CN115280194A - 干涉滤光片、光学器件和制造干涉滤光片的方法 - Google Patents
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Abstract
干涉滤光片包括基板、滤光片堆叠和至少一个吸收层。滤光片堆叠包括布置在基板上的具有不同折射率的光学涂层的交替层。至少一个吸收层由布置在基板上的光吸收材料组成。
Description
本发明涉及一种干涉滤光片、光学器件和制造干涉滤光片的方法。
光学滤光片通常被认为是选择性地透射不同波长的光的器件。通常，光学滤光片使用诸如玻璃或塑料平面的基板来实现，该基板被整体染色，或者具有干涉涂层。关于滤光片设计，通常有两类滤光片。基于透射和反射来设计二向色或干涉滤光片。堆叠高折射率和低折射率材料层以形成多层。有意选择在所关注的波长区域内具有低吸收的材料。吸收滤光片通常由染色或有色玻璃或着色明胶树脂制成，并通过吸收特定波长而衰减光来进行操作。对于介质二向色滤光片，反射和透射是反向耦合的，这可能会导致某些特定应用(例如图像传感器应用)出现问题。
图4示出了具有来自现有技术的干涉滤光片的光学传感器装置。光学传感器装置包括光学传感器OS，例如图像传感器，其布置在干涉滤光片IF后面的壳体HO中。本示例中的干涉滤光片为例如红外(IR)截止滤光片或短通滤光片，因此例如设计为反射或阻挡中红外波长同时通过可见光。该滤光片的透射光谱在图4的插图中示出。该光谱显示了635nm处的工作波长(cut-on wavelength)。截止波长(cut-off wavelength)是用于表示在短通滤光片中透射降低到总量的50％时的波长的术语。截止波长用λcut-off表示。工作波长由λcut-on表示，并且对应于在长通滤光片中透射增加到总量的50％时的波长。带通滤光片具有工作波长和截止波长二者。
该图示出了在光学传感器装置的光学界面处透射或反射的入射光的几个箭头。图中的百分比以入射光强度Iin等于100％的相对强度给出。图中箭头A1表示绿色或蓝色入射光。这种光以高透射率(例如99％)通过滤光片，如箭头A11所示。在干涉滤光片处，较少量(例如1％)的光被反射，如箭头A12所示。通过后的光照射到光学传感器OS并且大部分被传感器或传感器的基板吸收。一定量(例如10％)的光被反射回干涉滤光片IF，如箭头A13所示。大部分入射光再次通过滤光片，如箭头A14所示，例如大约9.9％的入射光通过滤光片和传感器被反射。
如果白光入射到光学传感器装置上，则情况会有所不同。白光具有与上述情况类似的绿色或蓝色入射光的贡献，并且如该图中箭头A2所示。箭头A3表示工作波长(例如635nm)处的光。这种光50％透射并且50％反射(分别参见箭头A31和A32)。同样，如箭头A33所示，一定量(例如5％)的光从传感器反射回干涉滤光片IF。然而，滤光片在工作波长下均等地通过和反射光。例如，滤光片通过另一定量(例如约2.5％)的入射光，如箭头A34所示。此外，如箭头A35所示，一定量(例如另外2.5％)的光被反射回光学传感器。这种背向反射或内反射是常见问题，并且会导致非期望信号，从而降低光学传感器系统中的信噪比。
图5A至图5C示出了现有技术干涉滤光片中的背向反射的示例。图5A描述了二向色滤光片，该二向色滤光片包括基板SB和具有不同折射率的光学涂层的交替层的滤光片堆叠FS。干涉滤光片布置在与光学传感器OS相距一定距离处。
光以表示为Iin的强度入射。入射光在滤光片堆叠FS处被部分反射。反射光的强度为Ir＝R·Iin，其中R表示反射系数或相对反射贡献。然而，根据其透射光谱，一些光最终会透射穿过滤光片堆叠。透射强度以Iout＝T·Iin给出，其中T表示透射系数或相对透射贡献。然后，可以在光学传感器处(例如在其基板处)反射透射光。反射强度以T·Rsub·Iin给出，其中Rsub表示传感器的反射系数或相对反射贡献。该反射光中的一部分可能会透射回滤光片堆叠FS，并可能在滤光片堆叠内部经历额外反射(参见图中的虚线箭头)。此外，在滤光片堆叠处可能存在朝向光学传感器的另一反射。这种“背向反射”光的强度为Ibr＝BR·T·Rsub·Iin，其中BR表示背向反射系数或相对背向反射贡献。
图5B示出了现有技术干涉滤光片的透射和反射贡献。所有曲线图均假设正入射。此外，假设基板反射为100％。曲线图g1和g2分别示出了上面介绍的作为波长函数的透射系数和反射系数。曲线图g3表示作为波长函数的滤光片堆叠FS的吸收。最后，曲线图g4示出了作为波长函数的背向反射系数。曲线图g1和g2在工作波长处相交，并且对于大于工作波长的波长基本是反向的。这是长通滤光片的特性。
图5C示出了现有技术干涉滤光片的透射和背向反射贡献。该曲线图表示作为波长函数的背向反射系数BR和透射系数T的乘积。峰表明截止处背向反射强度约为入射光的25％。
图6A和图6B示出了图5A的现有技术干涉滤光片IF中的背向反射的另一个示例。事实上，这些图与图5B和图5C中的图相对应，但针对不同的入射角AOI(即0°、15°、30°和40°)进行了模拟。这种情况类似于正入射，因为对于更高的AOI，最大背向反射强度基本上保持在25％。此外，对于更高的AOI，峰在光谱上变得更宽。
本发明的目的为提供一种干涉滤光片、一种光学器件和一种制造干涉滤光片的方法，其允许减少背向反射的影响。
这些目的通过独立权利要求的主题来实现。在从属权利要求中描述了其他发展和实施例。
应当理解，除非作为替选描述，否则关于任一实施例描述的任何特征可以单独使用，或与本文描述的其他特征结合使用，并且还可以与任何其他实施例的一个或更多个特征结合使用，或者与任何其他实施例的任何组合结合使用。此外，在不脱离所附权利要求中限定的干涉滤光片、光学器件和制造干涉滤光片的方法的范围的情况下，也可以采用下文未描述的等效物和修改。
以下涉及光学滤光片领域中的改进概念。所提出的概念提供了一种基于混合滤光片设计的对光学滤光片(例如二向色滤光片)中非期望的背向反射的解决方案。一方面涉及通过引入具有光吸收材料的吸收层来使透射和反射彼此解耦。背向反射可以偏移到更短的波长和更低的水平。例如，与全介质滤光片相比，背向反射强度可以降低约五倍。
在至少一个实施例中，干涉滤光片包括基板、滤光片堆叠和至少一个吸收层。滤光片堆叠包括布置在基板上的具有不同折射率的光学涂层的交替层。至少一个吸收层由布置在基板上的光吸收材料组成。
基板提供干涉滤光片或二向色滤光片的基底。例如，光学涂层通过涂层技术被布置在基板上。可以在基板上涂覆一系列光学涂层。这些涂层可能具有不同的材料特性(例如不同的折射率)。可以选择材料特性，以使光的不需要的部分被反射，而其余部分在一定程度上被透射。此外，反射光和透射光可能会相互干涉。例如，交替层形成一系列连续的反射腔，这些反射腔与期望的一个或更多个波长共振。当波的波峰和波谷重叠时，其他波长会破坏性地抵消或反射。
干涉滤光片包括滤光片堆叠和至少一个吸收层。这就是说，作为整体，滤光片堆叠和至少一个吸收层形成干涉滤光片。该滤光片可以被认为是混合干涉滤光片。单独的吸收滤光片通常由诸如添加了各种无机或有机化合物的玻璃的基板制成。这些化合物或光吸收材料在某些光波长处吸收，同时在其他光波长处透射。这些化合物还可以添加到诸如塑料(通常是聚碳酸酯或丙烯酸)的其他基板中，以生产凝胶滤光片，该凝胶滤光片比基于玻璃的滤光片更轻并且更便宜。
已经发现，通过引入由光吸收材料制成的吸收层，可以显著降低背向反射效应。例如，与全介质滤光片相比，背向反射强度可以降低5倍或更多。
在至少一个实施例中，至少一个吸收层布置在滤光片堆叠的表面上。此外，或者可选地，至少一个吸收层布置在滤光片堆叠的层之间。
这就是说，吸收层与滤光片堆叠相关联，因为吸收层可以被认为是滤光片堆叠的组成部分，例如作为滤光片堆叠的交替层或附加层之一。例如，这与有色玻璃相反。这种玻璃通常用作吸收滤光片，并且可以将光吸收材料添加到玻璃中。例如，吸收层和滤光片堆叠之间相对于基板可以存在一定距离。
至少一个吸收层具有吸收光谱，例如以其光吸收材料的吸收光谱或吸收系数为特征。光的背向反射源于光学传感器的基板或光敏表面的反射。然而，这种反射光需要通过吸收层传播。通过吸收可以降低反射光的强度，因此可以降低背向反射的强度。
在本文讨论的实施例中，可以有多于一个吸收层。例如，给定的光吸收材料可能不能充分吸收反射光。因此，布置在相同吸收层中或不同吸收层中的光吸收材料的组合可以将吸收提高到所需水平。此外，吸收层也可以布置在滤光片堆叠的不同层级，即相对于基板的不同距离处。这样可以建立若干吸收层级，进一步减少背向反射。
在至少一个实施例中，至少一个吸收层布置在滤光片堆叠的面向基板的表面上。至少在滤光片堆叠的面向基板的表面上布置吸收层可以最大效果地减少背向反射。此外，这可能是一种相当有成本效益的方式，因为吸收层可以涂覆在滤光片堆叠上而不是并入滤光片堆叠中。
在至少一个实施例中，基板的面向滤光片堆叠的表面与至少一个吸收层具有有限的距离。此外，在至少一个吸收层和基板之间可能存在一定距离，该距离例如通过中间层(例如介质层)或通过吸收层和/或滤光片堆叠与基板之间的间隔物来建立。该距离可以用于减少光谱展宽的影响。
在至少一个实施例中，光学涂层的层由总透射光谱和总反射光谱表征。总透射光谱和总反射光谱耦合。例如，两个光谱纠缠在一起，使得总透射光谱的走向决定了总反射光谱的走向，反之亦然。至少一个吸收层具有吸收光谱，所述吸收光谱布置为将总透射光谱和总反射光谱解耦。
例如，在普通二向色滤光片中，总透射光谱和总反射光谱是耦合的。这一事实是现有技术滤光片设计中背向反射的一个根本原因。事实上，给定波长处的背向反射强度取决于透射或反射贡献和吸收贡献的乘积。通常，截止或工作波长处的背向反射强度位于峰处。然而，由于强度也取决于由于吸收层而导致的吸收，因此上述乘积中的吸收贡献可以用于降低强度峰。
在至少一个实施例中，总透射光谱和总反射光谱是互补的，使得反射和透射是反向纠缠的，即，被认为是数学上的反函数。吸收层可以用于解耦光谱，使反向纠缠不再成立。这允许降低背向反射的强度。
在至少一个实施例中，总透射光谱和总反射光谱布置成为干涉滤光片赋予具有至少一个光谱工作波长的长通光谱或具有至少一个光谱截止波长的短通滤光片光谱。此外，至少一个吸收层的吸收光谱的至少一个吸收峰与所述截止或工作波长匹配。
截止或工作波长与吸收峰的匹配提供了降低背向反射强度的有效方式。如上所述，总透射光谱和总反射光谱的耦合可能导致背向反射强度的峰。该峰可能与截止或工作波长一致或接近。因此，通过与吸收峰匹配，可以降低强度峰。这可以从上面讨论的乘积即透射或反射贡献与吸收贡献的乘积中看出。吸收抵消了透射和反射贡献，并可能导致整体强度降低。
在至少一个实施例中，总透射光谱和总反射光谱布置成为干涉滤光片赋予具有一个光谱截止或更多个光谱截止和/或具有一个光谱响应或更多个光谱工作的带通滤光片光谱。至少一个吸收层的吸收光谱的至少一个吸收峰与所述一个或更多个截止和/或一个或更多个工作匹配。
在至少一个实施例中，光吸收材料包括表示为ITO的氧化铟锡化合物。ITO化合物包括处于给定相对比例的铟、锡和氧的三元组合物。ITO是一种高折射率材料，并且可以用于滤光片堆叠。在紫外线(UV)中，ITO方便吸收。
在至少一个实施例中，基板包括玻璃、塑料或薄膜基板。基板可以布置为吸收滤光片，例如有色玻璃，并且还包括光吸收材料。这样，基板可以有助于干涉滤光片混合体的总光谱特性。例如，基板可以被配置为IR截止滤光片，并且具有吸收层的滤光片堆叠在UV中截止。对于这种滤光片设计，只需要使用一种类型的基板，例如有色玻璃，这降低了滤光片的总体成本。在至少一个实施例中，基板是单色玻璃，其具有在红外区IR中的截止。
在至少一个实施例中，基板具有不同于至少一个吸收层的光吸收材料的吸收光谱。赋予基板明确的吸收特性允许在设计干涉滤光片时有更多的自由度。
在至少一个实施例中，光学器件包括光学传感器。根据上述方面，光学传感器由至少一个干涉滤光片补充。例如，由此产生的光学传感器不易发生背向反射，这提高了信噪比。此外，已经发现，所提出的概念还减少了由于不同入射角而引起的光谱偏移的影响，这允许改善光谱和颜色感知。
在至少一个实施例中，光学传感器包括图像传感器。通常具有光电探测器阵列的图像传感器有利于减少背向反射、增加信噪比并减少光谱偏移。即使在光学不利的条件下，这些也允许应用，例如微光、光谱或广角应用。
在至少一个实施例中，制造干涉滤光片的方法包括提供基板和在基板上布置滤光片堆叠的步骤。滤光片堆叠包括具有不同折射率的光学涂层的交替层。此外，至少一个吸收层布置在基板上并且包括光吸收材料。
在至少一个实施例中，至少一个吸收层布置在滤光片堆叠的表面上。替代地或者附加地，至少一个吸收层布置在滤光片堆叠的层之间。
在下文中，将参照附图更详细地描述以上提出的概念，在附图中呈现了实施例的示例。在下文呈现的实施例和附图中，相似或相同的元件可以各自具有相同的附图标记。然而，附图中所示的元素及其彼此之间的尺寸关系不应被视为真实的比例，而是可以放大诸如层、组件和区域的各个元素以实现更好的说明或更好的理解。
图1A至图1C示出了示例混合干涉滤光片的背向反射，
图2A至图2B示出了示例混合干涉滤光片在不同入射角下的背向反射，
图3A至图3D示出了干涉滤光片的其他示例实施例，
图4示出了具有来自现有技术的干涉滤光片的光学传感器装置，
图5A至图5C示出了现有技术干涉滤光片在正入射时的背向反射的示例，以及
图6A到图6B示出了现有技术干涉滤光片在各种入射角时的背向反射的示例。
图1A到图1C示出了示例干涉滤光片中的背向反射。图1A描绘了二向色滤光片，其包括基板SB和具有不同折射率的光学涂层的交替层的滤光片堆叠FS、布置在距光学传感器OS(例如图像传感器)一定距离处。此外，光吸收材料的吸收层AL布置在基板上。
本示例中的滤光片堆叠FS配置为长通滤光片，其在412nm处具有工作波长λcut-on。这种工作是专用滤光片设计的结果，例如基于对具有不同折射率和材料特性的光学涂层的交替层的模拟。
吸收层AL涂覆在滤光片堆叠FS的表面上。该表面面向基板SB，因此面向光学传感器OS。光吸收材料包括表示为ITO的氧化铟锡化合物。ITO化合物包括为给定相对比例的铟、锡和氧的三元组合物。ITO是一种高折射率材料，并且在紫外线UV中具有有吸收。此外，如可以从图1B看到的，ITO化合物在412nm处具有接近工作波长λcut-on的吸收峰。因此，可以认为工作波长和吸收峰匹配。
基板SB布置为吸收滤光片。在该实施例中，基板是包括光吸收材料的有色玻璃。本示例中的有色玻璃在IR中截止。例如，使用多层涂层将吸收层AL和滤光片堆叠FS涂覆到玻璃上。以这种方式，有色玻璃有助于干涉滤光片IF的总光谱特性，该干涉滤光片IF可以被视为混合滤光片。
对于这种滤光片设计，仅需要使用一种类型的基板，例如有色玻璃，这降低了滤光片的总体成本。滤光片堆叠的多层涂层既用作抗反射涂层ARC，也用作UV截止。
光以表示为Iin的强度入射。入射光在滤光片堆叠FS处被部分反射。反射光的强度为Ir＝R·Iin，其中R表示反射系数或相对反射贡献。然而，根据其透射光谱，一些光最终会透过滤光片堆叠FS。透射强度以Iout＝T·Iin给出，其中T表示透射系数或相对透射贡献。然后可以在光学传感器OS处例如在其基板处反射透射的光，该反射以T·Rsub·Iin给出，其中Rsub表示光学传感器的反射系数或相对反射贡献。该反射光中的一些可能会被透射回滤光片堆叠，并经历额外的反射(参见图中的虚线箭头)。此外，滤光片堆叠FS处可能存在另一反射。该背向反射光的强度为Ibr＝BR·T·Rsub·Iin，其中BR表示背向反射系数或相对背向反射贡献。然而，由于吸收层AL，背向反射系数BR也取决于吸收层AL中的吸收。因此，与不存在吸收层AL的情况相比，背向反射光的强度Ibr降低。
图1B示出了图1A的干涉滤光片的透射和反射贡献。所有曲线图均假设正入射。此外，假设基板反射为100％。曲线图g1和g2分别示出了上面介绍的作为波长函数的透射系数和反射系数。曲线图g3表示作为波长函数的滤光片堆叠的吸收。最后，曲线图g4示出了作为波长函数的背向反射系数。
曲线图g1和g2在工作波长处相交。然而，很明显，这些曲线图是解耦的，因为它们对于大于工作的波长不再反向，就像在没有吸收层AL的现有技术滤光片中的情况一样。此外，曲线图g3示出了与工作波长匹配或接近的峰。因此，吸收抵消了透射和反射贡献，并导致背向反射的整体强度降低。
图1C示出了图1A的干涉滤光片的透射和背向反射贡献。该曲线图表示作为波长函数的背向反射系数BR和透射系数T的乘积。峰表明在工作波长处背向反射强度约为入射光的5％。因此，通过引入吸收层和布置在吸收层中的光吸收材料，可以使T和R彼此解耦。通过将BR偏移至更短的波长和更低的水平，与全介质滤光片相比，背向反射强度可以降低约5倍，例如如图5A至图5C所示。
图2A和图2B示出了示例混合干涉滤光片在不同入射角下的T、R和T*BR。事实上，这些图分别对应于图1B和图1C中的那些图。这些曲线图是基于与图1A中相同的干涉滤光片建立的。然而，相同的曲线图g1到g4是针对不同的入射角AOI(即0°、15°、30°和40°)建模的，并使用这些角度进行索引以便于参考。这种情况类似于正入射，即对于较高的AOI，最大背向反射强度基本上保持在约5％的低水平。只有低光谱展宽。
图3A到图3D示出了干涉滤光片的其他示例实施例。所提出的二向色滤光片基于前面图中所示的滤光片。滤光片包括基板SB和具有不同折射率的光学涂层的交替层的滤光片堆叠FS、将布置在距光学传感器OS(例如图像传感器)一定距离处。
图3A描绘了基于图1A中所示的滤光片的二向色滤光片。该滤光片包括基板SB和具有不同折射率的光学涂层的交替层的滤光片堆叠FS、布置在距光学传感器OS(例如图像传感器)一定距离处。此外，光吸收材料的吸收层AL布置在基板上。吸收层AL涂覆在滤光片堆叠FS的表面上。该表面面向基板SB。如下面将示出的，吸收层AL可以位于滤光片堆叠中的任何位置，即在上表面、下表面或上表面和下表面之间。在该实施例中，滤光片堆叠FS布置在基板的下表面上，即在面向光学传感器OS的表面上。为了强调吸收层在滤光片堆叠中的相对位置，这些层不缩放。
如上所述，光可以以表示为Iin的强度入射。入射光在滤光片堆叠FS处被部分反射。反射光的强度为Ir＝R·Iin，其中R表示反射系数或相对反射贡献。然而，根据其透射光谱，一些光最终会透过滤光片堆叠FS。透射强度以Iout＝T·Iin给出，其中T表示透射系数或相对透射贡献。然后可以在光学传感器OS处例如在其基板处反射透射的光，该反射以T·Rsub·Iin给出，其中Rsub表示光学传感器的反射系数或相对反射贡献。该反射光中的一些可能会被透射回滤光片堆叠，并经历额外的反射(参见图中的虚线箭头)。此外，滤光片堆叠FS处可能存在另一个反射。该背向反射光的强度为Ibr＝BR·T·Rsub·Iin，其中BR表示背向反射系数或相对背向反射贡献。然而，由于吸收层AL，背向反射系数BR也取决于吸收层AL中的吸收。因此，与不存在吸收层AL的情况相比，背向反射光的强度Ibr降低。
此外，在图3B中，光吸收材料的吸收层AL布置在滤光片堆叠FS的层——即具有不同折射率的光学涂层的交替层——之间。在图3C中，有布置在滤光片堆叠的层之间的若干个吸收层AL。在图3D中，吸收层AL位于滤光片堆叠FS的外表面(顶部或底部)上。事实上，一个或更多个吸收层AL可以放置在滤光片堆叠中的任何位置。
吸收层(一个或更多个)与滤光片堆叠相关联，因为吸收层可以被认为是滤光片堆叠的组成部分，例如作为滤光片堆叠的交替层或附加层之一。换言之，光学涂层的交替层和吸收层构成干涉滤光片。就滤光片设计而言，总透射光谱和总反射光谱不再耦合或纠缠，因为它们是反函数。相反，需要考虑一个或更多个吸收层的贡献。透射、反射和吸收需要满足透射、反射和吸收的乘积等于1的一般要求。
通过仔细选择干涉滤光片本身中的材料的光学常数，包括吸收层作为滤光片堆叠的组成部分允许避免需要这些附加吸收材料。换言之，干涉滤光片多层结构不再仅仅依赖于典型的T和R，而是结合了具有吸收功能的材料。这些层不仅建设性和破坏性地干涉，它们还根据预期应用在特定波长处吸收。与现有技术相比，这是一种完全不同的方法，在现有技术中，用于干涉滤光片的光学滤光片设计通常以使用无吸收的材料为目标。然而，此处提出的论点为，对于诸如图像传感器的应用，干涉滤光片中的某些吸收可能是有利的，例如在减少背向反射方面是有利的。所提出的概念通过避免对额外的吸收材料(例如有色玻璃、有色树脂或染料)的需要，简化了总体设计。
附图标记
A1到A35 (光的)箭头
FS 滤光片堆叠
g1到g4 曲线图
HO 壳体
IF 干涉滤光片
OS 光学传感器
SB 基板
Claims (15)
1.一种干涉滤光片，包括：
-基板(SB)，
-滤光片堆叠(FS)，所述滤光片堆叠(FS)包括布置在基板(SB)上的具有不同折射率的光学涂层的交替层，以及
-布置在基板(SB)上的光吸收材料的至少一个吸收层(AL)。
2.根据权利要求1所述的干涉滤光片，其中，
-所述至少一个吸收层(AL)布置在滤光片堆叠(FS)的表面上，和/或
-所述至少一个吸收层(AL)布置在滤光片堆叠(FS)的层之间。
3.根据权利要求1或2所述的干涉滤光片，其中，
-光学涂层的层由总透射光谱和总反射光谱表征，
-所述总透射光谱和所述总反射光谱耦合，使得总透射光谱的走向取决于总反射光谱的走向，反之亦然，并且
-所述至少一个吸收层具有吸收光谱，所述吸收光谱布置为将总透射光谱和总反射光谱解耦。
4.根据权利要求3所述的干涉滤光片，其中，所述总透射光谱和所述总反射光谱互补，使得反射和透射反向纠缠。
5.根据权利要求3或4所述的干涉滤光片，其中，
-总透射光谱和总反射光谱布置成为干涉滤光片赋予长通光谱，所述长通光谱具有至少一个光谱工作波长，或
-总透射光谱和总反射光谱布置成为干涉滤光片赋予短通光谱，所述短通光谱具有至少一个光谱截止波长，并且
-所述至少一个吸收层的吸收光谱的至少一个吸收峰与所述截止波长或工作波长匹配。
6.根据权利要求3或4所述的干涉滤光片，其中，
-总透射光谱和总反射光谱布置成为干涉滤光片赋予带通滤光片光谱，所述带通滤光片光谱具有至少一个光谱截止或更多个光谱截止，并且
-所述至少一个吸收层的吸收光谱的至少一个吸收峰与所述一个或更多个截止和/或一个或更多个工作匹配。
7.根据权利要求1至6之一所述的干涉滤光片，
其中，所述光吸收材料包括表示为ITO的氧化铟锡化合物，所述氧化铟锡化合物包括为给定相对比例的铟、锡和氧的三元组合物。
8.根据权利要求1至7之一所述的干涉滤光片，其中，所述基板(SB)包括玻璃、塑料或薄膜基板。
9.根据权利要求1至8之一所述的干涉滤光片，其中，所述基板(SB)具有与所述至少一个吸收层(AL)的光吸收材料不同的吸收光谱。
10.根据权利要求8或9所述的干涉滤光片，其中，
-基板(SB)是单色玻璃，并且，
-所述单色玻璃在红外区IR中具有截止。
11.根据权利要求1至10之一所述的干涉滤光片，其中，所述基板(SB)的面向所述滤光片堆叠(FS)的表面与所述至少一个吸收层(AL)具有有限距离。
12.一种光学器件，包括，
-光学传感器(OS)，以及
-至少一个根据权利要求1至11之一所述的干涉滤光片(IF)。
13.根据权利要求12所述的光学器件，其中，所述光学传感器(OS)包括图像传感器。
14.一种制造干涉滤光片的方法，包括以下步骤：
-提供基板(SB)，
-在基板(SB)上布置滤光片堆叠(FS)，所述滤光片堆叠(FS)包括布置的具有不同折射率的光学涂层的交替层，以及
-在基板(SB)上布置光吸收材料的至少一个吸收层(AL)。
15.根据权利要求14所述的方法，其中，
-所述至少一个吸收层(AL)布置在滤光片堆叠(FS)的表面上，和/或
-所述至少一个吸收层(AL)布置在滤光片堆叠(FS)的层之间。
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