CN115289705B - 温控系统及温控方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种温控系统及温控方法。温控系统包括第一制冷系统、第二制冷系统和切换装置，第一制冷系统包括第一冷却装置、第二冷却装置、换热器和第一循环液装置，第一冷却装置与换热器的第一吸热通道连通，第二冷却装置与换热器的放热通道连通，第二冷却装置与第一循环液装置连接；第二制冷系统包括第三冷却装置和第二循环液装置，第三冷却装置与换热器的第二吸热通道连通，且第三冷却装置与第二循环液装置连接；第一循环液装置与第二循环液装置均与切换装置连通。一方面降低了低温通道复叠制冷系统中压缩机的容量需求，另一方面避免了高温通道制冷系统的制冷剂冷量的浪费。

Description

温控系统及温控方法

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种温控系统及温控方法。

背景技术

目前在半导体制造领域内，存储芯片最先进的工艺是3D NAND(闪存)技术，其产品制造工艺中，刻蚀属于最重要的制程之一。刻蚀工艺过程中，射频装置会产生大量热量，晶圆温度变化会影响刻蚀精度，所以晶圆加工过程中需要对加工腔的温度进行精确控制，一般采用使用氟利昂制冷系统的温控装置持续往加工平台内通入恒温介质，及时带走产生的热量，实现对晶圆加工环境的温度控制。

而在3D NAND产品的刻蚀过程，不同的加工步骤中所需的加工环境温度差别很大，晶圆需要等待冷却介质调整至新的目标温度后才能进行下一个加工步骤。为了减少冷却介质升降温时间，提高晶圆加工效率，温控装置均采用双通道设计，一路通道提供低温介质，一路提供高温介质，当加工腔需要高温或低温时，选择相应温度的通道连通加工腔，另外一个通道进出口管路短接。即在任一时刻，仅有与加工腔连通的通道需要及时带走加工腔内热量，其制冷系统处于高热负荷的工况，而另一通道处于空负荷连续运行状态。

由于氟利昂复叠制冷系统的能效比较低，所以在满足加工腔热负荷需求的条件下，温控装置的功耗较大。处于旁通状态的温控通道，由于需要维持空负荷下的介质温控稳定，需要使用连通压缩机吸、排气管的热气旁通管路进行卸载，从而减小蒸发器内制冷量，造成了能量的浪费。

发明内容

本发明提供一种温控系统及温控方法，用以解决现有技术中温控装置的功耗较大，使用热气旁通管路进行卸载，降低制冷系统的效率，造成能量浪费的缺陷，实现在维持高温通道制冷系统空负荷下介质温控稳定的基础上，将高温通道制冷系统多余的制冷剂通入三流道换热器，参与低温通道复叠制冷系统换热，提高低温通道复叠制冷系统的制冷量。一方面降低了低温通道复叠制冷系统中压缩机的容量需求，另一方面避免了高温通道制冷系统的制冷剂冷量的浪费的效果。

本发明提供一种温控系统，包括第一制冷系统、第二制冷系统和切换装置，所述第一制冷系统包括第一冷却装置、第二冷却装置、换热器和第一循环液装置，所述第一冷却装置与所述换热器的第一吸热通道连通，所述第二冷却装置与所述换热器的放热通道连通，所述第二冷却装置与所述第一循环液装置连接；所述第二制冷系统包括第三冷却装置和第二循环液装置，所述第三冷却装置与所述换热器的第二吸热通道连通，且所述第三冷却装置与所述第二循环液装置连接；所述第一循环液装置与所述第二循环液装置均与所述切换装置连通。

根据本发明提供的一种温控系统，所述第一冷却装置包括第一压缩机和第一冷凝器，所述第一压缩机、所述第一冷凝器的放热通道和所述换热器的第一吸热通道依次连通形成的第一制冷剂回路。

根据本发明提供的一种温控系统，所述第二冷却装置包括第二压缩机和第一蒸发器，所述第二压缩机、所述换热器的放热通道和所述第一蒸发器的吸热通道依次连通形成第二制冷剂回路，所述第一蒸发器的放热通道与所述第一循环液装置连通形成第一循环液回路。

根据本发明提供的一种温控系统，所述第三冷却装置包括第三压缩机、第二冷凝器和第二蒸发器，所述第三压缩机、所述第二冷凝器的放热通道和所述第二蒸发器的吸热通道依次连通形成第三制冷剂回路，所述第三压缩机、所述第二冷凝器的放热通道和所述换热器的第二吸热通道依次连通形成第四制冷剂回路，所述第二蒸发器的放热通道与所述第二循环液装置连通形成第二循环液回路。

根据本发明提供的一种温控系统，所述第二冷凝器与所述换热器连通的管路上设有阀体，所述换热器与所述第三压缩机连通的管路上设有温度传感器。

根据本发明提供的一种温控系统，所述第二蒸发器的吸热通道的出口设有压力调节器。

本发明还提供一种温控方法，应用上述的温控系统，包括：

获取换热器的第一吸热通道的出口的压力值和换热器的第二吸热通道的出口的压力值；

设定换热器的第一吸热通道的出口的压力值为目标压力值；

根据换热器的第二吸热通道的出口的压力值与目标压力值的差值，调用PID算法控制阀体的开度。

根据本发明提供的一种温控方法，当换热器的第二吸热通道的出口的压力值小于目标压力值时，PID控制增大阀体的开度，当换热器的第二吸热通道的出口的压力值大于目标压力值时，PID控制减小阀体的开度。

根据本发明提供的一种温控方法，还包括：

获取换热器的第二吸热通道的出口的压力值和温度值；

根据换热器的第二吸热通道的出口的压力值和温度值获得实际过热度，并设定过热度的下限值；

根据实际过热度与过热度的下限值，控制阀体的开度。

根据本发明提供的一种温控方法，当实际过热度小于过热度的下限值时，每单位时间等量减小阀体的开度，当阀体完全关闭后，实际过热度仍低于过热度的下限值，则每单位时间等量减小进入第二蒸发器的吸热通道的制冷剂流量。

本发明提供的温控系统，将高温制冷通道中的制冷剂分出一部分进入三流道换热器进行蒸发换热。根据双通道温控系统中，当低温通道复叠制冷系统的循环液进入加工腔控温时，高温通道制冷系统处于空负荷的特性，将高温通道制冷系统增加一路支路与低温通道复叠制冷系统并联，利用低温通道复叠制冷系统的循环液进入加工腔的时间段内，高温通道制冷系统有多余的制冷能力，将高温通道制冷系统的制冷剂和低温通道复叠制冷系统的高温级制冷剂一同对低温级制冷剂进行冷凝，提高了复叠低温级的冷凝换热量，即提高了低温通道复叠制冷系统的制冷能力。

本发明相较于同样制冷能力指标的温控系统，可以降低低温通道复叠制冷系统中压缩机的容量，降低了温控系统的整体功耗，也降低了温控装置的成本，或者在不改变压缩机容量功率的前提下，低温通道复叠制冷系统的制冷量更高。高温通道制冷系统将部分制冷剂旁通至低温通道复叠制冷系统中，保证了在维持高温通道制冷系统空负荷下的介质温控稳定的基础上，将高温通道制冷系统多余的制冷剂通入三流道换热器，参与低温通道复叠制冷系统换热，提高低温通道复叠制冷系统的制冷量。一方面降低了低温通道复叠制冷系统中压缩机的容量需求，另一方面避免了高温通道制冷系统的制冷剂冷量的浪费。

除了上面所描述的本发明解决的技术问题、构成的技术方案的技术特征以及有这些技术方案的技术特征所带来的优点之外，本发明的其他技术特征及这些技术特征带来的优点，将结合附图作出进一步说明，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明提供的温控系统的结构示意图；

附图标记：

100、第一制冷系统；110、第一冷却装置；120、第二冷却装置；130、换热器；140、第一循环液装置；111、第一压缩机；112、第一冷凝器；113、第一压力传感器；114、第二阀体；121、第二压缩机；122、第一蒸发器；123、第四阀体；141、第二温度传感器；

200、第二制冷系统；210、第三冷却装置；220、第二循环液装置；230、第一主管路；240、第二主管路；211、第三压缩机；212、第二冷凝器；213、第二蒸发器；214、压力调节器；215、第一阀体；216、第一温度传感器；217、第二压力传感器；218、第三阀体；221、第三温度传感器；231、第一支管路；241、第二支管路；

300、切换装置。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。

在本发明实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明实施例中的具体含义。

在本发明实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

此外，在本发明实施例的描述中，除非另有说明，“多个”、“多根”、“多组”的含义是两个或两个以上，“若干个”、“若干根”、“若干组”的含义是一个或一个以上。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

如图1所示，本发明实施例提供的温控系统，包括第一制冷系统100、第二制冷系统200和切换装置300，第一制冷系统100包括第一冷却装置110、第二冷却装置120、换热器130和第一循环液装置140，第一冷却装置110与换热器130的第一吸热通道连通，第二冷却装置120与换热器130的放热通道连通，第二冷却装置120与第一循环液装置140连接；第二制冷系统200包括第三冷却装置210和第二循环液装置220，第三冷却装置210与换热器130的第二吸热通道连通，且第三冷却装置210与第二循环液装置220连接；第一循环液装置140与第二循环液装置220均与切换装置300连通。

本发明实施例的温控系统，提供一种用于半导体制造领域刻蚀设备用的双通道温控系统，第一制冷系统100为低温通道复叠制冷系统，第二制冷系统200为高温通道制冷系统，在对设备的加工腔进行温度控制时，第一制冷系统100与第二制冷系统200同时工作，第一冷却装置110与第二冷却装置120配合为第一循环液装置140内流通的循环液制冷，第三冷却装置210为第二循环液装置220内流通的循环液制冷。切换装置300用于控制第一循环液装置140或第二循环液装置220的循环液管路与加工腔管路连通，即通过切换使一个的循环液进入与加工腔实现温度调整后再回流，另外一个的循环液则直接在切换装置300内部短接回流，第一制冷系统100提供的循环液温度低于第二制冷系统200提供的循环液温度。

将第一制冷系统100中连接第一冷却装置110和第二冷却装置120的换热器130设置为三流道换热器130，换热器130的放热通道与第二冷却装置120连通，换热器130的第一吸热通道与第一冷却装置110连通，换热通道的第二吸热通道与第二制冷系统200的第三冷却装置210连通，第二冷却装置120内流通的制冷剂在换热器130内放热，在换热内吸热与换热器130内流通的第一冷却装置110的制冷剂和第三冷却装置210的制冷剂进行热交换，以此第一冷却装置110与第三冷却装置210对第二冷却装置120的制冷剂进行冷却降温。

本实施例将高温制冷通道中的制冷剂分出一部分进入三流道换热器130进行蒸发换热。根据双通道温控系统中，当低温通道复叠制冷系统的循环液进入加工腔控温时，高温通道制冷系统处于空负荷的特性，将高温通道制冷系统增加一路支路与低温通道复叠制冷系统并联，利用低温通道复叠制冷系统的循环液进入加工腔的时间段内，高温通道制冷系统有多余的制冷能力，将高温通道制冷系统的制冷剂和低温通道复叠制冷系统的高温级制冷剂一同对低温级制冷剂进行冷凝，提高了复叠低温级的冷凝换热量，即提高了低温通道复叠制冷系统的制冷能力。

本发明相较于同样制冷能力指标的温控系统，可以降低低温通道复叠制冷系统中压缩机的容量，降低了温控系统的整体功耗，也降低了温控装置的成本，或者在不改变压缩机容量功率的前提下，低温通道复叠制冷系统的制冷量更高。高温通道制冷系统将部分制冷剂旁通至低温通道复叠制冷系统中，保证了在维持高温通道制冷系统空负荷下的介质温控稳定的基础上，将高温通道制冷系统多余的制冷剂通入三流道换热器，参与低温通道复叠制冷系统换热，提高低温通道复叠制冷系统的制冷量。一方面降低了低温通道复叠制冷系统中压缩机的容量需求，另一方面避免了高温通道制冷系统的制冷剂冷量的浪费。

由于工艺使用的刻蚀设备，其低温通道温控最低可达到-70℃，高温通道温控在10℃左右。根据以上性能需求，本发明的第一制冷系统采用两级氟利昂复叠系统，第二制冷系统采用常规单级中温氟利昂制冷系统。

根据本发明提供的一个实施例，第一冷却装置110包括第一压缩机111和第一冷凝器112，第一压缩机111、第一冷凝器112的放热通道和换热器130的第一吸热通道依次连通形成的第一制冷剂回路。本实施例中，第一制冷剂回路中制冷剂循环流动，第一压缩机111排出高温高压制冷剂，经过第一冷凝器112的放热通道后，与第一冷凝器112的吸热通道内的介质进行热交换，制冷剂冷凝降温排出至换热器130的第一吸热通道，与换热器130的放热通道内得制冷剂进行热交换，制冷剂蒸发升温后回到第一压缩机111。

根据本发明提供的一个实施例，第二冷却装置120包括第二压缩机121和第一蒸发器122，第二压缩机121、换热器130的放热通道和第一蒸发器122的吸热通道依次连通形成第二制冷剂回路，第一蒸发器122的放热通道与第一循环液装置140连通形成第一循环液回路。本实施例中，第二制冷剂回路中制冷剂循环流动，第二压缩机121排出高温高压制冷剂，经过换热器130的放热通路后，与换热器130的第一吸热通道内的制冷剂及第二吸热通道内的制冷剂进行热交换，冷凝降温排出至第一蒸发器122的吸热通道，与第一循环液回路内循环流动且流经第一蒸发器122的放热通道的循环液进行热交换，制冷剂蒸发升温后回到第二压缩机121，循环液冷却降温后可为作为第一制冷系统100对加工腔进行温度调控的介质。

根据本发明提供的一个实施例，第三冷却装置210包括第三压缩机211、第二冷凝器212和第二蒸发器213，第三压缩机211、第二冷凝器212的放热通道和第二蒸发器213的吸热通道依次连通形成第三制冷剂回路，第三压缩机211、第二冷凝器212的放热通道和换热器130的第二吸热通道依次连通形成第四制冷剂回路，第二蒸发器213的放热通道与第二循环液装置220连通形成第二循环液回路。本实施例中，第三制冷剂回路和第四制冷剂回路均为制冷剂循环流动，第三压缩机211排出高温高压制冷剂，经过第二冷凝器212的放热通道后，与第二冷凝器212的吸热通道内的介质进行热交换，制冷剂冷凝降温排出后可分为两路，第一路进入换热器130的第二吸热通道，与换热器130的放热通道内流通的第二冷却装置120内的制冷剂进行热交换，第二吸热通道内的制冷剂蒸发升温后回到第三压缩机211形成第三制冷剂回路，第二路直接进入第二蒸发器213的吸热通道，与第二循环液回路内循环流动且流经第二蒸发器213的放热通道的循环液进行热交换，制冷剂蒸发升温后回到第三压缩机211形成第四制冷剂回路，循环液冷却降温后可为作为第二制冷系统200对加工腔进行温度调控的介质。

本实施例中，第二制冷系统200作为高温通道制冷系统，根据加工腔的温控需求，调整由第二冷凝器212中冷凝降温的制冷剂分别进入第三制冷剂回路和第四制冷剂回路的制冷剂流量，进而影响两条回路的冷量，从而控制低温通道复叠制冷系统的循环液温度。一方面保证了维持高温通道制冷系统空负荷下的介质温控稳定，实现了对高温通道制冷系统进行卸载，降低制冷系统的效率，减小第三冷却装置210内的制冷量，另一方面有效避免了制冷剂冷量的浪费。

根据本发明提供的一个实施例，第二冷凝器212与换热器130连通的管路上设有阀体，换热器130与第三压缩机211连通的管路上设有温度传感器。本实施例中，在第二制冷系统200中，第二冷凝器212的放热通稿的出口通过第一主管路230与第二蒸发器213的吸热通道的进口连通，第一主管路230上连通有第一支管路231，第一支管路231与换热器130的第二吸热通道的进口连通，在第一支管路231上设置阀体，该阀体控制进入第二制冷系统200分流制第一制冷系统100的制冷剂流量。第二蒸发器213的吸热通路的出口通过第二主管路240与第三压缩机211的进口连通，第二主管路240上连通有第二支管路241，第二支管路241与换热器130的第二吸热通道的出口连通，在第二支管路241上设置温度传感器，该温度传感器用于检测换热器130的第二吸热通道的出口温度，进而根据实时检测温度，调整阀体的开度，控制进入换热器130的第二吸热通导的制冷剂流量，从而调节换热器130中的热交换冷量。

根据本发明提供的一个实施例，第二蒸发器213的吸热通道的出口设有压力调节器214。本实施例中，压力调节器214位于第二主管路240上，且位于第二支管路241连通位置与第二蒸发器213的吸热通道的进口之间的管路上，压力调节器214的入口压力设定值根据第二循环液装置220的最小温度值确定，压力调节器214可以在换热器130的第二吸热通道内蒸发压力发生变化时，保持第二蒸发器213的吸热通道内蒸发压力保持稳定，即保证了蒸发器213与第二循环液装置220的换热控温不受第一阀体215调节的影响，压力调节器214的维持第二蒸发器213的吸热通道的入口的压力恒定。

本发明实施例还提供一种温控方法，应用上述实施例的温控系统，包括：

获取换热器130的第一吸热通道的出口的压力值和换热器130的第二吸热通道的出口的压力值；

设定换热器130的第一吸热通道的出口的压力值为目标压力值；

根据换热器130的第二吸热通道的出口的压力值与目标压力值的差值，调用PID算法控制阀体的开度。

本实施例中，第一压力传感器113获取换热器130的第一吸热通道的出口的压力值P1，第二压力传感器217获取换热器130的第二吸热通道的出口的压力值P2。将P1设定为P2的目标压力值，根据P2与P1的差值，调用PID算法控制第一阀体215的开度，第一阀体215可采用电子膨胀阀，设置于第一支管路231上。

为保证换热器130内是两条吸热通路内的制冷剂对一条放热通路内的制冷剂进行吸热降温，即两路制冷剂将低温通道复叠制冷系统的第二制冷剂回路的制冷剂冷凝呈液体，因此要保证第一吸热通路与第二吸热通路内的制冷剂温度相同，所以实时检测第一吸热通路与第二吸热通路出口的压力值，避免出现压力偏差导致无法二者均对放热通路的制冷剂产生吸热效果。

根据本发明提供的一个实施例，当换热器130的第二吸热通道的出口的压力值小于目标压力值时，PID控制增大阀体的开度，当换热器130的第二吸热通道的出口的压力值大于目标压力值时，PID控制减小阀体的开度。本实施例中，当P2小于P1时，PID控制增大第一阀体215的开度，反之减小开度。以此使第一阀体215后制冷剂的蒸发温度与第二阀体114后的制冷剂蒸发温度一致。第二阀体114设置于第一冷凝器112与换热器130的连通管路上，用于控制制冷剂进入换热器130的第一吸热通道的流量。

根据本发明提供的一个实施例，温控方法还包括：

获取换热器130的第二吸热通道的出口的压力值和温度值；

根据换热器130的第二吸热通道的出口的压力值和温度值获得实际过热度，并设定过热度的下限值；

根据实际过热度与过热度的下限值，控制阀体的开度。

当切换装置300调整为第二循环液装置220进入加工腔时，随着热负荷快速进入第二循环液装置220，第三阀体218根据控制会迅速增大制冷剂流量，第二主管路240处过热度下降，为防止第三压缩机211吸气管路出现回液，需要减小低压侧制冷剂流量。首先要保证第二循环液装置220换热需求，所以过热度过低时，先减小换热器130第二吸热通道的流量，当第一阀体215完全关闭后过热度仍低于下限值，再调小第二蒸发器213的吸热通道的流量，防止第三压缩机211出现回液。

本实施例中，第二压力传感器217获取换热器130的第二吸热通道的出口的压力值，第一温度传感器216获取换热器130的第二吸热通道的出口的温度值。利用压力值与温度值计算实际过热度SH1，设定过热度的下限值为x，根据SH1与x的比对结果，控制第一阀体215的开度。

本实施例中，过热度的下限值x可取值在5℃左右。

根据本发明提供的一种温控方法，当实际过热度小于过热度的下限值时，每单位时间等量减小阀体的开度，当阀体完全关闭后，实际过热度仍低于过热度的下限值，则每单位时间等量减小进入第二蒸发器213的吸热通道的制冷剂流量。当SH1小于x时，每单位时间等量减小第一阀体215的开度。当第一阀体215完全关闭后，SH1仍低于x，则每单位时间等量减小第三阀体218的开度，第三阀体218采用电子膨胀阀，设置于第一主管路230位于第一支管路231后方的管体上。

在一个实施例中，本发明的温控方法还包括：

通过第二温度传感器141获取第一循环液回路的出口的温度PV1，设定第一循环液回路的出口的设定温度值SV1，计算PV1与SV1的差值△T1＝SV1-PV1。根据△T1调用PID算法调节第四阀体123的开度，进而调节第一蒸发器122的换热量，从而实现低温通道复叠制冷系统出口的精确控制。本实施例中，第四阀体123设置于换热器130的放热通路的与第一蒸发器122的吸热通路连通的管路上。

在一个实施例中，本发明的温控方法还包括：

通过获取换热器130至第一压缩机111之间管路的过热度，设定过热度的范围，根据过热度偏差调节的第二阀体114的开度。

在一个实施例中，本发明的温控方法还包括：

通过第三温度传感器221获取第二循环液回路的出口的温度PV2，设定第二循环液回路的出口的设定温度SV2，计算PV2与SV2的差值△T2＝SV2-PV2。根据△T2调用PID算法调节第三阀体218的开度，调节第二蒸发器213的换热量，从而实现高温通道制冷系统出口的精确控制。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (9)

1.一种温控方法，其特征在于：应用于温控系统，所述温控系统包括第一制冷系统、第二制冷系统和切换装置，所述第一制冷系统包括第一冷却装置、第二冷却装置、换热器和第一循环液装置，所述第一冷却装置与所述换热器的第一吸热通道连通，所述第二冷却装置与所述换热器的放热通道连通，所述第二冷却装置与所述第一循环液装置连接；所述第二制冷系统包括第三冷却装置和第二循环液装置，所述第三冷却装置与所述换热器的第二吸热通道连通，且所述第三冷却装置与所述第二循环液装置连接；所述第一循环液装置与所述第二循环液装置均与所述切换装置连通；包括：

获取换热器的第一吸热通道的出口的压力值和换热器的第二吸热通道的出口的压力值；

设定换热器的第一吸热通道的出口的压力值为目标压力值；

根据换热器的第二吸热通道的出口的压力值与目标压力值的差值，调用PID算法控制阀体的开度。

2.根据权利要求1所述的温控方法，其特征在于：当换热器的第二吸热通道的出口的压力值小于目标压力值时，PID控制增大阀体的开度，当换热器的第二吸热通道的出口的压力值大于目标压力值时，PID控制减小阀体的开度。

3.根据权利要求1所述的温控方法，其特征在于：还包括：

获取换热器的第二吸热通道的出口的压力值和温度值；

根据换热器的第二吸热通道的出口的压力值和温度值获得实际过热度，并设定过热度的下限值；

根据实际过热度与过热度的下限值，控制阀体的开度。

4.根据权利要求3所述的温控方法，其特征在于：当实际过热度小于过热度的下限值时，每单位时间等量减小阀体的开度，当阀体完全关闭后，实际过热度仍低于过热度的下限值，则每单位时间等量减小进入第二蒸发器的吸热通道的制冷剂流量。

5.根据权利要求1所述的温控方法，其特征在于：所述第一冷却装置包括第一压缩机和第一冷凝器，所述第一压缩机、所述第一冷凝器的放热通道和所述换热器的第一吸热通道依次连通形成的第一制冷剂回路。

6.根据权利要求1所述的温控方法，其特征在于：所述第二冷却装置包括第二压缩机和第一蒸发器，所述第二压缩机、所述换热器的放热通道和所述第一蒸发器的吸热通道依次连通形成第二制冷剂回路，所述第一蒸发器的放热通道与所述第一循环液装置连通形成第一循环液回路。

7.根据权利要求1所述的温控方法，其特征在于：所述第三冷却装置包括第三压缩机、第二冷凝器和第二蒸发器，所述第三压缩机、所述第二冷凝器的放热通道和所述第二蒸发器的吸热通道依次连通形成第三制冷剂回路，所述第三压缩机、所述第二冷凝器的放热通道和所述换热器的第二吸热通道依次连通形成第四制冷剂回路，所述第二蒸发器的放热通道与所述第二循环液装置连通形成第二循环液回路。

8.根据权利要求7所述的温控方法，其特征在于：所述第二冷凝器与所述换热器连通的管路上设有阀体，所述换热器与所述第三压缩机连通的管路上设有温度传感器。

9.根据权利要求8所述的温控方法，其特征在于：所述第二蒸发器的吸热通道的出口设有压力调节器。