CN115371366B - 刚性转架装置及其安装工艺和载片刚性转架 - Google Patents
刚性转架装置及其安装工艺和载片刚性转架 Download PDFInfo
- Publication number
- CN115371366B CN115371366B CN202211005451.5A CN202211005451A CN115371366B CN 115371366 B CN115371366 B CN 115371366B CN 202211005451 A CN202211005451 A CN 202211005451A CN 115371366 B CN115371366 B CN 115371366B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- disc
- rigid
- rotating frame
- positioning
- support rod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 230000008569 process Effects 0.000 title claims abstract description 16
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims abstract description 18
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 24
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 16
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 11
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 3
- 239000005060 rubber Substances 0.000 claims description 3
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 claims description 3
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 2
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 abstract description 9
- 238000011900 installation process Methods 0.000 abstract description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 64
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 27
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000002146 bilateral effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B5/00—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat
- F26B5/08—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat by centrifugal treatment
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/10—Suppression of vibrations in rotating systems by making use of members moving with the system
- F16F15/12—Suppression of vibrations in rotating systems by making use of members moving with the system using elastic members or friction-damping members, e.g. between a rotating shaft and a gyratory mass mounted thereon
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B11/00—Machines or apparatus for drying solid materials or objects with movement which is non-progressive
- F26B11/18—Machines or apparatus for drying solid materials or objects with movement which is non-progressive on or in moving dishes, trays, pans, or other mainly-open receptacles
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B25/00—Details of general application not covered by group F26B21/00 or F26B23/00
- F26B25/06—Chambers, containers, or receptacles
- F26B25/14—Chambers, containers, receptacles of simple construction
- F26B25/18—Chambers, containers, receptacles of simple construction mainly open, e.g. dish, tray, pan, rack
- F26B25/185—Spacers; Elements for supporting the goods to be dried, i.e. positioned in-between the goods to build a ventilated stack
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
一种刚性转架装置及其安装工艺和载片刚性转架，涉及湿法清洗技术领域。该刚性转架装置包括前盘、后盘、定位支杆和压杆；前盘和后盘平行设置；前盘与后盘之间固定连接有定位支杆；定位支杆用于连接晶圆片盒；压杆的后端与后盘固定连接；压杆上外套有抵接前盘的缓冲套管，且缓冲套管用于抵接晶圆片盒内的晶圆片组；前盘、后盘、定位支杆和压杆形成用于容纳晶圆片盒的装载空腔；缓冲套管采用弹性材料。该刚性转架装置安装工艺适用于刚性转架装置。该载片刚性转架包括刚性转架装置。本发明目的在于提供一种刚性转架装置及其安装工艺和载片刚性转架，以解决现有技术中存在的在高速旋转运动中载片刚性转架出现的强弱不等的振动及噪音污染的技术问题。
Description
技术领域
本发明涉及湿法清洗技术领域，具体而言，涉及一种刚性转架装置及其安装工艺和载片刚性转架。
背景技术
卧式甩干机的刚性转架结构作为晶圆片盒的载体，与驱动电机相连做定向旋转运动，在非完全密闭圆筒腔内进行纯水喷淋冲洗、热氮气干燥等工艺流程。而载片刚性转架(也即装载有晶圆片盒的刚性转架结构)在高速旋转运动中，经常会出现强弱不等的振动及噪音污染，极易造成晶圆片盒内的晶圆片的破碎和干燥不彻底等现象，同时进一步加剧刚性转架结构的形变，从而引发更加严重的后果。
发明内容
本发明的目的在于提供一种刚性转架装置及其安装工艺和载片刚性转架，以在一定程度上解决现有技术中存在的在高速旋转运动中载片刚性转架出现的强弱不等的振动及噪音污染的技术问题。
为了实现上述目的，本发明提供了以下技术方案：
一种刚性转架装置，用于装载晶圆片盒，包括前盘、后盘、定位支杆和压杆；
所述前盘和所述后盘平行设置；
所述前盘与所述后盘之间固定连接有所述定位支杆；所述定位支杆用于连接所述晶圆片盒；
所述压杆的后端与所述后盘固定连接；所述压杆上外套有抵接所述前盘的缓冲套管，且所述缓冲套管用于抵接所述晶圆片盒内的晶圆片组；
所述前盘、所述后盘、所述定位支杆和所述压杆形成用于容纳所述晶圆片盒的装载空腔；
所述缓冲套管采用弹性材料。
在上述任一技术方案中，可选地，所述前盘与所述后盘之间固定连接有配重杆。
在上述任一技术方案中，可选地，所述配重杆呈纺锤形；
所述配重杆的数量为若干个，所有所述配重杆在所述刚性转架装置上布置为轴对称结构；
所述配重杆的两端分别设置有配重杆凸轴；所述前盘和所述后盘分别与相对应的所述配重杆凸轴固定连接。
在上述任一技术方案中，可选地，所述前盘具有用于所述晶圆片盒通过的前盘通孔；且所述前盘为轴对称结构。
在上述任一技术方案中，可选地，所述前盘设置有与所述缓冲套管配合的前盘套管凹槽，且所述前盘套管凹槽在所述前盘通孔处开口。
在上述任一技术方案中，可选地，所述定位支杆呈纺锤形；
所述定位支杆上设置有配置为与所述晶圆片盒滑动连接的支撑轨道；所述支撑轨道沿所述定位支杆的轴向延伸且在所述定位支杆的前端开口；
所述定位支杆的前端设置有与所述前盘配合的定位支杆前凸轴，所述支撑轨道穿过所述定位支杆前凸轴；所述前盘设置有与所述定位支杆前凸轴配合的前盘定杆凹槽，且所述前盘定杆凹槽在所述前盘通孔处开口；
所述定位支杆的后端设置有与所述后盘配合的定位支杆后凸轴；所述定位支杆后凸轴的横截面为非圆形；非圆形的所述定位支杆后凸轴的横截面为三角形、矩形、六边形或扁圆形；
所述定位支杆的后端设置有连通所述支撑轨道的定位支杆排水孔；
可选地，所述定位支杆的数量为若干个，所有所述定位支杆在所述刚性转架装置上布置为轴对称结构；
可选地，所述压杆的数量为若干个，所有所述压杆在所述刚性转架装置上布置为轴对称结构；
可选地，所述定位支杆的数量为四个，所述压杆的数量为两个。
在上述任一技术方案中，可选地，所述后盘靠近所述前盘的前表面固定连接有支轴；
所述支轴配置为抵接所述晶圆片盒的后端面；
所述支轴为台阶型并具有轴肩端面；
所述前盘和/或所述后盘设置有平衡修正孔；
所述缓冲套管采用的材料为塑料、橡胶或者硅胶。
在上述任一技术方案中，可选地，所述后盘远离所述前盘的后表面固定连接有传动轴；
所述传动轴的数量为若干个，所有所述传动轴在所述刚性转架装置上布置为轴对称结构；
所述后盘的后表面设置有用于与驱动电机相连接的安装孔；
所述后盘的后表面均布有减重孔；所述减重孔为盲孔或者通孔。
一种刚性转架装置安装工艺，适用于刚性转架装置，所述安装工艺包括：
将所述定位支杆对应插接在所述后盘的前表面至端面靠实后并焊接固定；
将所述压杆对应插接在所述后盘的前表面至端面靠实后并焊接固定；
将所述配重杆对应插接在所述后盘的前表面至端面靠实后并焊接固定；
所述前盘对应同时插接所述定位支杆和所述配重杆至端面靠实后并焊接固定；
将支轴对应插接在所述后盘的前表面至端面靠实后并焊接固定；
将传动轴对应插接在所述后盘的后表面至端面靠实后并焊接固定，以使刚性转架装置焊接成形。
一种载片刚性转架，包括晶圆片盒和刚性转架装置；
所述晶圆片盒装载在所述载片刚性转架的装载空腔内。
本发明的有益效果主要在于：
本发明提供的刚性转架装置及其安装工艺和载片刚性转架，通过定位支杆连接晶圆片盒，以定位晶圆片盒在刚性转架装置内的位置，通过压杆上外套有采用弹性材料的缓冲套管，以在高速旋转运动中受到离心力冲击时，缓冲套管可以对漏出晶圆片盒的晶圆片组部分起到缓冲保护作用，在一定程度上降低了载片刚性转架在高速旋转运动中的振动幅度，从而有效提高了载片刚性转架在高速旋转运动中的转动平稳一致性，有效降低了噪音污染问题。
为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本发明实施例提供的载片刚性转架的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的晶圆片盒的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的晶圆片盒的另一结构示意图；
图4为本发明实施例提供的刚性转架装置的结构示意图；
图5为本发明实施例提供的刚性转架装置的另一结构示意图；
图6为本发明实施例提供的定位支杆的结构示意图；
图7为本发明实施例提供的定位支杆的另一结构示意图；
图8为本发明实施例提供的支轴的结构示意图；
图9为本发明实施例提供的配重杆的结构示意图；
图10为本发明实施例提供的前盘的结构示意图；
图11为本发明实施例提供的前盘轮廓及重心修正示意图；
图12为本发明实施例提供的后盘的结构示意图；
图13为本发明实施例提供的后盘的另一结构示意图；
图14为本发明实施例提供的后盘轮廓及重心修正示意图；
图15为本发明实施例提供的载片刚性转架的轮廓及重心修正示意图。
图标：1-刚性转架装置；2-晶圆片盒；3-缓冲套管；4-盒体；401-盒体后端面；5-晶圆片组；6-后盘；601-后盘定杆孔；602-后盘销孔；603-安装孔；604-减重孔；605-平衡修正孔；7-定位支杆；701-支撑轨道；702-定位支杆后凸轴；703-定位支杆前凸轴；704-定位支杆排水孔；705-定位支杆侧面；8-压杆；9-配重杆；901-配重杆侧面；902-配重杆凸轴；10-支轴；1001-轴肩端面；11-传动轴；12-前盘；1201-前盘通孔；1202-前盘定杆凹槽；1203-前盘套管凹槽。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以采用各种不同的配置来布置和设计。
因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面结合附图，对本发明的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
实施例
本实施例提供一种刚性转架装置及其安装工艺和载片刚性转架；请参照图1-图15，图1为本实施例提供的载片刚性转架的前视轴测示意图；图2为本实施例提供的晶圆片盒的前视轴测示意图，图3为图2所示的晶圆片盒的后视轴测示意图；图4为本实施例提供的刚性转架装置的前视轴测示意图，图5为图4所示的刚性转架装置的后视轴测示意图；图6为本实施例提供的定位支杆的后视轴测示意图，图7为定位支杆的前视轴测示意图；图8为本实施例提供的支轴的结构示意图；图9为本实施例提供的配重杆的结构示意图；图10为本实施例提供的前盘的结构示意图，图11为本实施例提供的前盘轮廓及重心修正示意图；图12为本实施例提供的后盘的前视轴测示意图，图13为后盘的后视轴测示意图；图14为本实施例提供的后盘轮廓及重心修正示意图；图15为本实施例提供的载片刚性转架的轮廓及重心修正示意图。
本实施例提供的刚性转架装置，用于装载晶圆片盒2，例如用于晶圆片盒2的喷淋冲洗、热氮气干燥、甩干等。
本实施例中，装载有晶圆片盒2的刚性转架装置1为载片刚性转架。晶圆片盒2内设置有一组晶圆片，也即晶圆片盒2内设置有晶圆片组5。
参见图1-图15所示，所述刚性转架装置，用于装载晶圆片盒2。
所述刚性转架装置包括前盘12、后盘6、定位支杆7和压杆8。
前盘12和后盘6平行设置；通过前盘12和后盘6平行设置，以在一定程度上降低刚性转架装置1在高速旋转运动中的振动幅度，从而有效提高刚性转架装置1在高速旋转运动中的转动平稳一致性，有效降低了噪音污染问题。
前盘12与后盘6之间固定连接有定位支杆7，也即定位支杆7的两端分别与前盘12和后盘6固定连接；定位支杆7用于连接晶圆片盒2；通过定位支杆7以对晶圆片盒2起到支撑卡位作用。
压杆8的后端与后盘6固定连接；可选地，压杆8上外套有抵接前盘12的缓冲套管3，且缓冲套管3用于抵接晶圆片盒2内的晶圆片组5。
前盘12、后盘6、定位支杆7和压杆8形成用于容纳晶圆片盒2的装载空腔。例如通过手动将晶圆片盒2推入装载空腔内。
可选地，缓冲套管3采用弹性材料。可选地，缓冲套管3采用的材料为塑料、橡胶、硅胶等具有一定弹性的材料，或者其他弹性材料。
本实施例中所述刚性转架装置，通过定位支杆7连接晶圆片盒2，以定位晶圆片盒2在刚性转架装置内的位置，通过压杆8上外套有采用弹性材料的缓冲套管3，以在高速旋转运动中受到离心力冲击时，缓冲套管3可以对漏出晶圆片盒2的晶圆片组5部分起到缓冲保护作用，在一定程度上降低了载片刚性转架在高速旋转运动中的振动幅度，从而有效提高了载片刚性转架在高速旋转运动中的转动平稳一致性，有效降低了噪音污染问题。
现有技术中，刚性转架结构是由各构件组焊成形，其中各构件轮廓特征及偏心修正、构件间组装定位方式、载片刚性转架的偏心修正等主要环节，决定了刚性转架是否具有高强度、高刚性、抗形变、极低离心转动偏差等特性，以达到有效降低因振动因素造成的不利影响，本实施例提供一种刚性转架装置，可改善及提升载片刚性转架的使用性能。本实施例中所述刚性转架装置，针对刚性转架中构件结构及偏心修正，构件间组装定位方式，载片刚性转架偏心修正等主要环节进行的技术提升，以此有效降低载片刚性转架在高速旋转运动中出现的振动问题，可有效将载片刚性转架在高速旋转运动中的振动限定在允许范围内，保持其在速度阈值内转动平稳的一致性，可明显提升载片刚性转架的使用性能。
参见图4、图5和图9所示，本实施例的可选方案中，前盘12与后盘6之间固定连接有配重杆9。通过配重杆9，以便于调节刚性转架装置1的重心，以使刚性转架装置1的重心位于旋转轴上，从而在一定程度上降低刚性转架装置1在高速旋转运动中的振动幅度，从而有效提高刚性转架装置1在高速旋转运动中的转动平稳一致性。
参见图9所示，本实施例的可选方案中，配重杆9呈纺锤形；也即配重杆9的配重杆侧面901为两个锥面，配重杆9的中间截面相对较大，两端截面相对较小；采用纺锤形的配重杆9，可起到强化刚性转架装置1的抗形变强度以及降低了在高速旋转运动中的风阻。
可选地，配重杆9的数量为若干个，所有配重杆9在刚性转架装置1上布置为轴对称结构；通过所有配重杆9采用轴对称结构，有利于刚性转架装置1的重心调节至旋转轴上，降低了刚性转架装置1的重心调节难度。
可选地，配重杆9的两端分别设置有配重杆凸轴902；前盘12和后盘6分别与相对应的配重杆凸轴902固定连接。通过配重杆凸轴902，以便于配重杆9与前盘12和后盘6的相对应的位置定位以及连接。可选地，配重杆凸轴902插接在前盘12和后盘6相对应孔内之后再焊接。
参见图4、图5、图10和图11所示，本实施例的可选方案中，前盘12具有用于晶圆片盒2通过的前盘通孔1201；即晶圆片盒2通过前盘通孔1201插入刚性转架装置1内。
可选地，前盘12为轴对称结构。通过前盘12采用轴对称结构，有利于刚性转架装置1的重心调节至旋转轴上，降低了刚性转架装置1的重心调节难度。可选地，后盘6为轴对称结构；通过后盘6采用轴对称结构，有利于刚性转架装置1的重心调节至旋转轴上，降低了刚性转架装置1的重心调节难度。可选地，刚性转架装置1为轴对称结构，也即前盘12、后盘6均为轴对称结构，以便于将刚性转架装置1的重心调节至旋转轴上，降低了刚性转架装置1的重心调节难度。
参见图10所示，本实施例的可选方案中，前盘12设置有与缓冲套管3配合的前盘套管凹槽1203，且前盘套管凹槽1203在前盘通孔1201处开口，也即前盘套管凹槽1203与前盘通孔1201连通，以便于晶圆片盒2插入刚性转架装置1内形成载片刚性转架。
参见图6和图7所示，本实施例的可选方案中，定位支杆7呈纺锤形；也即定位支杆7的定位支杆侧面705为两个锥面，定位支杆7的中间截面相对较大，两端截面相对较小；采用纺锤形的定位支杆7，可起到强化刚性转架装置1的抗形变强度以及降低了在高速旋转运动中的风阻。
可选地，定位支杆7上设置有配置为与晶圆片盒2滑动连接的支撑轨道701；支撑轨道701沿定位支杆7的轴向延伸且在定位支杆7的前端开口；通过支撑轨道701，以能够在晶圆片盒2插入刚性转架装置1内时起到导向作用，在晶圆片盒2插接完成后支撑轨道701可以起到对晶圆片盒2的支撑卡位作用。通过支撑轨道701在定位支杆7的前端开口，以便于晶圆片盒2插入刚性转架装置1内。
可选地，定位支杆7的前端设置有与前盘12配合的定位支杆前凸轴703，支撑轨道701穿过定位支杆前凸轴703；例如，定位支杆前凸轴703插接在前盘12对应的孔内，定位支杆前凸轴703可与前盘12相对应的位置定位。
可选地，前盘12设置有与定位支杆前凸轴703配合的前盘定杆凹槽1202，如图10所示，且前盘定杆凹槽1202在前盘通孔1201处开口；通过前盘定杆凹槽1202，以及前盘定杆凹槽1202在前盘通孔1201处开口，以便于晶圆片盒2插入刚性转架装置1内。
可选地，定位支杆7的后端设置有与后盘6配合的定位支杆后凸轴702。
可选地，定位支杆后凸轴702的横截面为非圆形；例如，非圆形的定位支杆后凸轴702的横截面为三角形、矩形、六边形或扁圆形，或者其他形状。通过采用横截面为非圆形的定位支杆后凸轴702，以便于定位支杆7与后盘6的定位连接，也便于前盘12与后盘6位置的相对确定。可选地，后盘6设置有与定位支杆后凸轴702相对应的后盘定杆孔601，如图12所示。
参见图7所示，可选地，定位支杆7的后端设置有连通支撑轨道701的定位支杆排水孔704。通过定位支杆排水孔704，以在高速旋转运动中能够排出支撑轨道701上的喷淋液，可使定位支杆7上支撑轨道701的根部不残留喷淋液。
本实施例的可选方案中，定位支杆7的数量为若干个，所有定位支杆7在刚性转架装置1上布置为轴对称结构；通过所有定位支杆7采用轴对称结构，有利于刚性转架装置1的重心调节至旋转轴上，降低了刚性转架装置1的重心调节难度。
可选地，定位支杆7的数量为四个，或者其他数量。
本实施例的可选方案中，压杆8的数量为若干个，所有压杆8在刚性转架装置1上布置为轴对称结构。通过所有压杆8采用轴对称结构，有利于刚性转架装置1的重心调节至旋转轴上，降低了刚性转架装置1的重心调节难度。
可选地，压杆8的数量为两个，或者其他数量。
参见图4和图8所示，本实施例的可选方案中，后盘6靠近前盘12的前表面固定连接有支轴10。
可选地，支轴10配置为抵接晶圆片盒2的后端面；具体而言，支轴10的前端面配置为抵接盒体4的盒体后端面401。通过支轴10，以使晶圆片盒2与刚性转架装置1更好地连接。
可选地，支轴10为台阶型并具有轴肩端面1001；通过轴肩端面1001，可使多个支轴10在后盘6连接后的探出量保持一致。
本实施例的可选方案中，前盘12和/或后盘6设置有平衡修正孔；也即前盘12设置有平衡修正孔，或者后盘6设置有平衡修正孔605(如图13和图14所示)，或者前盘12和后盘6均设置有平衡修正孔。通过平衡修正孔，以调整刚性转架装置1的重心，以使刚性转架装置1的重心位于旋转轴上，从而在一定程度上降低刚性转架装置1在高速旋转运动中的振动幅度，从而有效提高刚性转架装置1在高速旋转运动中的转动平稳一致性。
参见图5所示，本实施例的可选方案中，后盘6远离前盘12的后表面固定连接有传动轴11。通过传动轴11，以便于驱动电机驱使刚性转架装置1转动。
可选地，传动轴11的数量为若干个，所有传动轴11在刚性转架装置1上布置为轴对称结构；通过所有传动轴11采用轴对称结构，有利于刚性转架装置1的重心调节至旋转轴上，降低了刚性转架装置1的重心调节难度。
可选地，后盘6的后表面设置有与传动轴11配合的后盘销孔602，通过后盘销孔602，以便于传动轴11在后盘6上的定位与安装。
可选地，后盘6的后表面设置有用于与驱动电机相连接的安装孔603。
可选地，后盘6的后表面均布有减重孔604；可选地，减重孔604为盲孔或者通孔。通过减重孔604，以减少后盘6的质量，进而减少刚性转架装置1的质量，从而在一定程度上减少驱动电机的驱动力。
可选地，减重孔604为多个时，多个减重孔604呈环形。
以下举例说明本实施例所述刚性转架装置的偏心修正：
前盘12偏心修正：参照CAD设计软件中质量特性功能的重心坐标，在满足结构功能前提下，调整前盘12模型的非功能轮廓特征，因X向(水平方向)是处于左右对称结构，所以仅需修正至使前盘Y向(垂直方向)的重心接近坐标系原点(Y值＝0)即可，如图11所示。
后盘6偏心修正：参照CAD设计软件中质量特性功能的重心坐标，在满足结构功能前提下，因X向(水平方向)处于左右对称结构，所以仅需调整后盘6模型中作修正用的平衡修正孔605的轮廓大小和位置至使后盘6的Y向(垂直方向)的重心接近坐标系原点(Y值＝0)即可，如图14所示。
载片刚性转架偏心修正：载片刚性转架在实际工作中进行高速旋转时因离心力作用，晶圆片组5的外径面始终与套入压杆8上的缓冲套管3外径面呈相切状态，因此选取晶圆片组5与套入压杆8上的缓冲套管3外径面呈相切时的位置作为其模型参照，可相对准确地进行重心修正，依照CAD设计软件中质量特性功能的重心坐标，因该模型X向(水平方向)处于左右对称结构，所以仅需调整作修正用的配重杆9的轮廓和位置至使该模型Y向(垂直方向)的重心接近坐标系原点(Y值＝0)即可，如图15所示。
本实施例还提供一种刚性转架装置安装工艺，适用于上述任一实施例的刚性转架装置。所述安装工艺包括：
将定位支杆7对应插接在后盘6的前表面至端面靠实后并焊接固定。
将压杆8对应插接在后盘6的前表面至端面靠实后并焊接固定。
将配重杆9对应插接在后盘6的前表面至端面靠实后并焊接固定。
前盘12对应同时插接定位支杆7和配重杆9至端面靠实后并焊接固定。
将支轴10对应插接在后盘6的前表面至端面靠实后并焊接固定。
将传动轴11对应插接在后盘6的后表面至端面靠实后并焊接固定，以使刚性转架装置1焊接成形。
例如，将4根定位支杆7上的定位支杆后凸轴702与后盘6上的后盘定杆孔601对应穿入至端面靠实后按要求焊接牢固，将两根压杆8与后盘6按对应位置穿入至与后盘6后端面齐平后按要求焊接牢固，将配重杆9上的配重杆凸轴902与后盘6按对应位置穿入至端面靠实后按要求焊接牢固，将前盘12按对应位置同时穿入四根定位支杆7上的定位支杆前凸轴703和配重杆9上的配重杆凸轴902至端面靠实后按要求焊接牢固，将两根支轴10穿入至后盘6上对应孔位置使轴肩端面1001与后盘6前端面靠实后按要求焊接牢固，将两根传动轴11穿入至后盘6上对应后盘销孔602至与后盘6前端面靠齐后按要求焊接牢固，至此刚性转架装置1焊接成形。其中：后盘6的特征点：后盘定杆孔601起到对四根定位支杆7准确定位，后盘销孔602起到与传动轴11对应定位，安装孔603起到与驱动电机相连紧固，环形均布的减重孔604起到减重作用。
本实施例中所述刚性转架装置安装工艺，通过刚性转架装置的定位支杆7连接晶圆片盒2，以定位晶圆片盒2在刚性转架装置内的位置，通过压杆8上外套有采用弹性材料的缓冲套管3，以在高速旋转运动中受到离心力冲击时，缓冲套管3可以对漏出晶圆片盒2的晶圆片组5部分起到缓冲保护作用，在一定程度上降低了载片刚性转架在高速旋转运动中的振动幅度，从而有效提高了载片刚性转架在高速旋转运动中的转动平稳一致性，有效降低了噪音污染问题。
本实施例提供的刚性转架装置安装工艺，适用于上述的刚性转架装置，上述所公开的刚性转架装置的技术特征也适用于该刚性转架装置安装工艺，上述已公开的刚性转架装置的技术特征不再重复描述。本实施例中刚性转架装置安装工艺具有上述刚性转架装置的优点，上述所公开的刚性转架装置的优点在此不再重复描述。本实施例提供的刚性转架装置安装工艺的技术特征也适用于刚性转架装置。
本实施例还提供一种载片刚性转架，包括晶圆片盒2和上述任一实施例的刚性转架装置。
晶圆片盒2装载在载片刚性转架的装载空腔内。
本实施例中所述载片刚性转架，通过刚性转架装置的定位支杆7连接晶圆片盒2，以定位晶圆片盒2在刚性转架装置内的位置，通过压杆8上外套有采用弹性材料的缓冲套管3，以在高速旋转运动中受到离心力冲击时，缓冲套管3可以对漏出晶圆片盒2的晶圆片组5部分起到缓冲保护作用，在一定程度上降低了载片刚性转架在高速旋转运动中的振动幅度，从而有效提高了载片刚性转架在高速旋转运动中的转动平稳一致性，有效降低了噪音污染问题。
本实施例提供的载片刚性转架，包括上述的刚性转架装置，上述所公开的刚性转架装置的技术特征也适用于该载片刚性转架，上述已公开的刚性转架装置的技术特征不再重复描述。本实施例中载片刚性转架具有上述刚性转架装置的优点，上述所公开的刚性转架装置的优点在此不再重复描述。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种刚性转架装置，用于装载一个晶圆片盒(2)，其特征在于，包括前盘(12)、后盘(6)、定位支杆(7)和压杆(8)；
所述前盘(12)和所述后盘(6)平行设置；
所述前盘(12)与所述后盘(6)之间固定连接有所述定位支杆(7)；所述定位支杆(7)用于连接所述晶圆片盒(2)；
所述压杆(8)的后端与所述后盘(6)固定连接；所述压杆(8)上外套有抵接所述前盘(12)的缓冲套管(3)，且所述缓冲套管(3)用于抵接所述晶圆片盒(2)内的晶圆片组(5)；
所述前盘(12)、所述后盘(6)、所述定位支杆(7)和所述压杆(8)形成用于容纳单个所述晶圆片盒(2)的装载空腔；
所述缓冲套管(3)采用弹性材料；
所述前盘(12)与所述后盘(6)之间固定连接有配重杆(9)；
所述配重杆(9)呈纺锤形；
所述配重杆(9)的数量为若干个，所有所述配重杆(9)在所述刚性转架装置(1)上布置为轴对称结构；
所述定位支杆(7)呈纺锤形；
所述定位支杆(7)上设置有配置为与所述晶圆片盒(2)滑动连接的支撑轨道(701)；所述支撑轨道(701)沿所述定位支杆(7)的轴向延伸且在所述定位支杆(7)的前端开口；
所述定位支杆(7)的后端设置有连通所述支撑轨道(701)的定位支杆排水孔(704)；
所述前盘(12)为轴对称结构；
所述定位支杆(7)的数量为若干个，所有所述定位支杆(7)在所述刚性转架装置(1)上布置为轴对称结构；
所述压杆(8)的数量为若干个，所有所述压杆(8)在所述刚性转架装置(1)上布置为轴对称结构；
所述前盘(12)和/或所述后盘(6)设置有平衡修正孔。
2.根据权利要求1所述的刚性转架装置，其特征在于，所述配重杆(9)的两端分别设置有配重杆凸轴(902)；所述前盘(12)和所述后盘(6)分别与相对应的所述配重杆凸轴(902)固定连接。
3.根据权利要求1所述的刚性转架装置，其特征在于，所述前盘(12)具有用于所述晶圆片盒(2)通过的前盘通孔(1201)。
4.根据权利要求3所述的刚性转架装置，其特征在于，所述前盘(12)设置有与所述缓冲套管(3)配合的前盘套管凹槽(1203)，且所述前盘套管凹槽(1203)在所述前盘通孔(1201)处开口。
5.根据权利要求3所述的刚性转架装置，其特征在于，所述定位支杆(7)的前端设置有与所述前盘(12)配合的定位支杆前凸轴(703)，所述支撑轨道(701)穿过所述定位支杆前凸轴(703)；所述前盘(12)设置有与所述定位支杆前凸轴(703)配合的前盘定杆凹槽(1202)，且所述前盘定杆凹槽(1202)在所述前盘通孔(1201)处开口；
所述定位支杆(7)的后端设置有与所述后盘(6)配合的定位支杆后凸轴(702)；所述定位支杆后凸轴(702)的横截面为非圆形；非圆形的所述定位支杆后凸轴(702)的横截面为三角形、矩形、六边形或扁圆形。
6.根据权利要求5所述的刚性转架装置，其特征在于，所述定位支杆(7)的数量为四个，所述压杆(8)的数量为两个。
7.根据权利要求1所述的刚性转架装置，其特征在于，所述后盘(6)靠近所述前盘(12)的前表面固定连接有支轴(10)；
所述支轴(10)配置为抵接所述晶圆片盒(2)的后端面；
所述支轴(10)为台阶型并具有轴肩端面(1001)；
所述缓冲套管(3)采用的材料为塑料、橡胶或者硅胶。
8.根据权利要求1所述的刚性转架装置，其特征在于，所述后盘(6)远离所述前盘(12)的后表面固定连接有传动轴(11)；
所述传动轴(11)的数量为若干个，所有所述传动轴(11)在所述刚性转架装置(1)上布置为轴对称结构；
所述后盘(6)的后表面设置有用于与驱动电机相连接的安装孔(603)；
所述后盘(6)的后表面均布有减重孔(604)；所述减重孔(604)为盲孔或者通孔。
9.一种刚性转架装置安装工艺，适用于如权利要求1-8任一项所述的刚性转架装置，其特征在于，所述安装工艺包括：
将所述定位支杆(7)对应插接在所述后盘(6)的前表面至端面靠实后并焊接固定；
将所述压杆(8)对应插接在所述后盘(6)的前表面至端面靠实后并焊接固定；
将所述配重杆(9)对应插接在所述后盘(6)的前表面至端面靠实后并焊接固定；
所述前盘(12)对应同时插接所述定位支杆(7)和所述配重杆(9)至端面靠实后并焊接固定；
将支轴(10)对应插接在所述后盘(6)的前表面至端面靠实后并焊接固定；
将传动轴(11)对应插接在所述后盘(6)的后表面至端面靠实后并焊接固定，以使刚性转架装置(1)焊接成形。
10.一种载片刚性转架，其特征在于，包括晶圆片盒(2)和如权利要求1-8任一项所述的刚性转架装置；
所述晶圆片盒(2)装载在所述载片刚性转架的装载空腔内。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211005451.5A CN115371366B (zh) | 2022-08-22 | 2022-08-22 | 刚性转架装置及其安装工艺和载片刚性转架 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211005451.5A CN115371366B (zh) | 2022-08-22 | 2022-08-22 | 刚性转架装置及其安装工艺和载片刚性转架 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN115371366A CN115371366A (zh) | 2022-11-22 |
| CN115371366B true CN115371366B (zh) | 2024-05-28 |
Family
ID=84067123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202211005451.5A Active CN115371366B (zh) | 2022-08-22 | 2022-08-22 | 刚性转架装置及其安装工艺和载片刚性转架 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN115371366B (zh) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102893386A (zh) * | 2011-04-13 | 2013-01-23 | 诺发系统有限公司 | 托架盖 |
| CN104001704A (zh) * | 2014-05-19 | 2014-08-27 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 旋转冲洗设备专用多工位转架 |
| CN106024674A (zh) * | 2016-05-11 | 2016-10-12 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 一种冲洗甩干设备的多工位转架装置及清洗晶片的方法 |
| WO2017024132A1 (en) * | 2015-08-06 | 2017-02-09 | Applied Materials, Inc. | Thermal management systems and methods for wafer processing systems |
| CN208238467U (zh) * | 2018-01-11 | 2018-12-14 | 苏州莱德泰克精密电子设备有限公司 | 一种晶体谐振器晶片惯性干燥机 |
| CN212695129U (zh) * | 2020-08-20 | 2021-03-12 | 三河市致欣科技有限公司 | 一种圆片盒清洗烘干的载体装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11813649B2 (en) * | 2020-05-29 | 2023-11-14 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited | Semiconductor arrangement and method for making |
-
2022
- 2022-08-22 CN CN202211005451.5A patent/CN115371366B/zh active Active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102893386A (zh) * | 2011-04-13 | 2013-01-23 | 诺发系统有限公司 | 托架盖 |
| CN104001704A (zh) * | 2014-05-19 | 2014-08-27 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 旋转冲洗设备专用多工位转架 |
| WO2017024132A1 (en) * | 2015-08-06 | 2017-02-09 | Applied Materials, Inc. | Thermal management systems and methods for wafer processing systems |
| CN106024674A (zh) * | 2016-05-11 | 2016-10-12 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 一种冲洗甩干设备的多工位转架装置及清洗晶片的方法 |
| CN208238467U (zh) * | 2018-01-11 | 2018-12-14 | 苏州莱德泰克精密电子设备有限公司 | 一种晶体谐振器晶片惯性干燥机 |
| CN212695129U (zh) * | 2020-08-20 | 2021-03-12 | 三河市致欣科技有限公司 | 一种圆片盒清洗烘干的载体装置 |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| 全国青少年科技活动领导小组办公室、中国科学技术协会青少年工作部编著.青少年发明创造活动指南.科学普及出版社,1994,第100页. * |
| 孙聪.美国设计理论发展研究.九州出版社,2019,第126页. * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN115371366A (zh) | 2022-11-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104985559B (zh) | 一种四连杆机罩铰链的装配定位工具及装配方法 | |
| CN115371366B (zh) | 刚性转架装置及其安装工艺和载片刚性转架 | |
| CN102251374A (zh) | 一种洗衣机的减震吊杆 | |
| KR102368998B1 (ko) | 항공기 조립장치 | |
| CN110920758B (zh) | 驾驶室双扭杆翻转系统 | |
| CN110983401A (zh) | 用于阳极加工槽的摇摆装置 | |
| KR100361309B1 (ko) | 컨넥팅 로드의 쇼트피닝용 지그 | |
| CN210243130U (zh) | 箱体机械碰撞测试装置 | |
| CN206216735U (zh) | 用于工业机器人的平衡缸及工业机器人 | |
| CN208844965U (zh) | 一种建筑工程用的支撑装置 | |
| KR200411795Y1 (ko) | 처짐, 비틀림 저감 자동화 장치 | |
| CN208117594U (zh) | 一种组合式零件强度验证工装 | |
| CN220708623U (zh) | 叶轮静平衡装置 | |
| CN221746842U (zh) | 一种工程进度信息展示装置 | |
| CN118046197B (zh) | 一种用于轴承和销轴组装的工装及其组装方法 | |
| CN217942860U (zh) | 一种轴承钢球毛坯表面磨光用磨盘 | |
| CN218450880U (zh) | 一种机柜易拆卸面板 | |
| CN217076862U (zh) | 一种稳定性强的无破损多点提升机 | |
| CN109774513A (zh) | 一种具有阻尼效果和防回弹的充电口开启结构 | |
| CN214885444U (zh) | 一种铝合金模板 | |
| CN109955226A (zh) | 一种弱耦合三平移并联机器人机构 | |
| CN217132765U (zh) | 电子万能试验机用新型压缩剪切辅具 | |
| CN212122225U (zh) | 一种汽车前地板的补焊工装 | |
| CN219213208U (zh) | 一种用于四轴机器人设备的驱动器 | |
| CN215636184U (zh) | 一种建筑机械用支撑架 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |