CN115458454A - 用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法及装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法及装置，该方法包括以下步骤：将放置有不同类型晶圆的片盒传送至片盒缓存架的对应工位上，并根据相应的顺序将片盒放置到中转缓存架上并将片盒中的晶圆放入到舟架中，直至所需晶圆全部放入到舟架中，完成对晶圆的输入传输。装置包括片盒缓存架、中转缓存架、上下料台、片盒传输组件和晶圆传输组件。本发明中，通过合理的利用片盒缓存架、中转缓存架的存储和转运功能，能够更好的协调不同类型晶圆在缓存架和舟架之间的放片和取片，进而能够更加可靠、高效的完成不同类型晶圆在缓存架和舟架之间的传输，具有操作简单、过程可控、传输效率高、出错率低等优点，使用价值高，应用前景好。

Description

用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法及装置
技术领域
本发明属于集成电路制造技术领域，涉及一种晶圆传输方法及装置，具体涉及一种用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法及装置。
背景技术
半导体集成电路技术是现代信息技术的核心，集成电路技术从产业分工角度可以分为集成电路设计，集成电路制造，以及集成电路封测三个方面。
立式炉设备是集成电路芯片制造的核心装备，为提高设备自动化程度和安全性，晶圆一般都采用自动化方法进行传输，而立式炉设备的传送结构相对复杂，造成了传送过程也较复杂，这不利于提高晶圆传输效率，也容易造成出错率较高。在工艺时间固定的情况下，晶圆自动传输是否可靠高效决定了设备是否具有更高的利用率。基于此，现有常规操作是先将不同类型的晶圆放置到不同片盒内，并按照立式炉设备舟架上每个片槽放置晶圆的类型，将放置有不同类型晶圆的不同片盒转移至缓存架的工位上，进而按照由上而下的方式将不同类型晶圆依次放入到舟架的片槽内，完成对晶圆的输入传输，相应的，晶圆的输出传输过程中，按照由下而上的方式将舟架片槽内的不同类型晶圆放入到缓存架上的片盒中。上述传输方式中，由于未指定不同类型晶圆的不同片盒在缓存架上的工位，因而在实际传输片盒的过程中片盒机械手难以快速、准确的找到对应片盒，因而在将不同类型晶圆的不同片盒传输到缓存架的过程中容易出现传输速率低、片盒选取错误的问题，与此同时，经立式炉设备处理后的晶圆也难以返回至原有片盒对应的原片槽内，因而不利于实现晶圆的准确追踪；另外，直接按照立式炉设备舟架上每个片槽放置晶圆的类型，将放置有不同类型晶圆的不同片盒转移至缓存架的工位上时，不同类型晶圆的不同片盒是以交错输送的方式输送至缓存架的工位上，即相同类型的晶圆需要多次来回转运，不仅传输过程繁琐，不利于提高传输效率，而且也大大增加了出现片盒、晶圆选取错误的概率，不利于降低出错率；此外，按照由上而下的方式将不同类型晶圆依次放入到舟架的片槽内，或按照由下而上的方式将舟架片槽内的不同类型晶圆放入到缓存架上的片盒中，也难以实现晶圆返回至原片盒的原片槽内。显然，现有晶圆的传输装置及传输方法，仍然存在出错率高、传输效率较低的缺陷，并不利于实现晶圆的自动化传输。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种操作简单、出错率低、传输效率高的用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法及装置。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：
一种用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法，包括以下步骤：
S1、根据工艺需要，将不同类型的晶圆放入到不同片盒对应的片槽中；
S2、将放置有不同类型晶圆的不同片盒传送至片盒缓存架的对应工位上；
