CN115468986A - 一种超纯去离子水使用的电阻率探头 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种超纯去离子水使用的电阻率探头，包括外壳体组件，电极组件和密封组件；所述外壳体组件包括呈圆柱状设置的外壳，与所述外壳配合卡嵌设置在外壳底部的下壳体；所述电极组件包括电极，套筒和隔套；所述套筒和隔套分别套设在所述电极的上下两部；所述电极与套设在电极上下两部的套筒和隔套贯穿设置在所述外壳和下壳体卡嵌形成的中部腔体内；所述密封组件包括下垫片，小密封圈和大密封圈；所述下垫片设置在所述电极下端与所述壳体下表面之间；所述小密封圈和大密封圈均设置在所述隔套与所述电极之间；本发明的有益效果：结构紧凑尺寸小，能适应特定的半导体设备。
Description
技术领域
本发明主要涉及半导体检测技术领域，尤其涉及一种超纯去离子水使用的电阻率探头。
背景技术
在半导体关键制程里通常需要对反应釜进行温度控制，这种温度控制是通过特殊介质进行的，其中一种常用的介质是超纯去离子水，使用这种介质时需要对其电阻率进行监控，而监控该介质需要用到与介质接触的探头，目前市面上常见的探头从接口规格、尺寸大小和电极常数等考虑无法完全满足半导体行业对超纯去离子水的检测需求，尤其无法找到在特定的设备上需要用到尺寸小且规格和电极常数匹配的探头。因此急需要开发一款能够适用半导体行业里特定设备上的，用于超纯去离子水使用的电阻率探头，该探头需要有较小的尺寸，符合设备需求的规格。
发明内容
针对现有技术的上述缺陷，本发明提供一种超纯去离子水使用的电阻率探头，用于对超纯去离子水进行电阻率监控。
一种超纯去离子水使用的电阻率探头，包括外壳体组件，电极组件和密封组件；
所述外壳体组件包括呈圆柱状设置的外壳1，与所述外壳1配合卡嵌设置在外壳1底部的下壳体2；
所述电极组件包括电极4，套筒3和隔套6；所述套筒3和隔套6分别套设在所述电极4的上下两部；所述电极4与套设在电极4上下两部的套筒3和隔套6贯穿设置在所述外壳1和下壳体2卡嵌形成的中部腔体内；
所述密封组件包括下垫片5，小密封圈7和大密封圈8；所述下垫片5设置在所述电极4下端与所述壳体2下表面之间；所述小密封圈7和大密封圈8均设置在所述隔套6与所述电极之间；
所述密封组件还包括平垫圈9，锯齿垫圈10和螺母11；所述螺母11套设在所述电极4顶部，将电极4固定在所述套筒3上；所述锯齿垫圈10与平垫圈9自上至下依次设置在所述电极4顶部，被螺母11压紧贴合在所述套筒3上。
优选的，所述外壳1材质为铜。
优选的，所述壳体2，套筒3，隔套6的材质均为绝缘体。
优选的，所述下垫片5材质为尼龙。
优选的，所述电极4为镀钛电极。
优选的，所述电极4并列设置有两个；每个电极4上各设置有一个套筒3，和一组螺母11，锯齿垫圈10，平垫圈9。
优选的，所述大密封圈8环设套在所述两个电极4外部；所述小密封圈7设置有两个，分别套设在两个电极4上。
优选的，自上至下依次设置的所述螺母11，锯齿垫圈10和平垫圈9为一组固定组件；每个电极4顶部自上至下依次设置有两组固定组件。
本发明的有益效果：结构紧凑尺寸小，能适应特定的半导体设备。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
图2为图1中A-A剖视图；
图中，
1、外壳；2、下壳体；3、套筒；4、电极；5、下垫片；6、隔套；7、小密封圈；8、大密封圈；9、平垫圈；10、锯齿垫圈；11、螺母。
具体实施方式
下面结合附图对本实用进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本发明的保护范围有任何的限制作用。
本发明提供一种超纯去离子水使用的电阻率探头，包括外壳体组件，电极组件和密封组件；
所述外壳体组件包括呈圆柱状设置的外壳1，与所述外壳1配合卡嵌设置在外壳1底部的下壳体2；
所述电极组件包括电极4，套筒3和隔套6；所述套筒3和隔套6分别套设在所述电极4的上下两部；所述电极4与套设在电极4上下两部的套筒3和隔套6贯穿设置在所述外壳1和下壳体2卡嵌形成的中部腔体内；
所述密封组件包括下垫片5，小密封圈7和大密封圈8；所述下垫片5设置在所述电极4下端与所述壳体2下表面之间；所述小密封圈7和大密封圈8均设置在所述隔套6与所述电极之间；
所述密封组件还包括平垫圈9，锯齿垫圈10和螺母11；所述螺母11套设在所述电极4顶部，将电极4固定在所述套筒3上；所述锯齿垫圈10与平垫圈9自上至下依次设置在所述电极4顶部，被螺母11压紧贴合在所述套筒3上。
本实施例中优选的，所述外壳1材质为铜。
本实施例中优选的，所述壳体2，套筒3，隔套6的材质均为绝缘体。
本实施例中优选的，所述下垫片5材质为尼龙。
本实施例中优选的，所述电极4为镀钛电极。
本实施例中优选的，所述电极4并列设置有两个；每个电极4上各设置有一个套筒3，和一组螺母11，锯齿垫圈10，平垫圈9。
本实施例中优选的，所述大密封圈8环设套在所述两个电极4外部；所述小密封圈7设置有两个，分别套设在两个电极4上。
本实施例中优选的，自上至下依次设置的所述螺母11，锯齿垫圈10和平垫圈9为一组固定组件；每个电极4顶部自上至下依次设置有两组固定组件。
工作原理：本发明涉及的电阻率探头两电极4之间的中心距离为1cm。当本探头通过外壳1上的密封锥螺纹拧紧到介质系统里，超纯去离子水会浸没壳体2和两镀钛电极4，此时从电极4的另一端施加一个外部的电压，浸没在介质里的电极之间会产生电流。通过测出电极两端的电压和电流可以计算出超纯去离子水的电阻率。
需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
以上所述的本发明实施方式，并不构成对本发明保护范围的限定。任何在本发明的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的权利要求保护范围之内。
Claims (8)
1.一种超纯去离子水使用的电阻率探头，包括外壳体组件，电极组件和密封组件；
其特征在于，
所述外壳体组件包括呈圆柱状设置的外壳(1)，与所述外壳(1)配合卡嵌设置在外壳(1)底部的下壳体(2)；
所述电极组件包括电极(4)，套筒(3)和隔套(6)；所述套筒(3)和隔套(6)分别套设在所述电极(4)的上下两部；所述电极(4)与套设在电极(4)上下两部的套筒(3)和隔套(6)贯穿设置在所述外壳(1)和下壳体(2)卡嵌形成的中部腔体内；
所述密封组件包括下垫片(5)，小密封圈(7)和大密封圈(8)；所述下垫片(5)设置在所述电极(4)下端与所述壳体(2)下表面之间；所述小密封圈(7)和大密封圈(8)均设置在所述隔套(6)与所述电极之间；
所述密封组件还包括平垫圈(9)，锯齿垫圈(10)和螺母(11)；所述螺母(11)套设在所述电极(4)顶部，将电极(4)固定在所述套筒(3)上；所述锯齿垫圈(10)与平垫圈(9)自上至下依次设置在所述电极(4)顶部，被螺母(11)压紧贴合在所述套筒(3)上。
2.根据权利要求1所述的超纯去离子水使用的电阻率探头，其特征在于：所述外壳(1)材质为铜。
3.根据权利要求1所述的超纯去离子水使用的电阻率探头，其特征在于：所述壳体(2)，套筒(3)，隔套(6)的材质均为绝缘体。
4.根据权利要求1所述的超纯去离子水使用的电阻率探头，其特征在于：所述下垫片(5)材质为尼龙。
5.根据权利要求1所述的超纯去离子水使用的电阻率探头，其特征在于：所述电极(4)为镀钛电极。
6.根据权利要求1所述的超纯去离子水使用的电阻率探头，其特征在于：所述电极(4)并列设置有两个；每个电极(4)上各设置有一个套筒(3)，和一组螺母(11)，锯齿垫圈(10)，平垫圈(9)。
7.根据权利要求6所述的超纯去离子水使用的电阻率探头，其特征在于：所述大密封圈(8)环设套在所述两个电极(4)外部；所述小密封圈(7)设置有两个，分别套设在两个电极(4)上。
8.根据权利要求7所述的超纯去离子水使用的电阻率探头，其特征在于：自上至下依次设置的所述螺母(11)，锯齿垫圈(10)和平垫圈(9)为一组固定组件；每个电极(4)顶部自上至下依次设置有两组固定组件。
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