CN115415896A - 晶圆生产工艺 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了晶圆生产工艺，晶圆生产工艺方法包括如下步骤；选择玻璃毛坯，将玻璃毛坯通过CNC玻璃开料机进行切割，将切割好的玻璃毛坯通过磨轮来对其进行打磨，将打磨好的玻璃毛坯根据厚度来选择研磨还是抛光，将厚度不达标的玻璃毛坯来进行研磨，使玻璃毛坯达到符合标准的厚度，将厚度符合标准的玻璃毛坯进行抛光处理，将抛光处理好的玻璃毛坯进行清洗，将清洗好的玻璃毛坯进行检验，检测玻璃毛坯是否合格，将检测合格的玻璃毛坯进行包浆处理，使其形成晶圆。本发明通过将磨轮的凹槽直角改成半圆弧形状，避免玻璃毛坯在打磨时，玻璃毛坯与磨轮发生碰撞，从而造成玻璃毛坯发生破裂损坏，从而造成玻璃毛坯无法使用。

Description

晶圆生产工艺
技术领域
本发明涉及晶圆生产技术领域，具体为晶圆生产工艺。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点；
玻璃晶圆是具有光传输效率高的特点而被广泛应用于半导体、光学等行业的生产制造过程中。具体应用方向包括微电机元件、CMOS、CCD传感器、微波电路、物联网阵列以及各类光学、激光器件的加工制造，玻璃晶圆依照尺寸分为2寸，4寸，6寸，8寸，12寸，目前玻璃晶圆在众多高新技术领域中应用广泛，国内外的需求量也快速增长，
目前市场上大多数晶圆生产工艺，在对玻璃毛坯进行生产时，容易造成晶圆在辊轮的过程中，造成晶圆厚度不同，从而影响晶圆在生产时的合格率，同时在对玻璃毛坯进行研磨时，容易造成玻璃毛坯与磨轮发生碰撞，从而造成玻璃毛坯发生损坏，因此需要发明一种晶圆生产工艺。
发明内容
本发明的目的在于提供晶圆生产工艺，以解决上述背景技术中提出的需在对玻璃毛坯进行生产时，容易造成晶圆在辊轮的过程中，造成晶圆厚度不同，从而影响晶圆生产的效果，同时在对玻璃毛坯进行研磨时，容易造成玻璃毛坯与磨轮发生碰撞，从而造成玻璃毛坯发生损坏，，因此需要发明一种晶圆生产工艺的相关问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：晶圆生产工艺方法包括如下步骤；
步骤一；选择玻璃毛坯；
步骤二；将玻璃毛坯通过CNC玻璃开料机进行切割；
步骤三；将切割好的玻璃毛坯通过磨轮来对其进行打磨；
步骤四；将打磨好的玻璃毛坯根据厚度来选择研磨还是抛光；
步骤五；将厚度不达标的玻璃毛坯来进行研磨，使玻璃毛坯达到符合标准的厚度；
步骤六；将厚度符合标准的玻璃毛坯进行抛光处理；
步骤七；将抛光处理好的玻璃毛坯进行清洗；
步骤八；将清洗好的玻璃毛坯进行检验，检测玻璃毛坯是否合格；
步骤九；将检测合格的玻璃毛坯进行包浆处理，使其形成晶圆；
步骤十；将晶圆进行包装处理。
优选的，所述玻璃毛坯的选择面积为650*650、厚度为0.4cm-0.7cm的玻璃毛坯。
优选的，所述玻璃毛坯通过CNC外形加工机来对其进行打磨，所述玻璃毛坯打磨的粗糙度不低于在80度，所述CNC外形加工机在对玻璃毛坯进行打磨时需要加压，加压在200公斤-240公斤左右。
优选的，所述玻璃毛坯通过16B双面研磨机来对厚度进行研磨，所述玻璃毛坯在进行研磨的过程中需要加微粉；氯碳化硅粉。
优选的，所述玻璃毛坯通过16B双面抛光机来进行抛光处理，所述玻璃毛坯在进行抛光的过程中需要加入氧化饰，所述氧化铈是由氧化铈粉和水混合配置而成。
优选的，所述抛光好的玻璃毛坯通过超声波进行清洗，所述玻璃毛坯的清洗次数是三次，所述玻璃毛坯在清洗加入清洗剂。
优选的，所述清洗好的玻璃毛坯通过放映灯照射来对玻璃毛坯进行检验。
优选的，所述检验好的玻璃毛坯通过包浆来清洗晶圆。
优选的，所述磨轮的外壁开设有0.2-0.25cm的半圆弧，所述磨轮的材质为碳化硅，且碳化硅由于化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能好。
优选的，所述将晶圆用柔性材料，分隔、包裹、装箱，准备发往以下的芯片制造车间或出厂发往订货客户。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
(1)该晶圆生产工艺，通过研磨和抛光的设计，使厚度不符合规格的玻璃毛坯可以通过16B双面研磨机来对厚度进行研磨，同时在研磨的过程中加入微粉；氯碳化硅粉，使其研磨效果更好，通过对不符合标准的玻璃毛坯进行二次研磨，避免了厚度不符合标准的玻璃毛坯加工呈晶圆，从而影响晶圆在生产时的合格率，然后在将研磨好符合规格的玻璃毛坯在进行抛光处理，在抛光的过程中加入氧化饰，氧化铈是由氧化铈和水混合配置而成，使玻璃毛坯的抛光效果更好，避免了玻璃毛坯在加工成晶圆的过程中造成晶圆厚度不同，从而影响晶圆生产的效果。
(2)该晶圆生产工艺，通过对磨轮进行改进，通过将磨轮的凹槽直角面改成半圆弧形状，且半圆弧的，避免玻璃毛坯在打磨时，玻璃毛坯与磨轮的直角面发生碰撞，从而造成玻璃毛坯发生破裂损坏，从而造成玻璃毛坯无法使用，影响晶圆的生产效率，同时磨轮的材质为碳化硅，且碳化硅由于化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能好，便于使磨轮在长时间的打磨下，使用寿命更长。
(3)该晶圆生产工艺，通过将玻璃毛坯通过超声波清洗机来对其进行清洗，且玻璃毛坯的清洗次数是三次，同时玻璃毛坯在清洗加入清洗剂，清洗剂是由HY-6215清洗剂与水按一定比例混合配置而成，HY-6215清洗剂，环保原料，符合ROHS指令，气味温和，不刺激口鼻，不伤手，渗透能力强，去污效率高，可以快速的对玻璃毛坯的表面的污垢油污进行清洗，同时该清洗剂可以避免对玻璃毛坯发生腐蚀和变形，从而影响玻璃毛坯的性能。
附图说明
图1为本发明的生产工艺结构示意图；
图2为本发明的研磨加抛光生产工艺结构示意图；
图3为本发明的抛光生产工艺结构示意图；
图4为本发明的研磨工艺结构示意图；
图5为本发明的抛光工艺结构示意图；
图6为本发明的老式磨轮结构示意图；
图7为本发明的新型磨轮结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例1，请参阅图1-7，本发明提供一种技术方案：晶圆生产工艺方法包括如下步骤。
步骤一；选择玻璃毛坯；
通过选择面积为650*650、厚度为0.4cm-0.7cm的玻璃毛坯来进行加工晶圆，玻璃毛坯的材料可以根据客户所定制的需求来进行选择；
步骤二；将玻璃毛坯通过CNC玻璃开料机进行切割；
通过CNC玻璃开料机将玻璃毛坯切割成，所需要直径厚度大小相同的玻璃毛坯。
步骤三；将切割好的玻璃毛坯通过磨轮来对其进行打磨；
玻璃毛坯通过CNC外形加工机来对其进行打磨，磨轮的外壁开设有0.2-0.25cm的半圆弧凹槽，可以避免玻璃毛坯在通过磨轮进行打磨时，玻璃毛坯与磨轮发生碰撞，从而造成玻璃毛坯发生损坏，同时磨轮的材质为碳化硅，且碳化硅由于化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能好，便于使磨轮的使用寿命更长；
步骤四；将打磨好的玻璃毛坯根据厚度来选择研磨还是抛光；
当玻璃毛坯的厚度不符合标准时，可以将玻璃毛坯进行研磨，来使玻璃毛坯的厚度符合标准，同时符合标准的玻璃毛坯可以直接进行抛光，通过对不符合标准的玻璃毛坯进行二次研磨，避免了厚度不符合标准的玻璃毛坯加工呈晶圆，从而影响晶圆在生产时的合格率；
步骤五；将厚度不达标的玻璃毛坯来进行研磨，使玻璃毛坯达到符合标准的厚度；
玻璃毛坯通过16B双面研磨机来对厚度进行研磨，且在对玻璃毛坯进行研磨时，加入微粉；氯碳化硅粉，使玻璃毛坯的研磨效果更好，同时可以对16B双面研磨机施加压力，使玻璃毛坯的研磨效果更好；
步骤六；将厚度符合标准的玻璃毛坯进行抛光处理；
玻璃毛坯通过16B双面抛光机来进行抛光处理，且玻璃毛坯在进行抛光的过程中需要加入氧化饰，使玻璃毛坯的抛光效果更好，同时氧化饰是由氧化饰粉和水混合配置而成；
步骤七；将抛光处理好的玻璃毛坯进行清洗；玻璃毛坯的清洗次数不少于三次，
通过抛光好的玻璃毛坯通过超声波进行清洗，清洗次数为三次以上，同时玻璃毛坯在清洗加入清洗剂，清洗剂是由HY-6215清洗剂与水按一定比例混合配置而成，可以快速的对玻璃毛坯的表面的污垢油污进行清洗，同时该清洗剂可以避免对玻璃毛坯发生腐蚀和变形，从而影响玻璃毛坯的性能；
步骤八；将清洗好的玻璃毛坯进行检验，检测玻璃毛坯是否合格；
清洗好的玻璃毛坯通过放映灯照射来对玻璃毛坯进行检验，避免不合格的玻璃毛坯流入市场，从而晶圆的加工生产的合格率，
步骤九；将检测合格的玻璃毛坯进行包浆处理，使其形成晶圆；
步骤十；将晶圆进行包装处理；
通过将晶圆用柔性材料，分隔、包裹、装箱，准备发往以下的芯片制造车间或出厂发往订货客户，柔性材料为EPE珍珠棉制品。
玻璃毛坯的选择面积为650*650、厚度为0.4cm-0.7cm的玻璃毛坯。
玻璃毛坯通过CNC外形加工机来对其进行打磨，CNC外形加工机在对玻璃毛坯进行打磨时需要加压，加压在200公斤-240公斤左右。
通过调节CNC外形加工机所以施加压力，来使玻璃毛坯在CNC外形加工机上的打磨效果更好。
玻璃毛坯通过16B双面研磨机来对厚度进行研磨，玻璃毛坯在进行研磨的过程中需要加微粉；氯碳化硅粉。
通过氯碳化硅粉呈绿色，晶体结构，硬度高，切削能力较强，化学性质稳定，导热性能好，使16B双面研磨机在对玻璃毛坯进行研磨时，玻璃毛坯的研磨性能更好。
玻璃毛坯通过16B双面抛光机来进行抛光处理，玻璃毛坯在进行抛光的过程中需要加入氧化饰，氧化铈是由氧化铈粉和水混合配置而成。
氧化铈是一种用作玻璃工业添加剂，作板玻璃研磨材料，还可用在化妆品中起到抗紫外线作用。已扩大到眼镜玻璃、光学透镜、显像管的研磨，起脱色、澄清、玻璃的紫外线和电子线的吸收等作用。
抛光好的玻璃毛坯通过超声波进行清洗，玻璃毛坯的清洗次数不少于三次，玻璃毛坯在清洗加入清洗剂。
通过加入清洗剂，且清洗剂是由HY-6215清洗剂与水按一定比例混合配置而成，HY-6215清洗剂，环保原料，符合ROHS指令，气味温和，不刺激口鼻，不伤手，渗透能力强，去污效率高，污垢残留物经清洗、剥离后沉底,增强了循环使用的寿命，对基材无腐蚀。
清洗好的玻璃毛坯通过放映灯照射来对玻璃毛坯进行检验。
检验好的玻璃毛坯通过包浆来清洗晶圆。
磨轮的外壁开设有0.2-0.25cm的半圆弧凹槽。
通过磨轮的材质为碳化硅，且碳化硅由于化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能好，便于使磨轮的使用寿命更长。
将晶圆用柔性材料，分隔、包裹、装箱，准备发往以下的芯片制造车间或出厂发往订货客户，柔性材料为EPE珍珠棉制品，可以根据晶圆的尺寸不通来定制不同尺寸的EPE珍珠棉制品。
工作原理：首先通过将玻璃毛坯放入CNC玻璃开料机进行切割，使玻璃毛坯切割成符合标准的小块，然后将切割好的玻璃毛坯放入CNC外形加工机通过磨轮进行打磨，同时磨轮的外壁开设有0.2-0.25cm的半圆弧凹槽，可以避免玻璃毛坯在通过磨轮进行打磨时，玻璃毛坯与磨轮发生碰撞，从而造成玻璃毛坯发生损坏，且磨轮的材质为碳化硅，且碳化硅由于化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能好，当玻璃毛坯通过磨轮进行加工时，玻璃毛坯的厚度不符合标准时，可以将玻璃毛坯通过16B双面研磨机来对厚度进行研磨，且玻璃毛坯在进行研磨的过程中需要加微粉；氯碳化硅粉，使玻璃毛坯的研磨效果更好，同时当玻璃毛坯研磨成符合标准时，使玻璃毛坯在通过16B双面抛光机来进行抛光处理，且玻璃毛坯在进行抛光的过程中需要加入氧化饰，使玻璃毛坯的抛光效果更好，通过对不符合标准的玻璃毛坯进行二次研磨，避免了厚度不符合标准的玻璃毛坯加工呈晶圆，从而影响晶圆在生产时的合格率；
同时当玻璃毛坯抛光完成后，通过将玻璃毛坯进行清洗，使玻璃毛坯通过超声波进行清洗，且玻璃毛坯的清洗次数不少于三次，同时玻璃毛坯在清洗加入清洗剂，清洗剂是由HY-6215清洗剂与水按一定比例混合配置而成，可以快速的对玻璃毛坯的表面的污垢油污进行清洗，同时该清洗剂可以避免对玻璃毛坯发生腐蚀和变形，从而影响玻璃毛坯的性能，便于使玻璃毛坯的清洗效果更好，同时通过将清洗好的玻璃毛坯通过放映灯照射来对玻璃毛坯进行检验，通过观察玻璃毛坯在放映灯下光源的变化，来判断玻璃毛坯是否生产合格，避免不合格的玻璃毛坯进行下一步操作，从而影响晶圆的生产加工的合格率，然后通过将玻璃毛坯通过包浆来形成晶圆，然后通过将晶圆用柔性材料，分隔、包裹、装箱，准备发往以下的芯片制造车间或出厂发往订货客户。
最后应当说明的是，以上内容仅用以说明本发明的技术方案，而非对本发明保护范围的限制，本领域的普通技术人员对本发明的技术方案进行的简单修改或者等同替换，均不脱离本发明技术方案的实质和范围。

Claims (10)

1.晶圆生产工艺，其特征在于：该晶圆生产工艺方法包括如下步骤；
步骤一；选择玻璃毛坯；
步骤二；将玻璃毛坯通过CNC玻璃开料机进行切割；
步骤三；将切割好的玻璃毛坯通过磨轮来对其进行打磨；
步骤四；将打磨好的玻璃毛坯根据厚度来选择研磨还是抛光；
步骤五；将厚度不达标的玻璃毛坯来进行研磨，使玻璃毛坯达到符合标准的厚度；
步骤六；将厚度符合标准的玻璃毛坯进行抛光处理；
步骤七；将抛光处理好的玻璃毛坯进行清洗；
步骤八；将清洗好的玻璃毛坯进行检验，检测玻璃毛坯是否合格；
步骤九；将检测合格的玻璃毛坯进行包浆处理，使其形成晶圆；
步骤十；将晶圆进行包装处理。
2.根据权利要求1所述的晶圆生产工艺，其特征在于：所述玻璃毛坯的选择面积为650*650、厚度为0.4cm-0.7cm的玻璃毛坯。
3.根据权利要求1所述的晶圆生产工艺，其特征在于：所述玻璃毛坯通过CNC外形加工机来对其进行打磨，所述玻璃毛坯打磨的粗糙度不低于在80度，所述CNC外形加工机在对玻璃毛坯进行打磨时需要加压，加压在200公斤-240公斤左右。
4.根据权利要求1所述的晶圆生产工艺，其特征在于：所述玻璃毛坯通过16B双面研磨机来对厚度进行研磨，所述玻璃毛坯在进行研磨的过程中需要加微粉；氯碳化硅粉。
5.根据权利要求1所述的晶圆生产工艺，其特征在于：所述玻璃毛坯通过16B双面抛光机来进行抛光处理，所述玻璃毛坯在进行抛光的过程中需要加入氧化饰，所述氧化铈是由氧化铈粉和水混合配置而成。
6.根据权利要求1所述的晶圆生产工艺，其特征在于：所述抛光好的玻璃毛坯通过超声波进行清洗，所述玻璃毛坯的清洗次数不少于三次，所述玻璃毛坯在清洗时需要加入清洗剂。
7.根据权利要求1所述的晶圆生产工艺，其特征在于：所述清洗好的玻璃毛坯通过放映灯照射来对玻璃毛坯进行检验，所述可以根据。
8.根据权利要求1所述的晶圆生产工艺，其特征在于：所述检验好的玻璃毛坯通过包浆来形成晶圆。
9.根据权利要求1所述的晶圆生产工艺，其特征在于：所述磨轮的外壁开设有0.2-0.25cm的半圆弧凹槽，所述磨轮的材质为碳化硅，且碳化硅由于化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能好。
10.根据权利要求1所述的晶圆生产工艺，其特征在于：所述将晶圆用柔性材料，分隔、包裹、装箱，准备发往以下的芯片制造车间或出厂发往订货客户。
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