CN115483103A - 一种激光退火方法及设备 - Google Patents

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CN115483103A CN202110602448.0A CN202110602448A CN115483103A CN 115483103 A CN115483103 A CN 115483103A CN 202110602448 A CN202110602448 A CN 202110602448A CN 115483103 A CN115483103 A CN 115483103A
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Abstract

本发明实施例公开了一种激光退火方法及设备。待退火对象包括待补偿区和非补偿区，该激光退火方法包括：在对待补偿区的各待补偿点退火时，补偿激光模块的输出能量密度值，以使待补偿区的最高退火温度与非补偿区的热平衡温度相同。本发明实施例提供的技术方案可以增大有效退火面积，提高器件良率。

Description

一种激光退火方法及设备
技术领域
本发明实施例涉及半导体技术领域，尤其涉及一种激光退火方法及设备。
背景技术
激光退火指的是利用激光对材料进行退火处理的加工方法，广泛应用于半导体领域。例如，毫秒级退火技术可以应用于集成电路前道45nm及以下工艺节点超浅结、硅化物等激光退火工艺中。
现有毫秒级激光退火技术中，采用毫秒级连续激光以固定能量密度值扫描整片晶圆，提供毫秒量级的驻留时间完成退火过程。但是，毫秒级连续激光在扫描退火过程时存在温度累积效应，对于激光束初始进入扫描区域时温度累积效应尤为明显，比如从晶圆边缘位置向中心位置扫描时，由于温度累积效应，边缘区域最高退火温度会明显低于晶圆中心区域最高退火温度。如此，会减小有效退火面积，降低器件良率，带来极大的浪费。
发明内容
本发明提供一种激光退火方法及设备，以改善温度累积效应带来的先扫描区域和后扫描区域之间的最高退火温度差异，增大有效退火面积，提高器件良率。
第一方面，本发明实施例提供了一种激光退火方法，该激光退火方法包括：
待退火对象包括待补偿区和非补偿区；所述激光退火方法包括：
在对所述待补偿区的各待补偿点退火时，补偿激光模块的输出能量密度值，以使所述待补偿区的最高退火温度与所述非补偿区的热平衡温度相同。
可选的，在对所述待补偿区退火时，补偿激光模块的输出能量密度值，以使所述待补偿区的最高退火温度与所述非补偿区的热平衡温度相同包括：
根据所述热平衡温度、所述待补偿点的最高退火温度、以及预设能量密度值确定所述待补偿点的所述能量密度补偿值；
根据所述能量密度补偿值和所述预设能量密度值确定所述待补偿点的实际能量密度值；
在所述待补偿点处，控制所述激光模块输出能量密度值为所述实际能量密度值的激光。
可选的，所述根据所述热平衡温度、所述待补偿点的最高退火温度、以及预设能量密度值确定所述待补偿点的所述能量密度补偿值包括：
根据T2(v，pd)关联关系、T1(v，pd，s)关联关系、以及PD(T1，T2)关联关系确定PD(v，pd，s)关联关系；
根据所述预设能量密度值、以及所述待补偿点对应的v、pd、以及s的具体值确定所述能量密度补偿值；
其中，T2为所述热平衡温度，T1为所述待补偿点的所述最高退火温度，PD为所述待补偿点的所述能量密度补偿值，v为所述激光模块的扫描速度，pd为所述激光模块的功率密度，s为所述待补偿点与初始扫描点之间的距离。
可选的，PD(T1，T2)关联关系包括：
Figure BDA0003093339950000021
其中，PD0为所述预设能量密度值。
可选的，还包括：根据
Figure BDA0003093339950000022
将所述PD(v，pd，s)关联关系转换为PD(v，pd，t)关联关系；其中，t为时间。
可选的，在所述根据T2(v，pd)关联关系、T1(v，pd，s)关联关系、以及PD(T1，T2)关联关系确定PD(v，pd，s)关联关系之前还包括：采用温度场仿真获取所述T2(v，pd)关联关系、T1(v，pd，s)关联关系。
可选的，所述激光模块包括第一激光器；所述在所述待补偿点处，控制所述激光模块输出能量密度值为所述实际能量密度值的激光包括：
在所述待补偿点处，控制所述第一激光器输出能量密度值为所述实际能量密度值的激光。
可选的，所述激光模块包括第一激光器和第二激光器，所述在所述待补偿点处，控制所述激光模块输出能量密度值为所述实际能量密度值的激光包括：
在所述待补偿点处，控制所述第一激光器输出能量密度值为所述预设能量密度值的激光，并且控制所述第二激光器输出能量密度值为所述待补偿点的能量密度补偿值的激光。
可选的，还包括：在非待补偿点处，控制所述激光模块输出能量密度值为所述预设能量密度值的激光。
第二方面，本发明实施例还提供了一种激光退火设备，该激光退火设备包括：相互电连接的控制器和激光模块；所述激光模块用于响应于所述控制器的控制输出激光；
所述控制器包括存储器和处理器，其中所述存储器存储有计算机程序，所述程序被处理器执行时实现如第一方面所述的方法。
本发明实施例提供的激光退火方法，通过在预设能量密度值的基础上增加能量密度补偿值作为待补偿点的实际能量密度值，使得待补偿点的实际最高退火温度提高，如此，可减小由于温度累积效应带来的不同区域的实际最高退火温度差异，提高有效退火面积，改善现有技术中由于温度累积效应带来的有效退火面积小的问题，实现提高先扫描的区域的实际最高退火温度能够达到有效退火的要求的概率，进而提高有效退火面积，提高器件良率。
附图说明
图1是本发明实施例提供的一种激光退火方法的流程图；
图2是本发明实施例提供的一条激光扫描路径的示意图；
图3是本发明实施例提供的另一种激光退火方法的流程图；
图4是本发明实施例提供一种扫描方式的示意图；
图5是本发明实施例提供另一种扫描方式的示意图；
图6是本发明实施例提供的又一种激光退火方法的流程图；
图7是本发明实施例提供的一种s-T1以及s-T2的对应关系图；
图8是本发明实施例提供的一种s-(T2-T1)的对应关系图；
图9是本发明实施例提供的一种s-PD的对应关系图；
图10是本发明实施例提供的一种s-实际最高退火温度的对应关系图；
图11是本发明实施例提供的一种扫描速度-影响范围的对应关系图；
图12是本发明实施例提供的一种激光退火装置的结构示意图；
图13是本发明实施例提供的一种激光退火设备的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
有鉴于背景技术中提到的问题，本发明实施例提供了一种激光退火方法，待退火对象包括待补偿区和非补偿区，该激光退火方法包括：在对待补偿区的各待补偿点退火时，补偿激光模块的输出能量密度值，以使待补偿区的最高退火温度与非补偿区的热平衡温度相同。采用上述技术方案，可改善现有技术中由于温度累积效应带来的有效退火面积小的问题，实现提高先扫描的区域的实际最高退火温度能够达到有效退火的要求的概率，进而提高有效退火面积，提高器件良率。
以上是本申请的核心思想，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下，所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
图1是本发明实施例提供的一种激光退火方法的流程图。参见图1，该方法具体包括如下步骤：
S110、在对待补偿区的各待补偿点退火时，补偿激光模块的输出能量密度值，以使待补偿区的最高退火温度与非补偿区的热平衡温度相同。
具体的，该激光退火方法可由激光退火装置执行，例如，可应用在对待退火对象进行退火的场景下，待退火对象包括待补偿区和非补偿区。激光退火装置可由软件和/或硬件实现，一般可集成在终端中。
示例性的，图2是本发明实施例提供的一条激光扫描路径的示意图。参见图2，激光扫描路径包括第一扫描区域Z1和第二扫描区域Z2，一条激光扫描路径上的某一点属于第一扫描区域Z1还是第二扫描区域Z2，取决于激光模块运动至该点时晶圆是否达到热平衡状态。具体的，当激光模块沿该激光扫描路径从左向右以预设能量密度值(固定值)连续扫描时，由于温度累积效应，第一扫描区域中与初始扫描点A距离越远的点的初始温度越高，则该点在激光模块对其进行加热过程中能达到的最高温度(即最高退火温度)越高。当激光模块扫描到热平衡起始点B时，热平衡起始点B周围的区域受其温度升高的影响较小，周围的区域的温度趋于不再变化(或者变化很小)，即晶圆进入热平衡状态，则第二扫描区域Z2中各点的初始温度相同(或者差异很小)，进而使得最高退火温度相同(或者差异很小)。如此，当采用相同能量密度值对激光扫描路径进行扫描时，会导致第一扫描区域Z1的最高退火温度较低，可能无法到有效退火温度。其中，各条激光扫描路径中的第一扫描区域Z1组成待补偿区，第一扫描区域Z1中的各点即为待补偿点，各条激光扫描路径中的第二扫描区域Z2组成非补偿区。其中，这里所述的初始温度指的是激光模块以固定能量密度值连续扫描时，激光模块对某一点刚开始加热时该点的温度。这里所述的最高退火温度指的是激光模块以固定能量密度值连续扫描时，激光模块对该点加热过程中该点所能达到的最高退火温度。激光模块以固定能量密度值连续扫描时，第二扫描区域各点在激光模块对其进行加热过程中所能达到的最高退火温度几乎相同，该温度即为热平衡温度。
具体的，激光模块中激光器可以为毫秒级、或者纳秒级等类型激光器，此处不作限定，本领域技术人员可根据实际情况设置。
具体的，补偿激光模块的输出能量密度值的具体实施方式本领域技术人员可根据实际情况设置，此处不作限定。后文中将就典型示例进行说明，此处先不作赘述。
可以理解的是，相对于现有技术中采用激光模块输出能量密度值相同的激光扫描待补偿区和非补偿区，本申请对待补偿点进行补偿，以提高待补偿点的实际最高退火温度，达到有效退火的要求，进而扩大晶圆中有效退火的面积，提高器件良率。
本发明实施例提供的激光退火方法，通过在预设能量密度值的基础上增加能量密度补偿值作为待补偿点的实际能量密度值，使得待补偿点的实际最高退火温度提高，如此，可减小由于温度累积效应带来的不同区域的实际最高退火温度差异，提高有效退火面积，改善现有技术中由于温度累积效应带来的有效退火面积小的问题，实现提高先扫描的区域的实际最高退火温度能够达到有效退火的要求的概率，进而提高有效退火面积，提高器件良率。
图3是本发明实施例提供的另一种激光退火方法的流程图。参见图3，该方法具体包括如下步骤：
S210、根据热平衡温度、待补偿点的最高退火温度、以及预设能量密度值确定待补偿点的能量密度补偿值。
继续参见图2，具体的，第一扫描区域Z1、第二扫描区域Z2、热平衡温度、待补偿点的最高退火温度均可通过相关技术中的仿真系统获知或者通过多次试验获取，此处不作赘述。
具体的，根据热平衡温度、待补偿点的最高退火温度、以及预设能量密度值确定待补偿点的能量密度补偿值的具体实施方式有多种，此处不作限定，下面将就典型示例进行说明，此处先不作赘述。
具体的，预设能量密度值本领域技术人员可根据实际情况设置，此处不作限定。
需要说明的是，晶圆激光退火过程中采用的扫描方式本领域技术人员可根据实际情况设置，此处不作限定。示例性的，图4是本发明实施例提供一种扫描方式的示意图。参见图4，晶圆激光退火过程包括多条扫描路径X，激光模块沿第一扫描路径X1扫描完成之后，停止输出激光，然后沿着虚线所示路径到达第二扫描路径X2的初始扫描点处，沿第二扫描路径X2扫描，然后沿着虚线所示路径到达第三扫描路径X3的初始扫描点处，沿第三扫描路径X3扫描，依此类推，从左至右完成各条扫描路径的激光扫描。图5是本发明实施例提供另一种扫描方式的示意图。参见图5，晶圆激光退火过程包括多条扫描路径X，激光模块沿第一扫描路径X1扫描完成之后，停止输出激光，然后沿着虚线所示路径到达第二扫描路径X2的初始扫描点处，沿第二扫描路径X2扫描，停止输出激光，然后沿着虚线所示路径到达第三扫描路径X3的初始扫描点处，沿第三扫描路径X3扫描，依此类推，交替从左至右和从右至左完成各条扫描路径的激光扫描。可以理解的是，对于任意一种扫描方式，均包括多条扫描路径，每条扫描路径均包括第一扫描区域和第二扫描区域，对每个第一扫描区域中的各点进行能量密度补偿，即可提高每个第一扫描区域中各点的实际最高退火温度，提高其有效退火的概率，进而增大晶圆的有效退火面积。
S220、根据能量密度补偿值和预设能量密度值确定待补偿点的实际能量密度值。
具体的，将能量密度补偿值和预设能量密度值加和即可得到实际能量密度值。
S230、在待补偿点处，控制激光模块输出能量密度值为实际能量密度值的激光。
本发明实施例提供的激光退火方法，通过根据热平衡温度、待补偿点的最高退火温度、以及预设能量密度值确定待补偿点的能量密度补偿值，可使能量密度补偿值获取方式简单且补偿效果较好，有利于大幅度提高有效退火面积，进而提高器件良率。
图6是本发明实施例提供的又一种激光退火方法的流程图。本实施例是在上述实施例的基础上，进行优化。参见图6，该方法具体包括如下步骤：
S310、根据T2(v，pd)关联关系、T1(v，pd，s)关联关系、以及PD(T1，T2)关联关系确定PD(v，pd，s)关联关系。
其中，T2为热平衡温度，T1为待补偿点的最高退火温度，PD为待补偿点的能量密度补偿值，v为激光模块的扫描速度，pd为激光模块的功率密度，s为待补偿点与初始扫描点之间的距离，该距离指的是两点之间的直线距离。
具体的，T2(v，pd)关联关系、以及T1(v，pd，s)关联关系可通过前述仿真系统或者通过多次试验获取，此处不作限定。可选的，采用温度场仿真获取T2(v，pd)关联关系、T1(v，pd，s)关联关系。可选的，还可以采用温度场仿真获取热平衡初始点与扫描初始点之间的距离s0。可以理解的是，通过温度场仿真技术获取T2(v，pd)关联关系、T1(v，pd，s)关联关系，则无需进行大量实验来确定T2(v，pd)关联关系、T1(v，pd，s)关联关系，有利于节约成本以及缩短确定上述关系的周期。还可以理解的是，激光模块扫描过程中，当激光模块的扫描速度v、以及激光模块的功率密度pd确定之后，代入T2(v，pd)关联关系、T1(v，pd，s)关联关系可确定出T1-s关联关系以及T2，如图8所示，据此，可快速确定第一扫描区域、第二扫描区域、以及待补偿点的具体位置。需要说明的是，温度场仿真的具体实施方式本领域技术人员可根据相关技术执行即可，此处不作限定。
具体的，PD(T1，T2)关联关系的具体关系本领域技术人员可根据实际情况设置，此处不作限定。
可选的，PD(T1，T2)关联关系包括：
Figure BDA0003093339950000101
其中，PD0为所述预设能量密度值。如此，可使待补偿点的能量密度补偿值PD的获取方式简洁。具体的，待补偿点对应的v、pd、以及s的具体值的获取方式本领域技术人员可根据实际情况设置，此处不作限定。
可选的，PD(T1，T2)关联关系还可以包括：
Figure BDA0003093339950000102
其中，PD0为所述预设能量密度值，a为正整数。具体的，a的具体值本领域技术人员可根据实际情况设置，此处不作限定。可选的，a的具体确定方式如下：按照
Figure BDA0003093339950000103
Figure BDA0003093339950000104
确定出理论能量密度补偿值PD′，然后，根据待补偿点的理论能量密度补偿值和预设能量密度值确定待补偿点的理论实际能量密度值；在待补偿点处，控制激光模块输出能量密度值为理论实际能量密度值的激光，然后根据待补偿点处的最高退火温度，或者，根据有效退火点的分布情况确定a。
可选的，该方法还可以包括：根据
Figure BDA0003093339950000105
将PD(v，pd，s)关联关系转换为PD(v，pd，t)关联关系；其中，t为时间。如此，便于根据时间控制激光模块输出。
S320、根据预设能量密度值、以及待补偿点对应的v、pd、以及s的具体值确定能量密度补偿值。
具体的，将预设能量密度值PD0、以及待补偿点对应的v、pd、以及s代入PD(v，pd，s)关联关系即可确定该待补偿点对应的能量密度补偿值。
S330、根据待补偿区中待补偿点的能量密度补偿值和预设能量密度值确定待补偿点的实际能量密度值。
S340、在待补偿点处，控制激光模块输出能量密度值为实际能量密度值的激光。
可选的，激光模块包括第一激光器。S340具体包括：在待补偿点处，控制第一激光器输出能量密度值为实际能量密度值的激光。
可以理解的是，通过一个激光器(即第一激光器)直接输出能量密度值为实际能量密度值的激光可使激光模块结构简洁，有利于降低成本。
可选的，激光模块包括第一激光器和第二激光器，S240具体包括：在待补偿点处，控制第一激光器输出能量密度值为预设能量密度值的激光，并且控制第二激光器输出能量密度值为待补偿点的能量密度补偿值的激光。
具体的，第一激光器在整个扫描过程中持续输出能量密度值为固定值的激光，其输出不发生变化，输出较稳定，有利于提高整个激光扫描过程中，晶圆接收到的激光能量的稳定性。
S250、在非补偿区的各非待补偿点处，控制激光模块输出能量密度值为预设能量密度值的激光。
具体的，第二扫描区域中各点即为非待补偿点。
可选的，激光模块包括第一激光器。S250具体包括：在非补偿区的各非待补偿点处，控制第一激光器输出能量密度值为预设能量密度值的激光。
可选的，激光模块包括第一激光器和第二激光器，S250具体包括：在非补偿区的各非待补偿点处，控制第一激光器输出能量密度值为预设能量密度值的激光，并且控制第二激光器停止输出。
在上述技术方案的基础上，可选的，还包括：对晶圆进行检测确定有效退火区域和无效退火区域。
具体的，可结合激光退火工艺测试手段进行效果验证，如方块电阻测试、器件性能测试等检测出有效退火区域和无效退火区域，并进一步修正无效退火区域的能量密度补偿值，以进一步增大有效退火面积。
为清楚展示本申请提供的激光退火方法可有效改善现有技术中由于温度累积效应带来的有效退火面积小的问题，进行了相关验证实验，实验结果如下：图7是本发明实施例提供的一种s-T1以及s-T2的对应关系图。图9是本发明实施例提供的一种s-(T2-T1)的对应关系图。图9是本发明实施例提供的一种s-PD的对应关系图。图10是本发明实施例提供的一种s-实际最高退火温度的对应关系图。图11是本发明实施例提供的一种扫描速度-影响范围的对应关系图。参见图7-图10，图7-图10中横坐标均为待补偿点和初始扫描点之间的距离，图7中纵坐标为第一扫描区中各点的最高退火温度以及第二扫描区的热平衡温度，图8中纵坐标为热平衡温度和最高退火温度之差，图9中纵坐标为能量密度补偿值，图10中纵坐标为实际最高退火温度。对比图7和图10可知，在不进行补偿时，第一扫描区中各待补偿点的最高退火温度和热平衡温度相差较大，且第一扫描区的长度较大，约为1.6mm，进行补偿之后，实际最高退火温度与热平衡温度之差较小，且实际最高退火温度小于热平衡温度的区域较小。图11中横坐标为激光模块的扫描速度，纵坐标为影响范围，即热平衡点和初始扫描点之间的距离。从图7-图11可知，本申请提供的激光退火方法，对温度累积效应影响范围的改善在一个数量级左右，大幅度增大有效退火面积，极大提高了器件良率。
图12是本发明实施例提供的一种激光退火装置的结构示意图。参见图12，该激光退火装置用于在对待补偿区的各待补偿点退火时，补偿激光模块的输出能量密度值，以使待补偿区的最高退火温度与非补偿区的热平衡温度相同。
在上述技术方案的基础上，可选的，激光退火装置包括：能量密度补偿值确定模块110，用于根据热平衡温度、待补偿点的最高退火温度、以及预设能量密度值确定待补偿点的能量密度补偿值；实际能量密度值确定模块120，用于根据能量密度补偿值和预设能量密度值确定待补偿点的实际能量密度值；激光输出控制模块130，用于控制激光模块输出能量密度值为实际能量密度值的激光。
可选的，能量密度补偿值确定模块110具体用于根据T2(v，pd)关联关系、T1(v，pd，s)关联关系、以及PD(T1，T2)关联关系确定PD(v，pd，s)关联关系；根据预设能量密度值、以及待补偿点对应的v、pd、以及s的具体值确定能量密度补偿值；其中，T2为热平衡温度，T1为待补偿点的最高退火温度，PD为待补偿点的能量密度补偿值，v为激光模块的扫描速度，pd为激光模块的功率密度，s为待补偿点与初始扫描点之间的距离。
可选的，PD(T1，T2)关联关系包括：
Figure BDA0003093339950000131
其中，PD0为所述预设能量密度值。
可选的，该激光退火装置还包括：关联关系转换模块，用于根据
Figure BDA0003093339950000132
将PD(v，pd，s)关联关系转换为PD(v，pd，t)关联关系；其中，t为时间。
可选的，该激光退火装置还包括：关联关系确定模块，用于采用温度场仿真获取T2(v，pd)关联关系、T1(v，pd，s)关联关系。
可选的，激光模块包括第一激光器；激光输出控制模块130具体用于在待补偿点处，控制第一激光器输出能量密度值为实际能量密度值的激光。
可选的，激光模块包括第一激光器和第二激光器，激光输出控制模块130具体用于在待补偿点处，控制第一激光器输出能量密度值为预设能量密度值的激光，并且控制第二激光器输出能量密度值为待补偿点的能量密度补偿值的激光。
可选的，激光输出控制模块130还用于在非补偿点区的各非待补偿点处，控制激光模块输出能量密度值为预设能量密度值的激光。
本发明实施例的激光退火装置可以用于执行上述实施例提供的激光退火方法，具备相应的功能和有益效果。
图13是本发明实施例提供的一种激光退火设备的结构示意图。参见图13，该激光退火设备包括：相互电连接的控制器210和激光模块220；激光模块220用于响应于控制器210的控制输出激光；控制器210包括存储器和处理器，其中存储器存储有计算机程序，程序被处理器执行时实现如下方法：
在对待补偿区的各待补偿点退火时，补偿激光模块220的输出能量密度值，以使待补偿区的最高退火温度与非补偿区的热平衡温度相同；其中，待退火对象包括待补偿区和非补偿区。
本发明实施例四提供的激光退火设备中的控制器可以用于执行上述实施例提供的激光退火方法，具备相应的功能和有益效果。
注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种激光退火方法，其特征在于，待退火对象包括待补偿区和非补偿区；所述激光退火方法包括：
在对所述待补偿区的各待补偿点退火时，补偿激光模块的输出能量密度值，以使所述待补偿区的最高退火温度与所述非补偿区的热平衡温度相同。
2.根据权利要求1所述的激光退火方法，其特征在于，在对所述待补偿区退火时，补偿激光模块的输出能量密度值，以使所述待补偿区的最高退火温度与所述非补偿区的热平衡温度相同包括：
根据所述热平衡温度、所述待补偿点的最高退火温度、以及预设能量密度值确定所述待补偿点的所述能量密度补偿值；
根据所述能量密度补偿值和所述预设能量密度值确定所述待补偿点的实际能量密度值；
在所述待补偿点处，控制所述激光模块输出能量密度值为所述实际能量密度值的激光。
3.根据权利要求2所述的激光退火方法，其特征在于，所述根据所述热平衡温度、所述待补偿点的最高退火温度、以及预设能量密度值确定所述待补偿点的所述能量密度补偿值包括：
根据T2(v，pd)关联关系、T1(v，pd，s)关联关系、以及PD(T1，T2)关联关系确定PD(v，pd，s)关联关系；
根据所述预设能量密度值、以及所述待补偿点对应的v、pd、以及s的具体值确定所述能量密度补偿值；
其中，T2为所述热平衡温度，T1为所述待补偿点的所述最高退火温度，PD为所述待补偿点的所述能量密度补偿值，v为所述激光模块的扫描速度，pd为所述激光模块的功率密度，s为所述待补偿点与初始扫描点之间的距离。
4.根据权利要求3所述的激光退火方法，其特征在于，PD(T1，T2)关联关系包括：
Figure FDA0003093339940000021
其中，PD0为所述预设能量密度值。
5.根据权利要求3所述的激光退火方法，其特征在于，还包括：根据
Figure FDA0003093339940000022
将所述PD(v，pd，s)关联关系转换为PD(v，pd，t)关联关系；其中，t为时间。
6.根据权利要求2所述的激光退火方法，其特征在于，在所述根据T2(v，pd)关联关系、T1(v，pd，s)关联关系、以及PD(T1，T2)关联关系确定PD(v，pd，s)关联关系之前还包括：采用温度场仿真获取所述T2(v，pd)关联关系、T1(v，pd，s)关联关系。
7.根据权利要求2所述的激光退火方法，其特征在于，所述激光模块包括第一激光器；所述在所述待补偿点处，控制所述激光模块输出能量密度值为所述实际能量密度值的激光包括：
在所述待补偿点处，控制所述第一激光器输出能量密度值为所述实际能量密度值的激光。
8.根据权利要求2所述的激光退火方法，其特征在于，所述激光模块包括第一激光器和第二激光器，所述在所述待补偿点处，控制所述激光模块输出能量密度值为所述实际能量密度值的激光包括：
在所述待补偿点处，控制所述第一激光器输出能量密度值为所述预设能量密度值的激光，并且控制所述第二激光器输出能量密度值为所述待补偿点的能量密度补偿值的激光。
9.根据权利要求2所述的激光退火方法，其特征在于，还包括：
在所述非补偿点区的各非待补偿点处，控制所述激光模块输出能量密度值为所述预设能量密度值的激光。
10.一种激光退火设备，其特征在于，包括：相互电连接的控制器和激光模块；所述激光模块用于响应于所述控制器的控制输出激光；
所述控制器包括存储器和处理器，其中所述存储器存储有计算机程序，所述程序被处理器执行时实现如权利要求1-9中任一所述的方法。
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