CN115436326A - 测量材料防护阈值的方法及其装置 - Google Patents
测量材料防护阈值的方法及其装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN115436326A CN115436326A CN202211055570.1A CN202211055570A CN115436326A CN 115436326 A CN115436326 A CN 115436326A CN 202211055570 A CN202211055570 A CN 202211055570A CN 115436326 A CN115436326 A CN 115436326A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- light
- sample
- detector
- energy
- focusing lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 21
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims abstract description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 7
- 238000013519 translation Methods 0.000 claims description 6
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 abstract description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000009022 nonlinear effect Effects 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/49—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/59—Transmissivity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N2021/0106—General arrangement of respective parts
- G01N2021/0112—Apparatus in one mechanical, optical or electronic block
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N2021/4735—Solid samples, e.g. paper, glass
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
- G01N2021/556—Measuring separately scattering and specular
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
- G01N2021/558—Measuring reflectivity and transmission
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
本发明提供了一种测量材料激光防护阈值的方法及其装置,其中,测量方法是采用透镜进行激发光聚焦,使用能量计/功率计对透射信号、反射信号、散射信号进行收集,使用光束质量分析仪对光斑进行同步成像,可以实现对样品透过率、反射率、散射率的测量,进而得到材料的防护阈值参数。本发明方法适用于透明、非透明样品的测量。
Description
技术领域
本发明涉及光学测量技术领域,尤其涉及一种测量材料防护阈值的方法及其装置。
技术背景
现代激光技术的迅速发展使得激光在测距、雷达和通讯等领域得到广泛应用。随之而来,人眼及各种光电探测设备受到的威胁日益增加,其防护需求变得越来越紧迫。发展高性能的激光防护材料,是对这些设备实施防护的一种有效手段。
材料起始防护阈值、防护阈值和损伤阈值等参数的测量,材料激光防护性能的验证,对于开发高性能的激光防护材料至关重要。测试材料防护阈值的技术手段包括Z扫描技术和强度扫描技术等。
Z扫描技术采用单光束测量,样品在测试过程中需沿着单光束光轴方向移动.通过Z扫描技术可以获得样品在不同Z点位置即不同光强下与其透过率的关系曲线,也就是Z扫描曲线。通过改变入射激光能量进行多次Z扫描测量,我们就可以得到样品的起始防护阈值、防护阈值和损伤阈值等参数。
强度扫描技术通过测量入射样品前表面的光脉冲能量E0和透过的能量ET,就可以得到样品的透过率T=ET/E0。通过改变入射激光的强度,从而得到样品透过率随入射激光能量的变化曲线,进而得到样品的起始防护阈值、防护阈值和损伤阈值等参数。
然而,Z扫描技术和强度扫描技术也存在以下缺点。1)测量的是透过率的变化,所以样品必须为透明或半透明样品。2)对样品要求较高,必须是薄样品(厚度小于系统的瑞利长度),而且样品表面光滑。3)对于微观样品(样品尺寸与激光的束腰半径相当),Z扫描测量无法实施。其原因是样品在光轴方向上移动时,会造成部分光斑未照射在样品上,从而使得这部分的非线性效应丢失,造成测量不准确。4)激光探测采用的是探测器,在高能激光作用下容易造成损伤。因此,现有技术还有待于改进和发展。
发明内容
鉴于上述现有技术的不足,本发明的目的在于提供一种测量材料防护阈值的系统及方法,旨在解决现有技术难以实现对透明/非透明样品在高能激光辐照下对防护阈值进行测量的问题。
本发明的技术方案如下:
一种测量材料防护阈值的方法,其特点在于,包括步骤:
基线测量阶段:
①构建第一反射光路并探测其能量:
设置激光器,并沿该激光器的输出光束方向依次设置第一镀膜全反镜、第二镀膜全反镜、第一小孔光阑和第一分光平片;所述的第一分光平片,将入射光分为第一反射光和第一透射光两束光;所述的第一反射光经第三聚焦透镜聚焦后,由所述的第一探测器探测第一反射光的能量(功率)PD1基,并传输至计算机;
②构建第一透射光路并探测其能量:
沿所述的第一透射光的传输方向依次设置第一聚焦透镜60、第二小孔光阑、第二聚焦透镜和第二探测器;所述的第二小孔光阑与所述第一小孔光阑等高,且所述的第二聚焦透镜的焦点和第一聚焦透镜的焦点重合,由所述的第二探测器探测第一透射光的能量(功率)PD2基,并传输至计算机;
③构建第二反射光路并探测其能量:
在所述的第一聚焦透镜和第二小孔光阑之间、第一聚焦透镜的焦点处放置待测样品,经该待测样品反射的反射光经第一分光平片50反射后,由第二分光平片53分为第二反射光和第二透射光两束光;将光束质量分析仪替换待测样品,测量样品位置处的光斑面积;
重新放置样品后,沿所述的第二反射光的传输方向,放置第五聚焦透镜56与光束质量分析仪,且调整二者间距,使所述光束质量分析仪当前光斑面积与样品位置处的光斑面积相同;
④构建第二透射光路并探测其能量:
沿所述第二透射光的传输光路方向设置第四聚焦透镜54和第三探测器55,由所述的第三探测器探测第二透射光的能量(功率)PD3基,并传输至计算机;
⑤构建散射光路并探测其能量:
在待测样品预放置位置的侧面,设置第六聚焦透镜71和第四探测器72,由所述的第四探测器探测散射光的能量(功率)PD4基,并传输至计算机;
样品测量阶段:
⑥将待测样品放置在样品架上,调节待测样品使其表面与主光路垂直,所述第一探测器、第二探测器、第三探测器和第四探测器将探测到的能量(功率)信号输入到所述计算机中,分别记为PD1样、PD2样、PD3样、PD4样,所述光束质量分析仪探测到的当前光斑面积输入到所述计算机中,记为A;
⑦计算待测样品的透过率T、反射率R和散射率S,公式如下:
⑧以测试时间为横坐标,透过率T、反射率R、散射率S和光斑面积A为纵坐标,分别绘制待测样品的透过率曲线、反射率曲线、散射率曲线和光斑面积曲线。
实施上述测量材料防护阈值的方法的装置,其特点在于,包括激光器、沿所述脉冲激光器的输出光束方向依次设置的第一镀膜全反镜、第二镀膜全反镜、第一小孔光阑和第一分光平片;
所述的第一分光平片,将入射光分为第一反射光和第一透射光两束光;
所述的第一反射光经第三聚焦透镜聚焦后,由所述的第一探测器、第一聚焦透镜、待测样品、第二小孔光阑、第二聚焦透镜和第二探测器;沿所述第一分光平片的反射光方向依次设置有第三聚焦透镜和第一探测器,沿所述第一分光平片的反射方向的另一侧设置有第二分光平片、第四透镜和第三探测器;沿所述第二分光平片的反射方向设置有第五透镜和光束质量分析仪;沿所述样品的侧面设置有第六透镜和第四探测器;所述待测样品设置在五维精密平移台上;还包括与所述第一探测器、第二探测器、第三探测器和第四探测器分别电连接的计算机;所述光束质量分析仪与所述计算机电连接。
优选的,所述第一探测器、第二探测器、第三探测器和第四探测器可以扩展为第一能量计/功率计、第二能量计/功率计、第三能量计/功率计和第四能量计/功率计。
优选的,所述第一镀膜全反镜、第二镀膜全反镜、第一分光平片、第二分光平片与光轴夹角均为45°。
优选的,所述第一分光平片对所述经过第一小孔光阑后激光的透反比为9∶1,所述第二分光平片对所述经过待测样品反射回来的光被第一分光平片反射后激光的透反比为9∶1。
与现有技术相比,本发明有益效果:
本发明通过测量激光经过样品后的透射率、反射率、散射率变化,突破了Z扫描和强度扫描技术只能测量透明、半透明薄样品的限制;该系统实现了自动化控制,具有集成度高、简单、灵敏、快速的特点;该系统采用光束质量分析仪可以实现光斑大小的实时监测;该系统使用五维精密平移台控制样品位置,可以实现对样品位置及角度的精确控制;该系统使用功率计、能量计进行激光能量的探测,可以实现高能激光辐照下材料防护阈值的测试。
附图说明
图1为本发明一种测量材料防护阈值的系统结构示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案及效果更加清楚、明确,以下对本发明进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