S3、根据不同类型晶圆进入舟架的顺序，将片盒缓存架上放置有相同类型晶圆的片盒依次转移到中转缓存架的工位上，若中转缓存架没有空余工位，则等待；
S4、根据设定的立式炉设备舟架上每个片槽放置晶圆的类型，将中转缓存架上片盒中相同类型的晶圆放入到舟架对应的片槽中，若中转缓存架出现空片盒或片盒中剩余的晶圆不需要进舟架，则将对应的片盒放回至原片盒缓存架对应的工位上；
S5、重复S3至S4，直至不同类型的晶圆全部放入到舟架上对应的片槽中，完成对晶圆的输入传输。
上述的用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法，进一步改进的，还包括S6：待晶圆在立式炉设备的相关工艺完成后，按照先进后出的方式，对晶圆进行输出传输。
上述的用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法，进一步改进的，所述晶圆的输出传输，包括以下步骤：
S6-1、待晶圆在立式炉设备的相关工艺完成后，按照先进后出的方式，依次从片盒缓存架上取晶圆对应的原片盒，传送至中转缓存架的工位上，若中转缓存架没有空余工位，则等待；
S6-2、将舟架上对应的晶圆取出，放入到中转缓存架上对应的原片盒的原片槽内，若中转缓存架上对应原片盒不再需要放入晶圆，则将片盒从中转缓存架传送至原片盒缓存架对应的工位上；
S6-3、重复S6-1至S6-2，直至舟架上不同类型的晶圆全部返回至片盒缓存架对应的原片盒的原片槽内，完成对晶圆的输出传输。
上述的用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法，进一步改进的，所述S6-2中，所述类型相同的晶圆的取片放片规则是先由下而上依次从舟架的片槽中取片，然后由上而下依次放入到中转缓存架上放置的原片盒对应的原片槽中。
上述的用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法，进一步改进的，所述S6-3中，还包括以下步骤：将片盒缓存架上放置的片盒传送到上下料台的工位上，完成下料。
上述的用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法，进一步改进的，所述S2中，将放置有不同类型晶圆的不同片盒传送至片盒缓存架的对应工位上时，包括以下步骤：
S2-1、将放置有不同类型晶圆的不同片盒传送至上下料台的工位上，若上下料台没有空余工位，则等待；
S2-2、将上下料台上的片盒传送至片盒缓存架的对应工位上；
S2-3、重复S2-1至S2-2，直至所需晶圆对应的片盒全部传送到片盒缓存架的工位上。
上述的用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法，进一步改进的，所述S4中，所述类型相同的晶圆的取片放片规则是先由下而上依次从中转缓存架上的片盒的片槽内取片，然后由上而下依次放入到舟架对应的片槽中。
上述的用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法，进一步改进的，所述晶圆的类型包括挡片、填充片、工艺片和监测片。
作为一个总的技术构思，本发明还提供了一种用于集成电路立式炉设备的晶圆传输装置，包括：
片盒缓存架，用于存放待处理或已处理的晶圆；
中转缓存架，用于中转待处理或已处理的晶圆；
上下料台，用于实现晶圆的上料和下料；
片盒传输组件，用于实现片盒在片盒缓存架、中转缓存架、上下料台之间的传输；
晶圆传输组件，用于实现晶圆在舟架和中转缓存架之间的传输。
上述的用于集成电路立式炉设备的晶圆传输装置，进一步改进的，所述片盒传输组件包括片盒传输支撑架和可在片盒传输支撑架上移动的片盒机械手；所述片盒机械手设置在片盒缓存架、中转缓存架、上下料台的中间。
上述的用于集成电路立式炉设备的晶圆传输装置，进一步改进的，所述晶圆传输组件包括晶圆传输支撑架和可在晶圆传输支撑架上移动的晶圆机械手；所述晶圆机械手设置在中转缓存架和舟架的中间。
上述的用于集成电路立式炉设备的晶圆传输装置，进一步改进的，所述片盒缓存架的数量至少1个；每个所述片盒缓存架上设有多个用于存放片盒的工位。
上述的用于集成电路立式炉设备的晶圆传输装置，进一步改进的，所述中转缓存架的数量至少1个；每个所述中转缓存架上设有多个用于存放片盒的工位。
上述的用于集成电路立式炉设备的晶圆传输装置，进一步改进的，所述上下料台的数量至少1个；每个所述上下料台上设有多个用于存放片盒的工位；每个所述工位上设有用于识别片盒中晶圆数量和晶圆在片盒片槽中位置的传感器。
与现有技术相比，本发明的优点在于：
针对现有晶圆的传输装置及传输方法仍然存在的出错率高、传输效率较低等缺陷，本发明中创造性地提供了一种用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法，根据工艺需要，将不同类型的晶圆放入到不同片盒对应的片槽中，以及将放置有不同类型晶圆的不同片盒传送至片盒缓存架的对应工位上，即不同类型晶圆在片盒内以及不同片盒在片盒缓存架上，均具有固定的位置，这样的放置方式，使得片盒机械手能够快速、准确的找到所需晶圆对应的片盒，进而按照不同类型晶圆进入舟架的顺序，将片盒缓存架上放置有相同类型晶圆的片盒依次转移到中转缓存架的工位上时，能够将放置有不同类型晶圆的不同片盒快速的传输到中转缓存架的工位上，有利于提高传输效率以及降低出错概率，与此同时，根据设定的立式炉设备舟架上每个片槽放置晶圆的类型，将中转缓存架上片盒中相同类型的晶圆放入到舟架对应的片槽中，最后重复上述两个传输过程，直至不同类型的晶圆全部放入到舟架上对应的片槽中，完成对晶圆的输入传输，在上述的晶圆输入传输过程中，放置有相同类型晶圆的片盒依次传输到中转缓存架的工位上，不存在交错排列方式，以及将相同类型晶圆依次放入到舟架对应的片槽内，无需多次来回转运，因而能够简化片盒的传输过程，有利于提高传输效率以及降低降低出错概率。另外，由于不同类型晶圆在片盒内以及不同片盒在片盒缓存架上均具有固定的位置，因而经立式炉设备处理后的晶圆，按照先进后出的方式，也能快速、准确的返回至原有片盒对应的原片槽内，有利于实现对不同类型晶圆的准确追踪。本发明用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法，通过将不同类型晶圆放置到缓存架上对应片盒的片槽中，并根据不同类型晶圆进入舟架的顺序传输片盒以及根据立式炉设备舟架上每个片槽放置晶圆的类型传输晶圆，能够合理的利用片盒缓存架、中转缓存架的存储和转运功能，从而能够更好的协调不同类型晶圆在缓存架和舟架之间的放片和取片，进而能够更加可靠、高效的完成不同类型晶圆在缓存架和舟架之间的传输，具有操作简单、过程可控、传输效率高、出错率低等优点，不仅能够将处理后的晶圆放回至原有片盒的原有片槽内，便于精确追踪，而且能够在工艺时间固定的情况下，有效提高设备的利用率，使用价值高，应用前景好。
附图说明
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述。
图1为本发明实施例1中用于集成电路立式炉设备的晶圆传输流程图。
图2为本发明实施例2中用于集成电路立式炉设备的晶圆传输流程图。
图3为本发明实施例3中用于集成电路立式炉设备的晶圆传输装置的主视图。
图4为本发明实施例3中用于集成电路立式炉设备的晶圆传输装置的侧视图。
图5为本发明实施例3中用于集成电路立式炉设备的晶圆传输流程图。
图例说明：
1、舟架；2、晶圆机械手；3、中转缓存架；4、片盒缓存架；5、片盒传输支撑架；6、片盒机械手；7、上下料台。
具体实施方式
以下结合说明书附图和具体优选的实施例对本发明作进一步描述，但并不因此而限制本发明的保护范围。
实施例1：
一种用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法，如图1所示，包括以下步骤：
S1、根据工艺需要，将不同类型的晶圆放入到不同片盒对应的片槽中，使不同类型的晶圆在对应的片盒中具有一个固定放置片槽。
S2、将放置有不同类型晶圆的不同片盒传送至片盒缓存架的对应工位上，使放置有不同类型晶圆的片盒在片盒缓存架上具有一个固定的放置工位，具体为：
S2-1、将放置有不同类型晶圆的不同片盒传送至上下料台的工位上，若上下料台没有空余工位，则等待；
S2-2、将上下料台上的片盒传送至片盒缓存架的对应工位上；
S2-3、重复S2-1至S2-2，直至所需晶圆对应的片盒全部传送到片盒缓存架的工位上。本发明中，通过上下料台上的中转作用，有利于将放置有不同类型晶圆的不同片盒放置到指定的工位上。
S3、根据不同类型晶圆进入舟架的顺序，将片盒缓存架上放置有相同类型晶圆的片盒依次转移到中转缓存架的工位上，若中转缓存架没有空余工位，则等待。
S4、根据立式炉设备舟架上每个片槽放置晶圆的类型，将中转缓存架上片盒中相同类型的晶圆放入到舟架对应的片槽中，若中转缓存架出现空片盒或片盒中剩余的晶圆不需要进舟架，则将对应的片盒放回至原片盒缓存架对应的工位上。
在S4中，类型相同的晶圆的取片放片规则是先由下而上依次从中转缓存架上的片盒的片槽内取片，然后由上而下依次放入到舟架对应的片槽中。
S5、重复S3至S4，直至不同类型的晶圆全部放入到舟架上对应的片槽中，完成对晶圆的输入传输。
本实施例中，晶圆的类型包括挡片、填充片、工艺片和监测片。
本实施例中，根据工艺需要，将不同类型的晶圆放入到不同片盒对应的片槽中，以及将放置有不同类型晶圆的不同片盒传送至片盒缓存架的对应工位上，即不同类型晶圆在片盒内以及不同片盒在片盒缓存架上，均具有固定的位置，这样的放置方式，使得片盒机械手能够快速、准确的找到所需晶圆对应的片盒，进而按照不同类型晶圆进入舟架的顺序，将片盒缓存架上放置有相同类型晶圆的片盒依次转移到中转缓存架的工位上时，能够将放置有不同类型晶圆的不同片盒快速的传输到中转缓存架的工位上，有利于提高传输效率以及降低出错概率，与此同时，根据设定的立式炉设备舟架上每个片槽放置晶圆的类型，将中转缓存架上片盒中相同类型的晶圆放入到舟架对应的片槽中，最后重复上述两个传输过程，直至不同类型的晶圆全部放入到舟架上对应的片槽中，完成对晶圆的输入传输，在上述的晶圆输入传输过程中，放置有相同类型晶圆的片盒依次传输到中转缓存架的工位上，不存在交错排列方式，以及将相同类型晶圆依次放入到舟架对应的片槽内，无需多次来回转运，因而能够简化片盒的传输过程，有利于提高传输效率以及降低降低出错概率。因此，本发明用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法，通过将不同类型晶圆放置到缓存架上对应片盒的片槽中，并根据不同类型晶圆进入舟架的顺序传输片盒以及根据立式炉设备舟架上每个片槽放置晶圆的类型传输晶圆，能够合理的利用片盒缓存架、中转缓存架的存储和转运功能，从而能够更好的协调不同类型晶圆在缓存架和舟架之间的放片和取片，进而能够更加可靠、高效的完成不同类型晶圆在缓存架和舟架之间的传输，具有操作简单、过程可控、传输效率高、出错率低等优点，能够在工艺时间固定的情况下，有效提高设备的利用率，使用价值高，应用前景好。
实施例2：
一种用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法，与实施例1基本相同，区别在于，晶圆在立式炉设备的相关工艺完成后还包括晶圆的输出传输，如图2所示，包括以下步骤：
S1、根据工艺需要，将不同类型的晶圆放入到不同片盒对应的片槽中，使不同类型的晶圆在对应的片盒中具有一个固定放置片槽。
S2、将放置有不同类型晶圆的不同片盒传送至片盒缓存架的对应工位上，使放置有不同类型晶圆的片盒在片盒缓存架上具有一个固定的放置工位，具体为：
S2-1、将放置有不同类型晶圆的不同片盒传送至上下料台的工位上，若上下料台没有空余工位，则等待；
S2-2、将上下料台上的片盒传送至片盒缓存架的对应工位上；
S2-3、重复S2-1至S2-2，直至所需晶圆对应的片盒全部传送到片盒缓存架的工位上。本发明中，通过上下料台上的中转作用，有利于将放置有不同类型晶圆的不同片盒放置到指定的工位上。
S3、根据不同类型晶圆进入舟架的顺序，将片盒缓存架上放置有相同类型晶圆的片盒依次转移到中转缓存架的工位上，若中转缓存架没有空余工位，则等待；
S4、根据立式炉设备舟架上每个片槽放置晶圆的类型，将中转缓存架上片盒中相同类型的晶圆放入到舟架对应的片槽中，若中转缓存架出现空片盒或片盒中剩余的晶圆不需要进舟架，则将对应的片盒放回至原片盒缓存架对应的工位上；
S5、重复S3至S4，直至不同类型的晶圆全部放入到舟架上对应的片槽中，完成对晶圆的输入传输。
S6、将放入到立式炉设备舟架中的晶圆进行相关工艺处理，待晶圆在立式炉设备的相关工艺完成后，按照先进后出的方式，对晶圆进行输出传输，具体为：
S6-1、待晶圆在立式炉设备的相关工艺完成后，按照先进后出的方式，依次从片盒缓存架上取晶圆对应的原片盒，传送至中转缓存架的工位上，若中转缓存架没有空余工位，则等待。
S6-2、将舟架上对应的晶圆取出，放入到中转缓存架上对应的原片盒的原片槽内，若中转缓存架上对应原片盒不再需要放入晶圆，则将片盒从中转缓存架传送至原片盒缓存架对应的工位上。
在S6-2中，类型相同的晶圆的取片放片规则是先由下而上依次从舟架的片槽中取片，然后由上而下依次放入到中转缓存架上放置的原片盒对应的原片槽中。
S6-3、重复S6-1至S6-2，直至舟架上不同类型的晶圆全部返回至片盒缓存架对应的原片盒的原片槽内，完成对晶圆的输出传输。
在S6-3中，还包括：将片盒缓存架上放置的片盒传送到上下料台的工位上，完成下料。
本实施例中，晶圆的类型包括挡片、填充片、工艺片和监测片。
本实施例中，根据工艺需要，将不同类型的晶圆放入到不同片盒对应的片槽中，以及将放置有不同类型晶圆的不同片盒传送至片盒缓存架的对应工位上，即不同类型晶圆在片盒内以及不同片盒在片盒缓存架上，均具有固定的位置，这样的放置方式，使得片盒机械手能够快速、准确的找到所需晶圆对应的片盒，进而按照不同类型晶圆进入舟架的顺序，将片盒缓存架上放置有相同类型晶圆的片盒依次转移到中转缓存架的工位上时，能够将放置有不同类型晶圆的不同片盒快速的传输到中转缓存架的工位上，有利于提高传输效率以及降低出错概率，与此同时，根据设定的立式炉设备舟架上每个片槽放置晶圆的类型，将中转缓存架上片盒中相同类型的晶圆放入到舟架对应的片槽中，最后重复上述两个传输过程，直至不同类型的晶圆全部放入到舟架上对应的片槽中，完成对晶圆的输入传输，在上述的晶圆输入传输过程中，放置有相同类型晶圆的片盒依次传输到中转缓存架的工位上，不存在交错排列方式，以及将相同类型晶圆依次放入到舟架对应的片槽内，无需多次来回转运，因而能够简化片盒的传输过程，有利于提高传输效率以及降低降低出错概率。另外，由于不同类型晶圆在片盒内以及不同片盒在片盒缓存架上均具有固定的位置，因而经立式炉设备处理后的晶圆，按照先进后出的方式，也能快速、准确的返回至原有片盒对应的原片槽内，有利于实现对不同类型晶圆的准确追踪。因此，本发明用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法，通过将不同类型晶圆放置到缓存架上对应片盒的片槽中，并根据不同类型晶圆进入舟架的顺序传输片盒以及根据立式炉设备舟架上每个片槽放置晶圆的类型传输晶圆，能够合理的利用片盒缓存架、中转缓存架的存储和转运功能，从而能够更好的协调不同类型晶圆在缓存架和舟架之间的放片和取片，进而能够更加可靠、高效的完成不同类型晶圆在缓存架和舟架之间的传输，具有操作简单、过程可控、传输效率高、出错率低等优点，不仅能够将处理后的晶圆放回至原有片盒的原有片槽内，便于精确追踪，而且能够在工艺时间固定的情况下，有效提高设备的利用率，使用价值高，应用前景好。
实施例3：
如图3和图4所示，一种用于集成电路立式炉设备的晶圆传输装置，包括：
片盒缓存架4，用于存放待处理或已处理的晶圆；
中转缓存架3，用于中转待处理或已处理的晶圆；
上下料台7，用于实现晶圆的上料和下料；
片盒传输组件，用于实现片盒在片盒缓存架4、中转缓存架3、上下料台7之间的传输；
晶圆传输组件，用于实现晶圆在舟架1和中转缓存架3之间的传输。
本实施例中，片盒传输组件包括片盒传输支撑架5和可在片盒传输支撑架5上移动的片盒机械手；片盒机械手设置在片盒缓存架4、中转缓存架3、上下料台7的中间。
本实施例中，晶圆传输组件包括晶圆传输支撑架和可在晶圆传输支撑架上移动的晶圆机械手2；晶圆机械手2设置在中转缓存架3和舟架1的中间。
本实施例中，片盒缓存架4的数量至少1个；每个片盒缓存架4上设有多个用于存放片盒的工位；
本实施例中，中转缓存架3的数量至少1个；每个中转缓存架3上设有多个用于存放片盒的工位；
本实施例中，上下料台7的数量至少1个；每个上下料台7上设有多个用于存放片盒的工位；每个工位上设有用于识别片盒中晶圆数量和晶圆在片盒片槽中位置的传感器，具体采用的传感器为Mapping传感器，但不仅限于此。
为了便于理解，本发明中还提供了一种基于上述装置的使用方法，如图5所示，包括以下步骤：
(1)在控制系统配置参数，指定片盒缓存架4的每一个工位对应的片盒中放置的晶圆类型和晶圆数量；
(2)根据工艺需要，指定舟架1上的每个片槽内放置的晶圆类型，并指定不同类型晶圆进入舟架的顺序；
(3)在控制系统中选择需要传入的晶圆类型，并把已放入相应晶圆的片盒放置于上下料台7的工位上；
(4)片盒机械手6依次把上下料台7工位上的片盒传送至片盒缓存架4对应的工位上；
(5)重复(3)至(4)，将所需要的晶圆的片盒全部传入到片盒缓存架4的工位上；
(6)根据设定的舟架1上晶圆进入的顺序，片盒机械手6开始从片盒缓存架上按顺序取片盒放置于中转缓存架3的工位上，若中转缓存架7上没有空余工位，则等待；
(7)利用晶圆机械手2从中转缓存架3上的片盒中取片，并将晶圆放入到舟架4的片槽内，其中晶圆的类型相同时，晶圆的取片放片规则是先由下而上依次从中转缓存架3上的片盒的片槽取片，然后由上而下依次放入到舟架1的片槽中；
(8)若中转缓存架3出现空片盒或该片盒剩余的晶圆不需要进舟架1，则片盒机械手6将片盒从中转缓存架3的工位上取出，并放回置在片盒缓存架4的原工位上；
(9)重复(6)至(8)，直到将所有需要的晶圆传入到舟架1的片槽内，完成对晶圆的输入传输。
(10)开始工艺并等待工艺结束；
待晶圆在立式炉设备的相关工艺完成后，按照先进后出的方式，对晶圆进行输出传输，具体为：
(11)按照晶圆先进后出的方式，片盒机械手6从片盒缓存架4上依次取晶圆原放置片盒到中转缓存架3的工位上，若中转缓存架3没有空余工位，则等待；
(12)利用晶圆机械手2从舟架1取出晶圆放入中转缓存架3上的原放置片盒的片槽内，其中晶圆的类型相同时，晶圆的取片放片规则是先由下而上依次从舟架1的片槽中取片，然后由上而下依次放入到中转缓存架3上的片盒的片槽中；
(13)若中转缓存架3上的片盒不再需要进晶圆，则片盒机械手6将该片盒取出放置在片盒缓存架4的原工位上；
(14)重复步骤(11)至(13)，直到舟架1上所有的晶圆均返回到片盒缓存架4上；
(15)在系统中选择需要下料的晶圆，通过片盒机械手6从片盒缓存架4上将对应的片盒依次传入上下料台，完成下料。
本实施例中，晶圆的类型包括挡片、填充片、工艺片和监测片。
本实施例中，通过合理的利用片盒缓存架、中转缓存架的存储和转运功能，能够更好的协调不同类型晶圆在缓存架和舟架之间的放片和取片，进而能够更加可靠、高效的完成不同类型晶圆在缓存架和舟架之间的传输，不仅能够将处理后的晶圆放回至原有片盒的原有片槽内，便于精确追踪，而且能够在工艺时间固定的情况下，有效提高设备的利用率，使用价值高，应用前景好。
以上实施例仅是本发明的优选实施方式，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例。凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应该指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下的改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、根据工艺需要，将不同类型的晶圆放入到不同片盒对应的片槽中；
S2、将放置有不同类型晶圆的不同片盒传送至片盒缓存架的对应工位上；
S3、根据不同类型晶圆进入舟架的顺序，将片盒缓存架上放置有相同类型晶圆的片盒依次转移到中转缓存架的工位上，若中转缓存架没有空余工位，则等待；
S4、根据立式炉设备舟架上每个片槽放置晶圆的类型，将中转缓存架上片盒中相同类型的晶圆放入到舟架对应的片槽中，若中转缓存架出现空片盒或片盒中剩余的晶圆不需要进舟架，则将对应的片盒放回至原片盒缓存架对应的工位上；
S5、重复S3至S4，直至不同类型的晶圆全部放入到舟架上对应的片槽中，完成对晶圆的输入传输。
2.根据权利要求1所述的用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法，其特征在于，还包括S6：待晶圆在立式炉设备的相关工艺完成后，按照先进后出的方式，对晶圆进行输出传输。
3.根据权利要求2所述的用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法，其特征在于，所述晶圆的输出传输，包括以下步骤：
S6-1、待晶圆在立式炉设备的相关工艺完成后，按照先进后出的方式，依次从片盒缓存架上取晶圆对应的原片盒，传送至中转缓存架的工位上，若中转缓存架没有空余工位，则等待；
S6-2、将舟架上对应的晶圆取出，放入到中转缓存架上对应的原片盒的原片槽内，若中转缓存架上对应原片盒不再需要放入晶圆，则将片盒从中转缓存架传送至原片盒缓存架对应的工位上；
S6-3、重复S6-1至S6-2，直至舟架上不同类型的晶圆全部返回至片盒缓存架对应的原片盒的原片槽内，完成对晶圆的输出传输。
4.根据权利要求3所述的用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法，其特征在于，所述S6-2中，所述类型相同的晶圆的取片放片规则是先由下而上依次从舟架的片槽中取片，然后由上而下依次放入到中转缓存架上放置的原片盒对应的原片槽中；
所述S6-3中，还包括以下步骤：将片盒缓存架上放置的片盒传送到上下料台的工位上，完成下料。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法，其特征在于，所述S2中，将放置有不同类型晶圆的不同片盒传送至片盒缓存架的对应工位上时，包括以下步骤：
S2-1、将放置有不同类型晶圆的不同片盒传送至上下料台的工位上，若上下料台没有空余工位，则等待；
S2-2、将上下料台上的片盒传送至片盒缓存架的对应工位上；
S2-3、重复S2-1至S2-2，直至所需晶圆对应的片盒全部传送到片盒缓存架的工位上；
所述S4中，所述类型相同的晶圆的取片放片规则是先由下而上依次从中转缓存架上的片盒的片槽内取片，然后由上而下依次放入到舟架对应的片槽中。
6.根据权利要求1～4中任一项所述的用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法，其特征在于，所述晶圆的类型包括挡片、填充片、工艺片和监测片。
7.一种用于集成电路立式炉设备的晶圆传输装置，其特征在于，包括：
片盒缓存架，用于存放待处理或已处理的晶圆；
中转缓存架，用于中转待处理或已处理的晶圆；
上下料台，用于实现晶圆的上料和下料；
片盒传输组件，用于实现片盒在片盒缓存架、中转缓存架、上下料台之间的传输；
晶圆传输组件，用于实现晶圆在舟架和中转缓存架之间的传输。
8.根据权利要求7所述的用于集成电路立式炉设备的晶圆传输装置，其特征在于，所述片盒传输组件包括片盒传输支撑架和可在片盒传输支撑架上移动的片盒机械手；所述片盒机械手设置在片盒缓存架、中转缓存架、上下料台的中间。
9.根据权利要求8所述的用于集成电路立式炉设备的晶圆传输装置，其特征在于，所述晶圆传输组件包括晶圆传输支撑架和可在晶圆传输支撑架上移动的晶圆机械手；所述晶圆机械手设置在中转缓存架和舟架的中间。
10.根据权利要求7～9中任一项所述的用于集成电路立式炉设备的晶圆传输装置，其特征在于，所述片盒缓存架的数量至少1个；每个所述片盒缓存架上设有多个用于存放片盒的工位；
所述中转缓存架的数量至少1个；每个所述中转缓存架上设有多个用于存放片盒的工位；
所述上下料台的数量至少1个；每个所述上下料台上设有多个用于存放片盒的工位；每个所述工位上设有用于识别片盒中晶圆数量和晶圆在片盒片槽中位置的传感器。
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