CN115164998B - 一种用于晶圆传送设备的运行稳定性数据处理系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种用于晶圆传送设备的运行稳定性数据处理系统，涉及晶圆传送技术领域，所述传送设备包括传送组件和动力组件，所述传送组件用于给晶圆传送提供载体，所述动力组件用于给传送组件提供传送动力，所述动力组件包括电机，所述数据处理系统包括电机检测模块、电参数检测模块、传送组件检测模块、运行环境检测模块以及综合处理模块；本发明通过对传送设备运行时的参数进行细致分析，能够提高对传送设备稳定性判断的精准度和及时性，以解决现有的晶圆传送设备的稳定性判断不够全面且及时的问题。

Description

一种用于晶圆传送设备的运行稳定性数据处理系统

技术领域

本发明涉及晶圆传送技术领域，尤其涉及一种用于晶圆传送设备的运行稳定性数据处理系统。

背景技术

半导体设备作为半导体制造过程的上游，是制造过程中核心的一环，在整个制造过程中，包括前道工艺、后道工艺中，晶圆传送设备都有大量应用。半导体行业内的晶圆传送设备内部有着诸多相互配合的功能模块，晶圆承载盘，定位工装结构、承载台、翻转设备及控制软件等。在晶圆传送过程中，利用机械臂的减速组件，通过轨迹优化和提高伺服传动性能，实现晶圆的精准稳定传，有效避免传送过程中对晶圆造成损伤。

但是现有的技术中，在对晶圆传送过程中，缺少对晶圆传送设备的稳定性进行检测分析的方法设备，现有的稳定性检测方法通常都为单线检测，一方面，不能将运行状态下的相关参数进行关联，因此很容易出现检测结果输出不够精准的问题，造成检测误判；另一方面，单线检测方法也在检测过程中也容易出现检测滞后的问题，例如：每一个检测单元只对自己单元内检测数据进行获取和分析，欠缺对于整体稳定性的全面判断，从而导致检测判断滞后；因此缺少一种用于晶圆传送设备的运行稳定性数据处理系统来解决上述存在的问题。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明目的是提供一种用于晶圆传送设备的运行稳定性数据处理系统，通过对传送设备运行时的参数进行细致分析，能够提高对传送设备稳定性判断的精准度和及时性，以解决现有的晶圆传送设备的稳定性判断不够全面且及时的问题。

为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种用于晶圆传送设备的运行稳定性数据处理系统，所述传送设备包括传送组件和动力组件，所述传送组件用于给晶圆传送提供载体，所述动力组件用于给传送组件提供传送动力，所述动力组件包括电机，所述数据处理系统包括电机检测模块、电参数检测模块、传送组件检测模块、运行环境检测模块以及综合处理模块；

所述电机检测模块包括电机温度检测单元、电机振动检测单元以及电机噪声检测单元，所述电机温度检测单元用于对电机运行状态下的温度数据进行检测；所述电机振动检测单元用于对电机运行状态下的振动数据进行检测；所述电机噪声检测单元用于对电机运行状态和停止状态下的噪声进行检测；

所述电参数检测模块包括电能质量检测器，所述电能质量检测器用于获取传送设备运行时输入到电机的电压值和电流值；

所述传送组件检测模块包括传送运输参数检测单元、传送振动检测单元以及传送噪声检测单元；所述传送运输参数检测单元用于对传送的晶圆规格参数进行检测；所述传送振动检测单元用于对传送组件的振动数据进行检测；所述传送噪声检测单元用于对传送组件的噪声数据进行检测；

所述运行环境检测模块用于对传送设备的运行环境中的环境温度和环境湿度进行检测；

所述综合处理模块包括电机稳定性处理单元、电参数稳定性处理单元、传送组件稳定性处理单元以及综合处理单元；所述电机稳定性处理单元用于对电机检测模块检测到的数据进行处理，并输出电机稳定性结果；所述电参数稳定性处理单元用于对电参数检测模块检测到的数据进行处理，并输出电参数稳定性结果；所述传送组件稳定性处理单元用于对传送组件检测模块检测到的数据进行处理，并输出传送组件稳定性结果，所述综合处理单元用于对电机稳定性处理单元、电参数稳定性处理单元以及传送组件稳定性处理单元的处理结果进行综合处理，并输出综合稳定性结果。

进一步地，所述电机检测模块配置有电机检测策略，所述电机检测策略包括：在电机开启后的第一时间段内，每间隔第一电机温度检测时间获取一次电机绕组温度和电机壳温度；

每间隔第一单位秒数获取一次电机运行时的振动数据；

对电机运行状态下的电机噪声进行检测，并在关闭电机时持续对电机噪声进行检测。

进一步地，所述电机稳定性处理单元配置有电机稳定性处理策略，所述电机稳定性处理策略包括：当检测到电机绕组温度大于等于第一绕组温度阈值时，将此时的时间点设置为电机温度异常点，并将电机温度异常点之前获取的第一电机温度数量的电机绕组温度和电机壳温度代入到电机温度校正公式中求得电机温度波动值；所述电机温度校正公式配置为：

其中，Bdw为电机温度波动值，Tdr₁至Tdr_a分别为第一电机温度数量的电机绕组温度，Tdk₁至Tdk_a分别为第一电机温度数量的电机壳温度；a为第一电机温度数量；

当电机温度波动值大于等于第一电机温度波动阈值时，输出电机温度波动异常信号；当电机温度波动值小于第一电机温度波动阈值时，输出电机温度持续监测信号；

将每次获取到的电机运行状态下的电机振幅、电机振动速度以及电机振动加速度代入到电机振动参考公式中求得电机振动参考值；所述电机振动参考公式配置为：Cdz＝Fdz×vd×vjd；其中，Cdz为电机振动参考值，Fdz为电机振幅，vd为电机振动速度，vjd为电机振动加速度；

将关闭电机时获取到的第一电机噪声数量的电机噪声代入到电机噪声分析公式中求得电机噪声关联值；当电机噪声关联值大于等于第一关联阈值时，输出电机噪声振动关联信号，当电机噪声关联值小于第二关联阈值时，输出电机噪声电参数关联信号；所述电机噪声分析公式配置为：

Ldzg＝(Ddb₁-Ddb₂)+...+(Ddb_b-1-Ddb_b)；其中,Ldzg为电机噪声关联值，Ddb₁至Ddb_b分别为关闭电机时获取到的第一电机噪声数量的电机噪声；b为第一电机噪声数量。

进一步地，所述电参数稳定性处理单元配置有电参数稳定性处理策略，所述电参数稳定性处理策略包括：在传送设备运行时，将每次累计获取到的第一电参数数量的电压值代入到电压波动公式中求得电压波动值；将每次累计获取到的第一电参数数量的电流值代入到电流波动公式中求得电流波动值；所述电压波动公式配置为：

所述电流波动公式配置为：

其中，Bdy为电压波动值，U₁至U_n分别为第一电参数数量的电压值，Bdl为电流波动值，I₁至I_n分别为第一电参数数量的电流值；

当电压波动值大于等于第一电压波动阈值时，输出电压波动异常信号；当电压波动值小于第一电压波动阈值时，输出电压持续监测信号；

当电流波动值大于等于第一电流波动阈值时，输出电流波动异常信号；当电流波动值小于第一电压波动阈值时，输出电压持续监测信号。

进一步地，所述传送组件检测模块配置有传送组件检测策略，所述传送组件检测策略包括：通过传送运输参数检测单元获取传送组件在传送过程中的晶圆承载盘的直径和重量；

每间隔第一单位秒数通过传送振动检测单元获取一次传送组件在运行时的振动数据；

通过传送噪声检测单元获取传送组件运行时的传送噪声。

进一步地，所述传送组件稳定性处理单元配置有传送稳定性处理策略，所述传送稳定性处理策略包括：将每次获取到的传送组件运行时的传送振幅、传送振动速度以及传送振动加速度代入到传送振动参考公式中求得传送振动参考值；所述传送振动参考公式配置为：Ccz＝Fcz×vc×vjc；其中，Ccz为传送振动参考值，Fcz为传送振幅，vc为传送振动速度，vjc为传送振动加速度；

再将传送振动参考值、传送噪声以及晶圆承载盘的直径和重量代入到传送稳定性影响公式中求得传送稳定性影响值；所述传送稳定性影响公式配置为：Ccsw＝Ccz×Rjy×Wjy×Cdb；其中，Ccsw为传送稳定性影响值，Wjy为晶圆承载盘的重量，Rjy为晶圆承载盘的直径，Cdb为传送噪声。

进一步地，所述综合处理单元配置有实时稳定性预警策略，所述实时稳定性预警策略包括：当接收到电机温度波动异常信号时，将电机温度波动值、电流波动值以及环境温度代入到温度综合预警公式中求得温度综合预警值；所述温度综合预警公式配置为：Ywz＝Bdw×Bdl×Thj；其中，Ywz为温度综合预警值，Thj为环境温度；

当接收到电机噪声振动关联信号时，将电机振动参考值和传送稳定性影响值代入到振动综合预警公式中求得振动综合预警值；所述振动综合预警公式配置为：Yzz＝Cdz×Ccsw；其中，Yzz为振动综合预警值；

当接收到电机噪声电参数关联信号时，将电机振动参考值、电压波动值和电流波动值代入到电参数综合预警公式中求得电参数综合预警值；所述电参数综合预警公式配置为：Ydcz＝Cdz×Bdy×Bdl；其中，Ydcz为电参数综合预警值；

将传送设备运行时每次获取到的温度综合预警值、振动综合预警值以及电参数综合预警值进行累加得到综合预警值，当综合预警值大于等于第一综合阈值时，输出停机检测信号，当综合预警值小于第一综合阈值时，输出综合持续监测信号。

进一步地，所述综合处理单元还配置有持续稳定性预警策略，所述持续稳定性预警策略包括：每次当获取到的综合预警值大于等于第一综合阈值时，进行一次计数，将累计的计数设定为持续预警数量，并获取每一天内的持续预警数量；

每一天内获取第一环境数量的环境温度和环境湿度，并分别求得每一天获取第一环境数量的环境温度和环境湿度的环境平均温度和环境平均湿度；

将每一天的环境平均温度、环境平均湿度和持续预警数量代入到日持续预警公式中求得日持续预警数值；所述日持续预警公式配置为：Yrc＝(Thp×Shp)^Scy；其中，Yrc为日持续预警数值，Thp为环境平均温度，Shp为环境平均湿度，Scy为持续预警数量；将每一天的日持续预警数值进行累加获取综合持续预警数值，当综合持续预警数值大于等于第一综合持续预警阈值时，输出停机检修信号。

本发明的有益效果：本发明通过电机检测模块、电参数检测模块、传送组件检测模块以及运行环境检测模块能够分别获取对应的检测参数，通过对上述检测参数的获取，能够为传送设备的稳定性分析提供全面的数据分析，进而提高传送设备的稳定性分析的全面性和精准性；

本发明通过综合处理模块的电机稳定性处理单元能够对电机检测模块检测到的数据进行处理，并输出电机稳定性结果；通过电参数稳定性处理单元能够对电参数检测模块检测到的数据进行处理，并输出电参数稳定性结果；通过传送组件稳定性处理单元能够对传送组件检测模块检测到的数据进行处理，并输出传送组件稳定性结果；最后再通过综合处理单元能够对电机稳定性处理单元、电参数稳定性处理单元以及传送组件稳定性处理单元的处理结果进行综合处理，并输出综合稳定性结果，该方法能够提高对传送设备的稳定性分析的细致性，进而避免出现稳定性分析时出现问题遗漏的情况，同时能够提高传送设备的稳定性分析的全面性，以及传送设备在稳定性预警方面的及时性，进而有助于保障传送设备运行的稳定，避免晶圆传送出现损坏。

本发明附加方面的优点将在下面的具体实施方式的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其他特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明的数据处理系统的原理框图；

图2为本发明的电机检测模块的原理框图；

图3为本发明的传送组件检测模块的原理框图

图4为本发明的综合处理模块的原理框图。

具体实施方式

应该指出，以下详细说明都是示例性的，旨在对本发明提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本发明所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本发明的示例性实施方式。

在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

请参阅图1-图4所示，本发明提供一种用于晶圆传送设备的运行稳定性数据处理系统，其中，传送设备包括传送组件和动力组件，传送组件用于给晶圆传送提供载体，动力组件用于给传送组件提供传送动力，动力组件包括电机，数据处理系统包括电机检测模块、电参数检测模块、传送组件检测模块、运行环境检测模块以及综合处理模块；本发明的数据处理系统通过对传送设备运行时的参数进行细致分析，能够提高对传送设备稳定性判断的精准度和及时性，以解决现有的晶圆传送设备的稳定性判断不够全面且及时的问题。

具体地，电机检测模块包括电机温度检测单元、电机振动检测单元以及电机噪声检测单元，电机温度检测单元用于对电机运行状态下的温度数据进行检测；电机振动检测单元用于对电机运行状态下的振动数据进行检测；电机噪声检测单元用于对电机运行状态和停止状态下的噪声进行检测；其中，电机温度检测单元、电机振动检测单元以及电机噪声检测单元分别采用温度传感器、振动检测传感器以及分贝传感器。

电参数检测模块包括电能质量检测器，电能质量检测器用于获取传送设备运行时输入到电机的电压值和电流值。

传送组件检测模块包括传送运输参数检测单元、传送振动检测单元以及传送噪声检测单元；传送运输参数检测单元用于对传送的晶圆规格参数进行检测；传送振动检测单元用于对传送组件的振动数据进行检测；传送噪声检测单元用于对传送组件的噪声数据进行检测；传送振动检测单元以及传送噪声检测单元分别采用振动检测传感器和分贝传感器。

运行环境检测模块用于对传送设备的运行环境中的环境温度和环境湿度进行检测；环境检测模块包括环境温度传感器和环境湿度传感器。

综合处理模块包括电机稳定性处理单元、电参数稳定性处理单元、传送组件稳定性处理单元以及综合处理单元；电机稳定性处理单元用于对电机检测模块检测到的数据进行处理，并输出电机稳定性结果；电参数稳定性处理单元用于对电参数检测模块检测到的数据进行处理，并输出电参数稳定性结果；传送组件稳定性处理单元用于对传送组件检测模块检测到的数据进行处理，并输出传送组件稳定性结果，综合处理单元用于对电机稳定性处理单元、电参数稳定性处理单元以及传送组件稳定性处理单元的处理结果进行综合处理，并输出综合稳定性结果。

实施例一

实施例一提供了对于传送设备的电机稳定性方面进行独立分析的方法，具体的方案为：电机检测模块配置有电机检测策略，电机检测策略包括如下步骤：

步骤S111，在电机开启后的第一时间段内，每间隔第一电机温度检测时间获取一次电机绕组温度和电机壳温度；

步骤S112，每间隔第一单位秒数获取一次电机运行时的振动数据；

步骤S113，对电机运行状态下的电机噪声进行检测，并在关闭电机时持续对电机噪声进行检测。

电机稳定性处理单元配置有电机稳定性处理策略，电机稳定性处理策略包括如下步骤：

步骤S121，当检测到电机绕组温度大于等于第一绕组温度阈值时，将此时的时间点设置为电机温度异常点，并将电机温度异常点之前获取的第一电机温度数量的电机绕组温度和电机壳温度代入到电机温度校正公式中求得电机温度波动值；电机温度校正公式配置为：

其中，Bdw为电机温度波动值，Tdr₁至Tdr_a分别为第一电机温度数量的电机绕组温度，Tdk₁至Tdk_a分别为第一电机温度数量的电机壳温度；a为第一电机温度数量；步骤S122，当电机温度波动值大于等于第一电机温度波动阈值时，输出电机温度波动异常信号；当电机温度波动值小于第一电机温度波动阈值时，输出电机温度持续监测信号；电机温度波动值越高表明电机在一段时间内的温度变化越高，出现故障的可能性越高。

步骤S123，将每次获取到的电机运行状态下的电机振幅、电机振动速度以及电机振动加速度代入到电机振动参考公式中求得电机振动参考值；电机振动参考公式配置为：Cdz＝Fdz×vd×vjd；其中，Cdz为电机振动参考值，Fdz为电机振幅，vd为电机振动速度，vjd为电机振动加速度；电机振动参考值越高表明电机的振动情况越严重。

步骤S124，将关闭电机时获取到的第一电机噪声数量的电机噪声代入到电机噪声分析公式中求得电机噪声关联值；当电机噪声关联值大于等于第一关联阈值时，输出电机噪声振动关联信号，当电机噪声关联值小于第二关联阈值时，输出电机噪声电参数关联信号；电机噪声分析公式配置为：

Ldzg＝(Ddb₁-Ddb₂)+...+(Ddb_b-1-Ddb_b)；其中,Ldzg为电机噪声关联值，Ddb₁至Ddb_b分别为关闭电机时获取到的第一电机噪声数量的电机噪声；b为第一电机噪声数量。当断开电机电源时，电机速度缓慢下降，此时如果噪声依然存在，则为机械噪声，如噪声立即消失，则一般为电磁噪声。

实施例二

实施例二提供了对于传送设备的电参数方面的稳定性的进行独立分析的方法，具体的方案为：电参数稳定性处理单元配置有电参数稳定性处理策略，电参数稳定性处理策略包括如下步骤：

步骤S21，在传送设备运行时，将每次累计获取到的第一电参数数量的电压值代入到电压波动公式中求得电压波动值；将每次累计获取到的第一电参数数量的电流值代入到电流波动公式中求得电流波动值；电压波动公式配置为：

电流波动公式配置为：

其中，Bdy为电压波动值，U₁至U_n分别为第一电参数数量的电压值，Bdl为电流波动值，I₁至I_n分别为第一电参数数量的电流值；电压偏差过大的危害电机作为一个用电设备，供电的保证是保证其正常运行的一个主要指标，过度的欠压会造成电机的失速，电流的过大，长期的欠压会导致电机和输电线路长时间工作在过载状态下，导致电机和输电线路的损坏；同时，当电流的数值发生偏差时，一般会有三类原因：一是电源的问题，供电电压的不平衡会直接导致电机电流的不平衡，对电源的检修是解决此类问题的可行方法；二是绕组的老化，电机长期运行后，可能会有绕组老化的现象发生，造成绕组的数值发生变化，导致电流不平衡的产生，可以通过停机，检查绕组的匝间以及绕组阻值的方法来排查这类问题；三是绕组的绝缘问题，这类问题发生时，电机的某相或者某几相电流会明显增大，应当立即停机检查绕组的相间绝缘以及对地绝缘。对于电流和电压检测能够及时发现电能质量方面的问题。

步骤S22，当电压波动值大于等于第一电压波动阈值时，输出电压波动异常信号；当电压波动值小于第一电压波动阈值时，输出电压持续监测信号；步骤S23，当电流波动值大于等于第一电流波动阈值时，输出电流波动异常信号；当电流波动值小于第一电压波动阈值时，输出电压持续监测信号。

实施例三

实施例三提供了对于传送设备的传送组件方面的稳定性的进行独立分析的方法，具体的方案为：传送组件检测模块配置有传送组件检测策略，传送组件检测策略包括如下步骤：

步骤S311，通过传送运输参数检测单元获取传送组件在传送过程中的晶圆承载盘的直径和重量；晶圆承载盘的直径和重量不同，对于振动的影响也不同；

步骤S312，每间隔第一单位秒数通过传送振动检测单元获取一次传送组件在运行时的振动数据；

步骤S313，通过传送噪声检测单元获取传送组件运行时的传送噪声。

传送组件稳定性处理单元配置有传送稳定性处理策略，传送稳定性处理策略包括如下步骤：

步骤S321，将每次获取到的传送组件运行时的传送振幅、传送振动速度以及传送振动加速度代入到传送振动参考公式中求得传送振动参考值；传送振动参考公式配置为：Ccz＝Fcz×vc×vjc；其中，Ccz为传送振动参考值，Fcz为传送振幅，vc为传送振动速度，vjc为传送振动加速度；

步骤S322，再将传送振动参考值、传送噪声以及晶圆承载盘的直径和重量代入到传送稳定性影响公式中求得传送稳定性影响值；传送稳定性影响公式配置为：Ccsw＝Ccz×Rjy×Wjy×Cdb；其中，Ccsw为传送稳定性影响值，Wjy为晶圆承载盘的重量，Rjy为晶圆承载盘的直径，Cdb为传送噪声。本发明中的传送组件设置为机械臂，机械臂的底部设置有夹爪，通过夹爪抓取晶圆承载盘，机械臂带动夹爪进行传送，因此在同一规格的机械臂和夹爪的传送情况下，传送的晶圆承载盘的规格越小，相应的机械臂所承载的力度越小，机械臂的传送稳定性也越高，所得到的传送稳定性影响值也越小，其中，晶圆承载盘的规格包括晶圆承载盘的重量和晶圆承载盘的直径。

实施例四

实施例四在实施例一、实施例二和实时三的基础上，提供了对于传送设备的综合稳定性方面的分析方法，具体的方案为：综合处理单元配置有实时稳定性预警策略，实时稳定性预警策略包括如下步骤：

步骤S411，当接收到电机温度波动异常信号时，将电机温度波动值、电流波动值以及环境温度代入到温度综合预警公式中求得温度综合预警值；温度综合预警公式配置为：Ywz＝Bdw×Bdl×Thj；其中，Ywz为温度综合预警值，Thj为环境温度；在温度综合预警公式中，综合了电机温度波动值、电流波动值和环境温度，电机温度波动值、电流波动值和环境温度越大对应的温度综合预警值越大，温度的影响越大，因此从温度的影响维度上越需要进行预警；

步骤S412，当接收到电机噪声振动关联信号时，将电机振动参考值和传送稳定性影响值代入到振动综合预警公式中求得振动综合预警值；振动综合预警公式配置为：Yzz＝Cdz×Ccsw；其中，Yzz为振动综合预警值；在振动综合预警公式中综合了电机振动参考值和传送稳定性影响值，电机振动参考值和传送稳定性影响值越大表明电机发生或者可能发生较大振动的情况，因此从振动的影响维度上越需要进行预警；

步骤S413，当接收到电机噪声电参数关联信号时，将电机振动参考值、电压波动值和电流波动值代入到电参数综合预警公式中求得电参数综合预警值；电参数综合预警公式配置为：Ydcz＝Cdz×Bdy×Bdl；其中，Ydcz为电参数综合预警值；在电参数综合预警公式中综合了电机振动参考值、电压波动值和电流波动值，由于电压波动值和电流波动值越大，电机所运行的功率也越大，电机运行的功率越大，对应产生的振动也越强烈，电机振动参考值、电压波动值和电流波动值越大，对应的电参数综合预警值也越大，从电参数的影响维度上越需要进行预警；

步骤S414，将传送设备运行时每次获取到的温度综合预警值、振动综合预警值以及电参数综合预警值进行累加得到综合预警值，当综合预警值大于等于第一综合阈值时，输出停机检测信号，当综合预警值小于第一综合阈值时，输出综合持续监测信号。综合预警值越高，表明传送设备的稳定性越差。在综合预警值中综合了温度综合预警值、振动综合预警值以及电参数综合预警值，温度综合预警值、振动综合预警值以及电参数综合预警值影响值越高，综合预警值也越高，该设计的有益之处在于：例如，当温度综合预警值、振动综合预警值以及电参数综合预警值三者独立检测都不存在需要预警的情况时，通过三者相加能够得到在综合维度上，电机已经处在一个高度风险的状态，因此，综合预警值能够从综合的维度上查缺补漏，弥补单独检测预警不够全面的问题。

实施例五

实施例五在实施例四的基础上，增加环境损耗方面的因素，提供了对于传送设备的稳定性进行定期检测的方法，具体的方案为：综合处理单元还配置有持续稳定性预警策略，持续稳定性预警策略包括如下步骤：

步骤S421，每次当获取到的综合预警值大于等于第一综合阈值时，进行一次计数，将累计的计数设定为持续预警数量，并获取每一天内的持续预警数量；

步骤S422，每一天内获取第一环境数量的环境温度和环境湿度，并分别求得每一天获取第一环境数量的环境温度和环境湿度的环境平均温度和环境平均湿度；

步骤S423，将每一天的环境平均温度、环境平均湿度和持续预警数量代入到日持续预警公式中求得日持续预警数值；日持续预警公式配置为：Yrc＝(Thp×Shp)^Scy；其中，Yrc为日持续预警数值，Thp为环境平均温度，Shp为环境平均湿度，Scy为持续预警数量；

步骤S424，将每一天的日持续预警数值进行累加获取综合持续预警数值，当综合持续预警数值大于等于第一综合持续预警阈值时，输出停机检修信号。将每一天的日持续预警数值进行累加能够表明传送设备的日常磨损的累加情况，日常磨损累加越高，则检修的时间线也会提前。该设计的有益之处在于：例如，不同的设备持续运行的时间不同，对应的损耗也不同，因此，首先通过获取日持续预警数值，再进行累加，能够得到对应的传送设备的持续运行时的损耗情况，如果检测到的日持续预警数值越高，对应累加得到的综合持续预警数值也越高，那么将综合持续预警数值与第一综合持续预警阈值时，综合持续预警数值大于等于第一综合持续预警阈值的时间线也会提前，对应的检修时间也会提前，停机检修信号就是当综合持续预警数值大于等于第一综合持续预警阈值时发出的，能够提高对传送设备的精准维护。

工作原理：本发明通过电机检测模块、电参数检测模块、传送组件检测模块以及运行环境检测模块能够分别获取对应的检测参数；再分别通过电机稳定性处理单元、电参数稳定性处理单元以及传送组件稳定性处理单元分别对各自功能单元的检测数据进行独立分析，最后再通过综合处理单元能够对电机稳定性处理单元、电参数稳定性处理单元以及传送组件稳定性处理单元的处理结果进行综合处理，并输出综合稳定性结果，能够提高对传送设备的稳定性分析的细致性和全面性，提高传送设备在稳定性预警方面的及时性。

在本申请的上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。

本领域内的技术人员应明白，本发明的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此，本发明可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本发明可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质上实施的计算机程序产品的形式。其中，存储介质可以由任何类型的易失性或非易失性存储设备或者它们的组合实现，如静态随机存取存储器(Static RandomAccess Memory,简称SRAM)，电可擦除可编程只读存储器(Electrically ErasableProgrammable Read-Only Memory,简称EEPROM)，可擦除可编程只读存储器(ErasableProgrammable Read Only Memory,简称EPROM)，可编程只读存储器(Programmable Red-Only Memory,简称PROM)，只读存储器(Read-OnlyMemory,简称ROM)，磁存储器，快闪存储器，磁盘或光盘。这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

在本申请所提供的实施例中，应该理解到，所揭露装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。

以上所述实施例，仅为本发明的具体实施方式，用以说明本发明的技术方案，而非对其限制，本发明的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (1)

1.一种用于晶圆传送设备的运行稳定性数据处理系统，所述传送设备包括传送组件和动力组件，所述传送组件用于给晶圆传送提供载体，所述动力组件用于给传送组件提供传送动力，所述动力组件包括电机，其特征在于，所述数据处理系统包括电机检测模块、电参数检测模块、传送组件检测模块、运行环境检测模块以及综合处理模块；

所述电机检测模块包括电机温度检测单元、电机振动检测单元以及电机噪声检测单元，所述电机温度检测单元用于对电机运行状态下的温度数据进行检测；所述电机振动检测单元用于对电机运行状态下的振动数据进行检测；所述电机噪声检测单元用于对电机运行状态和停止状态下的噪声进行检测；

所述电参数检测模块包括电能质量检测器，所述电能质量检测器用于获取传送设备运行时输入到电机的电压值和电流值；

所述传送组件检测模块包括传送运输参数检测单元、传送振动检测单元以及传送噪声检测单元；所述传送运输参数检测单元用于对传送的晶圆规格参数进行检测；所述传送振动检测单元用于对传送组件的振动数据进行检测；所述传送噪声检测单元用于对传送组件的噪声数据进行检测；

所述运行环境检测模块用于对传送设备的运行环境中的环境温度和环境湿度进行检测；

所述综合处理模块包括电机稳定性处理单元、电参数稳定性处理单元、传送组件稳定性处理单元以及综合处理单元；所述电机稳定性处理单元用于对电机检测模块检测到的数据进行处理，并输出电机稳定性结果；所述电参数稳定性处理单元用于对电参数检测模块检测到的数据进行处理，并输出电参数稳定性结果；所述传送组件稳定性处理单元用于对传送组件检测模块检测到的数据进行处理，并输出传送组件稳定性结果，所述综合处理单元用于对电机稳定性处理单元、电参数稳定性处理单元以及传送组件稳定性处理单元的处理结果进行综合处理，并输出综合稳定性结果；

所述电机检测模块配置有电机检测策略，所述电机检测策略包括：在电机开启后的第一时间段内，每间隔第一电机温度检测时间获取一次电机绕组温度和电机壳温度；

每间隔第一单位秒数获取一次电机运行时的振动数据；

对电机运行状态下的电机噪声进行检测，并在关闭电机时持续对电机噪声进行检测；

所述电机稳定性处理单元配置有电机稳定性处理策略，所述电机稳定性处理策略包括：当检测到电机绕组温度大于等于第一绕组温度阈值时，将此时的时间点设置为电机温度异常点，并将电机温度异常点之前获取的第一电机温度数量的电机绕组温度和电机壳温度代入到电机温度校正公式中求得电机温度波动值；所述电机温度校正公式配置为：

；其中，Bdw为电机温度波动值，Tdr₁至Tdr_a分别为第一电机温度数量的电机绕组温度，Tdk₁至Tdk_a分别为第一电机温度数量的电机壳温度；a为第一电机温度数量；

当电机温度波动值大于等于第一电机温度波动阈值时，输出电机温度波动异常信号；当电机温度波动值小于第一电机温度波动阈值时，输出电机温度持续监测信号；

将每次获取到的电机运行状态下的电机振幅、电机振动速度以及电机振动加速度代入到电机振动参考公式中求得电机振动参考值；所述电机振动参考公式配置为：

；其中，Cdz为电机振动参考值，Fdz为电机振幅，vd为电机振动速度，vjd为电机振动加速度；

将关闭电机时获取到的第一电机噪声数量的电机噪声代入到电机噪声分析公式中求得电机噪声关联值；当电机噪声关联值大于等于第一关联阈值时，输出电机噪声振动关联信号，当电机噪声关联值小于第二关联阈值时，输出电机噪声电参数关联信号；所述电机噪声分析公式配置为：

；其中,Ldzg为电机噪声关联值，Ddb₁至Ddb_b分别为关闭电机时获取到的第一电机噪声数量的电机噪声；b为第一电机噪声数量；

所述传送组件检测模块配置有传送组件检测策略，所述传送组件检测策略包括：通过传送运输参数检测单元获取传送组件在传送过程中的晶圆承载盘的直径和重量；

每间隔第一单位秒数通过传送振动检测单元获取一次传送组件在运行时的振动数据；

通过传送噪声检测单元获取传送组件运行时的传送噪声；

所述传送组件稳定性处理单元配置有传送稳定性处理策略，所述传送稳定性处理策略包括：将每次获取到的传送组件运行时的传送振幅、传送振动速度以及传送振动加速度代入到传送振动参考公式中求得传送振动参考值；所述传送振动参考公式配置为：

；其中，Ccz为传送振动参考值，Fcz为传送振幅，vc为传送振动速度，vjc为传送振动加速度；

再将传送振动参考值、传送噪声以及晶圆承载盘的直径和重量代入到传送稳定性影响公式中求得传送稳定性影响值；所述传送稳定性影响公式配置为：

；其中，Ccsw为传送稳定性影响值，Wjy为晶圆承载盘的重量，Rjy为晶圆承载盘的直径，Cdb为传送噪声；

所述电参数稳定性处理单元配置有电参数稳定性处理策略，所述电参数稳定性处理策略包括：在传送设备运行时，将每次累计获取到的第一电参数数量的电压值代入到电压波动公式中求得电压波动值；将每次累计获取到的第一电参数数量的电流值代入到电流波动公式中求得电流波动值；所述电压波动公式配置为：

；所述电流波动公式配置为：

；其中，Bdy为电压波动值，U₁至U_n分别为第一电参数数量的电压值，Bdl为电流波动值，I₁至I_n分别为第一电参数数量的电流值；

当电压波动值大于等于第一电压波动阈值时，输出电压波动异常信号；当电压波动值小于第一电压波动阈值时，输出电压持续监测信号；

当电流波动值大于等于第一电流波动阈值时，输出电流波动异常信号；当电流波动值小于第一电压波动阈值时，输出电压持续监测信号；

所述综合处理单元配置有实时稳定性预警策略，所述实时稳定性预警策略包括：当接收到电机温度波动异常信号时，将电机温度波动值、电流波动值以及环境温度代入到温度综合预警公式中求得温度综合预警值；所述温度综合预警公式配置为：

；其中，Ywz为温度综合预警值，Thj为环境温度；

当接收到电机噪声振动关联信号时，将电机振动参考值和传送稳定性影响值代入到振动综合预警公式中求得振动综合预警值；所述振动综合预警公式配置为：

；其中，Yzz为振动综合预警值；

当接收到电机噪声电参数关联信号时，将电机振动参考值、电压波动值和电流波动值代入到电参数综合预警公式中求得电参数综合预警值；所述电参数综合预警公式配置为：

；其中，Ydcz为电参数综合预警值；

将传送设备运行时每次获取到的温度综合预警值、振动综合预警值以及电参数综合预警值进行累加得到综合预警值，当综合预警值大于等于第一综合阈值时，输出停机检测信号，当综合预警值小于第一综合阈值时，输出综合持续监测信号；

所述综合处理单元还配置有持续稳定性预警策略，所述持续稳定性预警策略包括：每次当获取到的综合预警值大于等于第一综合阈值时，进行一次计数，将累计的计数设定为持续预警数量，并获取每一天内的持续预警数量；

每一天内获取第一环境数量的环境温度和环境湿度，并分别求得每一天获取第一环境数量的环境温度和环境湿度的环境平均温度和环境平均湿度；

将每一天的环境平均温度、环境平均湿度和持续预警数量代入到日持续预警公式中求得日持续预警数值；所述日持续预警公式配置为：

；其中，Yrc为日持续预警数值，Thp为环境平均温度，Shp为环境平均湿度，Scy为持续预警数量；

将每一天的日持续预警数值进行累加获取综合持续预警数值，当综合持续预警数值大于等于第一综合持续预警阈值时，输出停机检修信号。

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