤4的第一接口端；第一保偏光纤4的第二接口端与第一光电探测器连接，调整第一渐变折射率透镜3的摆放角度和位置，同时监测第一光电探测器直至第一光电探测器的电压值为最大即回音壁模式的激光耦合至第一保偏光纤4的效率调至最大。
通过步骤1-5，激光的光路如图1所示，激光器6输出的激光经过电光调制器8调制后至少一部分通过拉锥光纤5耦合进入回音壁光腔101并沿顺时针方向传播，当传播至棱镜2和回音壁光腔101的耦合区，激光耦合进入棱镜2并出射至第一渐变折射率透镜3最终传入第一保偏光纤4。
步骤6、改变激光输入方向，确定第一渐变折射率透镜3位置，如图2所示：
撤走拉锥光纤5，激光器6输出端与第一保偏光纤4的第二接口端连接，激光器6的输出光经第一保偏光纤4、第一渐变折射率透镜3后入射至棱镜2后在棱镜2内反射，此时激光经过棱镜2有连续的反射光可供第二渐变折射率透镜14耦合，此时一部分激光经过棱镜2反射，一部分激光通过棱镜2全反射的隐失波耦合进入回音壁光腔101并在回应壁光腔中沿逆时针方向循环；在棱镜2反射光的路径上放置第二光电探测器，第二光电探测器接入示波器，调整激光器6的工作电流使输出激光的波长在中心波长，控制激光器6的调制接口对激光器6的输出波长进行扫描，同时观察示波器中波形，然后重复依次调整激光器6的工作电流和控制激光器6的调制接口使激光器6的输出波长在不同的设定中心波长附近进行扫描，直到在示波器观察到回音壁光腔101的吸收曲线；微调第一渐变折射率透镜3的位置和角度，使得示波器显示的吸收曲线幅度调至最大，此时代表激光耦合进所述回音壁光腔101的为最大；调整完毕后点胶固化第一渐变折射率透镜3。
此时从第一保偏光纤4输出的激光经过第一渐变折射率透镜3将束腰聚焦至棱镜2内与回音壁光腔101耦合处的反射面上，在反射面上投影的光斑尺寸与回音壁光腔101的耦合高斯窗相匹配。
步骤7、对半波片13进行装调，如图2所示：
在激光经棱镜2反射后的路径上放置半波片13，调整半波片13的位置使激光束尽量通过半波片13的中心，点胶固化所述半波片13。
步骤8、对第二渐变折射率透镜14进行装调，如图2所示：
在棱镜2的反射光的路径上，沿反射光方向于半波片13之后依次设置第二渐变折射率透镜14和第二保偏光纤15，使得经棱镜2反射的激光依次经半波片13和第二渐变折射率透镜14后入射第二保偏光纤15的第一接口端，第二保偏光纤15的第二接口端与第二光电探测器连接，第二光电探测器接入示波器，调整激光器6的工作电流使输出激光的波长在中心波长，控制激光器6的调制接口对激光器6的输出波长进行扫描，同时观察示波器中波形，然后重复依次调整激光器6的工作电流和控制激光器6的调制接口使激光器6的输出波长在不同的设定中心波长附近进行扫描，直到在示波器观察到回音壁光腔101的吸收曲线；移动第二渐变折射率透镜14的摆放角度和位置，使得回音壁光腔101的吸收曲线幅度调至最大即表明激光耦合至第二渐变折射率透镜14的效率达到最大；转动半波片13将激光束的偏振方向调整至与第二保偏光纤15的快轴或者慢轴方向一致；调整完后点胶固化第二渐变折射率透镜14。
第二渐变折射率透镜14与第一渐变折射率透镜3的等效焦距相同，通过第二渐变折射率透镜14与第一渐变折射率透镜3的激光的束腰直径相同，从而保障第二渐变折射率透镜14耦合输出的效率可以调至最大。
经过步骤6-8，在最终的回音壁耦合模块中光路为：第一渐变折射率透镜3将激光器6的激光束腰聚焦至棱镜2内与回音壁光腔101耦合处的反射面上，棱镜2通过全反射产生隐失波将所述激光的至少一部分耦合到回音壁光腔101中，激光在回音壁光腔101中沿逆时针方向循环，激光中的其余部分依照棱镜2中激光的反射路径依次传输至半波片13、第二渐变折射率透镜14最终将激光耦合进入第二保偏光纤15。此光路即为用户使用阶段光路。
实施例2：
一种基于棱镜耦合的回音壁耦合模块，依据实施例1装调方法，包括模块封装盒16、第一渐变折射率透镜3、半波片13、第二渐变折射率透镜14、棱镜2、回音壁光腔模块1。回音壁光腔模块1、棱镜2、第一渐变折射率透镜3、半波片13、第二渐变折射率透镜14固定于模块封装盒16内，如图3所示。
回音壁光腔模块1包括半导体制冷器105、导热金属块104、压电陶瓷103、金属支杆102、以及回音壁光腔101：
半导体制冷器105固定在模块封装盒16内，以便对回音壁光腔101进行温度控制；半导体制冷器105通过导热胶水与导热金属块104连接；导热金属块104通过导电胶水与压电陶瓷103底部连接且与压电陶瓷103底端的接线端子连接，通过对压电陶瓷103的接线端施加电压可使其进行剪切移动，从而调整回音壁光腔101相对棱镜2位置，进而调整回音壁光腔101与棱镜2间的距离，可以精确控制外部激光与回音壁光腔101的耦合状态；金属支杆102底端通过导电胶水与压电陶瓷103顶部连接且与压电陶瓷103顶部的接线端子连接；金属支杆102顶端通过导热胶水与回音壁光腔101连接；
导热金属块104上另设置有用于粘接棱镜2的框架17，如图4所示，以起到保护和防尘作用，用但不限于环氧树脂胶粘接；框架17和耦合棱镜2之间通过光学胶粘接，框架17高度高于回音壁光腔101到导热金属块104的距离。在整个回音壁光腔耦合模块装调完毕后将对回音壁光腔101密封处理。
需要指出的是，本发明中所描述的具体实施例仅是对本发明精神作举例说明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例作各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本发明的精神或超越所附权利要求书所定义的范围。

Claims (7)

1.一种基于棱镜耦合的回音壁耦合模块的装调方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1、设置回音壁光腔(101)初始位置；
步骤2、将拉锥光纤(5)与回音壁光腔(101)耦合，激光器(6)输出的激光入射拉锥光纤(5)并耦合到回音壁光腔(101)；
步骤3、将激光器(6)频率锁定在回音壁光腔(101)的谐振频率上；
步骤4、在回音壁光腔(101)上，位于拉锥光纤(5)与其耦合区域以外的不同处加入棱镜(2)引出回音壁光腔(101)中的激光，调整回音壁光腔(101)和棱镜(2)之间的距离，使得棱镜(2)的反射面和回音壁光腔(101)的最小距离小于一个所选激光的波长，调整完毕后点胶固化棱镜(2)；
步骤5、在棱镜(2)输出光路上放置第一渐变折射率透镜(3)和第一保偏光纤(4)，使经棱镜(2)引出回音壁光腔(101)中的激光经过第一渐变折射率透镜(3)后入射第一保偏光纤(4)的第一接口端，第一保偏光纤(4)的第二接口端与第一光电探测器连接，调整第一渐变折射率透镜(3)的摆放角度和位置，同时监测第一光电探测器直至第一光电探测器的电压值为最大；
步骤6、撤走拉锥光纤(5)，激光器(6)输出端与第一保偏光纤(4)的第二接口端连接，激光器(6)的输出光经第一保偏光纤(4)、第一渐变折射率透镜(3)后入射棱镜(2)后在棱镜(2)内反射，在棱镜(2)的反射光的路径上放置第二光电探测器，第二光电探测器接入示波器，调整激光器(6)的输出波长并对输出波长进行扫描，直到在示波器观察到回音壁光腔(101)的吸收曲线，微调第一渐变折射率透镜(3)的位置，使得示波器显示的吸收曲线幅度调至最大，调整完毕后点胶固化第一渐变折射率透镜(3)；
步骤7、在棱镜(2)的反射光的路径上放置半波片(13)，调整半波片(13)的位置使激光束通过半波片(13)的中心，点胶固化半波片(13)；
步骤8、在棱镜(2)的反射光的路径上，沿反射光方向于半波片(13)之后依次设置第二渐变折射率透镜(14)和第二保偏光纤(15)，使得经棱镜(2)反射的激光依次经半波片(13)和第二渐变折射率透镜(14)后入射第二保偏光纤(15)的第一接口端，第二保偏光纤(15)的第二接口端与第二光电探测器连接，第二光电探测器接入示波器，调整激光器(6)的输出波长并对输出波长进行扫描，直到在示波器观察到回音壁光腔(101)的吸收曲线；移动第二渐变折射率透镜(14)的摆放角度和位置，使得回音壁光腔(101)的吸收曲线幅度调至最大，转动半波片(13)将激光束的偏振方向调整至与第二保偏光纤(15)的快轴或者慢轴方向一致，点胶固化第二渐变折射率透镜(14)。
2.根据权利要求1所述一种基于棱镜耦合的回音壁耦合模块的装调方法，其特征在于，在所述步骤2中，所述拉锥光纤(5)一端通过光纤(7)与电光调制器(8)的输出端连接，电光调制器(8)的输入端通过光纤(7)与激光器(6)的输出端连接，信号源(9)分别与混频器(11)的第一输入端和电光调制器(8)的调制参考信号端连接，拉锥光纤(5)另一端与第三光电探测器(10)连接，第三光电探测器(10)与混频器(11)的第二输入端连接，混频器(11)的输出端通过PID伺服系统(12)与激光器(6)的控制端连接，
激光器(6)输出的激光经电光调制器(8)调制后入射到拉锥光纤(5)，拉锥光纤(5)与回音壁光腔(101)进行耦合，监测第三光电探测器(10)的输出信号，同时调整拉锥光纤(5)的位置，使拉锥光纤(5)与回音壁光腔(101)耦合且效率达到最大。
3.根据权利要求2所述一种基于棱镜耦合的回音壁耦合模块的装调方法，其特征在于，在所述步骤3中，所述激光器(6)输出的激光经电光调制器(8)调制后入射到拉锥光纤(5)的一端，在拉锥光纤(5)表面产生的隐失波一部分耦合到回音壁光腔(101)中，在回音壁光腔(101)内部激光沿顺时针方向循环并以音壁模式与回音壁光腔(101)谐振，拉锥光纤(5)另一端连接至第三光电探测器(10)，拉锥光纤(5)出射的激光经第三光电探测器(10)所得到的信号和信号源(9)输出的信号输入到混频器(11)，混频器(11)进行解调，解调后得到误差信号，PID伺服系统(12)根据误差信号反馈控制激光器(6)进行频率补偿从而将激光器(6)输出频率锁定在回音壁光腔(101)的谐振频率上。
4.根据权利要求1所述一种基于棱镜耦合的回音壁耦合模块的装调方法，其特征在于，所述拉锥光纤(5)的折射率高于回音壁光腔(101)的折射率，棱镜(2)的折射率高于回音壁光腔(101)的折射率。
5.根据权利要求1所述一种基于棱镜耦合的回音壁耦合模块的装调方法，其特征在于，所述步骤6中由第一保偏光纤(4)输出的激光经过第一渐变折射率透镜(3)将束腰聚焦至棱镜(2)内与回音壁光腔(101)耦合处的反射面上，在反射面上投影的光斑尺寸与回音壁光腔(101)的耦合高斯窗相匹配。
6.根据权利要求1所述一种基于棱镜耦合的回音壁耦合模块的装调方法，其特征在于，所述第二渐变折射率透镜(14)与第一渐变折射率透镜(3)的等效焦距相同，通过第二渐变折射率透镜(14)与第一渐变折射率透镜(3)的激光的束腰直径相同。
7.根据权利要求1所述一种基于棱镜耦合的回音壁耦合模块的装调方法，其特征在，所述回音壁光腔模块(1)包括半导体制冷器(105)、导热金属块(104)、压电陶瓷(103)、金属支杆(102)、以及回音壁光腔(101)，
半导体制冷器(105)固定在模块封装盒(16)内，半导体制冷器(105)通过导热胶水与导热金属块(104)连接，导热金属块(104)通过导电胶水与压电陶瓷(103)底部连接且与压电陶瓷(103)底端的接线端子连接，金属支杆(102)底端通过导电胶水与压电陶瓷(103)顶部连接且与压电陶瓷(103)顶部的接线端子连接，金属支杆(102)顶端通过导热胶水与回音壁光腔(101)连接。
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