请参阅图1,图1为本发明提供的一种测量材料防护阈值的系统结构示意图,如图所示,包括激光器10、沿所述脉冲激光器10的输出光束方向依次设置的第一镀膜全反镜20、第二镀膜全反镜30、第一小孔光阑40、第一分光平片50、第一聚焦透镜60、待测样品70、第二小孔光阑80、第二聚焦透镜90和第二探测器100;沿所述第一分光平片50的反射光方向依次设置有第三聚焦透镜51和第一探测器52,沿所述第一分光平片50的反射方向的另一侧设置有第二分光平片53、第四聚焦透镜54和第三探测器55,沿所述第二分光平片53的反射光方向设置有第五聚焦透镜56和光束质量分析仪57;沿所述待测样品70的侧面设置有第六聚焦透镜71和第四探测器72,所述待测样品70设置在五维精密平移台73上;还包括与所述第一探测器52、第二探测器100、第三探测器55和第四探测器72分别电连接的计算机110;所述光束质量分析仪57和所述计算机110电连接。
在本实施例中,所述第一镀膜全反镜20、第二镀膜全反镜30、第一分光平片50、第二分光平片53与光轴夹角均为45°。所述第一分光平片50对所述经过第一小孔光阑40后激光的透反比为9∶1,所述第二分光平片53对所述经过待测样品70反射回来的光被第一分光平片50反射后激光的透反比为9∶1。
本发明采用聚焦透镜进行激发光聚焦、信号光收集,采用光束质量分析仪进行光斑同步探测,使用五维精密平移台控制待测样品位置和角度,使用能量计、功率计进行激光能量的探测,从而可以测量材料在高能激光辐照下的激光防护阈值。该系统可以同时测量材料的透过率、反射率、散射率,突破了Z扫描和强度扫描系统只能测量薄的透明、半透明样品的限制,对待测样品表面要求较低,可以测量多种材质、厚的、透明与非透明样品。本实施例提供的系统还实现了自动化控制,具有集成度高、简单、灵敏、快速的特点。
本发明实施方式还提供了一种测量材料防护阈值的方法,主要是测得待测样品的透过率、反射率和散射率数据,然后对透过率、反射率和散射率数据进行分析获得待测样品的起始防护阈值、防护阈值和损伤阈值参数,其包括以下步骤:
打开阈值检测系统控制程序(打开光束质量分析仪测试软件),将光束质量分析仪放置在所述第一聚焦透镜之后待测样品处测量激光面积,沿激光传播方向调整所述第五聚焦透镜与所述光束质量分析仪之间距离,保证所述光束质量分析仪处光斑面积与所述样品位置处光斑面积相同;
定义(沿激光传播方向)自所述样品位置经所述第二小孔光阑、第二聚焦透镜至所述第二探测器前激光光强衰减率为透射模块衰减率;定义(沿激光传播反方向)自所述样品位置经第一聚焦透镜、第一分光平片、第二分光平片、第四聚焦透镜至所述第三探测器前激光光强衰减率为反射模块衰减率;通过计算机设置所述阈值检测系统控制程序参数,包括透射模块衰减率、反射模块衰减率和测试总时长,进行基线测量,所述第一探测器、第二探测器、第三探测器和第四探测器将探测到的能量(功率)信号输入到所述计算机中,分别记为PD1基、PD2基、PD3基、PD4基;
将待测样品放置在样品架上,调节待测样品使其表面与主光路垂直,进行样品测量,所述第一探测器、第二探测器、第三探测器和第四探测器将探测到的能量(功率)信号输入到所述计算机中,分别记为PD1样、PD2样、PD3样、PD4样,所述光束质量分析仪探测到的光斑面积输入到所述计算机中,记为A;
本实施例提供的方法利用聚焦透镜进行激发光聚焦,利用光束质量分析仪进行光斑同步探测,利用能量计、功率计对激光能量进行探测;同时使用五维精密平移台控制待测样品的位置和角度,实现了对透明、非透明样品的防护阈值测量(包括起始防护阈值、防护阈值和损伤阈值数据)。
应当理解的是,本发明的应用不限于上述的举例,对本领域普通技术人员来说,可以根据上述说明加以改进或变换,所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。
Claims (5)
1.一种测量材料防护阈值的方法,其特征在于,包括步骤:
基线测量阶段:
①构建第一反射光路并探测其能量:
设置激光器,并沿该激光器的输出光束方向依次设置第一镀膜全反镜、第二镀膜全反镜、第一小孔光阑和第一分光平片;所述的第一分光平片,将入射光分为第一反射光和第一透射光两束光;所述的第一反射光经第三聚焦透镜聚焦后,由所述的第一探测器探测第一反射光的能量(功率)PD1基,并传输至计算机;
②构建第一透射光路并探测其能量:
沿所述的第一透射光的传输方向依次设置第一聚焦透镜60、第二小孔光阑、第二聚焦透镜和第二探测器;所述的第二小孔光阑与所述第一小孔光阑等高,且所述的第二聚焦透镜的焦点和第一聚焦透镜的焦点重合,由所述的第二探测器探测第一透射光的能量(功率)PD2基,并传输至计算机;
③构建第二反射光路并探测其能量:
在所述的第一聚焦透镜和第二小孔光阑之间、第一聚焦透镜的焦点处放置待测样品,经该待测样品反射的反射光经第一分光平片50反射后,由第二分光平片53分为第二反射光和第二透射光两束光;将光束质量分析仪替换待测样品,测量样品位置处的光斑面积;
重新放置样品后,沿所述的第二反射光的传输方向,放置第五聚焦透镜56与光束质量分析仪,且调整二者间距,使所述光束质量分析仪当前光斑面积与样品位置处的光斑面积相同;
④构建第二透射光路并探测其能量:
沿所述第二透射光的传输光路方向设置第四聚焦透镜54和第三探测器55,由所述的第三探测器探测第二透射光的能量(功率)PD3基,并传输至计算机;
⑤构建散射光路并探测其能量:
在待测样品预放置位置的侧面,设置第六聚焦透镜71和第四探测器72,由所述的第四探测器探测散射光的能量(功率)PD4基,并传输至计算机;
样品测量阶段:
⑥将待测样品放置在样品架上,调节待测样品使其表面与主光路垂直,所述第一探测器、第二探测器、第三探测器和第四探测器将探测到的能量(功率)信号输入到所述计算机中,分别记为PD1样、PD2样、PD3样、PD4样,所述光束质量分析仪探测到的当前光斑面积输入到所述计算机中,记为A;
⑦计算待测样品的透过率T、反射率R和散射率S,公式如下:
⑧以测试时间为横坐标,透过率T、反射率R、散射率S和光斑面积A为纵坐标,分别绘制待测样品的透过率曲线、反射率曲线、散射率曲线和光斑面积曲线。
2.实施权利要求1所述的测量材料防护阈值的方法的装置,其特征在于,包括激光器、沿所述脉冲激光器的输出光束方向依次设置的第一镀膜全反镜、第二镀膜全反镜、第一小孔光阑和第一分光平片;
所述的第一分光平片,将入射光分为第一反射光和第一透射光两束光;
所述的第一反射光经第三聚焦透镜聚焦后,由所述的第一探测器、第一聚焦透镜、待测样品、第二小孔光阑、第二聚焦透镜和第二探测器;沿所述第一分光平片的反射光方向依次设置有第三聚焦透镜和第一探测器,沿所述第一分光平片的反射方向的另一侧设置有第二分光平片、第四透镜和第三探测器;沿所述第二分光平片的反射方向设置有第五透镜和光束质量分析仪;沿所述样品的侧面设置有第六透镜和第四探测器;所述待测样品设置在五维精密平移台上;还包括与所述第一探测器、第二探测器、第三探测器和第四探测器分别电连接的计算机;所述光束质量分析仪与所述计算机电连接。
3.根据权利要求2所述测量材料防护阈值的装置,其特征在于,所述第一探测器、第二探测器、第三探测器和第四探测器可以扩展为第一能量计/功率计、第二能量计/功率计、第三能量计/功率计和第四能量计/功率计。
4.根据权利要求2所述测量材料防护阈值的装置,其特征在于,所述所述第一镀膜全反镜、第二镀膜全反镜、第一分光平片、第二分光平片与光轴夹角均为45°。
5.根据权利要求2所述测量材料防护阈值的装置,其特征在于,所述第一分光平片对所述经过第一小孔光阑后激光的透反比为9∶1,所述第二分光平片对所述经过待测样品反射回来的光被第一分光平片反射后激光的透反比为9∶1。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202211055570.1A CN115436326B (zh) | 2022-08-31 | 2022-08-31 | 测量材料防护阈值的方法及其装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202211055570.1A CN115436326B (zh) | 2022-08-31 | 2022-08-31 | 测量材料防护阈值的方法及其装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN115436326A true CN115436326A (zh) | 2022-12-06 |
CN115436326B CN115436326B (zh) | 2024-04-12 |
Family
ID=84244491
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202211055570.1A Active CN115436326B (zh) | 2022-08-31 | 2022-08-31 | 测量材料防护阈值的方法及其装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN115436326B (zh) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106248585A (zh) * | 2016-07-18 | 2016-12-21 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 光学材料三维光热吸收的测量装置及方法 |
CN109540926A (zh) * | 2019-01-29 | 2019-03-29 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | (d)kdp晶体体损伤性能高精度测量装置及测量方法 |
CN111426700A (zh) * | 2020-05-11 | 2020-07-17 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 吸收性缺陷单光束光热测量装置和测量方法 |
CN111474174A (zh) * | 2020-04-29 | 2020-07-31 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 大口径光学元件损伤密度测试装置和方法 |
CN114002191A (zh) * | 2021-10-29 | 2022-02-01 | 华中科技大学 | 一种光刻缺陷检测装置 |
CN114440800A (zh) * | 2022-01-24 | 2022-05-06 | 山东大学 | 一种激光损伤阈值测试中光斑有效面积准确测定方法 |
WO2022120595A1 (zh) * | 2020-12-08 | 2022-06-16 | 深圳华大智造科技股份有限公司 | 超分辨检测系统及超分辨检测方法 |
-
2022
- 2022-08-31 CN CN202211055570.1A patent/CN115436326B/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106248585A (zh) * | 2016-07-18 | 2016-12-21 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 光学材料三维光热吸收的测量装置及方法 |
CN109540926A (zh) * | 2019-01-29 | 2019-03-29 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | (d)kdp晶体体损伤性能高精度测量装置及测量方法 |
CN111474174A (zh) * | 2020-04-29 | 2020-07-31 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 大口径光学元件损伤密度测试装置和方法 |
CN111426700A (zh) * | 2020-05-11 | 2020-07-17 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 吸收性缺陷单光束光热测量装置和测量方法 |
WO2022120595A1 (zh) * | 2020-12-08 | 2022-06-16 | 深圳华大智造科技股份有限公司 | 超分辨检测系统及超分辨检测方法 |
CN114002191A (zh) * | 2021-10-29 | 2022-02-01 | 华中科技大学 | 一种光刻缺陷检测装置 |
CN114440800A (zh) * | 2022-01-24 | 2022-05-06 | 山东大学 | 一种激光损伤阈值测试中光斑有效面积准确测定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN115436326B (zh) | 2024-04-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5159412A (en) | Optical measurement device with enhanced sensitivity | |
CN103162941B (zh) | 一种光学薄膜和光电器件表面激光损伤阈值测量装置 | |
CN201622245U (zh) | 薄膜及光学元件激光损伤阈值组合测试装置 | |
CN108469426B (zh) | 一种同轴无夹角泵浦探测方法及系统 | |
CN111504612B (zh) | 一种多光源激光损伤阈值的测试装置 | |
CN104390935A (zh) | 太赫兹波段测试非线性极化系数和吸收系数的装置及方法 | |
CN101718712A (zh) | 薄膜及光学元件激光损伤阈值组合测试装置及测试方法 | |
CN203745385U (zh) | 激光超声光学干涉检测装置 | |
CN105021627B (zh) | 光学薄膜及元件表面激光损伤的高灵敏快速在线探测方法 | |
CN105928906B (zh) | 一种随温度变化的材料反射率动态测量系统以及测量方法 | |
CN112033644A (zh) | 一种高反射样品激光损伤阈值测试装置 | |
US20220120675A1 (en) | Single-beam photothermal measurement apparatus and measurement method for absorptive defects | |
CN209086170U (zh) | 一种高反射镜表面疵病参数表征装置 | |
CN105510347A (zh) | 基于光热检测和光学显微的光学材料缺陷实时成像装置 | |
JP2008076159A (ja) | 内部欠陥検査方法及び内部欠陥検査装置 | |
CN114440800B (zh) | 一种激光损伤阈值测试中光斑有效面积准确测定方法 | |
CN105067528A (zh) | 二维共焦显微非线性强度扫描系统和测量方法 | |
CN111474182B (zh) | 一种基于偏振参数识别光学薄膜激光损伤的方法和装置 | |
CN219694503U (zh) | 一种测量双光束光阱中光束径向失准距离的装置 | |
CN115436326B (zh) | 测量材料防护阈值的方法及其装置 | |
CN108572160B (zh) | 一种折射率分布测量的折光计 | |
CN109668906A (zh) | 一种用于测定光学膜层激光损伤阈值的测量方法及装置 | |
CN112903596B (zh) | 一种测量非线性光学系数的z扫描测量装置及测量方法 | |
CN106404695B (zh) | 分光光度计 | |
CN212646516U (zh) | 吸收性缺陷单光束光热测量装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |